元件供應(yīng)裝置、元件安裝裝置及元件供應(yīng)方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及元件供應(yīng)裝置、元件安裝裝置及元件供應(yīng)方法，所述元件供應(yīng)裝置包括：料倉，收納托盤；元件供應(yīng)臺，能夠?qū)⒍鄠€托盤以最上位的托盤所載置的料盤位于元件取出用頭部的可動范圍內(nèi)且該料盤的上方敞開的狀態(tài)予以支撐；中繼裝置，使所述托盤相對于料倉及元件供應(yīng)臺出入。由此，能夠效率良好地供應(yīng)收納在料盤中的元件。
【專利說明】元件供應(yīng)裝置、元件安裝裝置及元件供應(yīng)方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及元件供應(yīng)裝置、元件安裝裝置及元件供應(yīng)方法，所述元件供應(yīng)裝置將元件供應(yīng)給元件安裝裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]作為將元件供應(yīng)給元件安裝裝置的元件供應(yīng)裝置，以往公知有日本專利公開公報特開2001-24386號(以下稱作“專利文獻”)中公開的裝置。該專利文獻中公開的元件供應(yīng)裝置是在附設(shè)于元件安裝裝置的狀態(tài)下使用的裝置，該裝置在QFP (Quad Flat Package,四側(cè)引腳扁平封裝)等封裝型的電子元件(以下簡稱作“元件”)收納于料盤中的狀態(tài)下供應(yīng)該元件。
[0003]該元件供應(yīng)裝置具備:料倉，分上下多層收納分別載置有所述料盤的托盤；拉出部，以能夠在上下方向移動的方式設(shè)置在所述料倉前方的位置，將托盤從料倉拉出并保持。
[0004]該元件供應(yīng)裝置中，以如下方式進行元件的供應(yīng)。首先，拉出部移動到載置有所需料盤的托盤的位置，將該托盤與料盤一同從料倉拉出并保持。之后，通過拉出部向上方移動而將該料盤設(shè)置于指定的元件供應(yīng)位置，詳細而言，將料盤設(shè)置到元件安裝裝置側(cè)的頭部能夠取出元件的指定的高度位置(元件供應(yīng)位置)。由此，將料盤上的元件供應(yīng)給元件安裝裝置。在元件供應(yīng)后，拉出部進行與上述相反的動作，由此使所述料盤返回料倉內(nèi)原本的位置。另外，料盤上因元件供應(yīng)而無元件時，在使該料盤返回料倉內(nèi)原本的位置之后，拉出部從料倉拉出收納有元件的下一料盤(托盤)，并使其向上方移動而將該料盤設(shè)置到指定的元件供應(yīng)位置。
[0005]上述以往的元件供應(yīng)裝置中，在元件安裝裝置側(cè)的頭部取出元件后，使元件供應(yīng)位置的料盤返回料倉，在從料倉拉出下一料盤并設(shè)置到元件供應(yīng)位置為止的期間，無法由所述頭部來取出料盤上的元件(下一元件)。因此，使所述頭部產(chǎn)生待機時間的情形不少，其并非是能夠有助于有效進行安裝作業(yè)的元件供應(yīng)裝置。尤其是在一個料盤中收納同一元件且連續(xù)供應(yīng)互不相同的元件(種類不同的元件)的情況下，由于要對料倉反復(fù)進行如上所述的料盤(托盤)的出入動作，因此有可能使安裝效率進一步下降。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明鑒于上述情況而作，其目的在于提供一種能夠效率良好地供應(yīng)收納在料盤中的元件的技術(shù)方案。
[0007]本發(fā)明一個方面涉及一種元件供應(yīng)裝置，其與能夠由具有指定的可動范圍的頭部取出收納在料盤中的元件的作業(yè)裝置相鄰設(shè)置，并且其包括:料倉，具有載置所述料盤的多個托盤，將這些托盤以沿上下方向排列的狀態(tài)且以能夠沿水平的第一方向出入的方式予以收納；元件供應(yīng)臺，在所述第一方向上與所述料倉相向地設(shè)置，能夠支撐從所述料倉被拉出的所述托盤；中繼裝置，以在所述料倉與所述元件供應(yīng)臺之間的位置能夠沿上下方向移動的方式設(shè)置，并且在所述料倉與所述元件供應(yīng)臺之間沿所述第一方向與所述料倉及所述元件供應(yīng)臺進行所述托盤的交接；其中，所述元件供應(yīng)臺將多個所述托盤以沿上下方向排列的狀態(tài)且該多個托盤中位于最上位的托盤所載置的料盤位于所述頭部的所述可動范圍內(nèi)并且該料盤的上方敞開的狀態(tài)予以支撐。
[0008]本發(fā)明還涉及另一種元件供應(yīng)裝置，其能夠與由具有指定的可動范圍的頭部取出收納在料盤中的元件的作業(yè)裝置相鄰設(shè)置，并且其包括:元件供應(yīng)臺，具備支撐部件及升降機構(gòu)，所述支撐部件具有多層的托盤支撐部，該多層的托盤支撐部能夠?qū)⑤d置所述料盤的多個托盤以沿上下方向排列的狀態(tài)且該多個托盤中位于最上位的托盤所載置的料盤位于所述頭部的可動范圍內(nèi)并且該料盤的上方敞開的狀態(tài)予以支撐，所述升降機構(gòu)執(zhí)行使被支撐在所述支撐部件最上層的所述托盤向下位層的移動及使被支撐在所述支撐部件下位層的所述托盤向最上層的移動中的至少一移動；中繼裝置，以能夠上下移動的方式設(shè)置在與所述元件供應(yīng)臺相鄰的位置，使所述托盤相對于所述元件供應(yīng)臺的各所述托盤支撐部出入。
[0009]本發(fā)明另一個方面涉及一種元件安裝裝置，其包括:頭部，具有指定的可動范圍，取出收納在料盤中的元件并安裝到基板上；所述元件供應(yīng)裝置；其中，所述元件供應(yīng)裝置以位于所述元件供應(yīng)臺最上層的托盤所載置的料盤位于所述頭部的可動范圍內(nèi)的方式設(shè)置。
[0010]本發(fā)明另外一個方面涉及一種元件供應(yīng)方法，其是利用所述元件供應(yīng)裝置來供應(yīng)元件的方法，該方法包括以下步驟:托盤拉出工序，通過所述中繼裝置從所述料倉將載置所述料盤的多個托盤依次拉出，使該多個托盤支撐于所述元件供應(yīng)臺的支撐部件；第一托盤移動工序或第二托盤移動工序，所述第一托盤移動工序是在從所述支撐部件所支撐的最上位的托盤的料盤中取出元件之后，通過所述中繼裝置從所述支撐部件拉出該最上位的托盤，并通過所述升降機構(gòu)使其他托盤逐層地向上位移動，然后通過所述中繼裝置將原本最上位的托盤移到最下位的工序，所述第二托盤移動工序是在從所述最上位的托盤的料盤中取出元件之后，通過所述中繼裝置從所述支撐部件拉出最下位的托盤，并通過所述升降機構(gòu)使其他托盤逐層地向下位移動，然后通過所述中繼裝置將原本最下位的托盤移到最上位的工序。
[0011 ] 根據(jù)本發(fā)明，能夠效率良好地供應(yīng)收納在料盤中的元件。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是表示本發(fā)明所涉及的元件供應(yīng)裝置與附設(shè)有該元件供應(yīng)裝置的元件安裝裝置(本發(fā)明的元件安裝裝置)的立體圖。
[0013]圖2是表示設(shè)置在元件供應(yīng)裝置中的中繼裝置的立體圖。
[0014]圖3A是表示中繼裝置的圖2的要部放大圖，圖3B是圖3A的A處的箭頭方向略圖。
[0015]圖4A表示卡合狀態(tài)的托盤及出入用頭部，圖4B表示非卡合狀態(tài)的托盤及出入用頭部。
[0016]圖5是表示設(shè)置在元件供應(yīng)裝置中的元件供應(yīng)臺的立體圖。
[0017]圖6是表示元件供應(yīng)臺的仰視圖。
[0018]圖7是表示螺桿軸及被該螺桿軸支撐的托盤的側(cè)視圖。
[0019]圖8是表示前后方向定位機構(gòu)的定位板與托盤的被卡合部的俯視圖。[0020]圖9A表示從料倉拉出托盤的緊前的狀態(tài)，圖9B表示托盤被移載到元件供應(yīng)臺(螺桿軸)的緊后的狀態(tài)。
[0021]圖1OA?圖1OD是元件供應(yīng)臺的示意圖,表示元件供應(yīng)裝置的元件供應(yīng)動作的一例。
[0022]圖11是表示元件供應(yīng)臺的其他實施方式的立體圖。
[0023]圖12是表示元件供應(yīng)臺的俯視圖。
[0024]圖13A?圖13D是說明元件供應(yīng)臺中的托盤的上升動作的示意圖。
[0025]圖14A?圖14D是說明元件供應(yīng)臺中的托盤的上升動作的示意圖。
[0026]圖15是表示本發(fā)明所涉及的元件供應(yīng)裝置與附設(shè)有該元件供應(yīng)裝置的元件安裝裝置(本發(fā)明的元件安裝裝置)的其他實施方式的平面示意圖。
【具體實施方式】
[0027]以下，參照附圖詳述本發(fā)明的較理想的一實施方式。
[0028]圖1以立體圖表示本發(fā)明所涉及的元件供應(yīng)裝置。在本圖及后文所用的附圖中，為了使方向關(guān)系明確化，顯示了 XYZ直角坐標(biāo)軸。
[0029]該元件供應(yīng)裝置10在與元件安裝裝置I (本發(fā)明的作業(yè)裝置的一例)相鄰設(shè)置的狀態(tài)下使用。本圖中，僅圖示了元件安裝裝置I的一部分。該元件安裝裝置I具備:基板搬送機構(gòu)2，包含沿X方向延伸的一對帶式搬送帶2a ;元件供應(yīng)部，供應(yīng)安裝用元件；以及頭部單元5，具備元件安裝用的可升降(可沿Z方向移動)的多個頭部5a且可沿XY方向移動，其中，對于由基板搬送機構(gòu)2搬入指定的作業(yè)位置并定位的印刷布線板(Printedwiring board, PffB)等基板3,通過所述頭部5a從元件供應(yīng)部取出元件并予以安裝。所述頭部5a具有固定的可動范圍,在該可動范圍內(nèi)內(nèi)，進行元件從元件供應(yīng)部的取出及基板3的元件安裝。
[0030]所述元件供應(yīng)裝置10構(gòu)成該元件安裝裝置I的所述元件供應(yīng)部。元件供應(yīng)裝置10主要為了供應(yīng)QFP等封裝型元件而可拆卸地連結(jié)于該元件安裝裝置I的后側(cè)(-Y方向側(cè))。以下，對該元件供應(yīng)裝置10的結(jié)構(gòu)進行詳述。另外，對于元件安裝裝置I及元件供應(yīng)裝置10，圖中所示的+Y方向側(cè)均為裝置前側(cè)，-Y方向側(cè)均為裝置后側(cè)。
[0031]元件供應(yīng)裝置10具備框架12、料倉14、元件供應(yīng)臺15、中繼裝置16、帶式送料器保持部18及中繼裝置16的升降驅(qū)動機構(gòu)等。
[0032]所述框架12包括具備移動用車輪111的俯視大致矩形的底座11a、及設(shè)立設(shè)置在該底座Ila的大致中央的剖面大致矩形的中空柱部lib。
[0033]所述料倉14組裝在該框架12的中空柱部Ilb的上端且其后側(cè)(-Y方向側(cè))。料倉14是將載置收納有元件的料盤的多個托盤P予以收納的箱形的部件，多個托盤P以沿上下方向(Z方向)排列的狀態(tài)，且以能夠沿前后方向(Y方向，相當(dāng)于本發(fā)明的第一方向)出入的方式被收納。料盤(省略圖示)是具有朝上打開且呈矩陣狀排列的多個元件收納用凹部的俯視矩形的盤形的部件。在所述料倉14的內(nèi)部，在本實施方式中收納有20片?30片托盤P。
