專利名稱：超聲波振子和使用了該超聲波振子的超聲波電動(dòng)機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及超聲波振子和使用了該超聲波振子的超聲波電動(dòng)機(jī)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)中，已知各種超聲波電動(dòng)機(jī)，例如，日本專利3311446號(hào)專利公開公報(bào)(日本專利公開平成7-163162號(hào))中還公開了超聲波電動(dòng)機(jī)的一例。下面，將在該專利3311446號(hào)專利公開公報(bào)中所公開的超聲波電動(dòng)機(jī)作為一例，來(lái)說(shuō)明代表性的超聲波電動(dòng)機(jī)。
超聲波電動(dòng)機(jī)通常具有超聲波振子，但是該超聲波振子如下構(gòu)成。超聲波振子具有如下的結(jié)構(gòu)首先多片層疊地構(gòu)成薄矩形狀的第一和第二壓電板，在第一壓電板上印刷一對(duì)內(nèi)部電極，在第二壓電板上印刷一對(duì)內(nèi)部電極，而交替層疊這些第一壓電板和第二壓電板。
并且，所述內(nèi)部電極形成為延伸到所述超聲波振子的側(cè)面或上面。這些壓電板通過在鋯鈦酸鉛(下面，稱作PZT)的生片上印刷了所述內(nèi)部電極后進(jìn)行定位、層疊后，進(jìn)行燒結(jié)，從而形成為壓電體層疊部。
另外，在所述壓電體層疊部的超聲波振子的內(nèi)部電極露出的位置(超聲波振子上面2個(gè)位置作為正極、和超聲波振子側(cè)面2個(gè)位置作為負(fù)極)上設(shè)置外部電極。
進(jìn)一步，在所述壓電體層疊部中，通過由導(dǎo)線來(lái)連接設(shè)置于所述上面左側(cè)的外部電極和設(shè)置于同一左側(cè)面的外部電極，而形成電接頭。另外，將該電接頭作為A相來(lái)施加后述的交變電壓。
進(jìn)一步，在所述壓電體層疊部中，通過由導(dǎo)線來(lái)連接設(shè)置于所述上面右側(cè)的外部電極和設(shè)置于同一右側(cè)面的外部電極，而形成電接頭。另外，將該電接頭作為B相來(lái)施加后述的交變電壓。
對(duì)上述A相、B相的電接頭分別施加預(yù)定的直流電壓，來(lái)進(jìn)行分極處理。
進(jìn)一步，在所述壓電體層疊部中，在超聲波振子下面的彎曲振動(dòng)的振幅大致取極大值的位置上粘接驅(qū)動(dòng)子(摩擦突起部)。
在成為這種結(jié)構(gòu)的超聲波振子中，若對(duì)所述A相的電接頭和所述B相的電接頭分別施加相位相差π/2的交變電壓，則在所述驅(qū)動(dòng)子的位置中，激勵(lì)一次縱振動(dòng)和兩次彎曲振動(dòng)，而產(chǎn)生順時(shí)針或逆時(shí)針的大橢圓振動(dòng)。
為了使用如上所述的超聲波振子來(lái)構(gòu)成超聲波電動(dòng)機(jī)，該超聲波電動(dòng)機(jī)進(jìn)一步具有下面的結(jié)構(gòu)要素。
在上述的超聲波振子的中央部設(shè)置貫通孔，向該貫通孔插入粘接用于施加按壓力用的銷。進(jìn)一步，通過設(shè)置與所述銷卡合、沿預(yù)定的方向按壓所述驅(qū)動(dòng)子的按壓?jiǎn)卧?、和與超聲波振子的驅(qū)動(dòng)子接觸、相對(duì)該驅(qū)動(dòng)子移動(dòng)的被驅(qū)動(dòng)體，來(lái)構(gòu)成超聲波電動(dòng)機(jī)。
另外，所述被驅(qū)動(dòng)體通過直線導(dǎo)軌來(lái)保持，與所述驅(qū)動(dòng)子接觸且通過所述直線導(dǎo)軌來(lái)導(dǎo)向，同時(shí)可進(jìn)行滑動(dòng)。
在為這種結(jié)構(gòu)的超聲波電動(dòng)機(jī)中，若分別對(duì)超聲波振子的所述A相電接頭和B相電接頭施加相位相差π/2的交變電壓，則如上所述，在所述驅(qū)動(dòng)子的位置，激勵(lì)一次縱振動(dòng)和二次彎曲振動(dòng)，產(chǎn)生順時(shí)針或逆時(shí)針的大橢圓振動(dòng)，由此，所述被驅(qū)動(dòng)體左右動(dòng)作。
但是，在使用了上述的現(xiàn)有超聲波振子的超聲波電動(dòng)機(jī)中，由于是插入粘接到所述超聲波振子的中央部(分節(jié)位置)的銷與作為按壓?jiǎn)卧谋３职蹇ê希ㄟ^作為按壓?jiǎn)卧膹椈?、?jīng)由保持板、保持固定部件將銷按壓到作為被驅(qū)動(dòng)體的振動(dòng)部件上，所以若在所述超聲波振子的摩擦接觸部附近產(chǎn)生超聲波橢圓振動(dòng)而驅(qū)動(dòng)滑動(dòng)部件，則超聲波振子的振動(dòng)稍稍經(jīng)由銷而傳到保持板、保持固定部件和彈簧上，結(jié)果，有對(duì)超聲波電動(dòng)機(jī)整體傳送該振動(dòng)、而產(chǎn)生噪音的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種可以以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)來(lái)防止超聲波電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)時(shí)的噪音產(chǎn)生的超聲波振子和使用了該超聲波振子的超聲波電動(dòng)機(jī)。
本發(fā)明的超聲波振子，其特征在于，具有壓電體部；摩擦接觸部，與被驅(qū)動(dòng)體接觸而作為驅(qū)動(dòng)點(diǎn)動(dòng)作，通過向所述壓電體部施加交變電壓，而產(chǎn)生超聲波橢圓振動(dòng)；突起部，被設(shè)置在產(chǎn)生于所述壓電體部的振動(dòng)的分節(jié)位置，由樹脂部件構(gòu)成。
