技術(shù)編號(hào)：2746037
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的實(shí)施例涉及一種線性電動(dòng)機(jī)，并且具體地涉及一種用于例如半導(dǎo)體光刻 術(shù)等精確驅(qū)動(dòng)應(yīng)用的線性電動(dòng)機(jī)。背景技術(shù)許多自動(dòng)制造過程需要能夠迅速地和精確地將工件移動(dòng)到執(zhí)行一個(gè)或更多個(gè)工 藝步驟的位置。在一些應(yīng)用中，例如在半導(dǎo)體光刻術(shù)中，這種精確地定位必須實(shí)現(xiàn)接近納米 的精確度，和與現(xiàn)代光刻過程的產(chǎn)量要求相符的速度。與以納米量級(jí)的精確度定位設(shè)備相關(guān)聯(lián)的挑戰(zhàn)具有重要意義，在光刻系統(tǒng)的情形 中尤其是這樣。在光刻術(shù)情形中，襯底經(jīng)過多次處理，這些處理產(chǎn)生現(xiàn)代的集成電路。這...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。