[0034]此處，對托盤P的結(jié)構(gòu)進行說明。托盤P如圖4A所示，包括具備周壁部的俯視矩形的盤形的主體部6、以及在該主體部6的寬度方向(X方向，相當(dāng)于本發(fā)明的第二方向)兩端從所述周壁部的上端朝外延伸的凸緣部7。托盤P的凸緣部7從寬度方向外側(cè)受到支撐，從而在能夠拉出到裝置前側(cè)的狀態(tài)下支撐于料倉14內(nèi)。而且，托盤P在主體部6的前后兩端且其寬度方向中央分別具備被卡合部8。這些被卡合部8用于在托盤P相對于料倉14等出入時，將該托盤P連結(jié)于后述的中繼裝置16 (出入用頭部25A、25B)，在各被卡合部8上，在寬度方向兩側(cè)分別形成有朝外打開的俯視半圓形狀的切口部8a。另外，上述料盤在托盤P中的所述主體部6的周壁部的內(nèi)側(cè)，以沿著該周壁部的方式而載置，并通過例如磁鐵等固定部件而固定于該主體部6。
[0035]在所述料倉14上，在其背面(-Y方向側(cè)的側(cè)面)設(shè)置有元件更換用的開口部，在更換元件或補充元件時，經(jīng)由該開口部從料倉14的背面?zhèn)冗M行托盤P的出入。盡管省略了圖示，但托盤P例如以10片為一個單位而收納到指定的盒體(省略圖示)中，并將每個該盒體收納到料倉14中，從而經(jīng)由該盒體可拉出地支撐于所述料倉14內(nèi)。通過該結(jié)構(gòu)，在元件安裝裝置I中的生產(chǎn)基板3的變更等時，能夠統(tǒng)一更換料倉14內(nèi)的多個料盤(元件)。
[0036]所述元件供應(yīng)臺15如后文將詳述的，以在上下方向上(Z方向)排列的狀態(tài)支撐多個托盤P。如圖1所示，元件供應(yīng)臺15以相對于料倉14而在Y方向上相向的方式，組裝在所述框架12的中空柱部Ilb的上端且其前側(cè)(+Y方向側(cè))。并且，所述中繼裝置16可升降(可沿Z方向移動)地設(shè)置在該元件供應(yīng)臺15與所述料倉14之間的位置、即俯視時的框架12的所述中空柱部Ilb內(nèi)側(cè)的位置。
[0037]中繼裝置16在與料倉14及元件供應(yīng)臺15之間進行托盤P的出入(交接)。如圖2所示，該中繼裝置16包括框架20、兩個出入用頭部25A、25B(第一出入用頭部25A、第二出入用頭部25B)、用于使這些出入用頭部25A、25B沿前后方向(Y方向)移動的出入用頭部驅(qū)動機構(gòu)、以及用于驅(qū)動出入用頭部25A、25B的后述卡合部253的卡合部驅(qū)動機構(gòu)。
[0038]所述框架20具有俯視大致矩形的底板21、以及設(shè)立設(shè)置在該底板21的寬度方向(X方向)兩端并沿前后方向延伸的一對側(cè)壁22。在各側(cè)壁22的上端部，具備沿前后方向延伸的引導(dǎo)部24(相當(dāng)于本發(fā)明的引導(dǎo)部)。這些引導(dǎo)部24沿前后方向引導(dǎo)所述托盤P。各引導(dǎo)部24具有能夠支撐托盤P的凸緣部7并在寬度方向(X方向)上約束該托盤P且沿前后方向引導(dǎo)該托盤P的剖面形狀，至少對托盤P的滑接部分，實施用于降低摩擦系數(shù)的例如硬質(zhì)耐酸鋁處理等表面處理。
[0039]所述第一、第二的出入用頭部25A、25B使托盤P相對于料倉14及元件供應(yīng)臺15出入。本例中，第一出入用頭部25A進行托盤P相對于料倉14的出入，第二出入用頭部25B進行托盤P相對于元件供應(yīng)臺15的出入。
[0040]這些出入用頭部25A、25B以框架20的寬度方向中間為界而設(shè)置在其兩側(cè)。各出入用頭部25A、25B分別可移動地支撐于固定在底板21上且沿Y方向延伸的滑軌26。
[0041]出入用頭部25A、25B分別具備安裝于所述滑軌26的主體部251、以及以相對于該主體部251可沿X方向移動的方式支撐于該主體部251上部的可動部252。
[0042]在可動部252上設(shè)有卡合部253。該卡合部253用于在托盤P相對于料倉14等的出入時，將出入用頭部25A、25B連結(jié)于該托盤P。
[0043]如圖3A、圖3B所示，卡合部253具備可卡合于托盤P的形狀、具體而言為可卡合于所述被卡合部8的切口部8a的剖面圓形的軸狀的卡合爪253a?？ê喜?53能夠向可卡合于托盤P的位置與退避到托盤P下方的位置位移。具體而言，卡合部253以在卡合爪253a從可動部252朝上突出的工作位置(本圖中實線所示的位置)與該卡合爪253a相對于可動部252而橫向放倒的退避位置(圖3B的兩點劃線所示的位置)的范圍能夠傾動的方式設(shè)置，并由所述卡合部驅(qū)動機構(gòu)予以驅(qū)動。若詳細說明，在所述可動部252上，沿Y方向延伸的支撐軸254繞其軸旋轉(zhuǎn)自如地受到支撐。在該支撐軸254的一側(cè)的端部固定有所述卡合部253，在另一側(cè)的端部固定有小齒輪255。并且，在所述主體部251上固定有齒條256，所述小齒輪255嚙合于該齒條256。通過該結(jié)構(gòu)，當(dāng)可動部252相對于所述主體部251沿X方向移動時，伴隨該可動部252的移動，所述小齒輪255、支撐軸254及卡合部253將一體地旋轉(zhuǎn)，由此卡合部253向所述工作位置與退避位置位移。并且，在卡合部253被設(shè)置于工作位置的狀態(tài)下，如圖4A所示，卡合爪253a能夠卡合于托盤P的被卡合部8 (切口部8a)，另一方面，在卡合部253被設(shè)置于退避位置的狀態(tài)下，如圖4B所示，該卡合狀態(tài)將被解除。
[0044]所述卡合部驅(qū)動機構(gòu)通過驅(qū)動可動部252進退，從而使所述卡合部253在所述工作位置與退避位置的范圍位移。該卡合驅(qū)動機構(gòu)如圖2所示，包括:擺動部件28，在X方向上分別設(shè)置在出入用頭部25A、25B的外側(cè)，經(jīng)由與Y方向成平行的支撐軸281而可擺動地支撐于所述底板21 (框架20)上；以及氣缸29，連結(jié)于該擺動部件28，對應(yīng)于氣壓的供排切換來使該擺動部件28擺動。擺動部件28具備沿Y方向延伸的引導(dǎo)軸282，各出入用頭部25A、25B的可動部252經(jīng)由軸承等可移動地安裝于該引導(dǎo)軸282。即，所述卡合部驅(qū)動機構(gòu)通過氣缸29的工作來使擺動部件28繞支撐軸281擺動，隨著該擺動部件28的擺動，經(jīng)由所述引導(dǎo)軸282使可動部252沿X方向移動。
[0045]各出入用頭部25A、25B通過所述出入用頭部驅(qū)動機構(gòu)，沿著滑軌26而彼此朝相反方向移動。該出入用頭部驅(qū)動機構(gòu)包括:一對滑輪30，分別可旋轉(zhuǎn)地支撐于底板21上的兩滑軌26之間的位置且Y方向的兩端；無端狀的驅(qū)動帶32，掛設(shè)在這些滑輪30上；電動機34 ;以及傳動機構(gòu)，向所述滑輪30中的一側(cè)的滑輪30傳遞所述電動機34的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力。并且，出入用頭部25A、25B的主體部251分別相對于驅(qū)動帶32而連結(jié)(固定)。即，出入用頭部驅(qū)動機構(gòu)通過電動機34使驅(qū)動帶32沿周方向移動，伴隨該驅(qū)動帶32的移動，使出入用頭部25A、25B分別沿著滑軌26及引導(dǎo)軸282而朝相反方向移動。
[0046]另外，各出入用頭部25A、25B如圖2所示，具有彼此對稱的結(jié)構(gòu)。即，各出入用頭部25A、25B構(gòu)成為:在前后方向(Y方向)上，卡合部253位于框架20的外側(cè)，且在該卡合部253被設(shè)置于退避位置的狀態(tài)下,卡合爪253a相互朝向框架20的寬度方向(X方向)外偵U。而且，以當(dāng)?shù)谝怀鋈胗妙^部25A位于框架20的前后方向的一側(cè)的端部時，第二出入用頭部25B位于框架20的另一側(cè)的端部的方式，分別將出入用頭部25A、25B連結(jié)于所述帶32。
[0047]通過該結(jié)構(gòu)，中繼裝置16如后文將詳述的，通過在使第一出入用頭部25A的卡合部253卡合于托盤P的前側(cè)(+Y方向側(cè))的被卡合部8(相當(dāng)于本發(fā)明的第一被卡合部)的狀態(tài)下，使該第一出入用頭部25A沿Y方向移動，從而使托盤P相對于料倉14出入，并通過在使第二出入用頭部25B的卡合部253卡合于托盤P的后側(cè)(-Y方向側(cè))的被卡合部8 (相當(dāng)于本發(fā)明的第二被卡合部)的狀態(tài)下，使該第二出入用頭部25B沿Y方向移動，從而使托盤P相對于元件供應(yīng)臺15出入。
[0048]中繼裝置16如圖1所示，可移動地支撐于被固定在所述中空柱部Ilb (框架12)上且沿上下方向(Z方向)延伸的滑軌36，由所述升降驅(qū)動機構(gòu)進行升降驅(qū)動。該升降驅(qū)動機構(gòu)具有:螺桿軸38，可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述中空柱部11b，且螺合插入組裝在框架20中的圖外的螺母部件；以及驅(qū)動該螺桿軸38旋轉(zhuǎn)的電動機(省略圖示)等，通過利用該電動機來驅(qū)動螺桿軸38正反旋轉(zhuǎn)，從而使所述中繼裝置16升降。該升降驅(qū)動機構(gòu)以使中繼裝置16在料倉14的整個托盤收納區(qū)域范圍能夠移動的方式，而設(shè)定其可動范圍。因而，中繼裝置16能夠使收納在料倉14內(nèi)的任意托盤P出入。
[0049]所述元件供應(yīng)臺15從中繼裝置16接取從料倉14拉出的托盤P，并以能夠由所述頭部單元5取出元件的方式來支撐該托盤P (料盤)。
[0050]如圖5所示，元件供應(yīng)臺15包括:俯視矩形的底板40 ;四根螺桿軸42(相當(dāng)于本發(fā)明的支撐部件)，用于以位于最上位的托盤P內(nèi)載置的料盤位于所述元件安裝裝置I的頭部5a的可動范圍內(nèi)且該料盤的上方敞開的狀態(tài)、且以在上下方向上排列的狀態(tài)支撐多個托盤P ;托盤升降機構(gòu)(相當(dāng)于本發(fā)明的升降機構(gòu))，用于使由這些螺桿軸42所支撐的托盤P在保持它們的位置關(guān)系的狀態(tài)下聯(lián)動地在上下方向上移動；寬度方向定位機構(gòu)44，用于在寬度方向(X方向)上定位托盤P ;以及前后方向定位機構(gòu)46，用于在前后方向上定位托盤P。
[0051]元件供應(yīng)臺15在無托盤P的狀態(tài)下，四根螺桿軸42內(nèi)側(cè)的空間(稱作“存放部Sp”)從底板40朝上方敞開。
[0052]所述四根螺桿軸42是從其基端部附近的位置至遠端部的范圍同一形狀的螺紋牙連續(xù)地形成為螺旋狀的相同的螺桿軸。各螺桿軸42分別豎立設(shè)置在所述底板40的四角。另一方面，托盤P的所述凸緣部7形成為能夠沿著Y方向插入所述螺桿軸42的螺槽。SP，螺桿軸的螺槽設(shè)為托盤的支撐部(以下適當(dāng)?shù)胤Q作“托盤支撐部”)，如圖1及圖7所示，四根螺桿軸42通過將托盤P插入分別位于底板40的寬度方向(X方向)兩端的螺桿軸42之間、且其凸緣部7插入各螺桿軸42的螺槽(谷部)，從而支撐托盤P。本例中，如圖7所示，螺桿軸42的軸長及螺紋的節(jié)距被設(shè)定成:在側(cè)視時隔一個螺槽支撐托盤P，且能夠在上下方向上并列支撐最多5片托盤P。并且，元件供應(yīng)臺15的高度位置被設(shè)定成:這樣支撐有5片托盤P時的最上位的托盤P的高度位置、準(zhǔn)確地講由該托盤P所支撐的料盤中的元件的高度位置成為元件安裝裝置I的所述頭部5a取出元件的高度位置。而且，所述料倉14相對于元件供應(yīng)臺15的高度位置被設(shè)定成:該最上位的托盤P的高度位置與由料倉14所支撐的最上位的托盤P的高度位置為大致相同。即，本例中，如上所述，各螺桿軸42的螺槽(谷部)成為托盤支撐部。詳細而言，通過將每兩節(jié)距的螺槽設(shè)為托盤支撐部，從而四根螺桿軸42具有多層(五層)托盤支撐部。并且，各螺桿軸42的螺槽中的、成為所述頭部單元5(頭部5a)取出元件的高度位置的最上位的螺槽成為最上層的托盤支撐部。
