技術(shù)編號:12114540
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明創(chuàng)造涉及硅晶片測試技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種硅晶片測試探針臺。背景技術(shù)硅晶片是由硅錠加工而成,通過專門的工藝可以在硅晶片上刻蝕出數(shù)以百萬計的晶體管,被廣泛應(yīng)用于集成電路的制造,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓,對晶圓進行電氣測試的機器就是探針臺。現(xiàn)有的探針臺只能對圓形的硅晶片(晶圓)進行測試,無法測試一些特殊形狀的硅晶片,泛用性不足。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明創(chuàng)造的目的在于避免上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處而提供一種硅晶片測試探針臺,使探針臺不僅能測試圓形的硅晶片,還能對特殊形狀的硅晶片進行測試。本發(fā)明創(chuàng)造的目的通...
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