專利名稱：成像器件和相機(jī)模塊的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本公開涉及包括作為芯片規(guī)模封裝的諸如CXD圖像傳感器或CMOS圖像傳感器(CIS)之類的光學(xué)傳感器的成像器件和相機(jī)模塊。
背景技術(shù)：
作為光學(xué)傳感器的簡單封裝方法，提出了芯片規(guī)模封裝(CSP)結(jié)構(gòu)。圖I是示出CSP結(jié)構(gòu)的基本結(jié)構(gòu)的視圖。在圖CSP結(jié)構(gòu)I中，密封玻璃(蓋玻片)3作為用于保護(hù)光接收單元21的上部的密封組件安置在光學(xué)傳感器(傳感器芯片)2的前表面。在CSP結(jié)構(gòu)I中，排除光學(xué)傳感器2的光接收單元21在外，通過外圍部分布置的 樹脂4安置密封玻璃3。因此，在CSP結(jié)構(gòu)中，在光學(xué)傳感器2的光接收單元21和面向光接收表面21的密封玻璃3的對向表面31之間形成間隙5。在CSP結(jié)構(gòu)中，通過通孔(硅通孔TSV)從前表面到后表面穿過傳感器芯片形成電極6來消除利用配線接合的布線，因此，可以在凈化室中以晶圓狀態(tài)接合(bond)玻璃。于是，相比于現(xiàn)有技術(shù)的COB (Chip On Board，板上芯片)型封裝，可以期望低成本和無塵エ藝。然而，當(dāng)在CSP結(jié)構(gòu)中形成通孔(TSV)時(shí)，芯片在厚度上形成得薄，因此，存在的危險(xiǎn)是當(dāng)如上所述那樣在蓋玻片和芯片(光學(xué)芯片)之間存在間隙5的情況下進(jìn)行諸如回流之類的熱處理吋，由于熱應(yīng)力而出現(xiàn)芯片熱變形。作為解決上述情況的方法，提出了如圖2中所示那樣以樹脂4填充間隙5以消除間隙的CSP結(jié)構(gòu)IA。下文，不具有間隙的CSP結(jié)構(gòu)也稱為更少空腔(cavity-less) CSP結(jié)構(gòu)。當(dāng)應(yīng)用不具有間隙的更少空腔CSP結(jié)構(gòu)時(shí)，在具有間隙的CSP結(jié)構(gòu)的間隙中產(chǎn)生的熱應(yīng)カ可以得到顯著降低，從而抑制熱變形的發(fā)生。此外，根據(jù)光學(xué)的視點(diǎn)，在更少空腔CSP結(jié)構(gòu)中，可以通過具有近似I. 5的屈光率的樹脂來抑制間隙(屈光率I)邊界上發(fā)生的反射，因此，可以期待光學(xué)傳感器2中光接收量的増大。例如在JP-A-2007_73958(專利文獻(xiàn)I)中公開了涉及更少空腔結(jié)構(gòu)的技術(shù)。在專利文獻(xiàn)I中，提到了用于實(shí)現(xiàn)更少空腔CSP結(jié)構(gòu)的制造方法。

發(fā)明內(nèi)容
然而，在上面的更少空腔CSP結(jié)構(gòu)中，出現(xiàn)了在現(xiàn)有封裝結(jié)構(gòu)中不會(huì)出現(xiàn)的閃爍(假像)光。將參照圖3A和3B以及圖4說明閃爍(flare)光的出現(xiàn)。圖3A和3B是用于根據(jù)SCP結(jié)構(gòu)中間隙的存在說明密封玻璃的上表面的全反射模式的視圖。圖3A示出具有間隙的CSP結(jié)構(gòu)中密封玻璃的上表面的全反射模式的狀態(tài)，圖3B示出沒有間隙的更少空腔CSP結(jié)構(gòu)中密封玻璃的上表面的全反射模式的狀態(tài)。圖4是示出不具有間隙的更少空腔CSP結(jié)構(gòu)中出現(xiàn)的閃爍光的視圖。閃爍光出現(xiàn)的因素在于這樣的事實(shí)在圖3B中所示的更少空腔CSP結(jié)構(gòu)的情況下，由于密封玻璃下面的屈光率近似與密封玻璃3相同，因此光學(xué)傳感器上反射的衍射光可以在密封玻璃的上表面完全地反射。