專利名稱：安裝有采用鉸鏈的門開關(guān)裝置的太陽能電池用多結(jié)晶硅錠塊制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具有采用鉸鏈的門開關(guān)裝置的太陽能電池用多結(jié) 晶(或多晶體)硅錠塊的制造裝置，尤其涉及使熔解的硅從下部開 始冷卻的安裝有采用鉸鏈的門開關(guān)裝置的太陽能電池用多結(jié)晶硅 錠塊的制造裝置。
背景技術(shù)：
最近，由于利用硅型太陽能電池的太陽光發(fā)電具有無害、安全、 可靠等優(yōu)點(diǎn)，所以從試驗階段發(fā)展到了產(chǎn)業(yè)化階段。
在美國、日本、德國，利用硅太陽能電池已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了數(shù)百-數(shù)千
Kw容量的太陽光發(fā)電。
目前，利用太陽光發(fā)電的太陽能電池主要是利用通過 Czochralski直4立法(或摘:拉法)制造的單晶體石圭板來制造，4旦是為 了今后的持續(xù)性大規(guī)模容量化，需要降低硅板的價格，提高生產(chǎn)性。 在這樣的情況下，作為降低太陽能電池用硅板的成本的一環(huán)節(jié)，研 究出了鑄造法。
以鑄造法進(jìn)行的太陽能電池用多結(jié)晶硅4t塊的制造的主要特 征在于定向固化。在由石英或黑鉛制造的熔鍋(或坩堝)中放入多結(jié)晶硅顆粒， z使其熔解之后，/人熔鍋下部去除石圭的熔解熱量，同樣乂人下部向上部 實(shí)現(xiàn)冷卻凝固，從而獲得具有一定方向的、所謂的柱狀結(jié)構(gòu)的錠塊。
與通過直拉法制造的單結(jié)晶石圭4定塊相比，通過如上所述的方法 制造的多結(jié)晶硅錠塊由于內(nèi)部存在的晶界，所以在制造太陽能電池 時降低電氣效率，但是相對4走塊生長方向，結(jié)晶構(gòu)成為柱狀，因此， 從整體物性上來說，與單結(jié)晶錠塊相比，略占20%的劣勢。但是， 可以大量生產(chǎn)(單晶體直拉法的2-3倍)，并且生產(chǎn)性(單晶體直 拉法的2~3倍)良好，制造技術(shù)簡單，因此，在價才各方面，是單 結(jié)晶石圭4走塊的大約1/2 ~ 1/3。
到目前為止公知的鑄造法是在向黑鉛熔鍋供給之前，在以石英 制造的多結(jié)晶硅熔解部內(nèi)先熔解多晶石圭，之后從下部供給到上部維 持在600~ 1200。C的四邊形或圓形的黑鉛炫鍋內(nèi)，使結(jié)晶生長，從 而制造多結(jié)晶硅4t塊。
4旦是如上述的現(xiàn)有的鑄造法是在冷;水冰的熔鍋內(nèi)進(jìn)4亍急速冷 卻固化，因此，雖然可以防止固化硅與熔鍋之間的黏著現(xiàn)象，但是 由熔鍋產(chǎn)生的污染較大，殘留有熱應(yīng)力，乂人而缺陷濃度變大，并且 結(jié)晶粒子變小的問題。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種安裝有采用鉸 鏈的門開關(guān)裝置的太陽能電池用多結(jié)晶硅錠塊的制造裝置，以使硅 結(jié)晶從下部向上部均勻生長。
本發(fā)明是對申請人于2007年1月19日提交的申請(申請?zhí)?10-2007-6218,發(fā)明名稱太陽能電池用多結(jié)晶硅錠塊制造裝置)的申請進(jìn)行補(bǔ)充的裝置，作為開關(guān)門的方式之一，沒有利用馬達(dá)， 也可以打開門，從而解決了利用馬達(dá)引起的問題(產(chǎn)生噪音、裝置 結(jié)構(gòu)復(fù)雜等)。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明涉及一種安裝有采用鉸鏈的門開關(guān) 裝置的太陽能電池用多結(jié)晶硅錠塊制造裝置，上述太陽能電池用多