本發(fā)明的超聲波振子，其特征在于，具有壓電體部；摩擦接觸部，與被驅(qū)動(dòng)體相接觸而作為驅(qū)動(dòng)點(diǎn)動(dòng)作，通過向所述壓電體部施加交變電壓，而產(chǎn)生超聲波橢圓振動(dòng)；保持部件，保持所述壓電體部。
進(jìn)一步，本發(fā)明的使用了超聲波振子的超聲波電動(dòng)機(jī)，其特征在于，具有超聲波振子，其具有壓電體部，與被驅(qū)動(dòng)體相接觸而作為驅(qū)動(dòng)點(diǎn)動(dòng)作、通過向所述壓電體部施加交變電壓而產(chǎn)生超聲波橢圓振動(dòng)的摩擦接觸部，被設(shè)置在產(chǎn)生于所述壓電體部的振動(dòng)的分節(jié)位置的突起部；突起部保持部件，通過卡合到所述突起部而保持所述超聲波振子；被驅(qū)動(dòng)體，與所述超聲波振子的所述摩擦接觸部相接觸而相對(duì)移動(dòng)；按壓部件，經(jīng)所述突起部保持部件使所述摩擦接觸部和所述被驅(qū)動(dòng)體之間產(chǎn)生按壓力，所述突起部和所述突起部保持部件的至少一個(gè)由樹脂部件構(gòu)成。
使用了本發(fā)明的超聲波振子的超聲波電動(dòng)機(jī)，其特征在于，具有超聲波振子，其具有壓電體部，與被驅(qū)動(dòng)體相接觸而作為驅(qū)動(dòng)點(diǎn)動(dòng)作、通過向所述壓電體部施加交變電壓而產(chǎn)生超聲波橢圓振動(dòng)的摩擦接觸部，保持所述壓電體部的保持部件；保持箱體，插入所述超聲波振子的所述保持部件；被驅(qū)動(dòng)體，與所述超聲波振子的所述摩擦接觸部相接觸而相對(duì)移動(dòng)；按壓部件，經(jīng)由所述保持部件而在所述摩擦接觸部和所述被驅(qū)動(dòng)體上產(chǎn)生按壓力。
本發(fā)明的附加特征和優(yōu)點(diǎn)將在緊跟的描述中進(jìn)行說(shuō)明，且其部分可以從描述中明白，或從本發(fā)明的實(shí)踐中部分了解。本發(fā)明的這些特征和優(yōu)點(diǎn)可以借助于下面特別指出的手段和結(jié)合來(lái)了解和獲得。


圖1是表示本發(fā)明的超聲波振子的第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖2是圖1所示的壓電體層疊部的主要部分的分解立體圖。
圖3A是表示作為本實(shí)施例的超聲波振子的動(dòng)作狀態(tài)的共振縱振動(dòng)情況的立體圖。
圖3B是表示作為本實(shí)施例的超聲波振子的動(dòng)作狀態(tài)的共振彎曲振動(dòng)情況的立體圖。
圖4是表示使用超聲波振子而構(gòu)成的超聲波電動(dòng)機(jī)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖5是表示圖4的超聲波電動(dòng)機(jī)的主要構(gòu)成部分的側(cè)視圖。
圖6是表示突起部保持部件的變形例的剖面圖。
圖7是表示表示本發(fā)明的超聲波振子的第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖8是圖7所示的超聲波振子的剖面圖。
圖9是在圖7所示的超聲波振子上設(shè)置了保持箱體的情況的超聲波振子的剖面圖。
圖10是表示超聲波振子的第一變形例的立體圖。
圖11是表示超聲波振子的第二變形例的立體圖。
圖12是表示超聲波振子的第三變形例的立體圖。
圖13是表示使用第二實(shí)施例的超聲波振子而構(gòu)成的超聲波電動(dòng)機(jī)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖14是表示圖13的超聲波電動(dòng)機(jī)的主要構(gòu)成部分的剖面圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照

本發(fā)明的實(shí)施例。
第一實(shí)施例圖1是表示本發(fā)明的超聲波振子的第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)的立體圖。
如圖1所示，本實(shí)施例的超聲波振子1由壓電元件形成，構(gòu)成為具有大致方柱形狀的壓電體層疊部2、在該壓電體層疊部2的左右兩側(cè)面的四個(gè)位置及正面的四個(gè)位置上按帶狀設(shè)置的外部電極3、在所述壓電體層疊部2的底面兩個(gè)位置上設(shè)置的摩擦接觸部4、以及插入粘接到設(shè)于所述壓電體層疊部2的大致中央部的孔2a的作為突起部的銷5。
所述壓電體層疊部2的詳細(xì)的結(jié)構(gòu)如后面所述，成為交替層疊了多片實(shí)施了內(nèi)部電極處理的薄矩形狀的作為壓電陶瓷片的第一、第二壓電薄片6、7(參照?qǐng)D2)的結(jié)構(gòu)。
圖1中右側(cè)側(cè)面的外部電極3將后面描述的、通過分別在壓電體層疊部2的同圖中右側(cè)面部的內(nèi)部電極露出部8a、9a(參照?qǐng)D2)上鍍銀來(lái)進(jìn)行安裝而形成的兩個(gè)電接頭(A+、A-的兩個(gè)接頭)作為A(A相)來(lái)構(gòu)成。另外，圖1中左側(cè)側(cè)面的外部電極3將后面描述的、通過分別在壓電體層疊部2的圖中左側(cè)面部的內(nèi)部電極露出部8a、9a(參照?qǐng)D2)上鍍銀來(lái)進(jìn)行安裝而形成的兩個(gè)電接頭(B+、B-的兩個(gè)接頭)作為B(B相)來(lái)構(gòu)成。