[0053]另外，當(dāng)在螺桿軸42上支撐多片托盤P時，由該最上位的托盤P所支撐的料盤(最上位的料盤)朝上方敞開。如上所述，在所述元件安裝裝置I的后側(cè)(-Y方向側(cè))連結(jié)有元件供應(yīng)裝置10的狀態(tài)下，元件供應(yīng)臺15位于頭部單元(頭部5a)的XY方向上的可動范圍MA(參照圖1)內(nèi)，所述頭部5a能夠從由通過支撐于最上層而上方敞開的最上位的托盤P所支撐的料盤吸附元件。
[0054]所述托盤升降機構(gòu)通過使各螺桿軸42朝同一方向同步地旋轉(zhuǎn)，從而使由該螺桿軸42所支撐的各托盤P—邊保持它們的位置關(guān)系一邊一體地升降。詳細而言，該托盤升降機構(gòu)如圖5及圖6所示，包括:軸承等螺桿軸支撐部410(相當(dāng)于本發(fā)明的第一支撐部)，設(shè)置在底板40上，能夠使各螺桿軸42繞軸旋轉(zhuǎn)地進行支撐；以及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)，使各螺桿軸42朝同一方向同步地旋轉(zhuǎn)。該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)包括:滑輪411，在底板40的下方安裝于各螺桿軸42 ;無端狀的傳動帶413，掛設(shè)在這些滑輪411上；張力滑輪412、414，用于張設(shè)該傳動帶413 ;驅(qū)動滑輪415，與張力滑輪414同軸地設(shè)置；電動機430 ;滑輪431，安裝于該電動機430的輸出軸；以及驅(qū)動帶432，掛設(shè)在該滑輪431與所述驅(qū)動滑輪415上。即，托盤升降機構(gòu)將電動機430的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力經(jīng)由所述各滑輪及帶傳遞至各螺桿軸42，從而使各螺桿軸42同步旋轉(zhuǎn)，并且通過電動機430的驅(qū)動方向的切換來切換螺桿軸42的旋轉(zhuǎn)方向。由此，托盤升降機構(gòu)使托盤P伴隨各螺桿軸42的旋轉(zhuǎn)而沿著它們的螺槽朝上下方向移動。
[0055]所述寬度方向定位機構(gòu)44通過從寬度方向兩側(cè)包夾由各螺桿軸42所支撐的托盤P，從而以底板40的寬度方向中央為基準(zhǔn)來定位各托盤P。詳細而言，寬度方向定位機構(gòu)44如圖5所不,包括:一對定位板440,設(shè)置在底板40的寬度方向(X方向)兩端；以及板驅(qū)動機構(gòu)，使這些定位板440沿X方向移動。
[0056]各定位板440相互平行且在X方向上對置地排列，在這些的相向面上，形成有用于使由螺桿軸42所支撐的托盤P的凸緣部7介隔的多個導(dǎo)槽441。各定位板440位于前后排列的螺桿軸42之間，且可移動地支撐于固定于所述底板40且沿X方向延伸的滑軌442。具體而言，各定位板440以能夠在工作位置與退避位置的范圍移動的方式而支撐于所述滑軌442，所述工作位置是由螺桿軸42所支撐的托盤P(凸緣部7)的端部以抵接于所述導(dǎo)槽441的內(nèi)底部的方式相互接近的位置，所述退避位置是從該工作位置向外側(cè)移動的位置且允許各托盤P在該各定位板440之間在上下方向上移動的位置。
[0057]所述板驅(qū)動機構(gòu)包括:第一連桿部件445，沿前后方向延伸且在其長度方向的大致中間經(jīng)由支撐軸448而可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述底板40 ;—對第二連桿部件446，分別利用鉸鏈結(jié)構(gòu)來連結(jié)該第一連桿部件445的長度方向兩端與各定位板440 ;以及氣缸447,連結(jié)于所述第一連桿部件445，對應(yīng)于氣壓的供排切換來繞支撐軸448驅(qū)動該第一連桿部件445。即，板驅(qū)動機構(gòu)通過氣缸447來使第一連桿部件445繞支撐軸448擺動，伴隨該第一連桿部件445的擺動，經(jīng)由各第二連桿部件446使各定位板440在工作位置與退避位置的范圍沿寬度方向(X方向)移動。
[0058]所述前后方向定位機構(gòu)46以底板40的前端部為基準(zhǔn)而在前后方向上定位由螺桿軸42所支撐的托盤P，且在托盤P的升降時，在該定位狀態(tài)下分別在上下方向上引導(dǎo)各托盤P。
[0059]前后方向定位機構(gòu)46包括:一對定位板460，在前后方向(Y方向)上具有厚度，沿著底板40的前端面而排列在寬度方向(X方向)上；以及板驅(qū)動機構(gòu)，使這些定位板460沿X方向移動。
[0060]各定位板460如圖1及圖5所示，具備引導(dǎo)部460a，該引導(dǎo)部460a正視呈大致直角三角形狀，在X方向上相互相向地沿上下方向延伸。各定位板460的引導(dǎo)部460a如圖8所示，以能夠從外側(cè)(X方向外側(cè))卡合于托盤P前側(cè)的被卡合部8、且一邊保持該卡合狀態(tài)一邊允許托盤P朝上下方向位移的方式，形成為與該被卡合部8的切口部8對應(yīng)的剖面半圓形。另外，對于定位板460的各引導(dǎo)部460a，實施有用于降低與托盤P(被卡合部8)的摩擦系數(shù)的例如硬質(zhì)耐酸鋁處理等表面處理。
[0061]各定位板460分別可移動地支撐于固定于底板40的前端面且沿X方向延伸的滑軌461。具體而言，各定位板460可向引導(dǎo)部460a卡合于由螺桿軸42所支撐的托盤P的被卡合部8 (各切口部8a)的工作位置(圖8的兩點劃線所示的位置)、與從該工作位置退避到外側(cè)的退避位置(圖8的實線所示的位置)位移地受到支撐。并且，在各定位板460被設(shè)置于工作位置的狀態(tài)下，各引導(dǎo)部460a卡合于托盤P前側(cè)的被卡合部8，通過該卡合，在前后方向上定位托盤P，另一方面，在各定位板460被設(shè)置于退避位置的狀態(tài)下，允許托盤P的前后方向的移動。
[0062]所述板驅(qū)動機構(gòu)如圖6所示，包括:氣缸462，以輸出軸沿著兩底板40的中心線(通過寬度方向中心并與Y方向平行地延伸的線)進退的方式而固定于底板40的下表面；以及一對連桿463，分別利用鉸鏈結(jié)構(gòu)連結(jié)于該氣缸462的工作軸與各底板40。通過該結(jié)構(gòu)，板驅(qū)動機構(gòu)通過所述氣缸462的工作，經(jīng)由連桿463分別使各底板40沿寬度方向均等地移動。
[0063]另外，在圖5中，符號48是豎立設(shè)置在底板40的后端且其寬度方向兩端的托盤引導(dǎo)部件。這些托盤引導(dǎo)部件48在通過所述中繼裝置16使托盤P出入元件供應(yīng)臺15時，弓丨導(dǎo)各托盤P的凸緣部7。在各托盤引導(dǎo)部件48上，形成有與所述定位板440的導(dǎo)槽441同等的導(dǎo)槽481。
[0064]所述帶式送料器保持部18如圖1所示，被固定于所述框架20的中空柱部Ilb的側(cè)面。該帶式送料器保持部18以沿寬度方向并列排列的狀態(tài)來支撐多個帶式送料器(省略圖示)。另外，帶式送料器包括卷繞有收納、保持1C、晶體管、電容器等小片狀的芯片元件的帶的卷軸，一邊從該卷軸間歇性地送出帶，一邊將元件供應(yīng)到元件安裝裝置I的所述頭部單元5。
[0065]接下來，對上述元件供應(yīng)裝置10的元件供應(yīng)動作進行說明。另外，雖省略圖示，但元件供應(yīng)裝置10具備控制元件供應(yīng)臺15及中繼裝置16的控制裝置，以下的動作是通過由該控制裝置控制元件供應(yīng)臺15及中繼裝置16來進行。
[0066]<從料倉14拉出托盤P >
[0067]中繼裝置16在上下方向上移動，并停止在與支撐有所需料盤的托盤P對應(yīng)的高度位置、即能夠?qū)⑼斜PP拉出到引導(dǎo)部24上的高度位置。此時，各出入用頭部25A、25B被設(shè)置在可動范圍內(nèi)的指定的待機位置，各卡合部253被設(shè)置在所述退避位置。
[0068]當(dāng)中繼裝置16到達與所需托盤P對應(yīng)的高度位置時，如圖9A所示，第一出入用頭部25A移動到其可動范圍內(nèi)的后端之后，該第一出入用頭部25A的卡合部253由退避位置切換到工作位置。通過該切換，卡合爪253a卡合于托盤P前側(cè)的被卡合部8 (切口部8a)，以連結(jié)該托盤P與第一出入用頭部25A。并且，通過第一出入用頭部25A在此狀態(tài)向前方(+Y方向)移動，托盤P由引導(dǎo)部24予以支撐且被引入中繼裝置16內(nèi)。而且，與該第一出入用頭部25A的移動聯(lián)動地，第二出入用頭部25B向后方(-Y方向)移動。此時，第二出入用頭部25B的卡合部253被設(shè)置于退避位置，因而，該卡合部253 (卡合爪253a)不會干涉到托盤P。
[0069]出入用頭部25A、25B的位置前后調(diào)換，當(dāng)兩出入用頭部25A、25B移動到第二出入用頭部25B的卡合部253能夠卡合于該托盤P后側(cè)的被卡合部8的位置時，第二出入用頭部25B的卡合部253由退避位置切換到工作位置，隨后，第一出入用頭部25A的卡合部253由工作位置切換到退避位置。即，托盤P與第一出入用頭部25A的連結(jié)得以解除，該托盤P連結(jié)于第二出入用頭部25B。
[0070]<將托盤P移載至元件供應(yīng)臺15 >[0071]當(dāng)托盤P從料倉14被引入中繼裝置16時，或者當(dāng)托盤P被引入中繼裝置16，而且出入用頭部25A、25B與托盤P的上述連結(jié)切換完成時，中繼裝置16在上下方向上移動，并停止在能夠?qū)⑼斜PP從引導(dǎo)部24送出到元件供應(yīng)臺15(螺桿軸42)的高度位置。此時，如上所述，螺桿軸42能夠分上下五層支撐托盤P，中繼裝置16停止在與所述五層中的所需的層對應(yīng)的高度位置。
[0072]當(dāng)中繼裝置16到達與該所需的層對應(yīng)的高度位置時，第二出入用頭部25B向前方移動，如圖9B所示，托盤P沿著引導(dǎo)部24從該中繼裝置16被推出到元件供應(yīng)臺15側(cè)。此時，托盤P的凸緣部7 —邊沿著托盤引導(dǎo)部件48的導(dǎo)槽481受到引導(dǎo)一邊首先被導(dǎo)向后側(cè)的各螺桿軸42的螺槽內(nèi)，然后一邊沿著定位板440的導(dǎo)槽441受到引導(dǎo)，一邊被導(dǎo)向前側(cè)的各螺桿軸42的螺槽內(nèi)。由此，通過四根螺桿軸42來支撐托盤P。此時，寬度方向定位機構(gòu)44的各定位板440及前后方向定位機構(gòu)46的各定位板460均被設(shè)置到退避位置。
[0073]當(dāng)?shù)诙鋈胗妙^部25B移動到其可動范圍的前端(或指定的前方位置)，托盤P從中繼裝置16完全被推出而該托盤P完全由螺桿軸42予以支撐時,前后方向定位機構(gòu)46的定位板460由退避位置切換到工作位置。由此，各定位板460的引導(dǎo)部460a卡合于托盤P前側(cè)的被卡合部8(切口部8a)，托盤P在元件供應(yīng)臺15中，在前后方向上受到定位。而且，與此并行地，寬度方向定位機構(gòu)44的兩定位板440切換到工作位置，由此，托盤P在元件供應(yīng)臺15上，在寬度方向上受到定位。隨后，第二出入用頭部25B的卡合部253從工作位置切換到退避位置，由此，托盤P與該第二出入用頭部25B的連結(jié)得以解除。