結(jié)晶硅錠塊制造裝置包括真空腔；熔鍋，設(shè)置在上述真空腔內(nèi)， 且具有預(yù)定形狀；襯托器(suceptor)，包圍并保護(hù)上述熔鍋；支撐 臺，設(shè)置在上述襯托器的下側(cè)，用于支撐襯托器；加熱爐，用于加 熱，以4吏上述熔鍋內(nèi)的石圭原材料熔解；隔熱玲反，與上述^N乇器的下 側(cè)相隔^見定距離，并形成有孔；冷卻4反，具有與上述隔熱4反上的孔 相同的尺寸，且在冷卻熔鍋的下部時，從隔熱板的下側(cè)通過孔上升， 緊貼在襯托器的下側(cè)或接近襯托器下側(cè)；冷卻板支撐軸，設(shè)置在上 述冷卻才反的下側(cè)，起到支撐冷卻^反的軸的作用，且其內(nèi)部i殳置有制 冷劑流3各；冷卻板移動單元，用于移動上述冷卻板和冷卻板支撐軸； 惰性氣體供給和排出部，用于向真空腔內(nèi)供給惰性氣體，并且向外 部排出真空腔內(nèi)的惰性氣體；溫度傳感器，用于檢測上述熔鍋內(nèi)溫 度；以及控制部，接收上述溫度傳感器的輸出值，控制熔鍋內(nèi)的溫 度，以使熔鍋內(nèi)的硅熔解并均勻成長，并且，控制上述惰性氣體供 給和排出部，以便將真空腔內(nèi)的惰性氣體維持在一定水平上，并且 控制上述冷卻板移動單元，以使上述冷卻板通過形成在隔熱板上的 孔來接近上述襯托器的下側(cè)或者緊貼在襯托器的下側(cè)。上述安裝有 采用鉸鏈的門開關(guān)裝置的太陽能電池用多結(jié)晶硅錠塊制造裝置的 特4正在于，還包括用于開關(guān)形成在上述隔熱才反上的孔的門，通過i殳 置在上述門與隔熱板之間的鉸鏈開關(guān)上述門，在炫解硅原材料后， 為了冷卻上述熔鍋而^f吏冷卻才反上升時，上述冷卻^反以支撐著門的下 側(cè)的狀態(tài)上升，通過4交鏈，門纟皮打開成開關(guān)狀，上述冷卻4反4妄近襯 4乇器下側(cè)或者緊貼在^N乇器下側(cè)時，上述一皮打開的門的一側(cè)4荅在上 述冷卻^反的 一 個側(cè)面上。本發(fā)明的特征在于，還包括劃痕防止裝置，在上述的冷卻板以 支撐著門的下側(cè)的狀態(tài)上升時，該裝置用于防止在冷卻板與門接觸 的位置發(fā)生劃痕。
作為上述劃痕防止裝置的 一個例子，在與上述門的下側(cè)4妄觸的 冷卻々反的一個側(cè)面上i殳置專昆，上述冷卻玲反在以支撐著門的下側(cè)的狀 態(tài)上升時，隨著上述輥的滑動，門:故向上打開，/人而防止劃痕。
并且，如上所述，在本發(fā)明中可以設(shè)置兩個門，也可以設(shè)置多 個(例如四個)。如上所述，i殳置四個門時，優(yōu)選地，在與每個門 4妻觸的冷卻纟反的側(cè)面上分別i殳置(i殳置四個)作為劃痕防止裝置的輥。
上述的熔鍋i殳置在真空腔的中心，上述隔熱纟反上的孔位于^H乇 器的正下面。
本發(fā)明的特征在于，在上述冷卻板和冷卻板支撐軸內(nèi)側(cè)設(shè)置有 制,令劑流^各。
如上所述，本發(fā)明提供一種安裝有采用鉸鏈的門開關(guān)裝置的太 陽能電池用多結(jié)晶硅錠塊制造裝置，從而使硅結(jié)晶可以從下部向上 部方向均勻生長。
并且，在本發(fā)明中，利用鉸鏈開關(guān)門與利用電機(jī)等的開關(guān)門方 式相比，產(chǎn)生的噪音較少，整個裝置的結(jié)構(gòu)簡單，從而，降低了裝 置的制造成本。
并且，在本發(fā)明中，通過在與門的下側(cè)接觸的冷卻板的一個側(cè) 面上設(shè)置輥，乂人而可以防止冷卻^反與門接觸位置上的劃傷。


圖la至圖lc是^4居本發(fā)明的一實(shí)施例的太陽能電池用多結(jié)晶 硅錠塊制造裝置的立體截面圖，其中，圖la是初始狀態(tài)的示意圖， 圖lb是冷卻板接近門的下側(cè)的狀態(tài)示意圖，圖lc是門被打開，冷 卻板接近(或者緊貼)熔鍋和襯托器的下側(cè)的狀態(tài)示意圖2a和圖2b是^4居本發(fā)明的一實(shí)施例的太陽能電池用多結(jié)晶 硅錠塊制造裝置中的主要部分的簡略示意圖3a至圖3c是^^艮據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的太陽能電池用多結(jié) 