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一種用于癌細(xì)胞篩查的熒光光譜測量集成電路的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11515831

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本發(fā)明涉及實(shí)現(xiàn)的一種用于癌細(xì)胞篩查的熒光光譜測量集成電路,以掩埋CMOS雙PN結(jié)光電二極管(BDJ)為光傳感單元,將微弱的熒光信號轉(zhuǎn)換成容易測量的電信號,提取出有用的光譜信息。本發(fā)明輸出端無需模數(shù)轉(zhuǎn)換接口而可直接與單片機(jī)等處理器相連,可與光傳感單元BDJ單片集成,實(shí)現(xiàn)癌細(xì)胞熒光光譜測量系統(tǒng)的微型化和智能化。背景技術(shù)掩埋CMOS雙PN結(jié)光電二極管,由兩個(gè)垂直堆疊的不同深度的二極管構(gòu)成。這種器件的層疊式結(jié)構(gòu)使得以硅材料作為濾光片時(shí),光在硅晶體中的透射深度與波長有強(qiáng)烈的依賴關(guān)系,入射光功率和波長不同時(shí)...
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