[0074]<向元件安裝裝置I供應(yīng)元件>
[0075]此處，例如當(dāng)載置收納取出對象元件的料盤的托盤P被支撐于存放部Sp的最上層時，通過元件安裝裝置I的頭部單元5，從載置于該托盤P上的料盤取出元件。
[0076]另一方面，在該托盤P例如被支撐于存放部Sp的第二層(從上數(shù)第二層)且在最上層支撐有其他托盤P的情況下，將最上層的托盤P從元件供應(yīng)臺15拉出至中繼裝置16，隨后，使該第二層的托盤P上升至最上層之后，從該托盤P進行元件的取出。
[0077]該托盤P的上升是通過四根螺桿軸42借助電動機430的工作而同步地朝同一方向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動來進行。即，通過各螺桿軸42同步旋轉(zhuǎn)，托盤P沿著螺槽從第二層上升到最上層。另外，這樣螺桿軸42受到旋轉(zhuǎn)驅(qū)動時，前后方向定位機構(gòu)46的定位板460維持被設(shè)置到工作位置的狀態(tài)，另一方面，寬度方向定位機構(gòu)44的各定位板440被設(shè)置到退避位置。由此，托盤P的被卡合部8沿著定位板460 (引導(dǎo)部460a)受到引導(dǎo)且穩(wěn)定地上升。而且，當(dāng)托盤P到達最上層時，通過寬度方向定位機構(gòu)44的工作，各定位板440在退避位置與工作位置之間進退驅(qū)動一至多次，由此進行托盤P的寬度方向的定位。并且，在托盤P的定位之后，在前后方向定位機構(gòu)46的各定位板460與寬度方向定位機構(gòu)44的各定位板440分別保持被設(shè)置在工作位置的狀態(tài)下，通過頭部單元5，從載置于該托盤P內(nèi)的料盤取出元件。
[0078]〈收納托盤P〉
[0079]完成元件供應(yīng)的托盤P從元件供應(yīng)臺15被拉出到中繼裝置16上，并按照與上述動作相反的動作而返回料倉14。S卩，中繼裝置16移動到與最上層的托盤P對應(yīng)的高度位置之后，通過第二出入用頭部25B將由螺桿軸42所支撐的托盤P從元件供應(yīng)臺15引入到中繼裝置16上。然后，中繼裝置16在上下方向上移動，并且在該移動過程中，托盤P與第二出入用頭部25B的連結(jié)得以解除，從而該托盤P連結(jié)于第一出入用頭部25A。并且，當(dāng)中繼裝置16到達料倉14的所需的空的托盤收納高度位置時，第一出入用頭部25A移動到后側(cè)而將托盤P從中繼裝置16推出到料倉14內(nèi)，在該推出之后，解除該第一出入用頭部25A與托盤P的連結(jié)。由此，托盤P往料倉14上的收納完成。另外，如上所述，寬度方向定位機構(gòu)44的各定位板440在托盤P的升降時及托盤P相對于中繼裝置16的交接時被保持在退避位置，除此以外被保持在工作位置。另一方面，前后方向定位機構(gòu)46的各定位板460在托盤P相對于中繼裝置16的交接時被保持在退避位置，除此以外被保持在工作位置。
[0080]以上，對用于通過該元件供應(yīng)裝置10對元件安裝裝置I (頭部單元5)供應(yīng)元件的一連串的基本動作進行說明，但以下，參照圖10說明更具體的動作的一例。圖10所示的例子是在將收納于料倉14中的元件中的、特定的五種元件作為一組供應(yīng)給元件安裝裝置I的情況、例如在一片基板3上安裝上述五種元件的情況下有用的動作的一例。
[0081]本例中，首先按照上述動作從料倉14拉出分別支撐有五種元件(料盤)的托盤Pl?P5并移載到元件供應(yīng)臺15。此時，以由頭部單元5先取出的元件(元件安裝裝置I中的安裝順序早的元件)位于上位的方式，使各托盤Pl?P5支撐于螺桿軸42 (圖1OA ;相當(dāng)于本發(fā)明的托盤拉出工序)。
[0082]并且，當(dāng)通過頭部單元5取出由位于最上層(最上位)的托盤Pl所支撐的最初的元件時，將該托盤Pl從元件供應(yīng)臺15拉出至中繼裝置16，并且在該拉出后，立即驅(qū)動螺桿軸42旋轉(zhuǎn)，使由第二層?第五層所支撐的各托盤P2?P5聯(lián)動地逐層上升。由此，將支撐下個元件的托盤P2設(shè)置于能夠由頭部單元5取出的最上層。而且，使中繼裝置16下降，將原本最上層的托盤Pl移到最下層(最下位；第五層)(圖1OB?圖1OD ;相當(dāng)于本發(fā)明的第一托盤移動工序)。
[0083]以后，同樣地，伴隨從位于最上層的托盤P取出元件，將該最上層的托盤P拉出至中繼裝置16上，并使其他托盤P聯(lián)動地逐層上升，使原本最上層的托盤P移動到最下層。由此，反復(fù)對元件安裝裝置I供應(yīng)上述五種元件。
[0084]如上所述，上述的元件供應(yīng)裝置10獨立于使托盤P相對于料倉14出入的中繼裝置16而具備元件供應(yīng)臺15，該元件供應(yīng)臺15具有能夠分上下多層(至少兩層)存放所拉出的托盤P、并且在無托盤P的狀態(tài)下能夠?qū)⒃撋舷露鄬拥拇娣挪縎p朝上方敞開且使存放的托盤P在上下方向上移動的功能。因此，中繼裝置16能夠?qū)⑾刃械耐斜PP (先行元件)供應(yīng)給元件供應(yīng)臺15并在保持殘留于存放部Sp最上層的狀態(tài)下，移到后續(xù)托盤P (后續(xù)元件)的拉出動作(從料倉14的拉出動作)。因而，根據(jù)該元件供應(yīng)裝置10，能夠比以往的此種元件供應(yīng)裝置更有效地進行元件供應(yīng)。即，在僅具備料倉及相對于該料倉進行托盤的出入的拉出部且從由拉出部拉出的托盤直接取出元件的以往的元件供應(yīng)裝置(【背景技術(shù)】中說明的專利文獻I)中，從先行的托盤取出元件的操作結(jié)束，此外，只有在使該托盤返回料倉之后，才能進行下個托盤(元件)的準(zhǔn)備。因此，元件安裝裝置側(cè)的頭部產(chǎn)生待機時間。與此相對，根據(jù)上述元件供應(yīng)裝置10，將先行的托盤P移載到元件供應(yīng)臺15之后，立即轉(zhuǎn)變到后續(xù)托盤P的拉出動作，由此，能夠利用頭部單元5取出該先行托盤P中的元件的期間，而事先在元件供應(yīng)臺15的存放部Sp的下位的層準(zhǔn)備下個托盤P (元件)，而且，能夠使中繼裝置16移動到與最上層相同的高度位置并待機。并且，在從先行的托盤P結(jié)束元件的取出后，將該先行托盤P從元件供應(yīng)臺15拉出至中繼裝置16，并使下個托盤P (元件)上升至最上層，由此，能夠迅速地供應(yīng)下個托盤P的元件。因而，根據(jù)該元件供應(yīng)裝置10，能夠縮短以往般的待機時間，相應(yīng)地，能夠比以往的元件安裝裝置更高效地進行元件供應(yīng)。
[0085]而且，只要使用所述中繼裝置16，以從上位開始依序按照供應(yīng)順序來設(shè)置元件(料盤)的方式預(yù)先在元件供應(yīng)臺15中準(zhǔn)備多個托盤P，由頭部單元5取出元件之后，只要通過中繼裝置16從元件供應(yīng)臺15拉出最上位的托盤P，便能夠使元件供應(yīng)臺15上的托盤P自動上升，以從最上位的托盤P進行下個元件的取出。另外，由中繼裝置16拉出的先行托盤P將返回料倉14，或者被收納到元件供應(yīng)臺15的存放部Sp的下位的層(未保持托盤P的托盤支撐部)。此種情況下，能夠以非常短的時間間隔，按照預(yù)定的順序從不同的托盤P連續(xù)地對元件安裝裝置I供應(yīng)元件。因而，根據(jù)該元件供應(yīng)裝置10，在此方面，也能夠高效地進行元件供應(yīng)。尤其，在將特定的多種元件作為一組并要求按照預(yù)定的順序來連續(xù)且反復(fù)供應(yīng)的情況下，如圖10的例子般，以從上位開始依次按照供應(yīng)順序設(shè)置元件(料盤)的方式預(yù)先使多個托盤Pl?P5支撐于螺桿軸42上，并且使該托盤Pl?P5在元件供應(yīng)臺15中循環(huán)，即，如上所述，通過中繼裝置16拉出最上位的托盤P，并使其他托盤P同步地逐層上升后，使原本最上位的托盤P移動到最下位，由此，能夠反復(fù)高效地將這一組元件供應(yīng)至元件安裝裝置I。根據(jù)此種方法，無須如以往的元件供應(yīng)裝置般，對于每個元件而每次對料倉進行托盤的出入，從而能夠以非常短的時間間隔來將這一組元件反復(fù)供應(yīng)至元件安裝裝置I。因而，根據(jù)該元件供應(yīng)裝置10，在此方面，也能夠高效地進行元件供應(yīng)。
[0086]而且，上述元件供應(yīng)臺15具備作為托盤P的支撐部件的多個螺桿軸42，通過使托盤P的凸緣部7介隔在該螺桿軸42的螺槽內(nèi)，從而支撐該托盤P，并且通過各螺桿軸42同步地受到旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，從而伴隨該螺桿軸42的旋轉(zhuǎn)，使托盤P同步地在上下方向上移動。根據(jù)此種元件供應(yīng)臺15的結(jié)構(gòu)，無須伴著支撐托盤P的支撐部件(螺桿軸42)的上下方向的移動，只利用該支撐部件(螺桿軸42)的工作(旋轉(zhuǎn))便能夠使各托盤P聯(lián)動且順滑地在上下方向上移動。因而，還具有下述優(yōu)點:能夠以非常簡單的結(jié)構(gòu)，并且抑制托盤升降機構(gòu)的占用空間且以相對較小的驅(qū)動力，來達成托盤P的上下移動。
[0087]而且，上述元件供應(yīng)臺15具備寬度方向定位機構(gòu)44及前后方向定位機構(gòu)46，能夠在前后方向(Y方向)及寬度方向(X方向)上定位由螺桿軸42所支撐的托盤P，因此具有下述優(yōu)點:既能如上所述般通過螺桿軸42的驅(qū)動來使托盤P在上下方向上移動，又能夠由頭部單元5高精度地取出元件。即，在如上所述的結(jié)構(gòu)中，考慮因螺桿軸42的旋轉(zhuǎn)力作用于托盤P，各托盤P會相對于螺桿軸42而在前后方向及寬度方向上發(fā)生偏移。但是，根據(jù)具備寬度方向定位機構(gòu)44及前后方向定位機構(gòu)46的上述元件供應(yīng)臺15,通過寬度方向定位機構(gòu)44的定位板440在托盤P的上下方向移動后設(shè)置到工作位置，而且，前后方向定位機構(gòu)46的定位板460在托盤P的上下方向移動過程中及移動后設(shè)置到工作位置，從而抑制或防止如上所述的托盤P的偏移。因此，根據(jù)該元件供應(yīng)裝置10，既能采用使用螺桿軸42作為托盤P的支撐部件，伴隨該螺桿軸42的旋轉(zhuǎn)來使托盤P在上下方向上移動的結(jié)構(gòu)，又能高精度地進行頭部單元5對元件的取出。
[0088]另外，在上述元件供應(yīng)臺15中，也能夠省略寬度方向定位機構(gòu)44。此時，在托盤P上設(shè)置有多個基準(zhǔn)標(biāo)記(例如在托盤P的外周設(shè)置有兩個基準(zhǔn)標(biāo)記)，在元件供應(yīng)臺15的最上層設(shè)置有托盤P的狀態(tài)下，使用搭載于頭部單元5中的基板相機(省略圖示)等來拍攝、識別該托盤P的各基準(zhǔn)標(biāo)記。并且，只要基于該識別結(jié)構(gòu)來進行頭部單元5的XY方向的位置修正，并通過該頭部單元5從該托盤P上的料盤取出元件，便能夠切實且準(zhǔn)確地進行元件的取出。
