一種金屬有機(jī)化合物容器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開的金屬有機(jī)化合物容器，包括瓶體，通過在進(jìn)氣管口設(shè)置的氣體減速擴(kuò)散裝置，對進(jìn)入瓶體的氣體進(jìn)行緩沖減速以及均勻擴(kuò)散。所述氣體減速擴(kuò)散裝置由數(shù)個(gè)環(huán)形擋板和一多孔篩板組成，所述數(shù)個(gè)環(huán)形擋板相對放置，對進(jìn)入瓶體的氣體起緩沖減速作用；而所述多孔篩板對進(jìn)入瓶體的氣體起均勻化擴(kuò)散作用；環(huán)形擋板和多孔篩板共同作用使氣體均勻進(jìn)入瓶體內(nèi)的金屬有機(jī)化合物源體內(nèi)，避免金屬有機(jī)化合物源體因消耗不均勻出現(xiàn)局部潰塌的現(xiàn)象。
【專利說明】
一種金屬有機(jī)化合物容器
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積技術(shù)，具體為一種具有氣體減速擴(kuò)散裝置的金屬有機(jī)化合物容器。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體工業(yè)中，通常使用化學(xué)氣相沉積工藝進(jìn)行沉積各薄膜層，其沉積過程所使用金屬有機(jī)化合物源封裝于密封容器內(nèi)，在鋼瓶頂部設(shè)置進(jìn)氣管與出氣管，運(yùn)載氣體通過進(jìn)氣口和出氣口將源體輸送至沉積腔室內(nèi)；在此運(yùn)輸過程中，載氣通過進(jìn)氣口進(jìn)入瓶體，與源體接觸后再通過出氣口進(jìn)入腔室管路。在生長過程中，既有液態(tài)源，也有固態(tài)源，而對于固態(tài)源而言，裝入瓶體內(nèi)的源體各部位松緊并不是非常均勻的。而由于進(jìn)氣管口位置固定，且因生產(chǎn)需要，載氣流速較大，故當(dāng)載氣進(jìn)入后易在源體中(尤其是進(jìn)氣管對應(yīng)位置)形成固定的“載氣路徑”，即所謂的“溝流現(xiàn)象”，導(dǎo)致源體因消耗不均勻出現(xiàn)局部潰塌的現(xiàn)象，從而嚴(yán)重影響使用過程中的蒸汽壓穩(wěn)定性，影響化合物生成的均勻性，降低半導(dǎo)體元件的質(zhì)量。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]針對上述問題，本實(shí)用新型提出了一種具有氣體減速擴(kuò)散裝置的金屬有機(jī)化合物容器，旨在解決因“溝流現(xiàn)象”導(dǎo)致金屬有機(jī)化合源體消耗不均勻而出現(xiàn)的局部潰塌狀況，從而避免使用過程中的蒸汽壓穩(wěn)定性降低的異?，F(xiàn)象。
[0004]本實(shí)用新型解決上述問題的技術(shù)方案為:一種金屬有機(jī)化合物容器，包括:瓶體，所述瓶體包括瓶體頂部和瓶體底部，所述瓶體頂部置有進(jìn)料口、進(jìn)氣管和出氣管，所述進(jìn)氣管口位于瓶體上部，所述出氣管口延伸入瓶體底部，其中，所述進(jìn)氣管口連接有一氣體減速擴(kuò)散裝置，所述氣體減速擴(kuò)散裝置包括用于改變氣體流通方向的數(shù)個(gè)環(huán)形擋板及一位于環(huán)形擋板下方的多孔篩板。
[0005]優(yōu)選的，所述環(huán)形擋板包括第一環(huán)形擋板和第二環(huán)形擋板;所述第一環(huán)形擋板環(huán)繞進(jìn)氣管口并豎直連接于所述瓶體頂部內(nèi)表面;所述第二環(huán)形擋板豎直連接于一與所述瓶體頂部內(nèi)表面相對設(shè)置的支撐板上表面;所述支撐板連接于所述瓶體側(cè)壁;所述第一環(huán)形擋板和第二環(huán)形擋板相對放置后促使進(jìn)入瓶體的載氣得到緩沖減速;所述多孔篩板放置于所述支撐板下方并連接于瓶體側(cè)壁。
[0006]優(yōu)選的，所述第二環(huán)形擋板包圍與第一環(huán)形擋板外圈，或第二環(huán)形擋板置于第一環(huán)形擋板內(nèi)圈，或第一環(huán)形擋板與第二環(huán)形擋板呈間隔放置。
[0007]優(yōu)選的，所述第二環(huán)形擋板上端部距離瓶體頂部內(nèi)表面的距離H2滿足關(guān)系式:0〈H2〈H1，其中Hl為第一環(huán)形擋板的高度。
[0008]優(yōu)選的，所述環(huán)形擋板數(shù)目為2?6個(gè)。優(yōu)選的，所述第一環(huán)形擋板與第二環(huán)形擋板數(shù)量相等或不等。
[0009]優(yōu)選的，所述支撐板與瓶體側(cè)壁的連接支點(diǎn)數(shù)目大于等于2個(gè)。
[0010]優(yōu)選的，所述多孔篩板的直徑與所述瓶體內(nèi)徑相同。
[0011 ]優(yōu)選的，所述支撐板直徑小于所述多孔篩板的直徑。
[0012]優(yōu)選的，所述多孔篩板的孔徑小于進(jìn)氣管內(nèi)徑。
[0013]本實(shí)用新型至少具有以下有益效果:
