技術(shù)編號：11587166
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光器件晶片的加工方法，沿著分割預(yù)定線將光器件晶片分割成一個個的光器件芯片，在該光器件晶片中，在藍(lán)寶石基板的正面上形成有發(fā)光層，在通過格子狀的多條分割預(yù)定線劃分出的多個區(qū)域中分別形成有光器件。背景技術(shù)在光器件制造工藝中，在作為大致圓板形狀的藍(lán)寶石基板的正面上層疊了由n型氮化鎵半導(dǎo)體層和p型氮化鎵半導(dǎo)體層構(gòu)成的發(fā)光層(外延層)，在由呈格子狀形成的多條分割預(yù)定線劃分出的多個區(qū)域中形成有發(fā)光二極管、激光二極管等光器件而構(gòu)成光器件晶片。并且，通過沿著分割預(yù)定線切斷光器件晶片而對形成有光器件的區(qū)域...
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