[0089]另外，上述的圖1OA?圖1OD的例子中，當(dāng)從位于最上層的托盤P結(jié)束元件的取出時，將該最上層的托盤P拉出至中繼裝置16上，并使存放部Sp的其他托盤P聯(lián)動地逐層上升，并使中繼裝置16上的原本最上層的托盤P移動至元件供應(yīng)臺15的最下層，由此，對元件安裝裝置I反復(fù)供應(yīng)五種元件。但是，也可通過與此相反的方法(即，相當(dāng)于本發(fā)明的“第二托盤移動工序”)，來對元件安裝裝置I反復(fù)供應(yīng)五種元件。即，在元件供應(yīng)臺15上支撐有上下五層托盤P的狀態(tài)(圖1OA所示的狀態(tài))下，在通過頭部單元5取出由位于最上層(最上位)的托盤P所支撐的最初的元件的過程中，將最下層(最下位)的托盤P從元件供應(yīng)臺15拉出至中繼裝置16，使該中繼裝置16移動到上方，并使該托盤P在與存放部Sp的最上層對應(yīng)的高度位置待機。并且，在由頭部單元5結(jié)束由位于最上層的托盤P所支撐的元件的取出的時刻，驅(qū)動螺桿軸42旋轉(zhuǎn)，以使由最上層(第一層)?第四層所支撐的各托盤P聯(lián)動地各下降一層。并且，隨后，將原本最下層的托盤P從中繼裝置16移載至元件供應(yīng)臺15的最上層。通過此種方法，也能夠與圖1OA?圖1OD的例子的情況同樣地，反復(fù)將五種元件有效地供應(yīng)至元件安裝裝置I。另外，此時，按照與圖1OA?圖1OD的例子上下相反的排列，來將托盤Pl?P5設(shè)置于元件供應(yīng)臺15。
[0090]而且，在上述的元件供應(yīng)裝置10中，通過如下的方法也能夠有效地對元件安裝裝置I供應(yīng)元件。即，通過中繼裝置16從料倉14拉出所需托盤P (元件)并移載至元件供應(yīng)臺15的最上層，在通過頭部單元5從該先行托盤P取出元件(先行元件)的過程中，通過中繼裝置16來從料倉14取出下個托盤P，并使該托盤P在與元件供應(yīng)臺15的最上層相同的高度位置待機。并且，在從先行托盤P結(jié)束元件(先行元件)的取出的時刻，驅(qū)動螺桿軸42旋轉(zhuǎn)而使最上層的先行托盤P與其他托盤P —同下降一層，將在中繼裝置16上待機的托盤P移載至元件供應(yīng)臺15的最上層。隨后，在通過頭部單元5從最上層的托盤P取出元件的過程中，使中繼裝置16下降，拉出設(shè)置在元件供應(yīng)臺15的下位層的多余托盤P (載置有不需要供應(yīng)元件的料盤的托盤P)，并將該托盤P收納到料倉14中。隨后，進一步由中繼裝置16從料倉14拉出下個托盤P，并使其在與元件供應(yīng)臺15的最上層相同的高度位置待機。以后，通過反復(fù)上述動作，能夠有效地對元件安裝裝置I供應(yīng)元件。
[0091]而且，在上述的元件供應(yīng)臺15的例子中，通過四根螺桿軸42來支撐托盤P，但螺桿軸42的數(shù)量并不限定于四根，只要是能夠穩(wěn)定地支撐托盤P并使其在上下方向上移動的數(shù)量即可。
[0092]接下來，使用圖11及圖12來說明元件供應(yīng)裝置10中的元件供應(yīng)臺的其他實施方式(元件供應(yīng)臺15A)。本圖中所示的元件供應(yīng)臺15A取代上述元件供應(yīng)臺15而組裝在元件供應(yīng)裝置10中。
[0093]該元件供應(yīng)臺15A包括:俯視大致矩形的底板50 ;板狀的一對第一托盤支撐部件52,位于該底板50的寬度方向(X方向)兩端，沿該寬度方向彼此相向；板狀的一對第二托盤支撐部件54，靠近這些第一托盤支撐部件52設(shè)置并排列在它們的內(nèi)側(cè)，且沿所述寬度方向彼此相向地排列；第一支撐部件驅(qū)動機構(gòu)，使所述第一托盤支撐部件52沿它們的排列方向(X方向)移動；以及第二支撐部件驅(qū)動機構(gòu)，使所述第二托盤支撐部件54沿它們的排列方向(X方向)及上下方向(Z方向)移動。
[0094]另外，在該元件供應(yīng)臺15A中，所述一對第一托盤支撐部件52相當(dāng)于“本發(fā)明的一對支撐部件”，后述滑軌58相當(dāng)于本發(fā)明的“第二支撐部”，所述第一支撐部件驅(qū)動機構(gòu)相當(dāng)于本發(fā)明的“支撐部件驅(qū)動機構(gòu)”，所述第二托盤支撐部件54及第二支撐部件驅(qū)動機構(gòu)等相當(dāng)于本發(fā)明的“進給機構(gòu)”。因而，滑軌58、第一支撐部件驅(qū)動機構(gòu)、第二托盤支撐部件54及第二支撐部件驅(qū)動機構(gòu)等相當(dāng)于本發(fā)明的升降機構(gòu)。以下進行詳細說明。
[0095]所述一對第一托盤支撐部件52分別包括:前后方向(Y方向)細長的側(cè)視大致矩形的板53a ;—對支撐塊53b，分別固定在各板53a的相向面且其前后方向兩端；以及中間塊53c,在所述板53a的相向面的上端且兩支撐塊53b之間的位置固定于板53a。
[0096]各第一托盤支撐部件52的支撐塊53b在它們的相向面上，具備在上下方向上排列且沿前后方向延伸的多個導(dǎo)槽531，通過將托盤P的凸緣部7插入這些導(dǎo)槽531，從而能夠支撐托盤P。另外，各支撐塊53b具備四個導(dǎo)槽531，各第一托盤支撐部件52通過這些導(dǎo)槽531來支撐托盤P，并且在支撐塊53b及中間塊53c的上表面支撐托盤P (凸緣部7)。即，由導(dǎo)槽531與支撐塊53b及中間塊53c的上表面構(gòu)成多層(五層)托盤支撐部。因而，該元件供應(yīng)臺15A也能夠與圖5所示的元件供應(yīng)臺15同樣地，在上下方向上并列支撐最多五片托盤P。
[0097]各第一托盤支撐部件52經(jīng)由臺座56可移動地支撐于固定于所述底板50且沿X方向延伸的滑軌58。具體而言，各第一托盤支撐部件52以能夠在可利用支撐塊53b及中間塊53c來支撐托盤P (凸緣部7)的接近位置與間隔寬于該接近位置的隔離位置的范圍移動的方式而支撐于所述滑軌58。并且，各第一托盤支撐部件52由所述第一支撐部件驅(qū)動機構(gòu)予以驅(qū)動。
[0098]該第一支撐部件驅(qū)動機構(gòu)包括:第一連桿部件61，沿前后方向延伸且在其長度方向的大致中間經(jīng)由支撐軸50a而可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述底板50 ;—對第二連桿部件62，以支撐軸50a為界，分別利用鉸鏈結(jié)構(gòu)來連結(jié)第一連桿部件61的長度方向兩側(cè)部與所述各臺座56 ;以及氣缸60，連結(jié)于所述第一連桿部件61，對應(yīng)于氣壓的供排切換來繞支撐軸50a驅(qū)動該第一連桿部件61。即，第一支撐部件驅(qū)動機構(gòu)通過氣缸60使第一連桿部件61繞支撐軸50a擺動，伴隨該第一連桿部件61的擺動，經(jīng)由各第二連桿部件62使各第一托盤支撐部件52向接近位置與隔離位置移動。
[0099]所述一對第二托盤支撐部件54是前后方向(Y方向)細長的側(cè)視大致矩形的板狀的塊部件。這些第二托盤支撐部件54以介隔在所述一對第一托盤支撐部件52的各板53a之間且介隔在各第一托盤支撐部件52的前后的支撐塊53b之間的方式而設(shè)置。這些第二托盤支撐部件54在它們的相向面上具備在上下方向上排列且沿前后方向延伸的四條導(dǎo)槽541，通過將所述凸緣部7插入這些導(dǎo)槽541，從而能夠支撐托盤7。
[0100]各第二托盤支撐部件54被組裝在經(jīng)由圖外的引導(dǎo)部件而可升降地支撐于所述底板50上的可動板64上。由此，第二托盤支撐部件54經(jīng)由可動板64而相對于所述底板50可升降地予以支撐。具體而言，第二托盤支撐部件54以在所有(四條)導(dǎo)槽541分別與所述支撐塊53b的導(dǎo)槽531吻合的上升位置與相對于第一托盤支撐部件52朝下方偏移導(dǎo)槽541的I節(jié)距的下降位置的范圍能夠移動的方式而受到支撐。圖11表示第二托盤支撐部件54被設(shè)置于下降位置的狀態(tài)。
[0101]而且，各第二托盤支撐部件54經(jīng)由臺座66可移動地支撐于固定于可動板64且沿X方向延伸的滑軌68。具體而言，各第二托盤支撐部件54以在可支撐托盤P (凸緣部7)的接近位置與間隔寬于該接近位置的隔離位置的范圍能夠移動的方式而支撐于所述滑軌68。
[0102]所述第二支撐部件驅(qū)動機構(gòu)具備氣缸65,該氣缸65被固定在所述底板50的下表面，且對應(yīng)于氣壓的供排切換來使該可動板64相對于底板50在上下方向上移動。而且，所述第二支撐部件驅(qū)動機構(gòu)包括:第一連桿部件71，沿前后方向延伸且在其長度方向的大致中間經(jīng)由支撐軸64a而可旋轉(zhuǎn)地支撐于所述可動板64 ;—對第二連桿部件72，以支撐軸64a為界，分別利用鉸鏈結(jié)構(gòu)來連結(jié)第一連桿部件71的長度方向兩側(cè)部與所述臺座66 ;以及氣缸70，連結(jié)于所述第一連桿部件71，對應(yīng)于氣壓的供排切換來繞支撐軸64a驅(qū)動該第一連桿部件71。即，第二支撐部件驅(qū)動機構(gòu)通過氣缸65來使可動板64升降，從而使各第二托盤支撐部件54向上升位置與下降位置移動，并且通過氣缸70使第一連桿部件71繞其支撐軸64a擺動，從而伴隨該第一連桿部件71的擺動，經(jīng)由各第二連桿部件72使各第二托盤支撐部件54向接近位置與隔離位置移動。
[0103]另外，在兩第一托盤支撐部件52及兩第二托盤支撐部件54均設(shè)置在接近位置的狀態(tài)下，各第一托盤支撐部件52的各支撐塊53b的導(dǎo)槽531 (內(nèi)底部)的位置與各第二托盤支撐部件54的導(dǎo)槽541 (內(nèi)底部)的位置在X方向上一致，由此，兩第一托盤支撐部件52及兩第二托盤支撐部件54均能夠支撐托盤P (凸緣部7)。另一方面，當(dāng)從該狀態(tài)開始僅將兩第一托盤支撐部件52設(shè)置到隔離位置時，各第一托盤支撐部件52的兩支撐塊53b的導(dǎo)槽53的位置將相對于各第二托盤支撐部件54的導(dǎo)槽541的位置而向X方向外側(cè)偏移。即，各第一托盤支撐部件52的兩支撐塊53b的導(dǎo)槽53的位置較由各第二托盤支撐部件54所支撐的托盤P的凸緣7的X方向端部的位置向X方向外側(cè)偏移。由此，兩第二托盤支撐部件54能夠在保持支撐托盤7的狀態(tài)下，在兩第一托盤支撐部件52的板53a的內(nèi)側(cè)的位置在上下方向上移動。
[0104]而且，所述各第二托盤支撐部件54以能夠在各第一托盤支撐部件52設(shè)置在接近位置的狀態(tài)下，向所述接近位置與隔離位置移動的方式，而將該第二托盤支撐部件54的厚度尺寸(X方向的厚度尺寸)形成得小于第一托盤支撐部件52的所述支撐塊53b的厚度尺寸。由此，如圖12所示，能夠在保持各第一托盤支撐部件52 (支撐塊53b)對托盤P的支撐狀態(tài)的狀態(tài)下，使各第二托盤支撐部件54移動到隔離位置。即，能夠?qū)傻诙斜P支撐部件54的相向面的位置較兩第一托盤支撐部件52的支撐塊53b的導(dǎo)槽531 (內(nèi)底部)的位置設(shè)置到X軸方向外側(cè)。在此狀態(tài)下，也在各第二托盤支撐部件54與第一托盤支撐部件52的板53a之間維持間隙，各第二托盤支撐部件54能夠在該隔離位置在上下方向上移動。