另一方面，在如圖3A中所示那樣在光學(xué)傳感器和密封玻璃之間存在間隙的SCP結(jié)構(gòu)中，在密封玻璃的上表面不會(huì)出現(xiàn)完全反射。閃爍光隨著傳感器間距(pitch)減小而增大。尤其是在單元(cell)尺寸小于2 μ m間距的小尺寸光學(xué)傳感器中，存在發(fā)生所謂的煙火(sparkler)中的閃光的情況，其中模糊光如圖4中所不那樣相對于中心光源在所有方向上擴(kuò)散。 因此，期望提供即使在亮光源進(jìn)入視野時(shí)也能夠抑制閃爍光的發(fā)生并且獲得閃光不顯著的良好質(zhì)量圖像的成像器件和相機(jī)模塊。本公開的一實(shí)施例針對于一種成像器件，其包括光學(xué)傳感器，其包括能夠形成對象圖像的光接收單元；密封材料，其用于保護(hù)光學(xué)傳感器的光接收單元；中間層，其至少形成在光接收單元和面向光接收單元的密封材料的對向面之間；以及控制膜，其安置在中間層和密封材料的對向面之間；其中，在控制膜中，截止波長根據(jù)斜射在膜上的光的入射角而偏移至短波側(cè)。本公開的另一實(shí)施例針對于一種相機(jī)模塊，其包含光學(xué)傳感器，其包括能夠形成對象圖像的光接收單元；密封材料，其用于保護(hù)光學(xué)傳感器的光接收單元；中間層，其至少形成在光接收單元和面向光接收單元的密封材料的對向面之間；控制膜，其安置在中間層和密封材料的對向面之間；以及透鏡，其在光學(xué)傳感器的光接收單元上形成對象圖像，其中，在控制膜中，截止波長根據(jù)斜射在膜上的光的入射角而偏移至短波側(cè)。根據(jù)本公開的實(shí)施例，即使在亮光源進(jìn)入視野時(shí)也可以抑制閃光的發(fā)生并且獲得閃光不顯著的良好質(zhì)量的圖像。


圖I是示出CSP結(jié)構(gòu)的基本結(jié)構(gòu)的視圖；圖2是示出沒有間距的CSP結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的視圖；圖3A和3B是用于根據(jù)SCP結(jié)構(gòu)中間隙的存在說明密封玻璃的上表面的全反射模式的視圖；圖4是示出不具有間隙的更少空腔CSP結(jié)構(gòu)中出現(xiàn)的閃爍光的視圖；圖5是示出根據(jù)實(shí)施例的成像器件的第一結(jié)構(gòu)示例的視圖；圖6是示出根據(jù)實(shí)施例的濾色器的結(jié)構(gòu)示例的視圖；圖7A和7B是示出根據(jù)實(shí)施例的多層膜的特征示例和膜結(jié)構(gòu)的示例的視圖；圖8A SC是示出通過在蓋玻片的下表面和樹脂之間插入多層膜的情況下和在未插入膜的情況下仿真蓋玻片的上表面的反射率所獲得的結(jié)果的視圖；圖9是示出在不存在間隙以及根據(jù)實(shí)施例安置多層膜的更少空腔CSP結(jié)構(gòu)中發(fā)生的閃爍光的視圖；圖IOA和IOB示出顯示通過估計(jì)滿足用于允許多層膜用作閃爍對策的光學(xué)特性的最小數(shù)量的膜的條件所獲得的結(jié)果的視圖；圖IlA和IlB示出多層膜的安置位置(高度)與閃爍的擴(kuò)散之間的關(guān)系；圖12是示出根據(jù)實(shí)施例的成像器件的第二結(jié)構(gòu)示例的視圖；以及圖13是示出根據(jù)實(shí)施例的相機(jī)模塊的結(jié)構(gòu)示例的視圖。
具體實(shí)施方式
下文參照