另外，圖1中正面的外部電極3形成為按帶狀延伸設(shè)置有分別連接到所述A(A相)的兩個(gè)電接頭(A+、A-兩個(gè)接頭)和所述B(B相)的兩個(gè)電接頭(B+、B-兩個(gè)接頭)的外部電極3。對(duì)于該延伸設(shè)置的外部電極3，也與上述相同，通過鍍銀來(lái)形成。
參照?qǐng)D2來(lái)說(shuō)明所述壓電體層疊部2的進(jìn)一步詳細(xì)的結(jié)構(gòu)。
圖2是所述壓電體層疊部的主要部分的分解立體圖。如圖2所示，所述壓電體層疊部2通過交替層疊多片具有第一內(nèi)部電極8的第一壓電薄片6、具有第二內(nèi)部電極9的第二壓電薄片7來(lái)構(gòu)成。
所述第一壓電薄片6具有作為壓電元件的壓電體層6A，在該壓電體層6A的表面上印刷后述的所述第一內(nèi)部電極8。
所述第二壓電薄片7具有作為壓電元件的壓電體層7A，在該壓電體層7A的表面上印刷后述的所述第二內(nèi)部電極9。
所述第一壓電薄片6和所述第二壓電薄片7具有例如厚度80μm的形狀，作為構(gòu)成這些第一和第二壓電薄片6、7的材質(zhì)，在本實(shí)施例中使用PZT(鋯鈦酸鉛)材料來(lái)形成。另外，所述PZT材料使用機(jī)械品質(zhì)系數(shù)(Q值)大的硬系材料，在本實(shí)施例中，例如，使用機(jī)械品質(zhì)系數(shù)(Q值)為2500的材料。
另外，如圖2所示，所述壓電體層疊部2，在多片層疊了的第一和第二壓電薄片6、7的層疊的最初(最上層，圖2中的相當(dāng)于第一壓電薄片6的前方一側(cè)第一片)層疊有使用同樣的PZT材料、且沒有施加內(nèi)部電極的壓電薄片6B。
另外，所述第一內(nèi)部電極8和所述第二內(nèi)部電極9作為其電極材料使用銀鈀合金(Ag-Pd)或銀(Ag)。
本實(shí)施例的超聲波振子1隨著第一壓電薄片6、第二壓電薄片7的層疊，交替層疊第一內(nèi)部電極8和第二內(nèi)部電極9。即，在構(gòu)成本實(shí)施例的壓電體層疊部2的各種部件的層疊順序中，以壓電薄片6B、第一內(nèi)部電極8、壓電體層6A、第二內(nèi)部電極9、壓電體層7A、壓電體層7A、…、壓電體層7A、第一內(nèi)部電極8、壓電體層6A、第二內(nèi)部電極9、壓電體層7A的順序來(lái)層疊。
接著，說(shuō)明所述第一和第二壓電薄片6、7的內(nèi)部電極形狀。
在第一壓電薄片6上設(shè)置的第一內(nèi)部電極8例如具有厚度為5～10μm的形狀。詳細(xì)地如圖2所示，相對(duì)壓電體層疊部2的剖面形狀，所述第一內(nèi)部電極8被配置在壓電體層6A的單側(cè)面整個(gè)區(qū)域的上部，且被設(shè)置成左右二分割。另外，第一內(nèi)部電極8的一部分延伸到壓電體層6A的兩側(cè)面基端部，而分別形成內(nèi)部電極露出部8a。
另外，在第二壓電薄片上設(shè)置的第二內(nèi)部電極9具有例如厚度為5～10μm的形狀。詳細(xì)地如圖2所示，相對(duì)壓電體層疊部2的剖面形狀，所述第二內(nèi)部電極9被配置在壓電體層7A的大致整個(gè)區(qū)域上，且被設(shè)置成左右二分割。另外，第二內(nèi)部電極9的一部分延伸到壓電體層7A的兩側(cè)面基端部，而分別形成內(nèi)部電極露出部9a。
另外，在第一壓電薄片6和第二壓電薄片7各自的大致中央部上設(shè)置例如Φ0.3mm的貫通孔2a。本實(shí)施例中，雖然說(shuō)明了設(shè)置了貫通孔2a的情況，但是無(wú)需貫通孔，壓電體層疊部2內(nèi)也可以是具有預(yù)定尺寸而形成的孔。這時(shí)，銷5被粘接固定到對(duì)應(yīng)于孔2a的位置上。
如圖1所示，具有這種結(jié)構(gòu)的壓電體層疊部2而構(gòu)成的超聲波振子1，在通過分別使所述壓電體層疊部2的第一內(nèi)部電極8和第二內(nèi)部電極9的一部分延伸設(shè)置到超聲波振子1的兩側(cè)側(cè)面基端部而形成的各內(nèi)部電極露出部8a、9a上，分別設(shè)置通過鍍銀形成的外部電極3。
即，如圖1所示，壓電體層疊部2的側(cè)面的外部電極，分別電連接到內(nèi)部電極露出部8a、9a(參照?qǐng)D2)而按帶狀設(shè)置，另外，這些外部電極3經(jīng)由壓電體層疊部2的邊緣部，與在所述壓電體層疊部2的正面按帶狀設(shè)置的其他外部電極3導(dǎo)通。另外，對(duì)于所述壓電體層疊部2的相反側(cè)的側(cè)面的外部電極也以相同形狀設(shè)置。
在這些外部電極3上雖然圖中未示，但是用焊錫等來(lái)分別連接導(dǎo)線，或電接合設(shè)置了電極的撓性基板，經(jīng)由該導(dǎo)線或撓性基板供給來(lái)自圖中未示的驅(qū)動(dòng)電路的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
本實(shí)施例的超聲波振子1在壓電體層疊部2底面的對(duì)應(yīng)于彎曲共振振動(dòng)的大致腹部的位置上設(shè)置所述摩擦接觸部4。該摩擦接觸部4由砂輪材料構(gòu)成，在截?cái)酁榉叫味纬珊?，粘接在所述壓電體層疊部2的預(yù)定位置上。
另外，在該超聲波振子1的大致中央部設(shè)置的所述孔2a上插入粘接突起部、即由圓柱形狀的樹脂材料構(gòu)成的銷5。
在本實(shí)施例中，所述銷5由聚醚酮醚(PEEK材料PEER R聚合物)等高功能樹脂形成。即，由于所述銷5如后所述，通過突起部保持部件15(參照?qǐng)D4)來(lái)強(qiáng)力按壓，所以最好由所述PEEK材料等剛性高的材料構(gòu)成。
