動(dòng)態(tài)追蹤的mems麥克風(fēng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種聲音信號(hào)處理技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種動(dòng)態(tài)追蹤的MEMS麥克風(fēng)。
【背景技術(shù)】
[0002]極化電壓，加在傳聲振膜和極板之間的直流電壓。極化電壓的大小會(huì)直接影響檢測(cè)器的靈敏度。對(duì)于MEMS麥克風(fēng)而言，極化電壓每提高IV，其MEMS麥克分的靈敏度則提高1db?20db，靈敏度越高，其MEMS麥克風(fēng)的傳聲振膜隨之聲壓的振動(dòng)幅度就越明顯，靈敏度較高的MEMS麥克風(fēng)適用于采集微弱的聲音，而對(duì)于聲壓較高的聲音，采用此種麥克風(fēng)則容易出現(xiàn)振膜連接現(xiàn)象，因聲音較高，振膜的振動(dòng)幅度較高，大大縮小了一對(duì)振膜之間的相對(duì)距離，當(dāng)振膜之間的相對(duì)距離無限小時(shí)，就出現(xiàn)了振膜連接現(xiàn)象，進(jìn)而導(dǎo)致麥克風(fēng)無法準(zhǔn)確采集聲音。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供一種可實(shí)時(shí)調(diào)整麥克風(fēng)靈敏度的動(dòng)態(tài)追蹤的MHMS麥克風(fēng)。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)目的通過以下技術(shù)手段實(shí)現(xiàn):
[0005]一種動(dòng)態(tài)追蹤的MEMS麥克風(fēng)，其中，包括:
[0006]—采集裝置，所述采集裝置上設(shè)置有一對(duì)相互平行的振膜；用以形成一采集信號(hào)輸出；
[0007]—檢測(cè)裝置，預(yù)制有閾值信號(hào)，用以接收所述采集信號(hào)，并根據(jù)所述采集信號(hào)和所述閾值信號(hào)形成一控制信號(hào)輸出；
[0008]—極化裝置，用以于所述控制信號(hào)的作用下對(duì)所述振膜提供一極化電壓以調(diào)整所述振膜的靈敏度。
[0009]優(yōu)選地，上述的動(dòng)態(tài)追蹤的MEMS麥克風(fēng)，其中，所述閾值信號(hào)包括第一閾值信號(hào)和第二閾值信號(hào)；
[0010]于所述采集信號(hào)大于第一閾值信號(hào)的狀態(tài)下，所述檢測(cè)裝置輸出第一控制信號(hào)，所述極化裝置于所述第一控制信號(hào)的作用下降低所述極化電壓；
[0011]于所述采集信號(hào)小于第二閾值信號(hào)的狀態(tài)下，所述檢測(cè)裝置輸出第二控制信號(hào)，所述極化裝置于所述第二控制信號(hào)的作用下提高所述極化電壓。
[0012]優(yōu)選地，上述的動(dòng)態(tài)追蹤的MEMS麥克風(fēng)，其中，所述第一閾值信號(hào)大于所述第二閾值信號(hào)，于所述采集信號(hào)大于所述第一閾值信號(hào)且輸出所述第一控制信號(hào)后，所述檢測(cè)裝置再判斷所述采集信號(hào)是否大于所述第二閾值信號(hào)。
[0013]優(yōu)選地，上述的動(dòng)態(tài)追蹤的MEMS麥克風(fēng)，其中，所述第一閾值信號(hào)為140db，所述第二閾值信號(hào)為135db。
[0014]優(yōu)選地，上述的動(dòng)態(tài)追蹤的MEMS麥克風(fēng)，其中，所述檢測(cè)裝置為RMS檢測(cè)器。
[0015]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是:
[0016]通過一個(gè)檢測(cè)裝置實(shí)施檢測(cè)采集信號(hào)，并將采集信號(hào)與閾值信號(hào)做比較，當(dāng)采集信號(hào)不匹配閾值信號(hào)的狀態(tài)下，輸出一控制信號(hào)，極化裝置于控制信號(hào)的作用下調(diào)整振膜的極化電壓，當(dāng)極化電壓發(fā)生變化后，其振膜的靈敏度就相應(yīng)發(fā)生變化，避免出現(xiàn)振膜相互連接的狀態(tài)，提高麥克風(fēng)輸出的音質(zhì)。本申請(qǐng)一方面可以保護(hù)麥克風(fēng)的振膜，另一方面還有效避免出現(xiàn)“刺耳”聲音的輸出。本申請(qǐng)還可以避免出現(xiàn)“刺耳”聲音的輸出，當(dāng)麥克風(fēng)所處環(huán)境的聲音急劇上升的過程中，當(dāng)采集聲音信號(hào)第一次高幅度的聲音信號(hào)時(shí)，實(shí)時(shí)降低振膜的靈敏度，麥克風(fēng)輸出的聲音信號(hào)幅度被降低，進(jìn)而保證了麥克風(fēng)輸出的聲音信號(hào)不隨著環(huán)境聲音的急劇上升而上升，提供了用戶的體驗(yàn)感。
【附圖說明】
[0017]圖1為本實(shí)用新型中動(dòng)態(tài)追蹤的MEMS麥克風(fēng)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為本實(shí)用新型中基于動(dòng)態(tài)追蹤的MEMS麥克風(fēng)的靈敏度曲線圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明，但不作為本實(shí)用新型的限定。
