專利名稱：一種射頻自動(dòng)阻抗匹配器及其實(shí)現(xiàn)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及阻抗匹配技術(shù)，特別涉及一種射頻自動(dòng)阻抗匹配器及其實(shí)現(xiàn) 方法。
背景技術(shù)：
在典型的射頻(RF， Radio Frequency )等離子體發(fā)生裝置中，恒定輸出阻 抗的RF發(fā)生器產(chǎn)生固定頻率的RF波，為等離子體腔室提供RF功率，以激發(fā) 產(chǎn)生用于刻蝕或用于其它工藝的等離子體。其中，RF發(fā)生器的恒定輸出阻抗通 常為50Q，產(chǎn)生的固定頻率通常為13.56MHz。通常情況下，等離子體腔室的 負(fù)載阻抗與RF發(fā)生器的恒定輸出阻抗并不相等，所以，在RF發(fā)生器與等離子 體腔室之間會(huì)存在比較嚴(yán)重的阻抗失配，從而使得位于RF發(fā)生器與等離子體 腔室之間的RF傳輸線上存在較大的反射功率，造成RF發(fā)生器產(chǎn)生的功率無法 全部輸送給等離子體腔室。
為解決這一問題，現(xiàn)有技術(shù)中在RF發(fā)生器與等離子體腔室之間設(shè)置一個(gè) 射頻自動(dòng)阻抗匹配器，如圖1所示，圖1為現(xiàn)有射頻自動(dòng)阻抗匹配器組成結(jié)構(gòu) 示意圖。其中的負(fù)載即代表等離子體腔室的負(fù)載阻抗。由圖1可見，該射頻自 動(dòng)阻抗匹配器主要由傳感器、控制器以及執(zhí)行機(jī)構(gòu)三部分組成；其中的執(zhí)行機(jī)
置。這里所提到的匹配網(wǎng)絡(luò)是指由可變阻抗元件以及等離子體腔室的負(fù)載阻抗 組成的網(wǎng)絡(luò)。傳感器檢測位于射頻自動(dòng)阻抗匹配器與RF發(fā)生器之間的RF傳輸 線上的電壓、電流、前向功率以及反向功率等參數(shù)，提供匹配控制算法所需的 輸入量。這里所提到的反向功率即為反射功率?？刂破鞲鶕?jù)傳感器提供的輸入 量，通過預(yù)先確定的匹配控制算法，計(jì)算得出可變阻抗元件的調(diào)整量，并輸出給執(zhí)行機(jī)構(gòu)中的驅(qū)動(dòng)裝置；驅(qū)動(dòng)裝置根據(jù)接收自控制器的調(diào)整量改變可變阻抗
元件的阻抗值，從而使得匹配網(wǎng)絡(luò)的輸入阻抗與RF發(fā)生器的恒定輸出阻抗相等，即達(dá)到阻抗匹配。這樣，RF傳輸線上的發(fā)射功率為零，RF發(fā)生器產(chǎn)生的功率全部輸送到了等離子體腔室。
如圖1所示，在現(xiàn)有的射頻自動(dòng)阻抗匹配器中，除了執(zhí)行機(jī)構(gòu)內(nèi)包括的受驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)能夠改變自身阻抗值的可變阻抗元件外，通常還會(huì)在負(fù)載輸出端和地之間串接一可變電容C3,作為負(fù)載接地電容。該負(fù)載接地電容從結(jié)構(gòu)上說位于射頻自動(dòng)阻抗匹配器內(nèi)。通過改變負(fù)載接地電容的值，可以將負(fù)載阻抗調(diào)整至射頻自動(dòng)阻抗匹配器的匹配范圍中，以使得射頻自動(dòng)阻抗匹配器能夠自動(dòng)匹配。 一般情況下，在負(fù)載阻抗不跳出射頻自動(dòng)阻抗匹配器的匹配范圍的情況下，負(fù)載接地電容值一經(jīng)確定，就不會(huì)再作改動(dòng)。
雖然通過調(diào)整負(fù)載接地電容的值可以實(shí)現(xiàn)阻抗匹配，但是在實(shí)際應(yīng)用中，現(xiàn)有的負(fù)載接地電容調(diào)整方式也帶來了 一系列的問題，比如
首先，為了保證工藝處理的速度以及準(zhǔn)確度，射頻自動(dòng)阻抗匹配器必須能在多種工藝條件下實(shí)現(xiàn)快速、精確匹配。負(fù)載接地電容值的確定，需要建立在多項(xiàng)工藝實(shí)驗(yàn)的結(jié)果和個(gè)人經(jīng)驗(yàn)的基礎(chǔ)上，只有經(jīng)過了多項(xiàng)工藝實(shí)驗(yàn)的驗(yàn)證，才能保證該項(xiàng)工藝下，射頻自動(dòng)阻抗匹配器可以正常工作，即可以完成阻抗匹配。而用戶要求的工藝結(jié)果決定了工藝條件， 一旦當(dāng)其它條件發(fā)生變化，導(dǎo)致某項(xiàng)工藝下的負(fù)載阻抗跳出射頻自動(dòng)阻抗匹配器的匹配范圍時(shí)，如果要保證與之前同樣的工藝結(jié)果，比如，要求刻蝕出的線條深度一樣等，就需要調(diào)整負(fù)栽接地電容值，以便將負(fù)載阻抗再次調(diào)整至射頻自動(dòng)阻抗匹配器的匹配范圍內(nèi)，使得射頻自動(dòng)阻抗匹配器仍舊可以快速、精確地匹配。調(diào)整負(fù)載接地電容雖然能夠解決上述問題，但是需要在該工藝條件下進(jìn)行大量的實(shí)驗(yàn)，并且需要重新驗(yàn)證在其它工藝條件下，調(diào)整后的負(fù)載接地電容值是否仍然使用，即，當(dāng)負(fù)栽接地電容設(shè)置為當(dāng)前值時(shí)，在其它工藝條件下，是否也能夠正確地完成阻抗匹配。