另外，作為其他樹脂材料，也可使用尼龍、聚乙烯、聚縮醛、ABS樹脂、聚碳酸酯、聚縮醛、聚砜、聚酰亞胺、聚苯乙烯、聚亞苯基硫、聚丙烯、酚醛樹脂、環(huán)氧樹脂、FRP樹脂等來(lái)形成所述銷5。
接著，參照?qǐng)D1和圖2說(shuō)明本實(shí)施例的超聲波振子的制造方法。
在本實(shí)施例的超聲波振子的制造方法中，混合PZT的準(zhǔn)燒結(jié)粉末和粘合劑而作成泥狀，使用刮刀法以預(yù)定的厚度按薄膜狀鑄造而形成生片(相當(dāng)于壓電體層6A、7A)。并且，在干燥了生片后，從薄膜剝離。這樣，準(zhǔn)備多個(gè)所形成的生片。
接著，通過在第一生片上使用具有第一內(nèi)部電極8的圖案(參照?qǐng)D2)的掩模來(lái)印刷電極材料，而形成圖2所示的第一壓電薄片6。在該情況下，第一內(nèi)部電極8使用銀鈀合金(Ag-Pd)來(lái)形成。
另外，通過在第二生片上使用具有第二內(nèi)部電極9的圖案(參照?qǐng)D2)的掩模來(lái)印刷電極材料，而形成圖2所示的第二壓電薄片7。在該情況下也相同，第二內(nèi)部電極9使用銀鈀合金(Ag-Pt)來(lái)形成。
并且，對(duì)這些第一壓電薄片6和第二壓電薄片7進(jìn)行準(zhǔn)確定位，使得第一和第二內(nèi)部電極8、9彼此恰好重合，并交替層疊多片。之后，在層疊的最上面層疊沒有印刷內(nèi)部電極的第三生片(圖中未示)。
之后，擠壓包含該第三生片的第一、第二壓電薄片6、7的層疊體，使該層疊體的各生片間密合，之后，進(jìn)行熱壓接。并且，在1200℃左右的溫度下燒結(jié)熱壓接了的所述層疊體，之后，通過截?cái)酁轭A(yù)定的形狀，而生成相當(dāng)于壓電體層疊部2的壓電元件。
在所述內(nèi)部電極露出部8a、9a(參照?qǐng)D2)上，通過用鍍銀的方法來(lái)實(shí)施，而形成圖1所示的帶狀的外部電極3，另外，對(duì)于壓電體層疊部2的表面，也同樣通過用鍍銀來(lái)實(shí)施，而形成圖1所示的帶狀外部電極3。并且，通過向這些外部電極3的A相(A+、A-間)、B相(B+、B-間)施加直流高電壓，進(jìn)行分極，而具有壓電特性。
并且，如圖2所示，通過鉆孔機(jī)等的加工機(jī)，分別在相當(dāng)于所述層疊體的壓電體層疊部2的壓電元件的中央部分上設(shè)置孔2a。另外，對(duì)于該孔，在所述工藝中，也可在熱壓接后、燒結(jié)前通過加工機(jī)來(lái)鉆孔。
之后，在所述壓電元件的預(yù)定位置上使用環(huán)氧粘接劑來(lái)粘接所述摩擦接觸部4。
接著，向壓電元件的中央孔2a插入由所述的樹脂材料構(gòu)成的作為突起部的銷5來(lái)粘接固定。另外，在該工藝中，在壓電元件的中央設(shè)置孔2a，插入粘接作為突起部的銷5，但是也可不在相當(dāng)于壓電體層疊部2的壓電元件的中央設(shè)置所述孔2a，通過將由樹脂材料構(gòu)成的作為突起部的銷5粘接到壓電元件上來(lái)設(shè)置。
這樣，形成了超聲波振子1。
另外，本實(shí)施例的超聲波振子1的制造方法，作為變形例，也可通過使用具有例如摩擦接觸部4可與壓電體層疊部2一體形成的外形形狀的沖孔(雄型)和沖模(雌型)的擠壓用模來(lái)進(jìn)行所述截?cái)嗵幚?，而得到在底面上具有兩個(gè)摩擦接觸部4的壓電體層疊部2。
參照?qǐng)D3詳細(xì)說(shuō)明以上所說(shuō)明的超聲波振子1的動(dòng)作。
現(xiàn)在，向圖1的超聲波振子1的所述A相、B相同相施加預(yù)定頻率的交變電壓。這樣，該超聲波振子1激勵(lì)一次縱振動(dòng)。另外，若向所述A相、B相反相施加預(yù)定頻率的交變電壓，該超聲波振子1激勵(lì)二次的彎曲振動(dòng)。
若使用有限要素法用計(jì)算機(jī)分析這些振動(dòng)，則想象圖3A所示的共振縱振動(dòng)情況、和圖3B所示的共振彎曲振動(dòng)情況，且超聲波振動(dòng)測(cè)量的結(jié)果驗(yàn)證了這些情況。另外，在該圖3A、圖3B中，省略了摩擦接觸部4。
在本實(shí)施例中，對(duì)于共振頻率，更詳細(xì)地設(shè)計(jì)為彎曲2次振動(dòng)的共振頻率比縱1次振動(dòng)的共振頻率低幾％左右(最好為3％左右)。通過這種結(jié)構(gòu)，后面說(shuō)明的作為超聲波電動(dòng)機(jī)的輸出特性大幅度提高。
向所述超聲波振子1的A相和B相施加相位相差π/2的預(yù)定頻率的交變電壓，這樣，可在該超聲波振子1的摩擦接觸部4的位置上觀測(cè)橢圓振動(dòng)。
接著，參照?qǐng)D4和圖5說(shuō)明使用了所述超聲波振子1的超聲波電動(dòng)機(jī)10的結(jié)構(gòu)。圖4和圖5說(shuō)明使用超聲波振子而構(gòu)成的超聲波電動(dòng)機(jī)的結(jié)構(gòu)，圖4是表示超聲波電動(dòng)機(jī)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的剖面圖，圖5是表示圖4的超聲波電動(dòng)機(jī)的主要構(gòu)成部分的側(cè)視圖。
如圖4和圖5所示，本實(shí)施例的超聲波電動(dòng)機(jī)10具有所述結(jié)構(gòu)的超聲波振子1；作為被驅(qū)動(dòng)體的移動(dòng)臺(tái)11；具有保持所述超聲波振子1的突起部保持部件15的基臺(tái)12；直動(dòng)自由地結(jié)合所述移動(dòng)臺(tái)11和所述基臺(tái)12的直線導(dǎo)軌13；被配置在所述移動(dòng)臺(tái)11的內(nèi)側(cè)，與所述超聲波振子1的摩擦接觸部4對(duì)接的滑動(dòng)部件14；被配置在所述基臺(tái)12上，為了以某個(gè)預(yù)定的壓力來(lái)按壓所容納的所述超聲波振子1和所述突起部保持部件15，而對(duì)所述突起部保持部件15作用的作為按壓機(jī)構(gòu)的板彈簧16。