[0020]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0021]需要說明的是，在不沖突的情況下，本實(shí)用新型中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。
[0022]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明，但不作為本實(shí)用新型的限定。
[0023]如圖1所示，一種動(dòng)態(tài)追蹤的MEMS麥克風(fēng)，其中，包括:
[0024]—采集裝置，所述采集裝置上設(shè)置有一對(duì)相互平行的振膜；用以形成一采集信號(hào)輸出；
[0025]—檢測(cè)裝置，預(yù)制有閾值信號(hào)，用以接收所述采集信號(hào)，并根據(jù)所述采集信號(hào)和所述閾值信號(hào)形成一控制信號(hào)輸出；
[0026]—極化裝置，用以于所述控制信號(hào)的作用下對(duì)所述振膜提供一極化電壓以調(diào)整所述振膜的靈敏度。
[0027]本實(shí)用新型的工作原理是:通過一個(gè)檢測(cè)裝置實(shí)施檢測(cè)采集信號(hào)，并將采集信號(hào)與閾值信號(hào)做比較，當(dāng)采集信號(hào)不匹配閾值信號(hào)的狀態(tài)下，輸出一控制信號(hào)，極化裝置于控制信號(hào)的作用下調(diào)整振膜的極化電壓，當(dāng)極化電壓發(fā)生變化后，其振膜的靈敏度就相應(yīng)發(fā)生變化，避免出現(xiàn)振膜相互連接的狀態(tài)，提高麥克風(fēng)輸出的音質(zhì)。本申請(qǐng)一方面可以保護(hù)麥克風(fēng)的振膜，另一方面還有效避免出現(xiàn)“刺耳”聲音的輸出。本申請(qǐng)還可以避免出現(xiàn)“刺耳”聲音的輸出，當(dāng)麥克風(fēng)所處環(huán)境的聲音急劇上升的過程中，當(dāng)采集聲音信號(hào)第一次高幅度的聲音信號(hào)時(shí)，實(shí)時(shí)降低振膜的靈敏度，麥克風(fēng)輸出的聲音信號(hào)幅度被降低，進(jìn)而保證了麥克風(fēng)輸出的聲音信號(hào)不隨著環(huán)境聲音的急劇上升而上升，提供了用戶的體驗(yàn)感。
[0028]列舉一具體實(shí)施例，如圖2所述，當(dāng)采集信號(hào)在低于閾值信號(hào)(假設(shè)閾值信號(hào)為135db)的狀態(tài)下，麥克風(fēng)的靈敏度為以固定斜率上升，當(dāng)采集信號(hào)超過閾值信號(hào)的狀態(tài)下，極化裝置降低振膜的極化電壓，進(jìn)而使得麥克風(fēng)的靈敏度降低，不再繼續(xù)以一固定斜率上升。此種狀態(tài)下，振膜的靈敏度降低，使得麥克風(fēng)在采集高幅度信號(hào)時(shí)，振膜的振動(dòng)幅度降低，進(jìn)而能夠繼續(xù)采集聲音信號(hào)。
[0029]作為進(jìn)一步優(yōu)選實(shí)施方案，上述的動(dòng)態(tài)追蹤的MEMS麥克風(fēng)，其中，所述閾值信號(hào)包括第一閾值信號(hào)和第二閾值信號(hào)。
[0030]于所述采集信號(hào)大于第一閾值信號(hào)的狀態(tài)下，所述檢測(cè)裝置輸出第一控制信號(hào)，所述極化裝置于所述第一控制信號(hào)的作用下降低所述極化電壓。
[0031]于所述采集信號(hào)小于第二閾值信號(hào)的狀態(tài)下，所述檢測(cè)裝置輸出第二控制信號(hào)，所述極化裝置于所述第二控制信號(hào)的作用下提高所述極化電壓。
[0032]采用雙閾值信號(hào)的檢測(cè)方法，避免在采集高幅度信號(hào)的過程中，靈敏度一直處于波動(dòng)的狀態(tài)，繼續(xù)以圖2為例，當(dāng)僅僅只有一個(gè)閾值信號(hào)(閾值信號(hào)為135db)，當(dāng)振膜的靈敏度降低后，其采集聲音幅度與實(shí)際聲音幅度之間會(huì)出現(xiàn)一個(gè)差值(例如實(shí)際聲音為140db，因振膜靈敏度降低，采集信號(hào)的幅度為132db)，當(dāng)采集信號(hào)低于閾值信號(hào)的狀態(tài)下，采用單一閾值的方法下，極化電壓必然被重新調(diào)整，即靈敏度被重新調(diào)整，當(dāng)靈敏度提高之后，采集聲音幅度與實(shí)際聲音幅度之間的差值縮小，(例如，靈敏度調(diào)整之前兩者之間相差8db，靈敏度調(diào)整之后兩者之間相差2db)，其采集信號(hào)有可能再次高于閾值信號(hào)，以此類推，其振膜的靈敏度一直處于波動(dòng)狀態(tài)，為了克服這一缺陷。
[0033]作為進(jìn)一步優(yōu)選實(shí)施方案，上述的動(dòng)態(tài)追蹤的MEMS麥克風(fēng)，其中，所述第一閾值信號(hào)大于所述第二閾值信號(hào)，于所述采集信號(hào)大于所述第一閾值信號(hào)且輸出所述第一控制信號(hào)后，所述檢測(cè)裝置再判斷所述采集信號(hào)是否大于所述第二閾值信號(hào)。
