技術(shù)編號:12274865
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及集成電路技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及晶圓的儲存裝置。背景技術(shù)現(xiàn)有的晶圓一般集裝于儲存箱中,由于放置不合理,晶圓之間會相互接觸,還存在碰撞箱內(nèi)壁的狀況,從而存在一定的破損率。發(fā)明內(nèi)容針對現(xiàn)有晶圓儲存裝置存在的上述問題,申請人進行研究及改進,提供一種晶圓專用儲存架,晶圓放置于可一定角度范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動的支撐框中,避免晶圓碰撞,調(diào)節(jié)安放角度,方便儲運。為了解決上述問題,本發(fā)明采用如下方案:一種晶圓專用儲存架,包括頂橫梁、底橫梁及安裝于所述頂橫梁與底橫梁之間的多個支撐框,所述支撐框間隔布置于頂橫梁與底橫梁之間...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。