所述移動(dòng)臺(tái)11構(gòu)成為コ字狀，在兩側(cè)側(cè)面部11A的前端部上分別配置所述直線導(dǎo)軌13。另外，在這些直線導(dǎo)軌13的另一個(gè)上分別配置在所述基臺(tái)12的內(nèi)側(cè)立設(shè)的一對(duì)導(dǎo)向部12A。
所述直線導(dǎo)軌13在內(nèi)部具有軸承13a，彼此移動(dòng)自由地結(jié)合移動(dòng)臺(tái)11和基臺(tái)12。另外，在本實(shí)施例中，表示限制為使得移動(dòng)臺(tái)11的行進(jìn)方向?yàn)橹本€的一例，但是若為沿垂直方向、水平方向或沿該兩方平緩的曲線狀的直線導(dǎo)軌13，則也可沿該曲線進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
所述滑動(dòng)部件14例如使用氧化鋯陶瓷制品形成，被粘接在移動(dòng)臺(tái)11的下面。在該滑動(dòng)部件14上對(duì)接通過突起部保持部件15保持的超聲波振子1的摩擦接觸部4。
這時(shí)，所述摩擦接觸部4以由板彈簧形成的預(yù)定壓力對(duì)所述滑動(dòng)部件14作用。
另外，滑動(dòng)部件14的與摩擦接觸部4對(duì)接的部分使用表面粗糙度為Ra值(JIS標(biāo)準(zhǔn)B0601算術(shù)平均粗糙度)0.05μm以下的氧化鋯陶瓷制品來(lái)形成。
所述超聲波振子1通過突起部保持部件15來(lái)保持。具體地，如圖4和圖5所示，突起部保持部件15在上部具有形成為V字狀的V字溝5a，在該V字溝5a上卡合保持作為所述超聲波振子1的突起部的銷5。
另外，在所述突起部保持部件15和所述超聲波振子1之間分別配置墊片16A。這些墊片16A被設(shè)置為插通設(shè)置于超聲波振子1上的銷5。
另外，本實(shí)施例中，所述突起部保持部件15由聚醚酮醚(PEEK材料PEER R聚合物)等高功能樹脂形成。作為其他樹脂材料，也可使用尼龍、聚乙烯、聚縮醛、ABS樹脂、聚碳酸酯、聚縮醛、聚砜、聚酰亞胺、聚苯乙烯、聚亞苯基硫、聚丙烯、酚醛樹脂、環(huán)氧樹脂、FRP樹脂等來(lái)形成所述突起部保持部件15。
如圖5所述，在所述突起部保持部件15的底面固定板彈簧16的中央部。板彈簧16的兩側(cè)端部通過分別用螺釘17來(lái)螺合到基臺(tái)12的預(yù)定位置，而進(jìn)行固定。
通過所述板彈簧16的作用力經(jīng)由突起部保持部件15將超聲波振子1按壓到作為被驅(qū)動(dòng)體的移動(dòng)臺(tái)11的滑動(dòng)部件14的面上。
接著，說(shuō)明所述超聲波電動(dòng)機(jī)10的動(dòng)作。
若向所述A相(A+、A-)和B相(B+、B-)施加相位相差π/2的預(yù)定頻率的交變電壓，則在摩擦接觸部4的位置上，通過激勵(lì)一次縱振動(dòng)和二次彎曲振動(dòng)，就可激勵(lì)順時(shí)針或反時(shí)針的超聲波橢圓振動(dòng)。
這樣，本實(shí)施例中，通過在超聲波振子1的摩擦接觸部4的位置上產(chǎn)生超聲波橢圓振動(dòng)，移動(dòng)臺(tái)11就可以沿右方向或左方向(圖5中所示的A箭頭方向)驅(qū)動(dòng)。即，所述超聲波振子1經(jīng)由銷5、突起部保持部件15而被固定在基臺(tái)12上，所以移動(dòng)臺(tái)11不產(chǎn)生噪音，不沿左右動(dòng)作。
因此，根據(jù)本實(shí)施例，在所述超聲波電動(dòng)機(jī)10中作為突起部的銷5和突起部保持部件15由聚醚酮醚(PEEK材料PEERR聚合物)等高功能樹脂形成，所以由超聲波振子1產(chǎn)生的振動(dòng)通過銷5和突起部保持部件15的作為樹脂材料的大的振動(dòng)衰減特性，可以使其衰減后吸收，所以不會(huì)向電動(dòng)機(jī)側(cè)漏出。結(jié)果，可以幾乎不產(chǎn)生噪音地驅(qū)動(dòng)。
另外，由于可以以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)，所以可以降低成本，進(jìn)一步，還可實(shí)現(xiàn)超聲波電動(dòng)機(jī)10的小型化。
另外，在本實(shí)施例中，說(shuō)明了作為突起部的銷5和突起部保持部件15共同由聚醚酮醚(PEEK材料PEER R聚合物)等高功能樹脂形成的情況，但是并不限于此，例如，也可使用樹脂材料來(lái)形成銷5和突起部保持部件15的其中任一個(gè)。
即，在銷5由不銹鋼等金屬部件(還包括樹脂材料之外的部件)形成的情況下，突起部保持部件15由樹脂材料形成。另外，相反，在銷5由樹脂材料形成的情況下，突起部保持部件15由不銹鋼等金屬部件(還包括樹脂材料之外的部件)形成。
另外，在本實(shí)施例中，如圖6的變形例所示，所述突起部保持部件15也可在銷5卡合的V字溝5a上粘接固定相同形狀且使用吸收材料、例如衰減橡膠等緩沖材料構(gòu)成的緩沖部件18。由此，通過設(shè)置緩沖部件18，進(jìn)一步提高由與銷5卡合形成的振動(dòng)的吸收性，大大防止噪音。另外，雖然沒有圖示，但是也可在銷5的周圍設(shè)置硅樹脂等緩沖部件。
另外，在本實(shí)施例中，對(duì)于內(nèi)部電極結(jié)構(gòu)，也可不對(duì)負(fù)極一側(cè)(A-、B-)二分割，而作為整面電極。該情況下，負(fù)極一側(cè)(A-、B-)為公共的負(fù)極。
