技術編號：1445108
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型提供了一種脫膠前單晶硅片的清洗裝置，包括盛水槽、清洗支架和兩根清洗水管，所述的清洗支架固定在盛水槽內(nèi)，所述的清洗支架為長方體形，所述兩根清洗水管分別設置在清洗支架的左右兩側，每根所述的清洗水管連接有一個水閥，所述水閥用于與供水管連接，每根所述的清洗水管相對于另一根清洗水管一側的管壁上等距設置有多個出水孔。本實用新型實現(xiàn)對單晶硅片的自動，均勻地清洗，解決現(xiàn)有單晶硅片清洗效果差的問題。專利說明一種脫膠前單晶硅片的清洗裝置[0001]本實用新型涉及單晶...
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