本公開的實(shí)施例。將按照下列順序進(jìn)行說明。I.成像器件的第一結(jié)構(gòu)示例2.控制膜(多層膜)的基本結(jié)構(gòu)和功能3.控制膜(多層膜)的特定結(jié)構(gòu)和功能4.控制膜(多層膜)的典型結(jié)構(gòu)和功能5.成像器件的第二結(jié)構(gòu)示例6.相機(jī)模塊的結(jié)構(gòu)示例〈I.成像器件的第一結(jié)構(gòu)示例>圖5是示出根據(jù)實(shí)施例的成像器件的第一結(jié)構(gòu)示例的視圖。在此實(shí)施例中，CMOS圖像傳感器(CIS)用作光學(xué)傳感器的示例。根據(jù)此實(shí)施例的成像器件100主要具有CSP結(jié)構(gòu)，其中以光學(xué)傳感器的芯片尺寸進(jìn)行封裝，以及不具有間隙的更少空腔CPS結(jié)構(gòu)，其中在光學(xué)傳感器和保護(hù)光學(xué)傳感器的前表面(上表面)的密封材料之間形成中間層(在此實(shí)施例中為樹脂)。在本實(shí)施例中，前表面指示對象的圖像光的入射側(cè)，其上形成成像器件中的光學(xué)傳感器的光接收單元，而背面指示沒有光入射并且形成連接電極(如，突起部分(bump))和插入器(interposer)等的表面一側(cè)。成像器件100包括光學(xué)傳感器110、密封材料120、作為中間層的樹脂層130和控制膜140。在此實(shí)施例中，控制膜140形成在作為中間層的樹脂層130和密封材料120之間，其由多層膜制成，其中截止波長(cutoff wavelength)根據(jù)斜射在膜上的光的入射角而偏移至短波側(cè)(如稍后所述)。即使在亮光源進(jìn)入視野時(shí)，根據(jù)此實(shí)施例的成像器件100也可以通過控制膜140抑制閃爍光的發(fā)生并且可以獲得閃爍光不顯著的良好質(zhì)量的圖像。作為中間層的樹脂層130和密封材料120由相對于光透明的材料制成，該材料透射光，并且其屈光率高于空氣的屈光率，其例如由具有大約I. 5的屈光率的材料制成。在圖5的結(jié)構(gòu)中，示出了密封材料120由玻璃制成的示例，并且密封材料120也稱為密封玻璃或蓋玻片(cover glass)。在光學(xué)傳感器110中，光接收表面112形成在傳感器襯底111的前表面Illa上，并且在后表面Illb上形成連接電極113 (如，突起部分)。在光學(xué)傳感器110中，通過通孔(硅通孔TSV) 114從前表面到后表面穿過傳感器芯片形成電極115,以消除利用配線接合(wire bonding)的布線，因此,可以在凈化室中以晶圓狀態(tài)接合玻璃。
光接收單元112形成在傳感器襯底111的前表面Illa上，具有以矩陣狀態(tài)安置多個(gè)像素(光電檢測器)的光接收表面(像素陣列單元)1121。在光接收單元112中，濾色器122形成在像素陣列單元1121的更前表面?zhèn)取Ｔ跒V色器1121中，例如像圖6中所示那樣，以拜爾排列的陣列狀態(tài)將作為原色的R(紅)、G(綠)和B (藍(lán))濾色器形成為片上濾色器(OCCF)。濾色器的排列樣式不一定限制為拜爾樣式。在圖6的示例中，將紅外截止濾波器(IRCF, infrared cut filter) 150形成為重疊濾色器1121。在本實(shí)施例中，如稍后描述的那樣，除了控制膜之外還提供IRCF 150，并且此外最好不把IRCF 150安排為與控制膜140不同的膜，這是由于控制膜140也具有IRCF的功能。 在光接收單元112中，進(jìn)一步將用于采集對于各個(gè)像素的入射光的微透鏡陣列1123安置在濾色器1122的前表面?zhèn)取４送?，在光接收單?12中，例如，在微透鏡陣列1123的更前表面?zhèn)刃纬煞婪瓷淠?br> 坐寸ο作為中間層的樹脂層130形成在具有上述結(jié)構(gòu)的光接收單元112和面向光接收單元112的密封材料(密封玻璃)120的對向面121之間。樹脂層130的厚度設(shè)為近似50 μ m。密封玻璃120的厚度設(shè)為近似450 500 μ m。控制膜140安置在作為中間層的樹脂層130和密封材料120的對向面121之間。已經(jīng)如以上那樣說明了根據(jù)實(shí)施例的成像器件100的基本結(jié)構(gòu)。下文將聚焦于作為此實(shí)施例的特征組件的控制膜140的結(jié)構(gòu)和功能，說明成像器件100的進(jìn)一步的特定結(jié)構(gòu)和功能。