靜電容量型轉(zhuǎn)換器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及靜電容量型轉(zhuǎn)換器。更具體地，涉及靜電量型聲響傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]作為靜電容量型轉(zhuǎn)換器的一種，例如具有用于麥克風的聲響傳感器。聲響傳感器為隔膜(振動電極板)和固定電極板隔開微小間隙(空隙)而相對的構(gòu)造。由于該隔膜由膜厚I ym左右的薄膜形成，因此一受到聲壓，就會感應到其振動而進行微小振動。而且，當振動電極板進行振動時，振動電極板與相對電極板的間隙距離發(fā)生變化，故而通過檢測此時的振動電極板與相對電極板之間的靜電容量的變化來檢測聲響振動。
[0003]在這種構(gòu)造的聲響傳感器中，如圖1(A)所示，在隔膜11大幅撓曲而與固定電極板12接觸時，隔膜11會固著在固定電極板12上而不能返回(將這種現(xiàn)象稱為粘附)。作為隔膜大幅撓曲而發(fā)生粘附的情況，例如具有對隔膜施加有大聲響的情況、對在落下耐久試驗中落下的聲響傳感器的隔膜施加較大的壓縮空氣壓(風壓)的情況、向聲響傳感器強烈地吹氣的情況。另外，在聲響傳感器的制造工序中，有時也產(chǎn)生粘附。
[0004]這樣，當隔膜粘附于固定電極板時，阻礙隔膜的振動，故而不能通過聲響傳感器來檢測聲響振動。因此，需要防止這種粘附，作為其對策，在專利文獻I公開的聲響傳感器中，在固定電極板的與隔膜相對的面上設有多個呈突起狀的止動件。止動件通常在固定電極板整體等間隔地配置，如果使止動件盡可能地細，則隔膜與固定電極板(或止動件)的接觸面積變小，不易發(fā)生隔膜的粘附。
[0005]但是，在聲響傳感器中，為了通過設置止動件而不發(fā)生隔膜的粘附，必須調(diào)節(jié)止動件彼此的間隔。圖1(B)?圖1(D)分別是示意性地表示止動件13彼此的間隔過大時、適當時、過小時的隔膜11的情形的圖。圖1(C)表示的是止動件13彼此的間隔d適當?shù)那闆r。在這種情況下，即使隔膜11緊貼于固定電極板12，如圖1(C)中雙點劃線所示，也因止動件13和隔膜11的接觸面積小而難以發(fā)生粘附，如圖1(C)中實線所示，隔膜11通過自身的彈性恢復力而恢復到原來的狀態(tài)。
[0006]與此相對，如圖1(B)所示，在止動件13彼此的間隔d比適當?shù)拈g隔窄的情況下，即使止動件13細而使前端的面積小，由于在止動件13的前端面的微小化上有限度，故而作為止動件整體，前端面的面積的合計值也成為較大值。因此，在這種情況下，隔膜11橫跨大致整體或廣闊的區(qū)域而緊貼于止動件13的前端面，隔膜11粘附于止動件13。
[0007]如圖1⑶所示，在止動件13彼此的間隔d比適當?shù)拈g隔寬的情況下，即使隔膜11與止動件13抵接，隔膜的一部分也會落入鄰接的止動件13間而與固定電極板12接觸。這樣，在隔膜11緊貼于固定電極板12的狀態(tài)下，即使接觸部位為一個部位，由于接觸面積與止動件13的前端面積相比，相當大，因此隔膜11也粘附于固定電極板12。
[0008]結(jié)果是，在現(xiàn)有的聲響傳感器中，無論止動件彼此的間隔過大還是過小，都易發(fā)生粘附，需要以成為適當?shù)拈g隔的方式設置止動件13。
[0009]另外，止動件的長度(突出長度)會影響到隔膜的破損難易度(耐破損性)和粘附的發(fā)生難易度(耐粘附性)。利用圖2對這一點進行說明。在圖2的聲響傳感器中，止動件13從保持固定電極板12的背板14突出。
[0010]在止動件短的情況下，如圖2(A)所示，由于非變形時的隔膜11與止動件13的間隔變寬，故而隔膜11的變形變大。因此，隔膜11碰到止動件13時的彈性恢復力大，隔膜11難以粘附。另一方面，在止動件13的長度短的情況下，由于隔膜11與止動件13的間隔變寬，故而在對隔膜11施加有過大的壓力時，隔膜11大幅變形，隔膜11容易破損。特別是，在隔膜11已大幅變形時，在隔膜11的固定部分的附近容易發(fā)生破損。
[0011]另外，在止動件長的情況下，如圖2(B)所示，由于非變形時的隔膜11與止動件13的間隔變窄，故而隔膜11的最大位移量變小，隔膜11不易破損。另一方面，在止動件13長的情況下，由于隔膜11與止動件13的間隔變窄，故而隔膜11碰到止動件13時的彈性恢復力小，隔膜11容易粘附。
[0012]因此，在現(xiàn)有那樣的止動件構(gòu)造中，即使止動件彼此的間隔適當，希望提高耐粘附性這種要求和希望提高隔膜的耐破損性這種要求也具有折衷的關(guān)系。
