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技術(shù)編號(hào):2796094

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本發(fā)明涉及集成電路計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)領(lǐng)域,尤其是涉及一種。背景技術(shù)伴隨著工藝尺寸的不斷減小,針對(duì)于目前的65納米、45納米,甚至是32納米工藝技術(shù)節(jié)點(diǎn),作為半導(dǎo)體集成電路制造圖形轉(zhuǎn)移部分(Pattern Transfer)的重要環(huán)節(jié),光刻技術(shù)(Photo-lithography)正愈來(lái)愈受到關(guān)注。這是緣于接近光刻成像系統(tǒng)的極限,而導(dǎo)致實(shí)際刻出圖形結(jié)果有嚴(yán)重畸變。因此,使得如分辨率增強(qiáng)技術(shù)(Resolution Enhancement Technology)和面...
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