<2.控制膜(多層膜)的基本結(jié)構(gòu)和功能>控制膜140具有這樣的功能根據(jù)斜射在膜上的光的入射角，截止波長偏移至短波側(cè)。控制膜140由包括具有不同屈光率的多個(gè)膜的多層膜140A(例如，參照圖7A)制成。在多層膜140A中，以高屈光率和低屈光率的順序交替地安置兩種或更多種的膜材料。多層膜140A形成為使得在兩種膜材料中，具有最大屈光率的材料和具有最小屈光率的材料之間的屈光率差高于O. 5。多層膜140A通過布置六層或更多層的膜而形成,其每一個(gè)具有50nm 150nm的
膜厚度。作為控制膜140的多層膜140A具有作為屏蔽紅外范圍的光的紅外截止濾波器IRCF的功能。如上所述，也可以應(yīng)用這樣的結(jié)構(gòu)除了多層膜140A之外，還在到光學(xué)傳感器的光接收單元112的光學(xué)路徑上安置屏蔽紅外范圍的光的IRCF150。在此情況下，多層膜140A和IRCF 150的截止波長和截止線寬滿足下列條件。λ cf_IRCF+A λ cf_IRCF/2 < λ cf_ML_A λ cf_ML/2. · · (I)這里，分別地，λ cf_IRCF表示紅外截止濾波器的截止波長，Λ λ cf_IRCF表示紅外截止濾波器的截止線寬，λ cf_ML表示控制膜的截止波長，Δ λ cf_ML表示控制膜的截止線寬。另外，多層膜140A以中間高度安置在光學(xué)傳感器110的光接收單元112和密封玻璃120的光入射表面(上表面)122之間，例如以200 μ m的高度。<3.控制膜(多層膜)的特定結(jié)構(gòu)和功能>如上所述，在與樹脂層130和面向光接收單元112的蓋玻片120的對向面(下表面)121之間的邊界對應(yīng)的部分，成像器件100配備有多層膜140A，用于抑制閃爍光的發(fā)生。多層膜140A具有透射垂直入射在光入射/發(fā)射表面140a和140b上的處于可見區(qū)域的幾乎所有的光以及反射處于近紅外區(qū)域的幾乎所有的入射光的功能。多層膜140A具有截止波長根據(jù)在光入射/發(fā)射表面140a和140b上斜射的光的角度而偏移至短波側(cè)的特性。
根據(jù)此實(shí)施例的成像器件100利用上述特性以從而選擇性地反射反射衍射光(其來自多層膜部分中光學(xué)傳感器Iio的接收部分112)中有助于全反射的高階衍射分量，以防止閃爍光的擴(kuò)散。當(dāng)入射角為Θ時(shí)，截止頻率的偏移通常由下面表達(dá)式表示。λ CF ( Θ ) = λ CF (O) *cos ( θ ). . . (2)這里，分別地，λ CF( Θ )表示入射角度Θ的截止頻率，λ CF(O)表示入射角度O度的截止頻率。圖7Α和7Β是示出根據(jù)實(shí)施例的多層膜的特征示例和膜結(jié)構(gòu)的示例的視圖。圖7Α示出多層示例的特征示例，圖7Β示出膜結(jié)構(gòu)的示例。在此示例中，將多層膜140Α形成為具有17層的多層膜，其中Ti02用作具有高屈光率的第一膜141，Si02用作作為多層膜材料的具有低屈光率的第二膜142，并且交替地安置第一膜141和第二膜142。圖7B示出當(dāng)形成17層多層膜140A時(shí)可以實(shí)現(xiàn)的光學(xué)特性，其中截止波長設(shè)為650nmo關(guān)于多層膜140A的全反射所引起的閃爍的截止波長可以由來自全反射條件的下列表達(dá)式表不。sin Θ tir = 1/ng. . . (3)這里，分別地，Θ tir表示臨界角，“ng”表示蓋玻片的屈光率。例如，假設(shè)蓋玻片120的屈光率“ng”為I. 51，則得到臨界角Θ tir = 41度。當(dāng)在表達(dá)式(2)中將以上替換為Θ時(shí)，全反射引起的閃光的截止波長將為XCF(0tir)^49Onm，并且可以估計(jì)多層膜對于至少490nm或更大的可見范圍是有效的。