[0014]本實(shí)用新型的金屬有機(jī)化合物容器，在進(jìn)氣管口設(shè)置氣體減速擴(kuò)散裝置，所述氣體減速擴(kuò)散裝置由數(shù)個(gè)環(huán)形擋板和一多孔篩板組成，所述數(shù)個(gè)環(huán)形擋板相對放置對進(jìn)入瓶體的氣體進(jìn)行緩沖減速;而所述多孔篩板對進(jìn)入瓶體的氣體實(shí)現(xiàn)均勻化擴(kuò)散;環(huán)形擋板和多孔篩板共同作用使氣體均勻進(jìn)入瓶體內(nèi)的金屬有機(jī)化合物源體內(nèi)，增加氣體與金屬有機(jī)化合物源體的接觸面積，避免金屬有機(jī)化合物源體因消耗不均勻出現(xiàn)局部潰塌的現(xiàn)象。
【附圖說明】
[0015]附圖用來提供對本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與本實(shí)用新型的實(shí)施例一起用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對本實(shí)用新型的限制。此外，附圖數(shù)據(jù)是描述概要，不是按比例繪制。
[0016]圖1為本實(shí)用新型之金屬有機(jī)化合物容器結(jié)構(gòu)截面示意圖。
[0017]圖2為本實(shí)用新型之環(huán)形擋板結(jié)構(gòu)截面示意圖。
[0018]圖3為本實(shí)用新型之第二環(huán)形擋板與多孔篩板組合結(jié)構(gòu)俯視示意圖。
[0019]圖中標(biāo)示:
[0020]100.進(jìn)氣管;200.出氣管;300.瓶體;310.瓶體頂部;320.瓶體底部;400.氣體減速擴(kuò)散裝置;410.環(huán)形擋板;411.第一環(huán)形擋板;412.第二環(huán)形擋板;412'.支撐板;413.連接體;420.多孔篩板;500.源體;600.載氣;700.帶有源的載氣。
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0022]請參看附圖1和2，一種金屬有機(jī)化合物容器包括:瓶體300，其包括瓶體頂部310和瓶體底部320，瓶體頂部310置有加料口(圖中未示出)、進(jìn)氣管100和出氣管200，進(jìn)氣管口100位于瓶體上部310，出氣管口 200延伸入瓶體底部320，其中，進(jìn)氣管口 100連接有一氣體減速擴(kuò)散裝置400，減速擴(kuò)散裝置400對由進(jìn)氣管100流入的載氣600實(shí)現(xiàn)減速后均勻擴(kuò)散進(jìn)入金屬有機(jī)化合物源體500內(nèi)，減速擴(kuò)展后的載氣600與源體500充分接觸形成帶有源的載氣700并將其攜帶經(jīng)由出氣管200進(jìn)入反應(yīng)腔室中。其中，減速擴(kuò)展裝置400包括用于改變氣體流通方向的數(shù)個(gè)環(huán)形擋板410和一位于環(huán)形擋板下方的多孔篩板420，環(huán)形擋板410通過改變載氣600流通方向?qū)崿F(xiàn)其減速，多孔篩板420進(jìn)一步阻擋載氣600流速及擴(kuò)散均勻性，使載氣600通過均勻分布的若干個(gè)篩孔后進(jìn)入金屬有機(jī)化合物源體500。
[0023]具體地，為實(shí)現(xiàn)載氣600流通路徑的多次改變減速，環(huán)形擋板410的數(shù)目為2?6個(gè)。本實(shí)施例中，環(huán)形擋板410包括第一環(huán)形擋板411和第二環(huán)形擋板412;第一環(huán)形擋板411環(huán)繞進(jìn)氣管口豎直連接與瓶體頂部310的內(nèi)表面;第二環(huán)形擋板412豎直連接于一與瓶體頂部310內(nèi)表面相對設(shè)置的支撐板412'上表面;第二環(huán)形擋板412包圍于第一環(huán)形擋板411外圈，或第二環(huán)形擋板412置于第一環(huán)形擋板411內(nèi)圈，或第一環(huán)形擋板411與第二環(huán)形擋板412呈間隔放置，且第一環(huán)形擋板與第二環(huán)形擋板數(shù)量相等或不等;本實(shí)施例優(yōu)選第一環(huán)形擋板的數(shù)目為2，第二環(huán)形擋板的數(shù)目為1，且第一環(huán)形擋板411與第二環(huán)形擋板412呈間隔放置，兩個(gè)第一環(huán)形擋板411呈同心圓方式環(huán)繞于進(jìn)氣管口下方，第二環(huán)形擋板412上部則位于兩個(gè)第一環(huán)形擋板411之間；參看附圖2，為充分實(shí)現(xiàn)載氣600流通路徑(圖中箭頭所示)的改變，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)其速度的減緩，第二環(huán)形擋板412上端部距離瓶體頂部310內(nèi)表面的距離H2滿足關(guān)系式:0〈H2〈H1，其中Hl為第一環(huán)形擋板411的高度。以促使載氣600通過環(huán)形擋板410減速后到達(dá)多孔篩板420，后由多孔篩板420上的孔洞結(jié)構(gòu)均勻分散進(jìn)入金屬有機(jī)化合源體500中，并與金屬有機(jī)化合物源體500充分接觸后攜帶源由出氣管200進(jìn)入反應(yīng)腔室中。