[0013]專利文獻1:(日本)特開2006 — 157863號公報
[0014]專利文獻2:(日本)特開2010 - 74523號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0015]本發(fā)明是鑒于上述現(xiàn)有例具有的課題而設立的，其主要目的在于提供一種能夠兼得希望提高耐粘附性這種要求和希望提高隔膜的耐破損性這種要求的靜電容量型轉(zhuǎn)換器。
[0016]本發(fā)明的靜電容量型轉(zhuǎn)換器至少具備:背板，其具有固定電極；作為可動電極的隔膜，其經(jīng)由空隙與所述背板相對；第一止動件，其從所述背板的所述空隙側(cè)的面和所述隔膜的所述空隙側(cè)的面中的至少一面突出，具有第一突出長度；第二止動件，其從所述背板的所述空隙側(cè)的面和所述隔膜的所述空隙側(cè)的面中的至少一面突出，具有第二突出長度，所述第一止動件設置在與所述隔膜上的第一位置對應的位置，所述第二止動件設置在與所述隔膜上的第二位置對應的位置，所述第一位置的隔膜的位移量比所述第二位置的隔膜的位移量大，所述第一止動件的突出長度比所述第二止動件的突出長度短。
[0017]根據(jù)本發(fā)明的靜電容量型轉(zhuǎn)換器，在與隔膜的位移量比較大的第一位置對應的位置設有突出長度較小的第一止動件，在與隔膜的位移量較小的第二位置對應的位置設有突出長度較大的第二止動件。因此，由于在與隔膜的位移較大的第一位置對應的位置設有突出長度較短的第一止動件，故而碰到第一止動件的狀態(tài)的隔膜的位移大，其彈性恢復力也大，隔膜不易粘附于止動件。另外，由于在與隔膜的位移較小的第二位置對應的位置設有突出長度較大的第二止動件，故而在對隔膜的位移小的部位(即，如隔膜的固定位置附近那樣應力容易集中的部位)施加高負荷的壓力的情況下，第二止動件能夠碰到該部位，其結(jié)果是，能夠防止隔膜的破損。
[0018]本發(fā)明的靜電容量型轉(zhuǎn)換器的一方面，所述固定電極的與所述隔膜相對的區(qū)域構(gòu)成一個平面。
[0019]本發(fā)明的靜電容量型轉(zhuǎn)換器的另一方面，所述第一位置位于所述隔膜的外周部，所述第二位置位于所述隔膜的中央部。
[0020]本發(fā)明的靜電容量型轉(zhuǎn)換器的再一方面，所述第一位置位于在所述隔膜上規(guī)定的圓的內(nèi)側(cè)，所述第二位置位于所述圓的外側(cè)。
[0021]本發(fā)明的靜電容量型轉(zhuǎn)換器的又一方面，具備包括所述第一止動件及所述第二止動件在內(nèi)的多個止動件，在設從所述隔膜的中心到所述隔膜的固定部位的距離為R時，在與以所述隔膜的中心為中心的半徑R/2的區(qū)域?qū)牡谝粎^(qū)域的內(nèi)部設有包括所述第一止動件在內(nèi)的多個止動件，在與所述區(qū)域的外部對應的第二區(qū)域設有包括所述第二止動件在內(nèi)的多個止動件，第一區(qū)域的最短止動件的突出長度比第二區(qū)域的最長止動件的突出長度小。
[0022]本發(fā)明的靜電容量型轉(zhuǎn)換器的再另一方面，所述隔膜將其外周整體或外周的一部分固定，所述第一止動件設于所述隔膜的中央附近，所述第二止動件設于所述隔膜的固定部分附近。
[0023]本發(fā)明的靜電容量型轉(zhuǎn)換器的再另一方面，所述第一位置位于所述隔膜的位移大的區(qū)域，所述第一止動件在與所述第一位置相對的位置從所述背板突出，所述第二位置位于所述隔膜的位移小的區(qū)域，所述第二止動件在與所述第二位置相對的位置從所述背板突出。
[0024]本發(fā)明的靜電容量型轉(zhuǎn)換器的再另一方面，所述第一位置位于所述隔膜的位移大的區(qū)域，所述第一止動件在所述第一位置從所述隔膜突出，所述第二位置位于所述隔膜的位移小的區(qū)域，所述第二止動件在所述第二位置從所述隔膜突出。
[0025]本發(fā)明的靜電容量型轉(zhuǎn)換器的再另一方面，包括所述第一止動件及所述第二止動件在內(nèi)的多個止動件從所述背板突出，以所述多個止動件的前端沿著所述隔膜的某變形狀態(tài)的所述隔膜的形狀而排列的方式選擇所述止動件的突出長度。
[0026]本發(fā)明的靜電容量型轉(zhuǎn)換器的再另一方面，所述第二止動件比所述第一止動件粗。在突出長度長的第二止動件中，應力集中于隔膜的與第二止動件接觸的部分，但通過將第二止動件加粗，能夠加大與隔膜的接觸面積，能夠使接觸面的應力分散。
[0027]本發(fā)明的靜電容量型轉(zhuǎn)換器的再另一