圖8A SC是示出通過在蓋玻片的下表面和樹脂之間插入多層膜的情況下和在未插入膜的情況下仿真蓋玻片的上表面的屈光率所獲得的結(jié)果的視圖。圖8A示出仿真結(jié)果，圖SB示意性地示出未在蓋玻片的下表面和樹脂之間插入多層膜的狀態(tài)，圖8C示意性地示出在蓋玻片的下表面和樹脂之間插入多層膜的狀態(tài)。在仿真中，假定光學(xué)傳感器110的像素尺寸為1.4μπι，從嚴(yán)格的電磁場分析得到其反射電場。結(jié)果基于定量地支持多層膜140Α對于截止波長的偏移效果的計(jì)算，并且可以在理論上解釋對策的效果。圖9是示出在不存在間隙以及根據(jù)實(shí)施例布置多層膜的更少空腔CSP結(jié)構(gòu)中發(fā)生的閃爍光的視圖。
如圖9中看到的，已經(jīng)確認(rèn)的是，多層膜140A具有抑制實(shí)際器件中的閃爍光的效果，并且通過作為控制膜的多層膜抑制閃爍的效果是明顯的。<4.控制膜(多層膜)的典型結(jié)果和功能>成像器件100的典型結(jié)構(gòu)基本上是如上所述那樣包括作為控制膜140的多層膜140A的結(jié)構(gòu)。這里，多層膜的膜結(jié)構(gòu)的條件和安置膜的位置將是重要的。多層結(jié)構(gòu)需要具有如下光學(xué)特性以用作針對閃爍的對策。
截止波長相對于多層膜140A的光入射/發(fā)射表面140a和140b上的垂直入射處于紅外范圍，并且截止波長在全反射閃爍的衍射角中處于可見范圍。透射率充分地高于短波側(cè)的截止波長(80%或更多)，并且透射率充分地低于長波側(cè)的截止波長(20%或更少)。圖IOA和IOB示出顯示通過估計(jì)滿足用于允許多層膜用作閃爍對策的光學(xué)特性的最小數(shù)量的膜的條件所獲得的結(jié)果的視圖。圖IOA示出多層膜的特性示例，圖IOB示出膜結(jié)構(gòu)的示例。當(dāng)作為多層膜的結(jié)構(gòu)，通過計(jì)算滿足下列條件時(shí)，多層膜可以用作閃爍對策。 膜的總數(shù)量為六層或更多(設(shè)計(jì)中為七層)，其具有第一膜141和第二膜142。 每個(gè)膜的厚度近似為ACF/4/n。這里，λ CF表示設(shè)計(jì)截止波長，“η”表示屈光率。例如，當(dāng)人〇？為650_、“11”(高屈光率11_111811為2.2 2.5，低屈光率11_10￥為
I.4 I. 6)時(shí)，該值對應(yīng)于近似50 150nm。 具有最大屈光率的材料和具有最小屈光率的材料之間的屈光率的差Λ為O. 5或更大(圖IOA中使用的值為Λ η約等于I)。在相機(jī)模塊里經(jīng)常使用的IRCF(紅外截止濾波器)中，也可以使用多層膜的上述條件。S卩，當(dāng)去除了通常布置為單獨(dú)組件的IRCF并且將期望的IRCF特性給予多層膜140Α時(shí)，可以期待相機(jī)模塊的組件數(shù)量的減少。另一方面，也可以應(yīng)用單獨(dú)地布置IRCF和多層膜140Α的方法。在此情況下，需要設(shè)置用于不影響IRCF特性的多層膜的截止波長和截止線寬。于是，需要通過將IRCF的截止波長設(shè)定為Acf_IRCF、將其截止線寬設(shè)定為Δ λ cf_IRCF，將多層膜(ML)的截止波長設(shè)定為λ cf_ML并且將其截止線寬設(shè)定為Λ λ cf_ML以滿足上述表達(dá)式(I)的條件。λ cf_IRCF+ Δ λ cf_IRCF/2 < λ cf_ML_ Δ λ cf_ML/2. · · (I)對于用作閃爍對策的膜，安置多層膜140A的高度是重要的。這里，安置多層膜140A的高度是指相對于光學(xué)傳感器110的光接收單元112的給定表面的安置位置(高度)，例如，相對于光接收表面1121的安置位置(高度)。圖IlA和IlB示出多層膜的安置位置(高度)與閃爍的擴(kuò)散之間的關(guān)系。圖IlA示出不存在多層膜的情況，圖IlB示出存在多層膜的情況。