[0105]該元件供應(yīng)臺15A中，各第一托盤支撐部件52被設(shè)置在接近位置，并且各第二托盤支撐部件54能夠在設(shè)置于接近位置且上升位置的狀態(tài)下支撐托盤7。并且，在此狀態(tài)下，與圖5所示的情況同樣地，在中繼裝置16之間進行托盤P的交接。即，在此狀態(tài)下，第一托盤支撐部件52的四條導(dǎo)槽531與第二托盤支撐部件54的四條導(dǎo)槽541相互在上下方向上一致，從而形成能夠支撐托盤P且在上下方向上排列的四條槽部，并且由第一托盤支撐部件52的支撐塊53b的上表面和第二托盤支撐部件54的上表面形成能夠支撐托盤P的一個支撐部。由此，能夠支撐最多五片托盤P。
[0106]另外，以如下方式進行由元件供應(yīng)臺15A所支撐的托盤P的升降(上升及下降)。以下，以進行與圖1OA?圖1OD所示的例子同樣的動作的情況為例，參照圖13A?圖13D、圖14A?圖14D來說明該元件供應(yīng)臺15A中的托盤P的升降動作。另外，本圖概念性地表示各托盤支撐部件52、54的動作。在結(jié)構(gòu)上，第二托盤支撐部件54實際上不會移動到第一托盤支撐部件52的外側(cè)，但在一部分圖(例如圖13C等)中，為了便于說明，描繪了第二托盤支撐部件54移動到第一托盤支撐部件52的外側(cè)的圖。
[0107]首先，如圖13A所示，從料倉14拉出支撐有元件(料盤)的托盤Pl?P5并移載到元件供應(yīng)臺15A,并以由頭部單元5先取出的元件(元件安裝裝置I中的安裝順序早的元件)位于上位的方式,將各托盤Pl?P5支撐于兩托盤支撐部件52、54。此時，如上所述，各第一托盤支撐部件52設(shè)置在接近位置，各第二托盤支撐部件54設(shè)置在接近位置且上升位置。
[0108]當(dāng)通過頭部單元5取出由位于最上層(最上位)的托盤Pl所支撐的元件時，將該托盤Pl從元件供應(yīng)臺15A拉出到中繼裝置16上(圖13B)。當(dāng)拉出最上層的托盤Pl時，各第二托盤支撐部件54移動到隔離位置，而且從上升位置移動到下降位置之后，從隔離位置移動到接近位置(圖13C、圖13D、圖14A)。由此，相對于第一托盤支撐部件52，第二托盤支撐部件54偏移到下側(cè)，支撐托盤P2?P5的第二托盤支撐部件54的導(dǎo)槽541的位置將向上偏移一層。
[0109]接下來，各第一托盤支撐部件52移動到隔離位置，在此狀態(tài)下，第二托盤支撐部件54從下降位置移動到上升位置之后，各第一托盤支撐部件52從隔離位置移動到接近位置(圖14B?圖14D)。由此，支撐有托盤P的第一托盤支撐部件52的導(dǎo)槽531的位置向上偏移一層，其結(jié)果是，由元件供應(yīng)臺15A所支撐的托盤P2?P4的位置均上升一層。在此狀態(tài)下，原本最上層的托盤Pl通過中繼裝置16移到最下層(最下位)(圖14D中以兩點劃線所示)。
[0110]另外，在以上所說明的元件供應(yīng)臺15A的托盤P的升降動作中，圖13A所示的動作相當(dāng)于本發(fā)明的“托盤拉出工序”，圖13B?圖13D及圖14A?圖14D所示的動作相當(dāng)于本發(fā)明的“第一托盤移動工序”。
[0111]對于如上所述的元件供應(yīng)臺15A，也能夠與圖5所示的情況同樣地，分上下多層存放多片(五片)的托盤P，而且，具有不使用中繼裝置16便使各托盤P在上下方向上移動的功能。因而，根據(jù)裝入有此種元件供應(yīng)臺15A的元件供應(yīng)裝置10，能夠與圖5所示的裝入有元件供應(yīng)臺15的情況同樣地，高效地進行對元件安裝裝置I的元件供應(yīng)。
[0112]另外，圖13A?圖13D、圖14A?圖14D的例子中，對下述情況進行了說明，SP:當(dāng)從位于最上層的托盤P上的料盤取出元件時，將該最上層的托盤P拉出到中繼裝置16上，使其他托盤P逐層上升，并使原本最上層的托盤P移動到最下層。但是，也能夠相反，即，一邊使托盤P下降(往下)一邊供應(yīng)元件(相當(dāng)于本發(fā)明的“第二托盤移動工序”)。
[0113]此時，首先，在圖13A所示的狀態(tài)下，在由頭部單元5從最上層的托盤P取出元件的過程中，通過中繼裝置16拉出最下層(最下位)的托盤P，在使該托盤P移動到最上層的高度位置的狀態(tài)下使中繼裝置16待機。并且，在從最上層的托盤P結(jié)束元件的取出之后，使各第一托盤支撐部件52移動到隔離位置，而且使各第二托盤支撐部件54移動到下降位置之后，將各第一托盤支撐部件52重置到接近位置。并且，在各第一托盤支撐部件5支撐多個托盤P的狀態(tài)下，使各第二托盤支撐部件54從接近位置移動到隔離位置，從而將各第二托盤支撐部件54設(shè)置到多個托盤P的外側(cè)。此外，使各第二托盤支撐部件54在它們位于隔離位置的狀態(tài)下從下降位置移動到上升位置之后，從隔離位置重置到接近位置。隨后，將最初從最下層拉出的托盤P移到最上層(最上位)。
[0114]接下來，使用圖15說明本發(fā)明的元件供應(yīng)裝置的其他實施方式。
[0115]本圖所示的元件供應(yīng)裝置IOA與圖1所示的情況同樣地，具備元件供應(yīng)臺、中繼裝置16、中繼裝置16的升降驅(qū)動機構(gòu)及支撐它們的框架等。但是，不具備圖1所示的料倉14，元件供應(yīng)臺15B兼具料倉的功能。而且，也不具備圖1的帶式送料器保持部18。
[0116]元件供應(yīng)裝置IOA連結(jié)于元件安裝裝置I的前側(cè)(+Y方向側(cè))，在此連結(jié)狀態(tài)下，元件供應(yīng)臺15B設(shè)置在頭部單元(頭部5a)的XY方向的可動區(qū)域MA內(nèi)。元件供應(yīng)臺15B采用與上述圖5或圖11的元件供應(yīng)臺15、15A同等的結(jié)構(gòu)，因而，頭部單元5能夠伴隨頭部5a的升降，從由元件供應(yīng)臺15B的上方敞開的存放部Sp的最上層所支撐的托盤P (料盤)吸附元件。
[0117]另外，元件供應(yīng)臺15B的托盤支撐部的數(shù)量要多于圖5所示的元件供應(yīng)臺15或者圖11所示的元件供應(yīng)臺15A，例如托盤支撐部的數(shù)量被設(shè)定為20層。但是，元件供應(yīng)臺15B與中繼裝置16之間的托盤P的交接是與圖1及圖5所示的情況同樣地進行。
[0118]該元件供應(yīng)裝置IOA中，例如從位于元件供應(yīng)臺15B最上層(最上位)的托盤P(料盤)結(jié)束元件的取出之后，將該最上層的托盤P拉出到在該最上層的高度位置待機的中繼裝置16上，在該拉出后，直接使其他托盤P聯(lián)動地逐層上升。而且，使中繼裝置16上的原本最上層的托盤P移動到元件供應(yīng)臺15B的最下層，使變空的中繼裝置16移動到最上層的高度位置并待機。通過反復(fù)實施此種動作(第三托盤移動工序)，從而能夠有效地進行元件供應(yīng)。
[0119]或者，在從最上層的托盤P(料盤)結(jié)束元件的取出之前，將最下層(最下位)的托盤P從元件供應(yīng)臺15B拉出到中繼裝置16，并使中繼裝置16移動到上方，使該托盤P在與最上層對應(yīng)的高度位置待機。在由位于最上層的托盤P所支撐的元件的取出結(jié)束的時刻，使由支撐部件(螺桿軸42等)支撐的各托盤P聯(lián)動地逐層下降，將原本最下層的托盤P從中繼裝置16移載至元件供應(yīng)臺15B的最上層。通過反復(fù)實施此種動作(第四托盤移動工序)，從而能夠有效地進行元件供應(yīng)。
[0120]另外，在元件供應(yīng)裝置10、10A的上述說明中雖未言及，但對托盤P (料盤)賦予有假想或?qū)嶓w的識別標(biāo)記，元件供應(yīng)裝置10、10A的所述控制裝置具備存儲裝置，該存儲裝置存儲將元件供應(yīng)臺15、15A、15B中的托盤支撐部、料倉14的各收納層及中繼裝置16與由它們支撐的托盤P的識別標(biāo)記相關(guān)聯(lián)的托盤位置信息，并且伴隨托盤P的移動來更新該托盤位置信息。此外，所述控制裝置具備存儲托盤P (料盤)內(nèi)的元件種類或收納數(shù)量等元件信息、并且伴隨頭部單元5對元件的取出來更新該元件信息的存儲裝置。
[0121]以上，對本發(fā)明所涉及的元件供應(yīng)裝置10、10A及元件供應(yīng)方法進行了說明，但上述元件供應(yīng)裝置10、10A及元件供應(yīng)方法是本發(fā)明所涉及的元件供應(yīng)裝置及元件供應(yīng)方法的較理想實施方式的例示，其具體結(jié)構(gòu)及方法能夠在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)進行適當(dāng)變更。
[0122]例如，上述各實施方式中，當(dāng)通過中繼裝置16來使元件供應(yīng)臺15、15A、15B的托盤P移動時，是使最上層的托盤P移動到最下層，或者使最下層的托盤P移動到最上層，但例如也可在從最上層的托盤P取出元件的過程中，將由中途的層(最上層及最下層以外的托盤支撐部)所支撐的托盤P拉出到中繼裝置16上，且使該托盤P在與最上層對應(yīng)的高度位置待機，以備下次設(shè)置到最上層?；蛘?，也可在從最上層的托盤P取出元件之后，將該最上層的托盤P拉出到中繼裝置16上，并且使元件供應(yīng)臺15、15A、15B的其他托盤P上升，隨后，將由中繼裝置16所保持的托盤P收納到元件供應(yīng)臺15、15A、15B的托盤支撐部中的未收納有托盤P的空的托盤支撐部。
[0123]而且，例如當(dāng)能夠?qū)υ?yīng)臺15、15A、15B進行托盤P的交接的中繼裝置16的最高高度位置低于元件供應(yīng)臺15、15A、15B的最上層的高度位置時(中繼裝置16的可動區(qū)域的上限低于最上層的高度位置時)，只要如下所述般在元件供應(yīng)臺15、15A、15B與中繼裝置16之間進行托盤P的交接即可。
[0124]例如，在使結(jié)束了頭部單元5對元件的取出的最上層的托盤P與下位的托盤P —同下降一層或多層之后，將原本最上層的托盤P拉出到事先在指定高度位置待機的中繼裝置16。之后，立即使殘留在元件供應(yīng)臺15、15A、15B上的托盤P上升，以將最上位的托盤P設(shè)置到最上層，通過頭部單元5從最上層的托盤P (料盤)取出元件。并且，在該元件的取出過程中，將中繼裝置16上的托盤P更換為新的托盤P，將該托盤P收納到元件供應(yīng)臺15、15AU5B的指定的托盤支撐部之后，使該中繼裝置16在所述指定的高度位置待機。
[0125]或者，在使結(jié)束了頭部單元5對元件的取出的最上層的托盤P與下位的托盤P —同下降兩層或兩層以上的多層之后，從事先在指定的高度位置待機的中繼裝置16、具體而言在托盤支撐部中的因所述下降而變空的托盤支撐部的高度位置待機的中繼裝置16，將下個托盤P移載至該托盤支撐部，使該托盤P上升至最上層，并通過頭部單元5，從該最上層的托盤P(料盤)取出元件。并且，在該元件的取出過程中，將之前已取出了元件的托盤P(位于最上層的原本的托盤P)拉出到中繼裝置16上，將該托盤P更換為新的托盤之后，使支撐該新托盤P的中繼裝置16在元件供應(yīng)臺15、15A、15B的所述指定的高度位置待機。
[0126]根據(jù)這些方法，當(dāng)在元件供應(yīng)臺15、15A、15B與中繼裝置16之間交接最上層的托盤P時，兩個托盤P的移動動作成為必要。但是，在由頭部單元5 (頭部5a)從最上層的托盤P(料盤)取出元件的過程中，能夠進行中繼裝置16對托盤P的更換作業(yè)。因此，與以往的元件供應(yīng)裝置相比，能夠高效地對元件安裝裝置I供應(yīng)元件，有利于高效地進行該元件安裝裝置I的安裝作業(yè)。
