本技術涉及復合材料，涉及一種大尺寸陶瓷基復合材料載板。

背景技術：

1、載板是硅片鍍膜設備的主要消耗部件之一，其工作原理為將需要鍍膜的硅片平整的放置在載板的工位上，經(jīng)傳送帶運輸?shù)絧ecvd鍍膜設備中的等離子腔室，然后在一定工藝條件下進行pecvd鍍膜。隨著太陽能光伏行業(yè)的迅速發(fā)展，市場對硅片鍍膜的產(chǎn)量和產(chǎn)能需求均不斷提高。而載板作為輔助件，因等離子腔室鍍膜環(huán)節(jié)環(huán)境惡劣，石墨材料、碳碳材料的耐受性有限導致載板成為了易耗品。

2、陶瓷基復合材料本身就具有出色的耐高溫性能，能夠在極端高溫環(huán)境下保持穩(wěn)定。當應用于鍍膜技術時，這種材料可以在高溫條件下保持其物理和化學性質(zhì)，不易發(fā)生分解或變形。這一特性使得陶瓷基復合材料在需要高溫處理的鍍膜工藝中表現(xiàn)出色。

3、為了提高鍍膜效率，需要開發(fā)大尺寸的陶瓷基復合材料載板，但是隨著尺寸的增大，載板為了保持原有的強度，其壁厚也會相應增大，其導熱性能會隨著壁厚的增加而大幅降低。本申請?zhí)岢隽艘环N大尺寸陶瓷基復合材料載板，增大載板尺寸的同時，不增加載板的厚度，解決其導熱性的問題。

技術實現(xiàn)思路

1、本實用新型說明了一種大尺寸陶瓷基復合材料載板，其特征在于：所述載板厚度20mm-40mm；

2、進一步的，所述載板正面有n個凹槽，n為正整數(shù)，凹槽深度為5mm-10mm；

3、進一步的，所述凹槽底部為平整結構。

4、進一步的，所述凹槽為長方體。

5、優(yōu)選的，所述載板背面有加強筋，加強筋垂直載板方向為寬度，加強筋平行載板的方向為長度或厚度；

6、進一步的，所述加強筋為經(jīng)緯向交錯；

7、進一步的，所述經(jīng)向相鄰加強筋之間的距離為200mm-600mm；

8、進一步的，所述緯向加強筋之間的距離為200mm-600mm；

9、進一步的，所述加強筋的厚度為2mm-15mm；

10、進一步的，所述加強筋的高度為20mm-50mm。

11、優(yōu)選的，所述載板為陶瓷基復合材料；

12、進一步的，所述載板纖維結構如圖3所示，圖3為圖2方式所放置載板的刨面結構圖，a區(qū)為正面結構，b區(qū)為背面結構，c區(qū)為穿刺結構；

13、進一步的，載板纖維結構由正面結構、底面結構、穿刺結構組成；正面結構是40-150層完整的纖維布鋪層；底面結構是20-60層纖維布鋪層，折疊出20mm-50mm的加強筋纖維布結構；底面結構加強筋纖維布和底面結構底面纖維布為連續(xù)纖維；穿刺結構為連接載板上下纖維布鋪層的結構。

14、進一步的，b區(qū)為載板底面和加強筋纖維布排序，加強筋纖維布與底面纖維布為連續(xù)纖維，加強筋纖維布由底面纖維折疊而成；

15、進一步的，a區(qū)纖維為連續(xù)纖維布；

16、進一步的，c纖維為貫穿上下纖維布層的纖維。

17、優(yōu)選的，所述載板所用纖維布為碳纖維布，c纖維為導熱纖維。

18、此結構的載板利用了陶瓷基復合材料低膨脹高穩(wěn)定的性狀，可以在1500-2000度的環(huán)境中重復使用，大大提高載板壽命，降低生產(chǎn)成本。載板豎直方向有加強筋增強，保證了大尺寸載板的平整度。載板豎直方向的加強筋纖維與底面纖維為連續(xù)結構，一體化制備而成，強度更高。載板水平方向是完整的平面纖維布，水平方向穩(wěn)定性高。

技術特征：

1.一種大尺寸陶瓷基復合材料載板，其特征在于：載板厚度20mm-40mm；所述載板正面有n個凹槽，n為正整數(shù)，凹槽深度為5mm-10mm；所述凹槽為長方體；所述載板背面有加強筋，加強筋垂直載板方向為寬度，加強筋平行載板的方向為長度或厚度；所述加強筋為經(jīng)緯向交錯；所述經(jīng)向相鄰加強筋之間的距離為200mm-600mm；所述緯向加強筋之間的距離為200mm-600mm；所述加強筋的厚度為2mm-15mm；所述加強筋的寬度為20mm-50mm；所述載板纖維結構由正面結構、底面結構、穿刺結構組成；正面結構是40-150層完整的纖維布鋪層；底面結構是20-60層纖維布鋪層，折疊出20mm-50mm的加強筋纖維布結構；底面結構加強筋纖維布和底面結構底面纖維布為連續(xù)纖維；穿刺結構為連接載板上下纖維布鋪層的結構。

技術總結
一種大尺寸陶瓷基復合材料載板，其特征在于：載板正面有凹槽，凹槽深度為5mm?25mm；載板背面有加強筋，加強筋為經(jīng)緯向交錯，相鄰加強筋之間的距離為200mm?600mm，緯向加強筋之間的距離為200mm?600mm，加強筋的厚度為2mm?15mm，加強筋的寬度為20mm?50mm；載板纖維結構由正面結構、底面結構、穿刺結構組成；正面結構是完整的纖維布鋪層，底面結構是維布鋪層，折疊出加強筋纖維布結構，穿刺結構為連接載板上下纖維布鋪層的結構。

技術研發(fā)人員：王震,吳斌,曾彬,夏丹麗
受保護的技術使用者：嘉興睿創(chuàng)新材料有限公司
技術研發(fā)日：20240522
技術公布日：2025/1/9