如根據(jù)附圖可看到的，隨著多層膜140A的位置更高，閃光的擴(kuò)散變得更大。以上實(shí)驗(yàn)結(jié)果中有效的多層膜140A的高度(=樹脂的厚度)為50 μ m。另一方面，在全反射中具有問題的密封玻璃(蓋玻片)120的上表面121的位置為450 μ m,并且顯而易見的是，當(dāng)以該高度安置多層膜時(shí)，多層膜不用作閃爍對策?？紤]到以上，期望多層膜的安置高度低于所述值(近似400μπι)中間的200μπι。作為制造多層膜的方法，可以應(yīng)用將膜淀積在傳感器上的樹脂上的方法和將膜淀積在玻璃上并且將膜接合至樹脂的方法。然而，非常難以高精度地在樹脂上形成具有高屈光率的無機(jī)膜，并且后一方法作為制造方法是令人期望的。于是，期望在樹脂和多層膜之間安置粘合層。另外，由于玻璃和樹脂具有近似相同的屈光率，因此該結(jié)構(gòu)在光學(xué)上具有與例如JP-A-2003-31782中公開的更少密封玻璃的結(jié)構(gòu)相同的功能。
因此，當(dāng)滿足以上各個(gè)條件時(shí)，顯然本公開也可應(yīng)用于以上結(jié)構(gòu)?！?.成像器件的第二結(jié)構(gòu)示例〉圖12是示出根據(jù)實(shí)施例的成像器件的第二結(jié)構(gòu)示例的視圖。圖12的成像器件100在以下幾點(diǎn)上不同于圖5的成像器件100。在圖5的成像器件100中，光學(xué)傳感器110具有在傳感器襯底111的前表面Illa上形成的光接收單元112以及在后表面Illb上形成的諸如突起部分之類的連接電極113。另一方面，在圖12的成像器件100Α中，通過芯片接合材料170，在傳感器襯底111的后表面Illb將光學(xué)傳感器IlOA附于插入器160的一個(gè)表面160a上。傳感器襯底111的前表面Illa的外圍部分上形成的配線接合焊盤roill和TO112與插入器160的一個(gè)表面160a的外圍部分上形成的配線接合焊盤PD161和PD162通過配線接合布線WBL連接。成像器件100A的其他組成部分與成像器件100相同，并且作為由多層膜制成的控制膜140的功能如上所述。如上面說明的，即使在亮光源進(jìn)入視野時(shí)，也可以抑制閃爍光的發(fā)生并且獲得閃爍光不顯著的良好質(zhì)量的圖像。成像器件100和100A可應(yīng)用于具有成像透鏡的相機(jī)模塊?！?.相機(jī)模塊的結(jié)構(gòu)示例〉圖13是示出根據(jù)此實(shí)施例的相機(jī)模塊的結(jié)構(gòu)示例的視圖。在相機(jī)模塊200中，將對象圖像聚焦在光學(xué)傳感器110的光接收單元112上的成像透鏡210安置在成像器件100的前表面?zhèn)?對象側(cè))。示出圖5的成像器件100作為圖13中的示例，然而，也可以應(yīng)用圖12的成像器件100A。除了成像透鏡210之外，相機(jī)模塊200還包括未示出的信號(hào)處理單元等。在具有以上結(jié)構(gòu)的相機(jī)模塊200中，在光接收單元中光學(xué)地處理由成像透鏡210取得的來自對象的光，以便在成像器件中將其平滑地轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。之后，將光引至光學(xué)傳感器110中的光電轉(zhuǎn)換單元，其中在隨后的信號(hào)處理單元中對通過光電轉(zhuǎn)換獲得的電信號(hào)進(jìn)行給定的信號(hào)處理。此外，在根據(jù)此實(shí)施例的相機(jī)模塊中，即使亮光源進(jìn)入視野時(shí)，也可以抑制閃爍光的發(fā)生并且獲得閃爍光不顯著的良好質(zhì)量的圖像。本公開可以應(yīng)用以下配置。(I) 一種成像器件，包含光學(xué)傳感器，其包括能夠形成對象圖像的光接收單元；