另外，雖然負(fù)載接地電容值在一定范圍內(nèi)可變，但是當(dāng)需要改變負(fù)載接地電容的值時(shí)，需要在射頻自動(dòng)阻抗匹配器外部由用戶進(jìn)行手動(dòng)調(diào)整，所以不可能作到實(shí)時(shí)，只能根據(jù)實(shí)際工藝步驟進(jìn)行調(diào)整。
再有，按照現(xiàn)有技術(shù)確定出的負(fù)載接地電容值，雖然經(jīng)過了各項(xiàng)工藝實(shí)驗(yàn)的驗(yàn)證，但該值只是綜合了各項(xiàng)工藝條件，權(quán)衡利弊后，選擇的一個(gè)"中間值"，而不是適合于特定工藝條件下的"最優(yōu)值"。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實(shí)施例提供一種射頻自動(dòng)阻抗匹配器，能夠根據(jù)工藝條件的變化，自動(dòng)將當(dāng)前負(fù)載接地電容的值調(diào)整為適合當(dāng)前工藝條件的最優(yōu)值。
本發(fā)明實(shí)施例提供一種射頻自動(dòng)阻抗匹配器實(shí)現(xiàn)方法，能夠根據(jù)工藝條件的變化，自動(dòng)將當(dāng)前負(fù)載接地電容的值調(diào)整為適合當(dāng)前工藝條件的最優(yōu)值。
本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的
一種射頻自動(dòng)阻抗匹配器，包括傳感器以及執(zhí)行機(jī)構(gòu)，所述射頻自動(dòng)阻抗匹配器還包括控制器、驅(qū)動(dòng)裝置以及負(fù)載接地電容；
所述控制器，用于獲取當(dāng)前的工藝條件，根據(jù)預(yù)先確定并存儲(chǔ)的不同工藝條件下對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值，確定與所述當(dāng)前工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值，并控制所述驅(qū)動(dòng)裝置將所述負(fù)載接地電容的當(dāng)前值調(diào)整為所述確定的最優(yōu)負(fù)載接地電容值；
所述驅(qū)動(dòng)裝置，用于在所述控制器的控制下，將所述負(fù)載接地電容的當(dāng)前值調(diào)整為所述控制器確定的最優(yōu)負(fù)載接地電容值；
所述負(fù)載接地電容，用于在所述驅(qū)動(dòng)裝置的控制下，改變自身電容值。
一種射頻自動(dòng)阻抗匹配器實(shí)現(xiàn)方法，在控制器與負(fù)載接地電容之間設(shè)置一個(gè)用于控制負(fù)載接地電容的驅(qū)動(dòng)裝置；該方法包括
控制器獲取當(dāng)前的工藝條件，根據(jù)預(yù)先確定并存儲(chǔ)的不同工藝條件下對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值，確定與所述當(dāng)前工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值；所述控制器控制所述驅(qū)動(dòng)裝置將所述負(fù)栽接地電容的當(dāng)前值調(diào)整為所 述確定的最優(yōu)負(fù)載接地電容值。
可見，采用本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案，在控制器與負(fù)載接地電容之間設(shè)