[0024]參看附圖3，為較好的固定支撐板412'，同時(shí)保證減速后的氣體經(jīng)過多孔篩板420進(jìn)入金屬有機(jī)化合源體500，設(shè)置支撐板412'與瓶體側(cè)壁的連接支點(diǎn)413數(shù)目大于等于2個(gè)，且直徑小于多孔篩板420的直徑，而為促使載氣600由孔洞結(jié)構(gòu)進(jìn)入金屬有機(jī)化合源體500，故所述多孔篩板420的直徑與瓶體300內(nèi)徑相同，同時(shí)設(shè)計(jì)多孔篩板420的孔徑小于進(jìn)氣管100內(nèi)徑，優(yōu)選為1/2英寸?1/16英寸。
[0025]本實(shí)用新型通過間隔設(shè)置的第一環(huán)形擋板411、第二環(huán)形擋板412及連接第二環(huán)形擋板412下端部的支撐板412'對載氣600流通路徑的改變來減小其流速，將多孔篩板420設(shè)置于環(huán)形擋板410下方使載氣緩慢、均勻地進(jìn)入瓶體300內(nèi)的金屬有機(jī)化合物源體500內(nèi)，增大了載氣600與金屬有機(jī)源體500的接觸面積，避免金屬有機(jī)化合物源體500因消耗不均勻出現(xiàn)局部潰塌的現(xiàn)象。
[0026]應(yīng)當(dāng)理解的是，上述具體實(shí)施方案為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，本實(shí)用新型的范圍不限于該實(shí)施例，凡依本實(shí)用新型所做的任何變更，皆屬本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種金屬有機(jī)化合物容器，包括:瓶體，所述瓶體包括瓶體頂部和瓶體底部，所述瓶體頂部置有進(jìn)料口、進(jìn)氣管和出氣管，所述進(jìn)氣管口位于瓶體上部，所述出氣管口延伸入瓶體底部，其特征在于:所述進(jìn)氣管口連接有一氣體減速擴(kuò)散裝置，所述氣體減速擴(kuò)散裝置包括用于改變氣體流通方向的數(shù)個(gè)環(huán)形擋板及一位于環(huán)形擋板下方的多孔篩板。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬有機(jī)化合物容器，其特征在于:所述環(huán)形擋板包括第一環(huán)形擋板和第二環(huán)形擋板;所述第一環(huán)形擋板環(huán)繞進(jìn)氣管口并豎直連接于所述瓶體頂部內(nèi)表面;所述第二環(huán)形擋板豎直連接于一與所述瓶體頂部內(nèi)表面相對設(shè)置的支撐板上表面;所述支撐板連接于所述瓶體側(cè)壁;所述多孔篩板放置于所述支撐板下方并連接于瓶體側(cè)壁。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬有機(jī)化合物容器，其特征在于:所述第二環(huán)形擋板包圍于第一環(huán)形擋板外圈、或者第二環(huán)形擋板置于第一環(huán)形擋板內(nèi)圈、或者第一環(huán)形擋板與第二環(huán)形擋板呈間隔放置。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬有機(jī)化合物容器，其特征在于:所述第二環(huán)形擋板上端部距離瓶體頂部內(nèi)表面的距離112滿足關(guān)系式:0〈!12〈!11，其中!11為第一環(huán)形擋板的高度。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬有機(jī)化合物容器，其特征在于:所述環(huán)形擋板數(shù)目為2?6個(gè)。6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬有機(jī)化合物容器，其特征在于:所述第一環(huán)形擋板與第二環(huán)形擋板數(shù)量相等或不等。7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬有機(jī)化合物容器，其特征在于:所述支撐板與瓶體側(cè)壁的連接支點(diǎn)的數(shù)目大于等于2個(gè)。8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬有機(jī)化合物容器，其特征在于:所述支撐板直徑小于所述多孔篩板的直徑。9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的金屬有機(jī)化合物容器，其特征在于:所述多孔篩板的直徑與所述瓶體內(nèi)徑相同。10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的金屬有機(jī)化合物容器，其特征在于:所述多孔篩板的孔徑小于所述進(jìn)氣管內(nèi)徑。
【文檔編號(hào)】C23C16/455GK205473974SQ201620224298
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年3月23日
【發(fā)明人】吳洪浩, 李政鴻, 周瑜, 徐志軍, 翁聰, 王瑜, 林兓兓, 張家宏
【申請人】安徽三安光電有限公司