技術(shù)編號(hào):1367307
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在利用處理液處理基板的情況下適用的。背景技術(shù) 在使用于液晶顯示裝置中的玻璃制的基板上形成電路圖形。要在基板上形成電路圖形,就采用平版印刷工藝。平版印刷(lithography)工藝如周知的,在上述基板上涂覆抗蝕劑,在該抗蝕劑上通過形成了電路圖形的掩膜而照射光。接著,去掉抗蝕劑的沒照射光的部分或照射了光的部分,蝕刻基板的已去掉了抗蝕劑的部分,蝕刻之后,通過反復(fù)多次進(jìn)行去掉抗蝕劑等的一系列的工序,就在上述基板上形成電路圖形。在這樣的平版印刷工藝中,需...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。