[0127]而且，上述各實施方式中，為了對元件安裝裝置I的定位，而在可拆卸地連結(jié)于元件安裝裝置I的狀態(tài)下使用元件供應(yīng)裝置10、10A，但只要能夠以元件供應(yīng)臺15、15A、15B的最上層的托盤P位于頭部單元5 (頭部5a)的XY方向的可動區(qū)域內(nèi)的方式來設(shè)置，則未必需要在將元件供應(yīng)裝置10、IOA連結(jié)于元件安裝裝置I的狀態(tài)下使用。此時，只要在元件供應(yīng)臺15、15A、15B或托盤P (料盤)上設(shè)置多個基準(zhǔn)位置標(biāo)記，利用搭載于頭部單元5中的基板識別相機等來拍攝該基準(zhǔn)位置標(biāo)記，從而檢測元件供應(yīng)臺15、15A、15B相對于元件安裝裝置I的位置，并在從托盤P (料盤)取出元件時，基于該檢測結(jié)構(gòu)來進行頭部單元(頭部5a)的XY方向的定位即可。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠以不遜于將元件供應(yīng)裝置10、10A連結(jié)于元件安裝裝置I時的精度，來通過頭部單元5從托盤P (料盤)取出元件。
[0128]以上所說明的本發(fā)明總結(jié)如下。
[0129]本發(fā)明一個方面涉及一種元件供應(yīng)裝置，其與能夠由具有指定的可動范圍的頭部取出收納在料盤中的元件的作業(yè)裝置相鄰設(shè)置，并且其包括:料倉，具有載置所述料盤的多個托盤，將這些托盤以沿上下方向排列的狀態(tài)且以能夠沿水平的第一方向出入的方式予以收納；元件供應(yīng)臺，在所述第一方向上與所述料倉相向地設(shè)置，能夠支撐從所述料倉被拉出的所述托盤；中繼裝置，以在所述料倉與所述元件供應(yīng)臺之間的位置能夠沿上下方向移動的方式設(shè)置，并且在所述料倉與所述元件供應(yīng)臺之間沿所述第一方向與所述料倉及所述元件供應(yīng)臺進行所述托盤的交接；其中，所述元件供應(yīng)臺將多個所述托盤以沿上下方向排列的狀態(tài)且該多個托盤中位于最上位的托盤所載置的料盤位于所述頭部的所述可動范圍內(nèi)并且該料盤的上方敞開的狀態(tài)予以支撐。
[0130]該元件供應(yīng)裝置中，中繼裝置相對于料倉及元件供應(yīng)臺而在上下方向上移動，拉出收納在料倉內(nèi)的任意位置的托盤并移載到元件供應(yīng)臺。此時，元件供應(yīng)臺如上所述能夠存放多個托盤，因此中繼裝置能夠?qū)⑾刃械耐斜P(先行元件)保持殘留于臺上的狀態(tài)下，移到后續(xù)的托盤(后續(xù)元件)的拉出動作(從料倉的托盤拉出動作)。即，能夠在從元件供應(yīng)臺(支撐部件)的最上位的托盤(料盤)取出元件的過程中，例如以下個托盤為基準(zhǔn)而在與該最上位對應(yīng)的位置待機。因此，在結(jié)束頭部對元件的取出之后，能夠提前將該下個托盤設(shè)置于元件供應(yīng)臺的最上位，以從該托盤(料盤)取出元件，由此，能夠以短間隔(時間)進行下個元件的供應(yīng)。而且，在連續(xù)供應(yīng)相互不同的多種元件時，通過預(yù)先在元件供應(yīng)臺上準(zhǔn)備收納有該元件(料盤)的多個托盤，并通過中繼裝置來調(diào)換元件供應(yīng)臺上的托盤的位置，從而無須每次對料倉進行托盤的出入，而能夠進行所述多種元件的供應(yīng)。因此，能夠以更短的間隔(時間)來進行元件的供應(yīng)。
[0131]另外，較為理想的是，所述元件供應(yīng)臺包括:支撐部件，具有支撐所述多個托盤的多層的托盤支撐部；升降機構(gòu)，使由所述支撐部件支撐的多個所述托盤在保持該多個托盤的位置關(guān)系的狀態(tài)下聯(lián)動地沿上下方向移動。
[0132]根據(jù)這樣能夠利用元件供應(yīng)臺自身來使托盤移動的結(jié)構(gòu)，例如只要通過中繼裝置拉出由該臺所支撐的最上位的托盤，便能夠使其下方的托盤自動上升以從該托盤上的料盤取出元件。因此，能夠以更短的間隔(時間)來進行元件的供應(yīng)。
[0133]作為此時的具體結(jié)構(gòu)，較為理想的是，所述支撐部件是沿上下方向相互平行地延伸的多個螺桿軸，各所述螺桿軸的螺槽是所述托盤支撐部，所述托盤具有能夠插入所述螺槽的凸緣部，該托盤利用所述凸緣部而被所述螺桿軸支撐，所述升降機構(gòu)包括將各所述螺桿軸以能夠繞各自的軸心旋轉(zhuǎn)的方式予以支撐的第一支撐部、以及使各所述螺桿軸朝同一方向同步地旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)，通過各所述螺桿軸的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，使所述托盤沿著所述螺槽在上下方向移動。
[0134]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，無須伴隨支撐托盤的支撐部件的上下方向的移動，而能夠以非常簡單的結(jié)構(gòu)，來使各托盤聯(lián)動且順滑、并且迅速地在上下方向上移動。
[0135]另外，作為其他的具體結(jié)構(gòu)，也可為所述元件供應(yīng)臺包括一對所述支撐部件，該一對所述支撐部件在與所述第一方向正交的水平的第二方向上排列且從所述托盤的所述第二方向的外側(cè)支撐該托盤，所述升降機構(gòu)包括:第二支撐部，以所述一對支撐部件能夠在接近位置和隔離位置之間移動的方式支撐該一對支撐部件，所述接近位置是能夠支撐所述托盤的位置，所述隔離位置是允許所述托盤在上下方向移動的位置；支撐部件驅(qū)動機構(gòu)，使所述一對支撐部件在所述接近位置與所述隔離位置之間移動；進給機構(gòu)，將由所述一對支撐部件所支撐的所述托盤一體地保持并使之沿上下方向移動；其中，通過在由所述進給機構(gòu)保持所述托盤的狀態(tài)下將所述一對支撐部件設(shè)置于所述隔離位置，并且在此狀態(tài)下通過所述進給機構(gòu)使所述托盤沿上下方向移動之后，使所述一對支撐部件返回所述接近位置，來使所述托盤沿上下方向移動。
[0136]在此結(jié)構(gòu)的情況下，也能夠使由元件供應(yīng)臺所支撐的多個托盤聯(lián)動地在上下方向上移動。
[0137]另外，較為理想的是，上述各元件供應(yīng)裝置中，所述中繼裝置包括沿所述第一方向引導(dǎo)所述托盤的引導(dǎo)部和以能夠沿所述第一方向移動的方式設(shè)置的出入用頭部，該出入用頭部具有能夠在能夠卡合于所述托盤的位置與退避到所述托盤下方的位置之間位移的卡合部，所述托盤具備作為所述出入用頭部的被卡合部的第一被卡合部及第二被卡合部，所述第一被卡合部設(shè)置在該托盤中的所述第一方向的一端部，所述第二被卡合部設(shè)置在該托盤中的所述第一方向的另一端部，所述中繼裝置在使所述卡合部卡合于所述第一被卡合部的狀態(tài)下使所述出入用頭部沿所述第一方向移動，來使所述托盤相對于所述料倉出入，并且在使所述卡合部卡合于所述第二被卡合部的狀態(tài)下使所述出入用頭部沿所述第一方向移動，來使所述托盤相對于所述元件供應(yīng)臺出入。
[0138]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠伴隨中繼裝置的出入用頭部的移動而順滑地進行托盤相對于料倉的出入以及托盤相對于元件供應(yīng)臺的出入。
[0139]此時，較為理想的是，所述出入用頭部包括:第一出入用頭部，在使所述卡合部卡合于所述第一被卡合部的狀態(tài)下，使所述托盤相對于所述料倉出入；第二出入用頭部，在使所述卡合部卡合于所述第二被卡合部的狀態(tài)下，使所述托盤相對于所述元件供應(yīng)臺出入。
[0140]該結(jié)構(gòu)中，在從料倉將托盤移載到元件供應(yīng)臺上時，通過第一出入用頭部從料倉將托盤拉出到中繼裝置之后，第二出入用頭部將該拉出的托盤從中繼裝置推入到臺上。相反地，在使托盤從元件供應(yīng)臺返回料倉時，通過第二出入用頭部從臺將托盤拉出到中繼裝置之后，第一出入用頭部將該拉出的托盤從中繼裝置推入到料倉內(nèi)。通過這樣第一出入用頭部與第二出入用頭部聯(lián)合地使托盤移動，從而順滑且迅速地進行托盤相對于料倉及元件供應(yīng)臺的出入。
[0141]另外，本發(fā)明還涉及另一種元件供應(yīng)裝置，其與能夠由具有指定的可動范圍的頭部取出收納在料盤中的元件的作業(yè)裝置相鄰設(shè)置，并且其包括:元件供應(yīng)臺，具備支撐部件及升降機構(gòu)，所述支撐部件具有多層的托盤支撐部，該多層的托盤支撐部能夠?qū)⑤d置所述料盤的多個托盤以沿上下方向排列的狀態(tài)且該多個托盤中位于最上位的托盤所載置的料盤位于所述頭部的可動范圍內(nèi)并且該料盤的上方敞開的狀態(tài)予以支撐，所述升降機構(gòu)執(zhí)行使被支撐在所述支撐部件最上層的所述托盤向下位層的移動及使被支撐在所述支撐部件下位層的所述托盤向最上層的移動中的至少一移動；中繼裝置，以能夠上下移動的方式設(shè)置在與所述元件供應(yīng)臺相鄰的位置，使所述托盤相對于所述元件供應(yīng)臺的各所述托盤支撐部出入。
[0142]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，當(dāng)在由頭部從最上位的托盤(料盤)取出元件的過程中，使下個托盤在與元件供應(yīng)臺(支撐部件)的最上位對應(yīng)的位置待機時，在頭部對元件的取出結(jié)束后，能夠提前將下個托盤設(shè)置到元件供應(yīng)臺的最上位。因此，能夠以短間隔(時間)來進行下個元件的供應(yīng)。而且，在連續(xù)供應(yīng)相互不同的多種元件時，通過預(yù)先在元件供應(yīng)臺上準(zhǔn)備收納有該元件(料盤)的多個托盤，并通過中繼裝置來調(diào)換元件供應(yīng)臺上的托盤的位置，從而能夠進行所述多種元件的供應(yīng)。因此，能夠以更短的間隔(時間)來進行元件的供應(yīng)。[0143]本發(fā)明另一個方面涉及一種元件安裝裝置，其包括:頭部，具有指定的可動范圍，取出收納在料盤中的元件并安裝到基板上；任一所述元件供應(yīng)裝置；其中，所述元件供應(yīng)裝置以位于所述元件供應(yīng)臺最上層的托盤所載置的料盤位于所述頭部的可動范圍內(nèi)的方式設(shè)置。
[0144]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，頭部能夠以更短的間隔(時間)來接受元件的供應(yīng)，其結(jié)果是，安裝效率提高。
[0145]本發(fā)明另外一個方面涉及一種元件供應(yīng)方法，是利用任一所述元件供應(yīng)裝置來供應(yīng)元件的方法，該方法包括以下步驟:托盤拉出工序，通過所述中繼裝置從所述料倉將載置所述料盤的多個托盤依次拉出，使該多個托盤支撐于所述元件供應(yīng)臺的支撐部件；第一托盤移動工序或第二托盤移動工序，所述第一托盤移動工序是在從所述支撐部件所支撐的最上位的托盤的料盤中取出元件之后，通過所述中繼裝置從所述支撐部件拉出該最上位的托盤，并通過所述升降機構(gòu)使其他托盤逐層地向上位移動，然后通過所述中繼裝置將原本最上位的托盤移到最下位的工序，所述第二托盤移動工序是在從所述最上位的托盤的料盤中取出元件之后，通過所述中繼裝置從所述支撐部件拉出最下位的托盤，并通過所述升降機構(gòu)使其他托盤逐層地向下位移動，然后通過所述中繼裝置將原本最下位的托盤移到最上位的工序。