在本實(shí)施例中，作為壓電元件使用了層疊型壓電元件，但是在使用不是層疊型板狀壓電元件的情況下，也可制作相同結(jié)構(gòu)的超聲波振子。
在本實(shí)施例中，表示了固定超聲波振子1而使被驅(qū)動(dòng)體(移動(dòng)臺(tái)11)直線動(dòng)作型超聲波電動(dòng)機(jī)的一例，但是還可構(gòu)成超聲波振子1自行型超聲波電動(dòng)機(jī)。
在本實(shí)施例中，為了產(chǎn)生按壓力，而使用板彈簧16，但是也可使用通常的螺旋彈簧。
第二實(shí)施例圖7到圖9表示本發(fā)明的超聲波振子的第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)，圖7是表示第二實(shí)施例的超聲波振子的結(jié)構(gòu)的立體圖，圖8是圖7所示的超聲波振子的剖面圖，圖9是在圖7所示的超聲波振子上設(shè)置了保持箱體的情況的超聲波振子的剖面圖。圖10是表示所述第二實(shí)施例的超聲波振子的第一變形例的立體圖，圖11是表示所述第二實(shí)施例的超聲波振子的第二變形例的立體圖，圖12是表示所述第二實(shí)施例的超聲波振子的第三變形例的立體圖。另外，在所述圖7到圖9中，對(duì)于與所述第一實(shí)施例的超聲波振子1相同的結(jié)構(gòu)要素，施加同一符號(hào)而省略說(shuō)明，僅說(shuō)明不同的部分。
如圖7所示，本實(shí)施例的超聲波振子1A對(duì)于壓電體層疊部2的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施例相同，但是不由作為突起部的銷5進(jìn)行超聲波振子1A的保持，而構(gòu)成為通過覆蓋壓電體層疊部2地由樹脂部件形成的保持部件19、和容納該保持部件19的保持箱體20，來(lái)保持超聲波振子1A。
即，如圖9所示，本實(shí)施例的超聲波振子1A具有與所述第一實(shí)施例相同的壓電體層疊部2、覆蓋該壓電體層疊部2的保持部件19、和容納該保持部件19的保持箱體20。
如圖7和圖8所示，所述保持部件19形成為通過樹脂、例如硅橡膠來(lái)覆蓋除壓電體層疊部2主體的底部外的外圍整體。這時(shí)，形成所述保持部件19的所述硅橡膠的厚度形成為例如在0.5～3mm的范圍內(nèi)。
并且，如圖9所示，超聲波振子1A設(shè)有保持箱體20，以便包圍保持部件19。如圖所示，該保持箱體20也可由樹脂形成，或者也可使用不銹鋼形成。
這樣，本實(shí)施例的超聲波振子1A的結(jié)構(gòu)為，通過作為硅橡膠的保持部件19覆蓋，并進(jìn)一步，通過保持箱體20來(lái)覆蓋該保持部件19。另外，在本實(shí)施例中，表示設(shè)置了保持箱體20的結(jié)構(gòu)例，但是并不限于此，也可如圖8所示，僅設(shè)置保持部件19來(lái)構(gòu)成超聲波振子1A。
由于形成所述保持部件19的硅橡膠彈力非常好，所以是適合于不衰減超聲波振子1A的振動(dòng)、而保持超聲波振子1A的材料。
另外，由超聲波振子1A產(chǎn)生的振動(dòng)的機(jī)械阻抗不同，所以被所述硅橡膠隔絕，因此還具有可抑制振動(dòng)的泄漏的特性。進(jìn)一步，通過設(shè)置保持箱體20，提高了振動(dòng)泄漏的抑制效果。
另外，在本實(shí)施例中，作為形成保持部件19的硅橡膠之外的材質(zhì)，有聚氨酯橡膠、乙烯丙烯橡膠、丁腈橡膠、異丁烯橡膠、氯丁橡膠、聚丁橡膠、苯乙烯橡膠、天然橡膠等，也可使用其中一種材質(zhì)來(lái)形成所述保持部件19。
說(shuō)明本實(shí)施例的超聲波振子1A的制造方法。
本實(shí)施例中所用的所述硅橡膠如所公知的，是由主劑和硬化劑構(gòu)成的硬化型樹脂。
首先，將壓電體層疊部2設(shè)置在圖中未示的模中，向該模和容納的壓電體層疊部2的間隙中流入混合了所述主劑和硬化劑的硅橡膠。之后，該硅橡膠通過硬化劑固定后，剝離所述模。由此，形成了圖7和圖8所示的超聲波振子1A。另外，在本實(shí)施例中，如圖7和圖8所示，構(gòu)成為在超聲波振子1A的具有摩擦接觸部4的面上不設(shè)置硅橡膠。
另外，在本實(shí)施例中，超聲波振子1A并不限于圖9所示的結(jié)構(gòu)例，也可以例如如圖10的第一變形例所示，通過由硅橡膠形成的保持部件19A來(lái)覆蓋壓電體層疊部2的大致上半部分而構(gòu)成超聲波振子1B。
另外，如圖11的第二變形例所示，超聲波振子1A也可通過由硅橡膠按コ字狀形成的保持部件19B來(lái)覆蓋壓電體層疊部2的大致中央部分，而構(gòu)成超聲波振子1C。
進(jìn)一步，超聲波振子1A如圖12的第三變形例所示，也可通過由硅橡膠按帶狀形成的保持部件19C來(lái)覆蓋除壓電體層疊部2的上部和下部的外圍部來(lái)構(gòu)成超聲波振子1D。在該情況下，超聲波振子1D可以在壓電體層疊部2的上部?jī)蓚?cè)端部進(jìn)一步設(shè)置摩擦接觸部4。因此，若使上部和下部之外的摩擦接觸部4產(chǎn)生橢圓振動(dòng)，則超聲波振子1D自身沿左右驅(qū)動(dòng)，所以可以作為自行式超聲波電動(dòng)機(jī)。
接著，參照?qǐng)D13和圖14說(shuō)明使用了所述超聲波振子1A的超聲波電動(dòng)機(jī)10A的結(jié)構(gòu)。
圖13和圖14說(shuō)明使用超聲波振子而構(gòu)成的超聲波電動(dòng)機(jī)的結(jié)構(gòu)，圖13是表示超聲波電動(dòng)機(jī)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的剖面圖，圖14是表示圖13的超聲波電動(dòng)機(jī)的主要結(jié)構(gòu)部分的側(cè)視圖。另外，在圖13和圖14中，對(duì)于與所述第一實(shí)施例的超聲波電動(dòng)機(jī)相同的結(jié)構(gòu)要素，施加同一符號(hào)而省略說(shuō)明，僅說(shuō)明不同的部分。
