專利名稱:防氧化拉絲管的制作方法
技術領域:
本實用新型涉及半導體制造技術領域,涉及一種裝置半導體器件的用具,具體地說是涉及拉絲管。
背景技術:
拉絲管是將半導體原料的分子整齊排列的用具,使用時原料裝在拉絲管中進行高溫加熱,使里面的分子整齊排列,在現(xiàn)有技術中,所使用的拉絲管只有一個腔室,里面盛放的只有原料粉,這樣在拉絲的過程中,就會有水蒸氣、氧氣等雜質,這些雜質會危害晶棒,影響晶棒的質量。
發(fā)明內容本實用新型的目的就是針對上述缺點,提供一種生產(chǎn)出的晶棒質量更高的拉絲管——防氧化拉絲管。本實用新型的技術方案是這樣實現(xiàn)的防氧化拉絲管,包括拉絲管本體和管蓋,所述的管蓋具有蓋著拉絲管本體的結構,其特征是,所述的管蓋內部具有一個收縮槽,收縮槽內具有一個鋼絲網(wǎng),鋼絲網(wǎng)內放置有吸附劑。本實用新型的有益效果是這樣結構的拉絲管具有生產(chǎn)出的晶棒質量更高的優(yōu)點ο
圖1是本實用新型的結構示意圖。其中1、管蓋 2、收縮槽 3、鋼絲網(wǎng) 4、吸附劑。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型作進一步的描述。如圖1所示,防氧化拉絲管,包括拉絲管本體和管蓋1,所述的管蓋1具有蓋著拉絲管本體的結構,其特征是,所述的管蓋1內部具有一個收縮槽2,收縮槽2內具有一個鋼絲網(wǎng) 3,鋼絲網(wǎng)3內放置有吸附劑4。
權利要求1.防氧化拉絲管,包括拉絲管本體和管蓋,所述的管蓋具有蓋著拉絲管本體的結構,其特征是,所述的管蓋內部具有一個收縮槽,收縮槽內具有一個鋼絲網(wǎng),鋼絲網(wǎng)內放置有吸附劑。
專利摘要本實用新型涉及半導體制造技術領域,涉及一種裝置半導體器件的用具,具體地說是涉及拉絲管,防氧化拉絲管,包括拉絲管本體和管蓋,所述的管蓋具有蓋著拉絲管本體的結構,所述的管蓋內部具有一個收縮槽,收縮槽內具有一個鋼絲網(wǎng),鋼絲網(wǎng)內放置有吸附劑,這樣結構的拉絲管具有生產(chǎn)出的晶棒質量更高的優(yōu)點。
文檔編號C30B13/00GK202246978SQ20112028602
公開日2012年5月30日 申請日期2011年8月9日 優(yōu)先權日2011年8月9日
發(fā)明者劉寶成 申請人:河南恒昌電子有限公司