置一個(gè)用于控制負(fù)載接地電容的驅(qū)動(dòng)裝置；當(dāng)需要進(jìn)行阻抗匹配時(shí)，控制器 獲取當(dāng)前的工藝條件，根據(jù)預(yù)先確定并存儲(chǔ)的不同工藝條件下對應(yīng)的最優(yōu)負(fù) 載接地電容值，確定與當(dāng)前工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值，并控制驅(qū) 動(dòng)裝置將負(fù)載接地電容的當(dāng)前值調(diào)整為所確定的最優(yōu)負(fù)載接地電容值。與現(xiàn) 有技術(shù)相比，本發(fā)明實(shí)施例所述方案中，能夠根據(jù)工藝條件的變化，自動(dòng)將 當(dāng)前負(fù)載接地電容的值調(diào)整為適合當(dāng)前工藝條件的最優(yōu)值。


圖1為現(xiàn)有射頻自動(dòng)阻抗匹配器組成結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本發(fā)明射頻自動(dòng)阻抗匹配器實(shí)施例的組成結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3為本發(fā)明實(shí)施例中控制器的組成結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4為本發(fā)明射頻自動(dòng)阻抗匹配器實(shí)現(xiàn)方法實(shí)施例的流程圖。
具體實(shí)施例方式
為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本發(fā)明實(shí)施例中提出 一 種新的射頻自動(dòng) 阻抗匹配器及其實(shí)現(xiàn)方法，即，在控制器與負(fù)載接地電容之間設(shè)置一個(gè)用于 控制負(fù)載接地電容的驅(qū)動(dòng)裝置；當(dāng)需要進(jìn)行阻抗匹配時(shí)，控制器獲取當(dāng)前的 工藝條件，根據(jù)預(yù)先確定并存儲(chǔ)的不同工藝條件下對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容 值，確定與該工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值；然后，控制器控制驅(qū)動(dòng) 裝置將負(fù)載接地電容的當(dāng)前值調(diào)整為所確定的最優(yōu)負(fù)載接地電容值。
為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下參照附圖并舉實(shí) 施例，對本發(fā)明作進(jìn)一步地詳細(xì)說明。
圖2為本發(fā)明射頻自動(dòng)阻抗匹配器實(shí)施例的組成結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所 示，該射頻自動(dòng)阻抗匹配器包括控制器201 、驅(qū)動(dòng)裝置202以及負(fù)載接地電容203;此外，該射頻自動(dòng)阻抗匹配器中進(jìn)一步包括傳感器204以及執(zhí)行 機(jī)構(gòu)205。其中
控制器201,用于獲取當(dāng)前的工藝條件，根據(jù)預(yù)先確定并存儲(chǔ)的不同工 藝條件下對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值，確定與該工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接 地電容值，并控制驅(qū)動(dòng)裝置202將負(fù)載接地電容203的當(dāng)前值調(diào)整為確定出 的最優(yōu)負(fù)載接地電容值；
驅(qū)動(dòng)裝置202,用于在控制器201的控制下，將負(fù)載接地電容203的當(dāng) 前值調(diào)整為控制器201確定的最優(yōu)負(fù)載接地電容值；
負(fù)載接地電容203，用于在驅(qū)動(dòng)裝置202的控制下，改變自身電容值。
由于傳感器204以及執(zhí)行機(jī)構(gòu)205的功能均與現(xiàn)有技術(shù)中相同，且與本 發(fā)明所述方案無關(guān)，所以，不再贅述。
其中，圖2所示控制器201中可進(jìn)一步包括獲取單元2011、確定單 元2012以及控制單元2013。如圖3所示，其中
獲取單元2011，用于獲取當(dāng)前的工藝條件；
確定單元2012,用于根據(jù)預(yù)先確定并存儲(chǔ)的不同工藝條件下對應(yīng)的最 優(yōu)負(fù)載接地電容值，確定與所述工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值；
控制單元2013，用于控制驅(qū)動(dòng)裝置202將負(fù)載接地電容203的當(dāng)前值 調(diào)整為所確定的最優(yōu)負(fù)載接地電容值。
