技術(shù)編號(hào)：2790297
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種制作金屬圖案的方法，尤指一種可以有效減少蝕刻殘留物的制作金屬圖案的方法。背景技術(shù) 在薄膜晶體管液晶顯示器面板的工藝中，金屬圖案制作的良窳對(duì)于液晶面板的品質(zhì)影響很大。舉例而言，在液晶面板的工藝中需進(jìn)行數(shù)道光蝕程序，以分別定義薄膜晶體管的柵極、源極/漏極以及接觸洞等堆疊結(jié)構(gòu)。為了提高后續(xù)介電沉積層的覆蓋能力，通常在定義這些金屬圖案時(shí)，均會(huì)盡量避免在蝕刻工藝中使金屬圖案產(chǎn)生底切(undercut)的情況，以免蝕刻后的金屬碎屑?xì)埩粲诮饘賵D案下方的孔隙...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。