密封材料，其用于保護(hù)光學(xué)傳感器的光接收單元；中間層，其至少形成在光接收單元和面向光接收單元的密封材料的對向面之間；以及控制膜，其安置在中間層和密封材料的對向面之間；其中，在控制膜中，截止波長根據(jù)斜射在膜上的光的入射角而偏移至短波側(cè)。(2)以上⑴中所述的成像器件，其中，所述控制膜由包括具有不同屈光率的多個(gè)膜的多層膜制成。(3)以上⑵中所述的成像器件，其中，所述多層膜包括以高屈光率和低屈光率的順序交替安置的兩種或更多種的膜材料。 (4)以上(3)中所述的成像器件，其中，所述多層膜形成為使得在兩種或更多種的膜材料中，具有最大屈光率的材料和具有最小屈光率的材料之間的屈光率差高于O. 5。(5)以上(3)或(4)中所述的成像器件，其中，所述多層膜通過布置六層或更多層的膜而形成，其中每一層具有50nm至150nm的膜厚度。(6)以上⑴ (5)中任何一個(gè)所述的成像器件，其中，所述控制膜具有作為屏蔽紅外范圍的光的紅外截止濾波器的功能。(7)以上⑴ (6)中任何一個(gè)所述的成像器件，其中，除了控制膜之外，還在到光學(xué)傳感器的光接收單元的光學(xué)路徑上安置屏蔽紅外范圍的光的紅外截止濾波器。(8)以上(7)中所述的成像器件，其中，所述多層膜和所述紅外截止濾波器的截止波長和截止線寬滿足下列條件λ cf_IRCF+ Δ λ cf_IRCF/2 < λ cf_ML_ Δ λ cf_ML/2。這里，分別地，λ cf_IRCF表示紅外截止濾波器的截止波長，Λ λ cf_IRCF表示紅外截止濾波器的截止線寬，λ cf_ML表示控制膜的截止波長，Δ λ cf_ML表示控制膜的截止線寬。(9)以上⑴ ⑶中任何一個(gè)所述的成像器件，其中，所述控制膜以中間高度安置在光學(xué)傳感器的光接收單元和所述密封材料的光入射表面之間。(10)以上⑴ (9)中任何一個(gè)所述的成像器件，其中，所述控制膜的上層的密封材料由玻璃制成。(11)以上(I) (10)中任何一個(gè)所述的成像器件，，其中，所述控制膜直接淀積在所述密封材料的對向面上。(12) 一種相機(jī)模塊,其包含光學(xué)傳感器，其包括能夠形成對象圖像的光接收單元；密封材料，其用于保護(hù)光學(xué)傳感器的光接收單元；中間層，其至少形成在光接收單元和面向光接收單元的密封材料的對向面之間；控制膜，其安置在中間層和密封材料的對向面之間；以及
透鏡，其在光學(xué)傳感器的光接收單元上形成對象圖像，其中，在控制膜中，截止波長根據(jù)斜射在膜上的光的入射角而偏移至短波側(cè)。(13)以上(12)中所述的相機(jī)模塊，其中，所述控制膜由包括具有不同屈光率的多個(gè)膜的多層膜制成。(14)以上(13)中所述的相機(jī)模塊，其中，所述多層膜包括以高屈光率和低屈光率的順序交替安置的兩種或更多種的膜材料。(15)以上(14)中所述的相機(jī)模塊，其中，所述多層膜形成為使得在兩種或更多種的膜材料中，具有最大屈光率的材料和具有最小屈光率的材料之間的屈光率差高于O. 5。(16)以上(14)或(15)中所述的相機(jī)模塊，其中，所述多層膜通過布置六層或更多層的膜而形成，其中每一層具有50nm至150nm的膜厚度。(17)以上(12) (16)中任何一個(gè)所述的相機(jī)模塊，其中，所述控制膜具有作為屏蔽紅外范圍的光的紅外截止濾波器的功能。(18)以上(12) (17)中任何一個(gè)所述的相機(jī)模塊，其中，除了控制膜之外，還在到光學(xué)傳感器的光接收單元的光學(xué)路徑上安置屏蔽紅外范圍的光的紅外截止濾波器。(19)以上(18)中所述的相機(jī)模塊，其中，所述多層膜和所述紅外截止濾波器的截止波長和截止線寬滿足下列條件λ cf_IRCF+ Δ λ cf_IRCF/2 < λ cf_ML_ Δ λ cf_ML/2。這里，分別地，λ cf_IRCF表示紅外截止濾波器的截止波長，Λ λ cf_IRCF表示紅外截止濾波器的截止線寬，λ cf_ML表示控制膜的截止波長，Δ λ cf_ML表示控制膜的截止線寬。