晶硅錠塊制造裝置的立體截面圖，圖3a是初始狀態(tài)示意圖，圖3b 是冷卻板接近門的下側(cè)的狀態(tài)示意圖，圖3c是門被打開，冷卻板 接近(或者緊貼)熔鍋和襯托器的下側(cè)的狀態(tài)示意圖4a至圖4b是根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的太陽能電池用多結(jié) 晶硅錠塊制造裝置中的主要部分的簡略示意圖5a至圖5c是根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的包圍熔鍋和襯托器周 圍的力口熱爐的立體截面圖6是根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的太陽能電池用多結(jié)晶硅錠塊制 造方法的流程圖。
附圖才示i己
100真空腔 110絕熱材泮十
120卩鬲《A才反 121孑匕
130真空腔^f呆持單元 200溶鍋
8210襯托器
320力口熱爐
321a、 321b電極
400冷卻板
401、 402制冷劑流路
410冷卻纟反支撐軸
421、 422輥
500a、 500b門
510a 、 520b鉸鏈
610、 620溫度傳感器
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明涉及的優(yōu)選實(shí)施例。
圖la至圖lc是才艮據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的太陽能電池用多結(jié)晶 硅錠塊制造裝置的立體截面圖，圖la是初始狀態(tài)示意圖，圖lb是 冷卻板接近門的下側(cè)的狀態(tài)示意圖，圖lc是門被打開，冷卻板接 近(或緊貼)熔鍋和^H乇器(suc印tor)下側(cè)的狀態(tài)示意圖。
如圖所示，根據(jù)本發(fā)明的太陽能電池用多結(jié)晶硅錠塊制造裝置 包括真空腔100、熔鍋200、襯托器210、力口熱器310、 320、門500a、 500b、冷卻才反400、溫度傳感器610、 620以及控制部(未示出)。
真空腔100的內(nèi)部為空心，構(gòu)成本發(fā)明涉及的裝置的大部分部 件容納在真空腔100內(nèi)。
在這里，附圖標(biāo)記130是在上述真空腔的外側(cè)支撐并保持真空 月空100的部4牛。
如圖所示，熔鍋200優(yōu)選形成為正六面體狀，通過石英制造。 并且，優(yōu)選地，熔鍋20(H殳置在真空腔100的中心。并且，紹:4丙200的上部敞開，也可以另外i殳置開關(guān)該上部的蓋 (未示出)。
在本發(fā)明中，將硅(Si)原材料放入上述的熔鍋200內(nèi)。
在上述的炫鍋200的外周面上設(shè)置有襯托器210，該襯托器用 于環(huán)繞并^f呆護(hù)上述熔鍋200。
優(yōu)選地，邱于4乇器210具有與熔鍋200相同的敞開的上部的形狀， 在該襯4乇器210的下部的四個邊角"i殳置有用于支撐襯4乇器210的桿 狀的支撐臺211。
優(yōu)選地，以傳熱效果良好的石灰或者黑鉛構(gòu)成上述襯托器210。
在本發(fā)明中，在上述襯4乇器210的上部和周圍i殳置加熱器310、 320。雖然在上述村托器210的下部也可以設(shè)置加熱器，但是在本 發(fā)明的實(shí)施例中只是在襯4乇器210的上部和周圍i殳置加熱器310、 320。這是因為只在襯托器210的上部和周圍設(shè)置加熱器310、 320， 也可以充分熔解熔鍋200內(nèi)的硅原材料。
如上所述，上述加熱器310、 320用于熔解熔鍋200內(nèi)的硅原 材料，上述硅原材料的熔點(diǎn)約為1420度。
控制上述加熱器310、 320的功率的方式有對施加于加熱器 310、 320上的電壓脈沖占空比(duty ratio)進(jìn)4亍4空制的方式或者對 施加于加熱爐的電壓力永沖周期進(jìn)4于控制的方式等。
無庸置lt,這樣的溫度測量是通過溫度傳感器610、 620進(jìn)4亍。