如圖2所示，假設(shè)該實(shí)施例中的驅(qū)動(dòng)裝置為步進(jìn)電機(jī)。這里所提到的步 進(jìn)電機(jī)，是指一種將電脈沖轉(zhuǎn)化為角位移的執(zhí)行機(jī)構(gòu)，具有"一個(gè)脈沖走一 步，，的特性。也就是說，步進(jìn)電機(jī)每接收到一個(gè)脈沖信號，則按照設(shè)定的方 向轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)固定的角度，即步進(jìn)角。圖2所示實(shí)施例中，利用步進(jìn)電機(jī)來控 制負(fù)載接地電容值的改變。步進(jìn)電機(jī)每轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)角度，即運(yùn)轉(zhuǎn)一次，則驅(qū)動(dòng) 負(fù)載接地電容調(diào)整一次自身的當(dāng)前值，具體調(diào)整多少可根據(jù)實(shí)際需要預(yù)先設(shè) 定，但每次調(diào)整的電容值一樣。圖2所示實(shí)施例的具體工作方式如下
將預(yù)先確定的各不同工藝條件下對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值以表格的 形式存儲(chǔ)在控制器中。比如，將不同工藝條件及其對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值按照一一對應(yīng)的方式存儲(chǔ)在表格中。其中，不同工藝條件下對應(yīng)的最優(yōu)負(fù) 載接地電容值可以按照現(xiàn)有技術(shù)確定，即通過多次工藝實(shí)驗(yàn)結(jié)果確定，不再 贅述。
當(dāng)需要進(jìn)行阻抗匹配時(shí)，控制器201根據(jù)上位機(jī)發(fā)出的指令，確定當(dāng)前 的工藝條件。本發(fā)明實(shí)施例中的上位機(jī)可以是指現(xiàn)有技術(shù)中的工藝控制軟件 所在的設(shè)備，工藝控制軟件所在設(shè)備向控制器201發(fā)送指令，其中攜帶有當(dāng) 前工藝條件?？刂破?01通過查找預(yù)先設(shè)置的表格，找到與當(dāng)前工藝條件對 應(yīng)的最優(yōu)的負(fù)載接地電容值，進(jìn)而根據(jù)預(yù)先設(shè)置的步進(jìn)電機(jī)202每運(yùn)轉(zhuǎn) 一次 能夠控制負(fù)載接地電容203改變的電容值，計(jì)算如果將負(fù)載接地電容203的 當(dāng)前值調(diào)整為確定出的最優(yōu)的負(fù)載接地電容值，需要驅(qū)動(dòng)步進(jìn)電機(jī)202運(yùn)轉(zhuǎn) 的次數(shù)。
假設(shè)本實(shí)施例中計(jì)算出需要步進(jìn)電機(jī)203運(yùn)轉(zhuǎn)4次，那么，控制器201 向步進(jìn)電機(jī)202連續(xù)發(fā)送4個(gè)步進(jìn)脈沖；步進(jìn)電機(jī)202每接收到一個(gè)來自控 制器201的步進(jìn)脈沖，則轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)固定的角度，并驅(qū)動(dòng)負(fù)載接地電容203改 變一定的電容值。步進(jìn)電機(jī)202如何驅(qū)動(dòng)負(fù)載接地電容203的值改變?yōu)楸绢I(lǐng) 域公知，不再贅述。經(jīng)過4次上述過程后，即可將負(fù)載接地電容203的值調(diào) 整為控制器201確定出的當(dāng)前工藝條件下對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值，即將 負(fù)載阻抗位置調(diào)整至最佳。需要說明的是，步進(jìn)電機(jī)202驅(qū)動(dòng)負(fù)載接地電容 203每次改變的電容值可預(yù)先設(shè)定，但每次改變的負(fù)載接地電容203的值越 小，最終得到的負(fù)載接地電容203的調(diào)整準(zhǔn)確度越高。
后續(xù)過程中，如果當(dāng)前工藝條件發(fā)生變化，那么只需按照上述流程重新 進(jìn)4亍阻^坑匹配即可。
基于上述介紹，圖4為本發(fā)明射頻自動(dòng)阻抗匹配器實(shí)現(xiàn)方法實(shí)施例的流 程圖。如圖4所示，該方法包括
