專(zhuān)利名稱(chēng)：旋流式非接觸吸盤(pán)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及的是一種輸送設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域的吸盤(pán)，具體是一種旋流式非接觸吸盤(pán)。
技術(shù)背景由于半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，傳統(tǒng)的接觸式搬運(yùn)方法已經(jīng)不適用于搬運(yùn)半導(dǎo)體晶片、 等離子顯示器基板、液晶顯示器基板等器件，隨著電視液晶顯示屏需求尺寸的不斷 擴(kuò)大、尺寸重量規(guī)格的增加，液晶產(chǎn)能的提高，傳統(tǒng)的輸送方式已滿足不了輸送的 需要，而且提高產(chǎn)品的良品率是液晶工廠不斷追求的目標(biāo)，根據(jù)液晶基板的特性， 非接觸式輸送設(shè)備得以進(jìn)人人們的視野，非接觸式的輸送、清洗成為必不可少的方 式。經(jīng)對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的文獻(xiàn)檢索發(fā)現(xiàn)，中國(guó)實(shí)用新型專(zhuān)利公開(kāi)號(hào)為CN2269673，該專(zhuān) 利提到一種氣動(dòng)吸裝機(jī)，其主要是由改向器、吸盤(pán)、擴(kuò)散頭構(gòu)成，改向器的導(dǎo)向孔 排出高速氣流時(shí)形成的壓強(qiáng)差，使吸盤(pán)上的吸孔及吸孔氣道內(nèi)形成負(fù)壓以吸附球狀 零件。由于吸盤(pán)與球形零件在吸附狀態(tài)下是相互接觸的，所以不能實(shí)現(xiàn)非接觸式的 吸附。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種旋流式非接觸吸盤(pán)，使其 在吸盤(pán)中產(chǎn)生旋流，使得吸盤(pán)中壓力產(chǎn)生真空，從而通過(guò)壓力差提升工件；另一方 面氣體流經(jīng)杯緣與工件的間隙產(chǎn)生靜壓支撐保證工件與吸盤(pán)表面沒(méi)有接觸，從而實(shí) 現(xiàn)非接觸吸附工件的功能。本發(fā)明是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的，本發(fā)明包括杯體、內(nèi)腔繞流體和噴嘴， 其中杯體內(nèi)部為圓柱狀孔體，內(nèi)腔繞流體設(shè)于杯體的底部，杯體與內(nèi)腔繞流體之 間留有圓柱環(huán)狀間隙，杯體近底部的側(cè)面設(shè)有噴嘴。所述噴嘴，其與杯體內(nèi)表面相切。所述內(nèi)腔繞流體，其高度小于杯體的高度。3所述內(nèi)腔繞流體，其通過(guò)螺紋與杯體底部固定連接。本發(fā)明工作時(shí)，將具有一定壓力的壓縮空氣引入噴嘴，由于噴嘴與杯體內(nèi)表面 相切，氣流將繞著杯體內(nèi)表面及內(nèi)部繞流體形成的間隙進(jìn)行高速旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)致杯 內(nèi)的氣體動(dòng)壓增加，靜壓減小，內(nèi)部繞流體下部產(chǎn)生局部真空，從而造成處于下方 的工件與吸盤(pán)之間產(chǎn)生真空現(xiàn)象，在真空作用下，工件被吸起。工件被吸起后，工 件與杯體下緣的距離減小，這樣導(dǎo)致從杯體內(nèi)部向外部流出的氣體流動(dòng)阻力增加， 杯內(nèi)及杯緣的壓力升高，產(chǎn)生斥力，阻止工件與吸盤(pán)杯體相接觸。當(dāng)斥力與吸力保 持平衡情況下，工件就會(huì)與吸盤(pán)在保持一定間隙情況下被提升起來(lái)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明采用旋流產(chǎn)生真空，并利用杯體邊緣作為靜壓支撐， 從而獲得即吸起工件又保證工件與吸盤(pán)非接觸，具有制造工藝簡(jiǎn)單，耗氣量小，吸 力大等優(yōu)點(diǎn)。