i殳置多個溫度傳感器610、 620,作為其例子，安裝在加熱器 310和熔鍋200等上。在這里，附圖標(biāo)記321a和321b是用于向加熱器310、 320施 加電力的電極，330是從下面支撐加熱器310、 320的加熱器支撐板， 110是絕熱材泮牛。
在本發(fā)明中，在襯托器210的下側(cè)，相隔規(guī)定距離形成具有孔 121的隔熱才反120。上述孑L 121用于下面將"i兌明的冷卻才反400的移
動路徑。
并且，優(yōu)選地，上述孔121位于襯托器210的正下方。這是為 了便于冷卻板400通過上述孔121接近襯托器210的下側(cè)。
在上述隔熱才反120的上4則i殳置有門500a、 500b,該門500a、 500b用于開關(guān)形成在隔熱板120上的孔121。即，在為了熔解硅原 材料而封閉真空腔內(nèi)部時關(guān)閉門500a、 500b，冷卻板400向上側(cè)上 升時打開門500a、 500b。
在下面詳細(xì)說明上述門500a、 500b的打開/關(guān)閉的方法，所以 在此省略"i兌明。
如上所述，上述冷卻板400具有與形成在隔熱板120上的孔相 同的尺寸，接近襯4乇器210下側(cè)(或者緊貼在下側(cè))，對熔鍋200 的下部進(jìn)4于冷卻。
在上述冷卻々反400的下側(cè)i殳置有用于支撐冷卻才反的冷卻4反支撐 軸410。
通過冷卻才反移動單元(例如電才幾等)(未圖示)實(shí)現(xiàn)上述冷 卻4反400的移動。在這里，冷卻4反400不4又可以進(jìn)4亍上下移動(Z 壽由移動)，還可以進(jìn)4亍六個自由度(x、 y、 z、卡頁殺牛(pitch )、 <扁專爭、 旋轉(zhuǎn)變位等)移動。在本發(fā)明中，在上述冷卻才反400和冷卻^反支撐軸410的內(nèi)側(cè)形 成制冷劑流路401、 402。制冷劑(例如水等)沿著該制冷劑流路 401、 402移動，由此冷卻才反40(M皮冷卻，該冰冷的氣息漸漸冷卻#皮 力口熱的義容4咼200的下部。
在本發(fā)明中，還設(shè)置用于控制上述裝置的控制部(未圖示)。
即，控制部接收溫度傳感器610、 620的輸出值來控制熔鍋200 內(nèi)的溫度，以便使熔鍋200內(nèi)的硅熔解，并實(shí)現(xiàn)均勻生長，并且控 制冷卻^反移動單元，使冷卻板400通過形成在隔熱纟反上的孔121接 近襯托器210的下部，或者緊貼在下部。
并且，控制部通過控制冷卻板移動單元來使緊貼在冷卻板400 上的襯托器210和熔鍋200移動。
并且，控制部對制冷劑的流量和溫度進(jìn)4于控制。
雖然未圖示，但根據(jù)本發(fā)明的太陽能電池用多結(jié)晶硅4t塊制造 裝置還設(shè)置有用于向真空腔內(nèi)部供給惰性氣體的惰性氣體供給部。
此外，在本發(fā)明中，還設(shè)置用于向外部排出真空腔內(nèi)的惰性氣 體的排出部。
優(yōu)選地，上述惰性氣體是氬氣等。
通過控制部控制上述惰性氣體供給部，在啟動加熱器來熔解硅 原材料之前供給惰性氣體，在后面詳細(xì)說明這一 點(diǎn)。
下面i兌明打開/關(guān)閉上述門500a、 500b的方法。有多種打開/關(guān)閉上述門500a、 500b的方法，在本發(fā)明的一實(shí) 施例中，通過在門500a、 500b與隔熱板120之間設(shè)置的4交鏈510a、 510b來打開/關(guān)閉上述門500a、 500b。
即，在本發(fā)明中，在兩個門500a、 500b與隔熱板120之間設(shè) 置4交《連510a、 520b,在熔解石圭原材沖牛之后，為了冷卻上述熔4丙而4吏 后述的冷卻板400上升時，冷卻板400以支撐著門的下側(cè)的方式上 升，這時，兩個門500a、 500b通過鉸鏈510a、 510b打開成雙開門 式。并且，冷卻板400為了冷卻熔鍋200而緊貼在襯托器的下側(cè)或 者4妄近襯托器下側(cè)時，上述的被打開的門500a、 500b 4荅在冷卻板 400的一側(cè)面上(參照圖lc)。