如圖13和圖14所示，所述超聲波電動(dòng)機(jī)10A構(gòu)成為使用圖9所示的超聲波振子1A。
在所述超聲波振子1A的保持箱體20的底面上經(jīng)由固定部21而固定板彈簧16的中央部。板彈簧16的兩側(cè)端部與第一實(shí)施例相同，通過分別用螺釘17來(lái)螺合到所述基臺(tái)12的預(yù)定位置，而進(jìn)行固定。
超聲波振子1通過所述板彈簧16的作用力、經(jīng)由固定部21和保持箱體20而被按壓到作為被驅(qū)動(dòng)體的移動(dòng)臺(tái)11的滑動(dòng)部件14的面上。
其他結(jié)構(gòu)與所述第一實(shí)施例相同。
另外，所述超聲波電動(dòng)機(jī)10A在構(gòu)成為使用不設(shè)置保持箱體20的超聲波振子1A(1B～1D)的情況下，保持部件19(19A～19C)經(jīng)板彈簧16而被連接固定到被驅(qū)動(dòng)體(移動(dòng)臺(tái)11)上。
接著，說(shuō)明所述超聲波電動(dòng)機(jī)10A的動(dòng)作。
若對(duì)所述A相(A+、A-)和B相(B+、B-)施加相位相差π/2的預(yù)定頻率的交變電壓，則在摩擦接觸部4的位置上，通過激勵(lì)1次縱振動(dòng)和2次彎曲振動(dòng)，而可激勵(lì)順時(shí)針或逆時(shí)針的超聲波橢圓振動(dòng)。
這樣，通過在超聲波振子1A的摩擦接觸部4的位置上產(chǎn)生超聲波橢圓振動(dòng)，移動(dòng)臺(tái)11就可以沿右方向或左方向(圖14中所示的B箭頭方向)驅(qū)動(dòng)，即，由于所述超聲波振子1A經(jīng)由所述保持部件19和保持箱體20、固定部21而被固定在基臺(tái)12上，所以移動(dòng)臺(tái)11不產(chǎn)生噪音地沿左右動(dòng)作。
因此，根據(jù)本實(shí)施例，由于超聲波振子1A具有覆蓋壓電體層疊部2地由硅橡膠形成的保持部件19和保持箱體20，所以可以不妨礙所述超聲波振子1A的振動(dòng)而保持該超聲波振子1A。另外，在硅橡膠和超聲波振子1A中有機(jī)械阻抗差，所以超聲波振子1A的振動(dòng)幾乎不會(huì)泄漏到該超聲波振子1A的外側(cè)。進(jìn)一步，還設(shè)有容納所述保持部件19、進(jìn)一步衰減振動(dòng)的保持箱體20。因此，結(jié)果，不向超聲波電動(dòng)機(jī)10A的內(nèi)部機(jī)構(gòu)傳送振動(dòng)，結(jié)果，可以實(shí)現(xiàn)沒有噪音的超聲波電動(dòng)機(jī)10A。其他效果與所述第一實(shí)施例相同。
在本發(fā)明中可知，在較大范圍中不同的實(shí)施例不脫離發(fā)明的精神和范圍，可根據(jù)本發(fā)明來(lái)構(gòu)成。本發(fā)明除了受附加的權(quán)利要求的限定外，不受其特定的實(shí)施例限定。
權(quán)利要求
1.一種超聲波振子，其特征在于，具有壓電體部；摩擦接觸部，與被驅(qū)動(dòng)體相接觸而作為驅(qū)動(dòng)點(diǎn)動(dòng)作，通過向所述壓電體部施加交變電壓，而產(chǎn)生超聲波橢圓振動(dòng)；突起部，被設(shè)置在產(chǎn)生于所述壓電體部的振動(dòng)的分節(jié)位置、由樹脂部件構(gòu)成。
2.如權(quán)利要求1所述的超聲波振子，其特征在于，產(chǎn)生于所述摩擦接觸部的超聲波橢圓振動(dòng)通過合成作為第一振動(dòng)模式的縱振動(dòng)和作為第二振動(dòng)模式的彎曲振動(dòng)來(lái)產(chǎn)生。
3.如權(quán)利要求1所述的超聲波振子，其特征在于所述樹脂部件由聚醚酮醚構(gòu)成。
4.一種超聲波振子，其特征在于，具有壓電體部；摩擦接觸部，與被驅(qū)動(dòng)體相接觸而作為驅(qū)動(dòng)點(diǎn)動(dòng)作，通過向所述壓電體部施加交變電壓，而產(chǎn)生超聲波橢圓振動(dòng)；突起部，被設(shè)置產(chǎn)生于在所述壓電體部的振動(dòng)的分節(jié)位置；樹脂部件，被配置在該突起部的周圍。
5.如權(quán)利要求4所述的超聲波振子，其特征在于，產(chǎn)生于所述摩擦接觸部的超聲波橢圓振動(dòng)通過合成作為第一振動(dòng)模式的縱振動(dòng)和作為第二振動(dòng)模式的彎曲振動(dòng)來(lái)產(chǎn)生。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的超聲波振子，其特征在于，所述樹脂部件由聚醚酮醚構(gòu)成。
7.一種超聲波電動(dòng)機(jī)，其特征在于，具有超聲波振子，其具有壓電體部；摩擦接觸部，與被驅(qū)動(dòng)體相接觸而作為驅(qū)動(dòng)點(diǎn)動(dòng)作，通過向所述壓電體部施加交變電壓，而產(chǎn)生超聲波橢圓振動(dòng)；突起部，被設(shè)置在產(chǎn)生于所述壓電體部的振動(dòng)的分節(jié)位置；突起部保持部件，通過卡合到所述突起部而保持所述超聲波振子；被驅(qū)動(dòng)體，與所述超聲波振子的所述摩擦接觸部相接觸、并相對(duì)移動(dòng)；按壓部件，經(jīng)由所述突起部保持部件而在所述摩擦接觸部和所述被驅(qū)動(dòng)體之間產(chǎn)生按壓力，所述突起部和所述突起部保持部件的至少一個(gè)由樹脂部件構(gòu)成。