[0146]根據(jù)該方法，無須每次對料倉進行托盤的出入，而能夠進行元件的供應(yīng)。因此，例如當(dāng)連續(xù)供應(yīng)相互不同的多種元件時，能夠以更短的間隔(時間)來進行元件的供應(yīng)。
[0147]此時，較為理想的是，由所述支撐部件的多層的托盤支撐部中最上層的托盤支撐部來支撐所述最上位的托盤，在所述第一托盤移動工序中，通過從所述最上層的托盤支撐部拉出所述最上位的托盤并使其他托盤逐層向上位移動，來將該其他托盤中的最上位的托盤移到所述最上層的托盤支撐部，在所述第二托盤移動工序中，將原本最下位的托盤移到所述最上層的托盤支撐部。
[0148]根據(jù)該方法，能夠在短時間內(nèi)將要取出元件的下個托盤(料盤)設(shè)置于最上層，從而能夠以短間隔(時間)來進行元件的供應(yīng)。
[0149]另外，上述元件供應(yīng)方法中，也可為由所述支撐部件的多層的托盤支撐部中最上層的托盤支撐部來支撐所述最上位的托盤，在所述第一托盤移動工序中，通過所述升降機構(gòu)使所述最上位的托盤移動到比所述最上層的托盤支撐部更下方的托盤支撐部，由所述中繼裝置從該下方的托盤支撐部拉出所述最上位的托盤，然后通過所述升降機構(gòu)使其他托盤逐層向上位移動，來使該其他托盤中的最上位的托盤支撐于所述最上層的托盤支撐部，在所述第二托盤移動工序中，通過所述中繼裝置從所述支撐部件拉出最下位的托盤，并以其他托盤中最上位的托盤相對于最上層的托盤支撐部位于多層下位的方式通過所述升降機構(gòu)使該其他托盤向下位移動，并以原本最下位的托盤位于最上位的方式由所述中繼裝置將該托盤移到所述支撐部件，然后通過所述升降機構(gòu)使由該支撐部件所支撐的托盤逐層向上位移動，來將原本最下位的托盤移到所述最上層的托盤支撐部。
[0150]根據(jù)該方法，即使在中繼裝置的上下移動范圍(最上位位置)無限制的情況下，也能夠在短時間內(nèi)將要取出元件的下個托盤(料盤)設(shè)置于最上層，從而能夠以短間隔(時間)來進行元件的供應(yīng)。
[0151]另外，在如上所述的元件供應(yīng)方法中，也可為通過反復(fù)實施所述第一托盤移動工序或所述第二托盤移動工序，來從所述元件供應(yīng)臺的支撐部件所支撐的所述多個托盤的各料盤中按指定的順序反復(fù)取出元件。
[0152]根據(jù)該方法，在必須將相互不同的多種元件作為一組，并反復(fù)供應(yīng)這一組元件的情況下，能夠效率良好地供應(yīng)該元件。
【權(quán)利要求】
1.一種元件供應(yīng)裝置，與能夠由具有指定的可動范圍的頭部取出收納在料盤中的元件的作業(yè)裝置相鄰設(shè)置，其特征在于包括: 料倉，具有載置所述料盤的多個托盤，將這些托盤以沿上下方向排列的狀態(tài)且以能夠沿水平的第一方向出入的方式予以收納； 元件供應(yīng)臺，在所述第一方向上與所述料倉相向地設(shè)置，能夠支撐從所述料倉被拉出的所述托盤； 中繼裝置，以在所述料倉與所述元件供應(yīng)臺之間的位置能夠沿上下方向移動的方式設(shè)置，并且在所述料倉與所述元件供應(yīng)臺之間沿所述第一方向與所述料倉及所述元件供應(yīng)臺進行所述托盤的交接；其中， 所述元件供應(yīng)臺將多個所述托盤以沿上下方向排列的狀態(tài)且該多個托盤中位于最上位的托盤所載置的料盤位于所述頭部的所述可動范圍內(nèi)并且該料盤的上方敞開的狀態(tài)予以支撐。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件供應(yīng)裝置，其特征在于， 所述元件供應(yīng)臺包括:支撐部件，具有支撐所述多個托盤的多層的托盤支撐部；升降機構(gòu)，使由所述支撐部件支撐的多個所述托盤在保持該多個托盤的位置關(guān)系的狀態(tài)下聯(lián)動地沿上下方向移動。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的元件供應(yīng)裝置，其特征在于: 所述支撐部件是沿上下方向相互平行地延伸的多個螺桿軸，各所述螺桿軸的螺槽是所述托盤支撐部， 所述托盤具有能夠插入所述螺槽的凸緣部，該托盤利用所述凸緣部而被所述螺桿軸支撐， 所述升降機構(gòu)包括將各所述螺桿軸以能夠繞各自的軸心旋轉(zhuǎn)的方式予以支撐的第一支撐部、以及使各所述螺桿軸朝同一方向同步地旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)，通過各所述螺桿軸的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，使所述托盤沿著所述螺槽在上下方向移動。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的元件供應(yīng)裝置，其特征在于: 所述元件供應(yīng)臺包括一對所述支撐部件，該一對所述支撐部件在與所述第一方向正交的水平的第二方向上排列且從所述托盤的所述第二方向的外側(cè)支撐該托盤， 所述升降機構(gòu)包括: 第二支撐部，以所述一對支撐部件能夠在接近位置和隔離位置之間移動的方式支撐該一對支撐部件，所述接近位置是能夠支撐所述托盤的位置，所述隔離位置是允許所述托盤在上下方向移動的位置； 支撐部件驅(qū)動機構(gòu)，使所述一對支撐部件在所述接近位置與所述隔離位置之間移動； 進給機構(gòu)，將由所述一對支撐部件所支撐的所述托盤一體地保持并使之沿上下方向移動；其中， 通過在由所述進給機構(gòu)保持所述托盤的狀態(tài)下將所述一對支撐部件設(shè)置于所述隔離位置，并且在此狀態(tài)下通過所述進給機構(gòu)使所述托盤沿上下方向移動之后，使所述一對支撐部件返回所述接近位置，來使所述托盤沿上下方向移動。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的元件供應(yīng)裝置，其特征在于: 所述中繼裝置包括沿所述第一方向引導(dǎo)所述托盤的引導(dǎo)部和以能夠沿所述第一方向移動的方式設(shè)置的出入用頭部，該出入用頭部具有能夠在能夠卡合于所述托盤的位置與退避到所述托盤下方的位置之間位移的卡合部， 所述托盤具備作為所述出入用頭部的被卡合部的第一被卡合部及第二被卡合部，所述第一被卡合部設(shè)置在該托盤中的所述第一方向的一端部，所述第二被卡合部設(shè)置在該托盤中的所述第一方向的另一端部， 所述中繼裝置在使所述卡合部卡合于所述第一被卡合部的狀態(tài)下使所述出入用頭部沿所述第一方向移動，來使所述托盤相對于所述料倉出入，并且在使所述卡合部卡合于所述第二被卡合部的狀態(tài)下使所述出入用頭部沿所述第一方向移動，來使所述托盤相對于所述元件供應(yīng)臺出入。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的元件供應(yīng)裝置，其特征在于， 所述出入用頭部包括:第一出入用頭部，在使所述卡合部卡合于所述第一被卡合部的狀態(tài)下，使所述托盤相對于所述料倉出入；第二出入用頭部，在使所述卡合部卡合于所述第二被卡合部的狀態(tài)下，使所述托盤相對于所述元件供應(yīng)臺出入。
7.—種元件供應(yīng)裝置，與能夠由具有指定的可動范圍的頭部取出收納在料盤中的元件的作業(yè)裝置相鄰設(shè)置， 其特征在于包括: 元件供應(yīng)臺，具備支撐部件及升降機構(gòu)，所述支撐部件具有多層的托盤支撐部，該多層的托盤支撐部能夠?qū)⑤d置所述料盤的多個托盤以沿上下方向排列的狀態(tài)且該多個托盤中位于最上位的托盤所載置的料盤位于所述頭部的可動范圍內(nèi)并且該料盤的上方敞開的狀態(tài)予以支撐，所述升降機構(gòu)執(zhí)行使被支撐在所述支撐部件最上層的所述托盤向下位層的移動及使被支撐在所述支撐部件下位層的所述托盤向最上層的移動中的至少一移動； 中繼裝置，以能夠上下移動的方式設(shè)置在與所述元件供應(yīng)臺相鄰的位置，使所述托盤相對于所述元件供應(yīng)臺的各所述托盤支撐部出入。
8.—種元件安裝裝置，其特征在于包括: 頭部，具有指定的可動范圍，取出收納在料盤中的元件并安裝到基板上； 權(quán)利要求1至4中任一項所述的元件供應(yīng)裝置；其中， 所述元件供應(yīng)裝置以位于所述元件供應(yīng)臺最上層的托盤所載置的料盤位于所述頭部的可動范圍內(nèi)的方式設(shè)置。
9.一種元件供應(yīng)方法，其特征是利用權(quán)利要求2至4中任一項所述的元件供應(yīng)裝置來供應(yīng)元件的方法，該方法包括以下步驟: 托盤拉出工序，通過所述中繼裝置從所述料倉將載置所述料盤的多個托盤依次拉出，使該多個托盤支撐于所述元件供應(yīng)臺的支撐部件； 第一托盤移動工序或第二托盤移動工序，所述第一托盤移動工序是在從所述支撐部件所支撐的最上位的托盤的料盤中取出元件后，通過所述中繼裝置從所述支撐部件拉出該最上位的托盤，并通過所述升降機構(gòu)使其他托盤逐層地向上位移動，然后通過所述中繼裝置將原本最上位的托盤移到最下位的工序，所述第二托盤移動工序是在從所述最上位的托盤的料盤中取出元件后，通過所述中繼裝置從所述支撐部件拉出最下位的托盤，并通過所述升降機構(gòu)使其他托盤逐層地向下位移動，然后通過所述中繼裝置將原本最下位的托盤移到最上位的工序。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的元件供應(yīng)方法，其特征在于:由所述支撐部件的多層的托盤支撐部中最上層的托盤支撐部來支撐所述最上位的托盤， 在所述第一托盤移動工序中，通過從所述最上層的托盤支撐部拉出所述最上位的托盤并使其他托盤逐層向上位移動，來將該其他托盤中最上位的托盤移到所述最上層的托盤支撐部， 在所述第二托盤移動工序中，將原本最下位的托盤移到所述最上層的托盤支撐部。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的元件供應(yīng)方法，其特征在于: 由所述支撐部件的多層的托盤支撐部中最上層的托盤支撐部來支撐所述最上位的托盤， 在所述第一托盤移動工序中，通過所述升降機構(gòu)使所述最上位的托盤移動到比所述最上層的托盤支撐部更下方的托盤支撐部，由所述中繼裝置從該下方的托盤支撐部拉出所述最上位的托盤，然后通過所述升降機構(gòu)使其他托盤逐層向上位移動，來使該其他托盤中的最上位的托盤支撐于所述最上層的托盤支撐部， 在所述第二托盤移動工序中，通過所述中繼裝置從所述支撐部件拉出最下位的托盤，并以其他托盤中最上位的托盤相對于最上層的托盤支撐部位于多層下位的方式通過所述升降機構(gòu)使該其他托盤向下位移動，并以原本最下位的托盤位于最上位的方式由所述中繼裝置將該托盤移到所述支撐部件，然后通過所述升降機構(gòu)使由該支撐部件所支撐的托盤逐層向上位移動，來將原本最下位的托盤移到所述最上層的托盤支撐部。
12.根據(jù)權(quán)利要求9至11中任一項所述的元件供應(yīng)方法，其特征在于: 通過反復(fù)實施所述第 一托盤移動工序或所述第二托盤移動工序，來從所述元件供應(yīng)臺的支撐部件所支撐的所述多個托盤的各料盤中按指定的順序反復(fù)取出元件。
【文檔編號】H05K13/02GK103429063SQ201310183649
【公開日】2013年12月4日 申請日期:2013年5月17日 優(yōu)先權(quán)日:2012年5月17日
【發(fā)明者】山形博敏, 佐藤利道, 岡田篤史, 岸田晃 申請人:雅馬哈發(fā)動機株式會社