步驟401:控制器獲取當(dāng)前的工藝條件，根據(jù)預(yù)先確定并存儲(chǔ)的不同工 藝條件下對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值，確定與該工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接 地電容值。本步驟中，不同工藝條件下對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值以表格的形式存 儲(chǔ)在控制器中；控制器通過查找表格，找到與當(dāng)前工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載 接地電容值。
步驟402:控制器控制驅(qū)動(dòng)裝置將負(fù)載接地電容的當(dāng)前值調(diào)整為所確定 的最優(yōu)負(fù)載接地電容值。
假設(shè)本實(shí)施例中的驅(qū)動(dòng)裝置為步進(jìn)電機(jī)。那么，本步驟中，控制器首先 根據(jù)預(yù)先確定的步進(jìn)電機(jī)每運(yùn)轉(zhuǎn)一次能夠改變的負(fù)載接地電容值，計(jì)算將負(fù) 載接地電容的當(dāng)前值調(diào)整為所確定的最優(yōu)負(fù)載接地電容值，需要驅(qū)動(dòng)步進(jìn)電 機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)的次數(shù)；之后，控制器向步進(jìn)電機(jī)連續(xù)發(fā)送步進(jìn)脈沖，發(fā)送的步進(jìn)脈 沖數(shù)等于所確定的需要驅(qū)動(dòng)步進(jìn)電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)的次數(shù)；步進(jìn)電機(jī)每接收到一個(gè)步 進(jìn)脈沖，則運(yùn)轉(zhuǎn)一次，并控制負(fù)載接地電容值改變一次當(dāng)前值。
圖4所示方法實(shí)施例的具體工作流程請參照圖2所示設(shè)備實(shí)施例中的相 關(guān)說明，此處不再贅述。
可見，采用本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案，負(fù)載接地電容真正成為了 "可變" 電容，負(fù)載接地電容值可以隨工藝條件的變化而實(shí)時(shí)變化，而且保證了在不 同工藝條件下，負(fù)載接地電容值都是"最優(yōu)"的。當(dāng)然，本發(fā)明實(shí)施例中所 提到的"最優(yōu)"只是一個(gè)相對概念，是指相對于現(xiàn)有技術(shù)中各不同工藝條件 下均使用同 一個(gè)負(fù)載接地電容值的方式，按照本發(fā)明實(shí)施例所述方案確定出 的每一個(gè)負(fù)栽接地電容值都是適合于特定工藝條件下的最優(yōu)電容值。而且，
一旦條件發(fā)生變化，導(dǎo)致某項(xiàng)工藝下負(fù)載阻抗跳出射頻自動(dòng)阻抗匹配器的匹 配范圍時(shí)，只需針對該工藝條件實(shí)驗(yàn)并確定新的最優(yōu)負(fù)載接地電容值，并相 應(yīng)地更新控制器中存儲(chǔ)的表格即可。而且，由于采用本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方 案后，不同的工藝條件對應(yīng)不同的最優(yōu)負(fù)載接地電容值，所以對于新確定出 的負(fù)載接地電容值，不需要再像現(xiàn)有技術(shù)一樣，驗(yàn)證其是否滿足其它工藝條 件。
總之，采用本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案，最優(yōu)負(fù)載接地電容值的確定不需 要再考慮所有的工藝條件，更有針對性，可以在不同工藝條件下使用各自的最優(yōu)負(fù)載接地電容值。
需要說明的是，以上實(shí)施例僅為舉例說明，并不用于限制本發(fā)明的技術(shù) 方案。比如，上述實(shí)施例中以驅(qū)動(dòng)裝置為步進(jìn)電機(jī)為例進(jìn)行說明，但在實(shí)際 應(yīng)用中，該驅(qū)動(dòng)裝置也可以是其它設(shè)備，比如直流電機(jī)，只要能夠完成本發(fā) 明實(shí)施例中所述功能，即在控制器的控制下，控制負(fù)載接地電容改變自身電 容值即可。另外，由于本發(fā)明實(shí)施例中所采用的驅(qū)動(dòng)裝置步進(jìn)電機(jī)具有"一 個(gè)脈沖走一步"的特性，所以本發(fā)明實(shí)施例中的控制器采用開環(huán)控制方式來 控制負(fù)載接地電容值的調(diào)整。但在實(shí)際應(yīng)用中，也可以采用閉環(huán)控制方式， 比如，可以設(shè)置一個(gè)測量裝置，用于實(shí)時(shí)測量負(fù)載接地電容值改變過程中的