圖l本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例作詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)施例在以本發(fā)明技術(shù)方案為 前提下進(jìn)行實(shí)施，給出了詳細(xì)的實(shí)施方式和具體的操作過(guò)程，但本發(fā)明的保護(hù)范圍 不限于下述的實(shí)施例。如圖1所示，本實(shí)施例裝置包括杯體l、內(nèi)腔繞流體2、噴嘴3，其中杯體 1內(nèi)部為圓柱狀孔體2，內(nèi)腔繞流體2設(shè)于杯體1的底部，杯體1與內(nèi)腔繞流體2 之間留有圓柱環(huán)狀間隙，杯體1近底部的側(cè)面設(shè)有噴嘴3。所述噴嘴3，其與杯體l內(nèi)表面相切。 所述內(nèi)腔繞流體2，其高度小于杯體1的高度。 所述內(nèi)腔繞流體2，其通過(guò)螺紋與杯體1底部固定連接。本實(shí)施例工作時(shí)，將具有一定壓力的壓縮空氣引入噴嘴3，由于噴嘴3與杯體1 內(nèi)表面相切，氣流將繞著杯體l內(nèi)表面及內(nèi)部繞流體2形成的間隙進(jìn)行高速旋轉(zhuǎn)運(yùn) 動(dòng)，導(dǎo)致杯體l內(nèi)的氣體動(dòng)壓增加，靜壓減小，內(nèi)部繞流體2下部產(chǎn)生局部真空， 從而造成處于下方的工件與吸盤(pán)之間產(chǎn)生真空現(xiàn)象，在真空作用下，工件被吸起。 工件被吸起后，工件與杯體l下緣的距離減小，這樣導(dǎo)致從杯體l內(nèi)部向外部流出的氣體流動(dòng)阻力增加，杯內(nèi)及杯緣的壓力升高，產(chǎn)生斥力，阻止工件與杯體l相接 觸。當(dāng)斥力與吸力保持平衡情況下，工件就會(huì)與杯體l在保持一定間隙情況下被提 升起來(lái)。本實(shí)施例采用旋流產(chǎn)生真空，并利用杯體邊緣作為靜壓支撐，從而獲得即吸起 工件又保證工件與吸盤(pán)非接觸，具有制造工藝簡(jiǎn)單，耗氣量小，吸力大等優(yōu)點(diǎn)。
權(quán)利要求
1. 一種旋流式非接觸吸盤(pán)，包括杯體，其特征在于，還包括內(nèi)腔繞流體和噴嘴，其中杯體內(nèi)部為圓柱狀孔體，內(nèi)腔繞流體設(shè)于杯體的底部，杯體與內(nèi)腔繞流體之間留有圓柱環(huán)狀間隙，杯體近底部的側(cè)面設(shè)有噴嘴。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋流式非接觸吸盤(pán)，其特征是，所述噴嘴，其與杯體 內(nèi)表面相切。
3 根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋流式非接觸吸盤(pán)，其特征是，所述內(nèi)腔繞流體，其 高度小于杯體的高度。
4、根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的旋流式非接觸吸盤(pán)，其特征是，所述內(nèi)腔繞流體， 其通過(guò)螺紋與杯體底部固定連接。
全文摘要
一種半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域的旋流式非接觸式吸盤(pán)，本發(fā)明包括杯體、內(nèi)腔繞流體和噴嘴，其中杯體內(nèi)部為圓柱狀孔體，內(nèi)腔繞流體設(shè)于杯體的底部，杯體與內(nèi)腔繞流體之間留有圓柱環(huán)狀間隙，杯體近底部的側(cè)面設(shè)有噴嘴。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)既吸起工件又保證工件與吸盤(pán)之間不接觸的兩種目的，具有制造工藝簡(jiǎn)單，耗氣量小，吸力大等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)B66C1/02GK101264844SQ20081003654
公開(kāi)日2008年9月17日 申請(qǐng)日期2008年4月24日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月24日
發(fā)明者馮正進(jìn), 騫 葉, 孟國(guó)香, 謝文華, 金惠良 申請(qǐng)人:上海交通大學(xué)