并且，本發(fā)明的特征在于，還包括用于防止劃痕的裝置，當(dāng)冷 卻板400以支撐著門500a、 500b的下側(cè)的狀態(tài)上升時，該裝置用 于防止在冷卻一反400與門500a、 500b 4妄觸4立置發(fā)生劃痕。
作為上述劃痕防止裝置的例子有輥421、 422等，上述輥421、 422i殳置在與門500a、500b的下側(cè)<接觸的冷卻斧反400的一個側(cè)面上。 乂人而，在本發(fā)明中，冷卻板400以支撐著門500a、 500b下側(cè)的狀 態(tài)上升時，隨著上述輥421、 422的滑動，門500a、 500b朝上側(cè)打開。
圖2a和圖2b是根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的太陽能電池用多結(jié)晶 硅錠塊制造裝置中的主要部分的簡略示意圖，圖2a是簡略示出圖 la的主要部分的圖，圖2b是簡略示出圖lc的主要部分的圖。
參照附圖，如上所述，在本發(fā)明的一實(shí)施例中，兩個門500a、 500b以對稱、相對且通過上下打開的雙開門方式開關(guān)。通過i殳置在 門500a、 500b與隔熱板120之間的鉸鏈510a、 510b來開關(guān)上述門。 并且，在與門的下側(cè)*接觸的冷卻^反400的一個側(cè)面上i殳置有壽昆421、422，,人而，在冷卻4反400以支撐著門的下側(cè)的狀態(tài)上升時，可以 防止在冷卻^反400與門500a、 500b 4妄觸的位置上發(fā)生劃痕。
如上所述，在本發(fā)明中，可以利用兩個門，以雙開門方式開關(guān)， 但是，本發(fā)明并不限定于此，如圖3和圖4所示，可以利用四個以 上的門。
圖3a至圖3c是^4居本發(fā)明的另一實(shí)施例的太陽能電池用多結(jié) 晶硅錠塊的制造裝置的立體截面圖，圖3a是初始狀態(tài)示意圖，圖 3b是冷卻板接近門的下側(cè)的狀態(tài)示意圖，圖3c是門被打開，冷卻 板接近(或者緊貼)熔鍋和襯托器的下側(cè)的狀態(tài)示意圖。并且，圖 4a和圖4b是根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的太陽能電池用多結(jié)晶硅錠 塊制造裝置的主要部分的簡略示意圖。
如圖所示，本發(fā)明的另 一 實(shí)施例涉及的太陽能電池用多結(jié)晶硅 4t塊制造裝置i殳置有用于開關(guān)形成在隔熱纟反120上的孔121的四個 門。由J:匕，在本發(fā)曰月中，包4舌i殳置在各門500a、 500b、 500c、 500d 與隔熱板120之間的四個鉸鏈510c、 500d、 500e、 500f,并且將形 成于冷卻^反400上的輥的個l"殳置成對應(yīng)于門500a、 500b、 500c、 500d的數(shù)量的四的倍數(shù)(例如，四個，八個等)數(shù)量。即，在本發(fā) 明的一實(shí)施例中，對應(yīng)門500a、 500b、 500c、 500d的凄t量，i殳置 了四個輥421、 422、 423、 424。
除了門的數(shù)量和輥的數(shù)量之外，其他與圖1和圖2所示的裝置 具有相同的結(jié)構(gòu)，因此，省略只十相同結(jié)構(gòu)的詳細(xì)i兌明。
圖5a至圖5c是本發(fā)明一實(shí)施例涉及的包圍熔鍋和襯托器周圍 的加熱器立體截面圖。首先，參照圖5a，本發(fā)明一實(shí)施例涉及的包圍熔鍋和^H乇器周 圍的加熱器321由多個單元加熱器321a結(jié)合而形成為圓筒狀，乂人 而包圍熔鍋的周圍，上述單元加熱器321a具有對應(yīng)于上述圓筒狀 力口熱器的內(nèi)側(cè)面和外側(cè)面的曲率。
即，在沿長度方向(縱方向)切斷圓筒狀加熱器時，-故切斷的 每一個均是上述的單元加熱器321a,該單元加熱器321a的內(nèi)側(cè)和 外側(cè)沿長度方向具有曲率。
