技術(shù)編號：1876426
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。提供了一種用于混合蒸發(fā)的前體和氣體以制備二氧化硅顆粒的設(shè)備。該設(shè)備包括混合器外殼，具有與該混合器外殼連通的出料口、用于在該混合器外殼中遞送蒸發(fā)的前體的前體遞送室，以及具有與該混合器外殼連通的出料口、用于遞送待與所述蒸發(fā)的前體混合的氧化氣體的氧化氣體遞送室。該設(shè)備還包括一回火元件，該回火元件布置在該混合器外殼中，位于所述前體遞送室的出料口和所述氧化氣體遞送室的出料口之間。所述回火元件以L最小(厘米)=0.453U(Re)-0.5567限定的離所述氧化氣體遞送...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。