電容值，并反饋給控制器；控制器根據(jù)反饋結(jié)果，實(shí)時(shí)調(diào)整對驅(qū)動(dòng)裝置的控 制方式，即調(diào)整對負(fù)載接地電容的控制方式。具體實(shí)現(xiàn)方式為本領(lǐng)域公知， 不再贅述。
綜上所述，以上僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非用于限定本發(fā)明的 保護(hù)范圍。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改 進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1、一種射頻自動(dòng)阻抗匹配器，包括傳感器以及執(zhí)行機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述射頻自動(dòng)阻抗匹配器還包括控制器、驅(qū)動(dòng)裝置以及負(fù)載接地電容；所述控制器，用于獲取當(dāng)前的工藝條件，根據(jù)預(yù)先確定并存儲(chǔ)的不同工藝條件下對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值，確定與所述當(dāng)前工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值，并控制所述驅(qū)動(dòng)裝置將所述負(fù)載接地電容的當(dāng)前值調(diào)整為所述確定的最優(yōu)負(fù)載接地電容值；所述驅(qū)動(dòng)裝置，用于在所述控制器的控制下，將所述負(fù)載接地電容的當(dāng)前值調(diào)整為所述控制器確定的最優(yōu)負(fù)載接地電容值；所述負(fù)載接地電容，用于在所述驅(qū)動(dòng)裝置的控制下，改變自身電容值。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻自動(dòng)阻抗匹配器，其特征在于，所述驅(qū) 動(dòng)裝置為步進(jìn)電機(jī)，用于接收所述控制器發(fā)送的步進(jìn)脈沖，控制所述負(fù)載接 地電容改變當(dāng)前值；所述控制器根據(jù)預(yù)先確定的步進(jìn)電機(jī)每一步進(jìn)所改變的負(fù)載接地電容 值，計(jì)算將負(fù)載接地電容的當(dāng)前值調(diào)整為所述確定的最優(yōu)負(fù)載接地電容值 時(shí)，需要向所述步進(jìn)電機(jī)連續(xù)發(fā)送的步進(jìn)脈沖個(gè)數(shù)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻自動(dòng)阻抗匹配器，其特征在于，所述射 頻自動(dòng)阻抗匹配器中進(jìn)一 步包括測量裝置，用于實(shí)時(shí)測量所述負(fù)載接地電容的當(dāng)前值，并反饋給所述控 制器；所述控制器根據(jù)所述反饋結(jié)果，實(shí)時(shí)調(diào)整對所述驅(qū)動(dòng)裝置的控制方式。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻自動(dòng)阻抗匹配器，其特征在于，所述控 制器進(jìn)一步用于，對所述存儲(chǔ)的不同工藝條件下對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)栽接地電容值 進(jìn)行更新。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1 ~4中任一項(xiàng)所述的射頻自動(dòng)阻抗匹配器，其特征在 于，所述控制器中進(jìn)一步包括獲取單元、確定單元以及控制單元；所述獲取單元，用于獲取當(dāng)前的工藝條件；所述確定單元，用于根據(jù)預(yù)先確定并存儲(chǔ)的不同工藝條件下對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值，確定與所述當(dāng)前工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值；所述控制單元，用于控制所述驅(qū)動(dòng)裝置將所述負(fù)載接地電容的當(dāng)前值調(diào) 整為所述確定的最優(yōu)負(fù)載接地電容值。