[0034]本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N雙閾值檢測(cè)，當(dāng)采集信號(hào)高于第一閾值信號(hào)的狀態(tài)下，極化裝置降低振膜的極化電壓，使得振膜的靈敏度降低，當(dāng)采集信號(hào)低于第二閾值信號(hào)的狀態(tài)下(即當(dāng)前所處環(huán)境的實(shí)際聲音信號(hào)幅度被降低后)，再次提升振膜的極化電壓，使得處于高靈敏度狀態(tài)下工作。兩者之間必須按照順序執(zhí)行。
[0035]作為進(jìn)一步優(yōu)選實(shí)施方案，上述的動(dòng)態(tài)追蹤的MEMS麥克風(fēng)，其中，所述第一閾值信號(hào)為140db，所述第二閾值信號(hào)為135db。此處僅僅為一種舉例方式。
[0036]作為進(jìn)一步優(yōu)選實(shí)施方案，上述的動(dòng)態(tài)追蹤的MEMS麥克風(fēng)，其中，所述檢測(cè)裝置為RMS檢測(cè)器。
[0037]以上所述僅為本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的實(shí)施方式及保護(hù)范圍，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，應(yīng)當(dāng)能夠意識(shí)到凡運(yùn)用本實(shí)用新型說明書及圖示內(nèi)容所作出的等同替換和顯而易見的變化所得到的方案，均應(yīng)當(dāng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種動(dòng)態(tài)追蹤的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，包括: 一采集裝置，所述采集裝置上設(shè)置有一對(duì)相互平行的振膜；用以形成一采集信號(hào)輸出； 一檢測(cè)裝置，預(yù)制有閾值信號(hào)，用以接收所述采集信號(hào)，并根據(jù)所述采集信號(hào)和所述閾值信號(hào)形成一控制信號(hào)輸出； 一極化裝置，用以于所述控制信號(hào)的作用下對(duì)所述振膜提供一極化電壓以調(diào)整所述振膜的靈敏度。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動(dòng)態(tài)追蹤的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述閾值信號(hào)包括第一閾值信號(hào)和第二閾值信號(hào)； 于所述采集信號(hào)大于第一閾值信號(hào)的狀態(tài)下，所述檢測(cè)裝置輸出第一控制信號(hào)，所述極化裝置于所述第一控制信號(hào)的作用下降低所述極化電壓； 于所述采集信號(hào)小于第二閾值信號(hào)的狀態(tài)下，所述檢測(cè)裝置輸出第二控制信號(hào)，所述極化裝置于所述第二控制信號(hào)的作用下提高所述極化電壓。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的動(dòng)態(tài)追蹤的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述第一閾值信號(hào)大于所述第二閾值信號(hào)，于所述采集信號(hào)大于所述第一閾值信號(hào)且輸出所述第一控制信號(hào)后，所述檢測(cè)裝置再判斷所述采集信號(hào)是否大于所述第二閾值信號(hào)。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的動(dòng)態(tài)追蹤的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述第一閾值信號(hào)為140db，所述第二閾值信號(hào)為135db。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動(dòng)態(tài)追蹤的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于，所述檢測(cè)裝置為RMS檢測(cè)器。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種聲音信號(hào)處理技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種動(dòng)態(tài)追蹤的MEMS麥克風(fēng)及動(dòng)態(tài)追蹤方法。通過一個(gè)檢測(cè)裝置實(shí)施檢測(cè)采集信號(hào)，并將采集信號(hào)與閾值信號(hào)做比較，當(dāng)采集信號(hào)不匹配閾值信號(hào)的狀態(tài)下，輸出一控制信號(hào)，極化裝置于控制信號(hào)的作用下調(diào)整振膜的極化電壓，當(dāng)極化電壓發(fā)生變化后，其振膜的靈敏度就相應(yīng)發(fā)生變化，避免出現(xiàn)振膜相互連接的狀態(tài)，提高麥克風(fēng)輸出的音質(zhì)。本申請(qǐng)一方面可以保護(hù)麥克風(fēng)的振膜，另一方面還有效避免出現(xiàn)“刺耳”聲音的輸出。
【IPC分類】H04R19/04
【公開號(hào)】CN205265911
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520909865
【發(fā)明人】葉菁華
【申請(qǐng)人】鈺太芯微電子科技（上海）有限公司, 鈺太科技股份有限公司
【公開日】2016年5月25日
【申請(qǐng)日】2015年11月13日