另一方面，參照圖5b,才艮據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的包圍熔鍋和 —于才乇器周圍的加熱器322是由多個單元加熱器322a結(jié)合并包圍熔 鍋200的周圍，該單元加熱器322a的縱截面為四角形狀，沖黃截面 為梯形。
另一方面，參照圖5c, #4居本發(fā)明的又一實(shí)施例的包圍熔鍋和 襯托器周圍的加熱爐323是由多個單元加熱器323a結(jié)合并包圍熔 鍋200的周圍，上述單元加熱器323a為棍狀。即，圖5c示出的加 熱器是使棍狀單元加熱器的側(cè)面連續(xù)相連，沿360度方向排列。該 單元加熱器323a的縱向截面是四角形狀，才黃向截面是圓形。
圖6是根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的太陽能電池用多結(jié)晶硅錠塊制 造方法的流程圖。
下面，參照圖1至圖4、以及圖6說明根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的 太陽能電池用多結(jié)晶硅錠塊的制造方法。
首先，在本發(fā)明中，在熔鍋200內(nèi)填充硅原材料(S101 )。
之后，在本發(fā)明中，關(guān)閉真空腔100和門500a、 500b等，封
閉真空腔，使其成為真空狀態(tài)(S102)。之后，在本發(fā)明中，向真空腔100內(nèi)填充惰性氣體(Ar等)， 直到達(dá)到規(guī)定壓力(S103)。在本發(fā)明中，持續(xù)地向腔內(nèi)放入規(guī)定 量的上述惰性氣體的同時進(jìn)行如下操作。
之后，在本發(fā)明中，啟動位于熔鍋的上部和周圍的加熱器310、 320,使熔鍋內(nèi)的硅原材料熔解(S104 )。
之后，在本發(fā)明中，上升冷卻板400,打開門500a ~ 500d( S105 )。 之后，進(jìn)一步上升冷卻板400，使其緊貼在襯托器210的下部，或 者4妄近^H^乇器的下側(cè)(S106)。
利用i殳置在門500a、 500b與隔熱板120之間的4交鏈510a、 510b 來打開門。即，冷卻板400以支撐著門的下側(cè)的狀態(tài)上升，此時， 通過4交鏈510a、 510b,兩個門500a、 500b ^皮打開成雙開門式。在 本發(fā)明中，在與門500a、 500b的下側(cè)接觸的冷卻板400的一個側(cè) 面上i殳置棍421、 422，由于該沖昆421、 422，當(dāng)冷卻^反400以支撐 著門500a、 500b的下則的狀態(tài)上升時，可以防止在冷卻才反400與 門500a、 500b接觸的位置發(fā)生劃痕。
之后，在本發(fā)明中，通過對加熱器310、 320的熱量、流過冷 卻板的制冷劑的溫度以及制冷劑的流量進(jìn)行控制，使熔鍋200的下 部冷卻(S107)， 乂人而可以佳J圭結(jié)晶/人下部向上部均勻成長。
如上所述，參照本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行了說明，但是，本領(lǐng) 域技術(shù)人員在不脫離權(quán)利要求書中記載的原理和范圍的情況下，可 以將本發(fā)明修改或變更為多種形式。
權(quán)利要求
1. 一種安裝有采用鉸鏈的門開關(guān)裝置的太陽能電池用多結(jié)晶硅錠塊制造裝置，所述太陽能電池用多結(jié)晶硅錠塊制造裝置包括真空腔；熔鍋，設(shè)置在所述真空腔內(nèi)，且具有預(yù)定形狀；襯托器，包圍并保護(hù)所述熔鍋；支撐臺，設(shè)置在所述襯托器的下側(cè)，用于支撐襯托器；加熱器，用于加熱，以使所述熔鍋內(nèi)的硅原材料熔解；隔熱板，與所述襯托器的下側(cè)相隔規(guī)定距離，并形成有孔；冷卻板，具有與所述隔熱板上的孔相同的尺寸，且在冷卻熔鍋的下部時，所述冷卻板從隔熱板的下側(cè)通過孔上升，緊貼在襯托器的下側(cè)或接近襯托器下側(cè)；冷卻板支撐軸，設(shè)置在所述冷卻板的下側(cè)，起到支撐冷卻板的軸的作用，其內(nèi)部設(shè)置有制冷劑流路；冷卻板移動單元，用于移動所述冷卻板和冷卻板支撐軸；惰性氣體供給和排出部，用于向真空腔內(nèi)供給惰性氣體和向外部排出真空腔內(nèi)的惰性氣體；溫度傳感器，用于檢測所述熔鍋內(nèi)溫度；以及控制部，接收所述溫度傳感器的輸出值后控制熔鍋內(nèi)的溫度，以使熔鍋內(nèi)的硅熔解并均勻生長，并且，控制所述惰性氣體的供給和排出部，以便將真空腔內(nèi)的惰性氣體維持在一定水平上，并且控制所述冷卻板移動單元，以使所述冷卻板通過形成在隔熱板上的孔來接近所述襯托器的下側(cè)或者緊貼在襯托器的下側(cè)，其特征在于，包括用于開關(guān)形成在所述隔熱板上的孔的門，且通過設(shè)置在所述門與隔熱板之間的鉸鏈開關(guān)所述門，在熔解硅原材料后，為了冷卻所述熔鍋而使冷卻板上升時，所述冷卻板以支撐著門的下側(cè)的狀態(tài)上升，通過所述鉸鏈，門被打開成開關(guān)狀，在所述冷卻板接近襯托器下側(cè)或者緊貼在所述襯托器下側(cè)時，該被打開的門的一側(cè)搭在所述冷卻板的一個側(cè)面上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的安裝有采用鉸鏈的門開關(guān)裝置的太陽 能電池用多結(jié)晶硅4t塊制造裝置，其特征在于，還包括劃痕防止裝置，在所述冷卻板以支撐著門的下側(cè) 的狀態(tài)上升時，所述劃痕防止裝置用于防止在冷卻板與門接觸 的位置發(fā)生劃痕。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的安裝有采用鉸鏈的門開關(guān)裝置的太陽 能電池用多結(jié)晶硅錠塊制造裝置，其特征在于，所述劃痕防止裝置在與所述門的下側(cè)4妻觸的冷卻板的一 個側(cè)面上i殳置有專昆，在所述冷卻才反以支撐著門的下側(cè)的狀態(tài)上 升時，隨著所述輥滑動，門^皮向上打開。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的安裝有釆用鉸鏈的門開關(guān)裝置的太陽 能電池用多結(jié)晶硅錠塊制造裝置，其特征在于，i殳置有多個所述門，且在與門4妄觸的冷卻^反的側(cè)面上分 別設(shè)置有作為所述劃痕防止裝置的輥。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的安裝有采用鉸鏈的門開關(guān)裝置的太 陽能電池用多結(jié)晶硅一淀塊制造裝置，其特征在于，所述熔鍋i殳置在真空腔的中心，所述隔熱纟反上的孔位于^H毛器的正下面。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的安裝有采用鉸鏈的門開關(guān)裝置的太 陽能電池用多結(jié)晶硅錠塊制造裝置，其特征在于，在所述冷卻板和冷卻板支撐軸內(nèi)側(cè)設(shè)置有制冷劑流路。
全文摘要
本發(fā)明提供一種安裝有采用鉸鏈的門開關(guān)裝置的太陽能電池用多結(jié)晶硅錠塊制造裝置，該裝置包括用于開關(guān)形成在隔熱板上的孔的門，且通過設(shè)置在上述門與隔熱板之間的鉸鏈開關(guān)上述門，在熔解硅原材料后，為了冷卻熔鍋而使冷卻板上升時，上述冷卻板以支撐著門的下側(cè)的狀態(tài)上升，通過鉸鏈，門以開關(guān)狀被打開，在上述冷卻板接近襯托器下側(cè)或者緊貼在襯托器下側(cè)時，上述被打開的門的一側(cè)搭在上述冷卻板的一個側(cè)面上。
文檔編號C30B29/06GK101440518SQ20081016900
公開日2009年5月27日 申請日期2008年10月6日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月5日
發(fā)明者吉鐘元, 文相珍, 蘇源郁 申請人:Glosil株式會社;韓國化學(xué)研究院