6、 一種射頻自動(dòng)阻抗匹配器實(shí)現(xiàn)方法，其特征在于，在控制器與負(fù)載 接地電容之間設(shè)置一個(gè)用于控制負(fù)載接地電容的驅(qū)動(dòng)裝置；該方法包括控制器獲取當(dāng)前的工藝條件，根據(jù)預(yù)先確定并存儲(chǔ)的不同工藝條件下對 應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值，確定與所述當(dāng)前工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電 容值；所述控制器控制所述驅(qū)動(dòng)裝置將所述負(fù)載接地電容的當(dāng)前值調(diào)整為所 述確定的最優(yōu)負(fù)載接地電容值。
7、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述不同工藝條件下對 應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值以表格的形式存儲(chǔ)在所述控制器中；所述確定與所述工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值包括 所述控制器通過查找所述表格，找到與所述當(dāng)前工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù) 載接地電容值。
8、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置為步進(jìn)電 機(jī)；所述控制器控制所述驅(qū)動(dòng)裝置將所述負(fù)載接地電容的當(dāng)前值調(diào)整為所述 確定的最優(yōu)負(fù)載接地電容值包括所述控制器根據(jù)預(yù)先確定的所述步進(jìn)電機(jī)每一步進(jìn)所改變的負(fù)載接地 電容值，計(jì)算將所述負(fù)載接地電容的當(dāng)前值調(diào)整為所述確定的最優(yōu)負(fù)載接地 電容值時(shí)，需要向所述步進(jìn)電機(jī)連續(xù)發(fā)送的步進(jìn)脈沖個(gè)數(shù)； 所述控制器向所述步進(jìn)電機(jī)連續(xù)發(fā)送步進(jìn)脈沖； 所述步進(jìn)電機(jī)接收步進(jìn)脈沖，控制所述負(fù)載接地電容改變當(dāng)前值。
9、 根據(jù)權(quán)利要求6、 7或8所述的方法，其特征在于，該方法進(jìn)一步包 括對所述控制器中存儲(chǔ)的不同工藝條件下對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值進(jìn)行更新。
全文摘要
本發(fā)明實(shí)施例公開了一種射頻自動(dòng)阻抗匹配器實(shí)現(xiàn)方法，在控制器與負(fù)載接地電容之間設(shè)置一個(gè)用于控制負(fù)載接地電容的驅(qū)動(dòng)裝置；控制器獲取當(dāng)前的工藝條件，根據(jù)預(yù)先確定并存儲(chǔ)的不同工藝條件下對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值，確定與所述工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)負(fù)載接地電容值；所述控制器控制所述驅(qū)動(dòng)裝置將所述負(fù)載接地電容的當(dāng)前值調(diào)整為所述確定的最優(yōu)負(fù)載接地電容值。本發(fā)明實(shí)施例同時(shí)公開了一種射頻自動(dòng)阻抗匹配器。應(yīng)用本發(fā)明實(shí)施例所述的射頻自動(dòng)阻抗匹配器實(shí)現(xiàn)方法及射頻自動(dòng)阻抗匹配器，能夠?qū)?dāng)前的負(fù)載接地電容值自動(dòng)調(diào)整為與當(dāng)前工藝條件對應(yīng)的最優(yōu)值。
文檔編號H05H1/46GK101478856SQ20081005564
公開日2009年7月8日 申請日期2008年1月4日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月4日
發(fā)明者曄 武 申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司