8.如權(quán)利要求7所述的超聲波電動(dòng)機(jī)，其特征在于，產(chǎn)生于所述摩擦接觸部的超聲波橢圓振動(dòng)通過合成作為第一振動(dòng)模式的縱振動(dòng)和作為第二振動(dòng)模式的彎曲振動(dòng)來(lái)產(chǎn)生。
9.如權(quán)利要求7所述的超聲波電動(dòng)機(jī)，其特征在于，所述樹脂部件由聚醚酮醚構(gòu)成。
10.一種超聲波電動(dòng)機(jī)，其特征在于，具有超聲波振子，其具有壓電體部；摩擦接觸部，與被驅(qū)動(dòng)體相接觸而作為驅(qū)動(dòng)點(diǎn)動(dòng)作，通過向所述壓電體部施加交變電壓，而產(chǎn)生超聲波橢圓振動(dòng)；突起部，被設(shè)置在產(chǎn)生于所述壓電體部的振動(dòng)的分節(jié)位置；突起部保持部件，通過卡合到所述突起部而保持所述超聲波振子；被驅(qū)動(dòng)體，與所述超聲波振子的所述摩擦接觸部相接觸、并而相對(duì)移動(dòng)；按壓部件，經(jīng)由所述突起部保持部件而在所述摩擦接觸部和所述被驅(qū)動(dòng)體之間產(chǎn)生按壓力，在所述突起部和所述突起部保持部件的至少一個(gè)上配置樹脂部件，使所述樹脂部件介于所述突起部和所述突起部保持部件之間。
11.如權(quán)利要求10所述的超聲波電動(dòng)機(jī)，其特征在于，產(chǎn)生于所述摩擦接觸部的超聲波橢圓振動(dòng)通過合成作為第一振動(dòng)模式的縱振動(dòng)和作為第二振動(dòng)模式的彎曲振動(dòng)來(lái)產(chǎn)生。
12.如權(quán)利要求10所述的超聲波電動(dòng)機(jī)，其特征在于，所述樹脂材料由聚醚酮醚構(gòu)成。
13.一種超聲波振子，其特征在于，具有壓電體部；摩擦接觸部，與被驅(qū)動(dòng)體相接觸而作為驅(qū)動(dòng)點(diǎn)動(dòng)作，通過向所述壓電體部施加交變電壓，而產(chǎn)生超聲波橢圓振動(dòng)；保持部件，保持所述壓電體部。
14.如權(quán)利要求13所述的超聲波振子，其特征在于，產(chǎn)生于所述摩擦接觸部的超聲波橢圓振動(dòng)通過合成作為第一振動(dòng)模式的縱振動(dòng)和作為第二振動(dòng)模式的彎曲振動(dòng)來(lái)產(chǎn)生。
15.如權(quán)利要求13所述的超聲波振子，其特征在于，所述保持部件由樹脂部件構(gòu)成。
16.如權(quán)利要求15所述的超聲波振子，其特征在于，所述樹脂部件由硅橡膠構(gòu)成。
17.一種超聲波振子，其特征在于，具有壓電體部；摩擦接觸部，與被驅(qū)動(dòng)體相接觸而作為驅(qū)動(dòng)點(diǎn)動(dòng)作，通過向所述壓電體部施加交變電壓，而產(chǎn)生超聲波橢圓振動(dòng)；保持部件，保持所述壓電體部；保持箱體，覆蓋所述保持部件。
18.如權(quán)利要求17所述的超聲波振子，其特征在于，產(chǎn)生于所述摩擦接觸部的超聲波橢圓振動(dòng)通過合成作為第一振動(dòng)模式的縱振動(dòng)和作為第二振動(dòng)模式的彎曲振動(dòng)來(lái)產(chǎn)生。
19.如權(quán)利要求17所述的超聲波振子，其特征在于，所述保持部件由樹脂部件構(gòu)成。
20.如權(quán)利要求19所述的超聲波振子，其特征在于，所述樹脂部件由硅橡膠構(gòu)成。
21.一種超聲波電動(dòng)機(jī)，其特征在于，具有超聲波振子，其具有壓電體部；摩擦接觸部，與被驅(qū)動(dòng)體相接觸而作為驅(qū)動(dòng)點(diǎn)動(dòng)作，通過向所述壓電體部施加交變電壓，而產(chǎn)生超聲波橢圓振動(dòng)；保持部件，保持所述壓電體部；保持箱體，插入所述超聲波振子的所述保持部件；被驅(qū)動(dòng)體，與所述超聲波振子的所述摩擦接觸部相接觸、并相對(duì)移動(dòng)；按壓部件，經(jīng)由所述保持箱體而在所述摩擦接觸部和所述被驅(qū)動(dòng)體上產(chǎn)生按壓力。
22.一種超聲波電動(dòng)機(jī)，其特征在于，具有超聲波振子，其具有壓電體部；摩擦接觸部，與被驅(qū)動(dòng)體相接觸而作為驅(qū)動(dòng)點(diǎn)動(dòng)作，通過向所述壓電體部施加交變電壓，而產(chǎn)生超聲波橢圓振動(dòng)；保持部件，保持所述壓電體部；保持箱體，覆蓋該保持部件；被驅(qū)動(dòng)體，與所述超聲波振子的所述摩擦接觸部相接觸、并相對(duì)移動(dòng)；按壓部件，經(jīng)由所述保持箱體而在所述摩擦接觸部和所述被驅(qū)動(dòng)體上產(chǎn)生按壓力。
全文摘要
本發(fā)明提供超聲波振子和使用了該超聲波振子的超聲波電動(dòng)機(jī)。該超聲波振子至少具有壓電體層疊部(2)、與作為被驅(qū)動(dòng)體的移動(dòng)臺(tái)(11)相接觸而作為驅(qū)動(dòng)點(diǎn)動(dòng)作的摩擦接觸部(4)、設(shè)置在產(chǎn)生的振動(dòng)的分節(jié)位置上的作為突起部的銷(5)，通過向所述壓電體層疊部(2)的外部電極(3)施加交變電壓，而在所述摩擦接觸部(4)上產(chǎn)生超聲波橢圓振動(dòng)，所述銷(4)由樹脂材料、例如聚醚酮醚形成。
文檔編號(hào)B06B1/06GK1698978SQ200510072859
公開日2005年11月23日 申請(qǐng)日期2005年5月20日 優(yōu)先權(quán)日2004年5月20日
發(fā)明者舟漥朋樹 申請(qǐng)人:奧林巴斯株式會(huì)社