技術編號：2750809
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。包含內部傳感器和微小反應器的光刻設備和用于處理內部 傳感器的感測表面的方法相關申請的交叉引用本申請要求于2008年4月15日申請的美國臨時申請第61/071，156號的權益，在 此通過參考將其全部內容并入本文中。本申請涉及一種包含內部傳感器和微小反應器的光刻設備。本發(fā)明還涉及一種用 于處理光刻設備的內部傳感器的感測表面的方法。本發(fā)明還涉及一種器件制造方法。背景技術光刻設備是一種將所需圖案應用到襯底上(通常應用到所述襯底的目標部分上) 的機器。例如，可以將光...
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