(20)以上(12) (19)中任何一個(gè)所述的相機(jī)模塊， 其中，所述控制膜以中間高度安置在光學(xué)傳感器的光接收單元和所述密封材料的光入射面之間。本公開包含與2011年2月22日向日本專利局提交的日本優(yōu)先權(quán)專利申請JP2011-036337中公開的主題相關(guān)的主題，其全部內(nèi)容通過引用的方式合并在此。本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，依據(jù)設(shè)計(jì)要求和其它因素可出現(xiàn)各種變型、組合、部分組合和替換，只要其在所附權(quán)利要求或其等同體的范圍內(nèi)即可。
權(quán)利要求
1.一種成像器件,包含 光學(xué)傳感器，其包括能夠形成對象圖像的光接收單元； 密封材料，其用于保護(hù)光學(xué)傳感器的光接收單元； 中間層，其至少形成在光接收單元和面向光接收單元的密封材料的對向面之間；以及 控制膜，其安置在中間層和密封材料的對向面之間； 其中，在控制膜中，截止波長根據(jù)斜射在膜上的光的入射角而偏移至短波側(cè)。
2.如權(quán)利要求I所述的成像器件， 其中，所述控制膜由包括具有不同屈光率的多個(gè)膜的多層膜制成。
3.如權(quán)利要求2所述的成像器件， 其中，所述多層膜包括以高屈光率和低屈光率的順序交替安置的兩種或更多種的膜材料。
4.如權(quán)利要求3所述的成像器件， 其中，所述多層膜形成為使得在兩種或更多種的膜材料中，具有最大屈光率的材料和具有最小屈光率的材料之間的屈光率差高于0. 5。
5.如權(quán)利要求4所述的成像器件， 其中，所述多層膜通過布置六層或更多層的膜而形成，其中每ー層具有50nm至150nm的膜厚度。
6.如權(quán)利要求I所述的成像器件， 其中，所述控制膜具有作為屏蔽紅外范圍的光的紅外截止濾波器的功能。
7.如權(quán)利要求I所述的成像器件， 其中，除了控制膜之外，還在到光學(xué)傳感器的光接收單元的光學(xué)路徑上安置屏蔽紅外范圍的光的紅外截止濾波器。
8.如權(quán)利要求7所述的成像器件， 其中，所述多層膜和所述紅外截止濾波器的截止波長和截止線寬滿足下列條件入 cf_IRCF+A 入 cf_IRCF/2 < 入 cf_ML_ A 入 cf_ML/2 這里，分別地，入cf_IRCF表示紅外截止濾波器的截止波長，A入cf_IRCF表示紅外截止濾波器的截止線寬，、cf_ML表示控制膜的截止波長，A A cf_ML表示控制膜的截止線寬。
9.如權(quán)利要求I所述的成像器件， 其中，所述控制膜以中間高度安置在光學(xué)傳感器的光接收單元和所述密封材料的光入射表面之間。
10.如權(quán)利要求I所述的成像器件， 其中，所述控制膜的上層的密封材料由玻璃制成。
11.如權(quán)利要求I所述的成像器件， 其中，所述控制膜直接淀積在所述密封材料的對向面上。
12.—種相機(jī)模塊,其包含 光學(xué)傳感器，其包括能夠形成對象圖像的光接收單元； 密封材料，其用于保護(hù)光學(xué)傳感器的光接收單元； 中間層，其至少形成在光接收單元和面向光接收單元的密封材料的對向面之間；控制膜，其安置在中間層和密封材料的對向面之間；以及 透鏡，其在光學(xué)傳感器的光接收單元上形成對象圖像， 其中，在控制膜中，截止波長根據(jù)斜射在膜上的光的入射角而偏移至短波側(cè)。
13.如權(quán)利要求12所述的相機(jī)模塊， 其中，所述控制膜由包括具有不同屈光率的多個(gè)膜的多層膜制成。
14.如權(quán)利要求13所述的相機(jī)模塊， 其中，所述多層膜包括以高屈光率和低屈光率的順序交替安置的兩種或更多種的膜材料。
15.如權(quán)利要求14所述的相機(jī)模塊， 其中，所述多層膜形成為使得在兩種或更多種的膜材料中，具有最大屈光率的材料和具有最小屈光率的材料之間的屈光率差高于0. 5。
16.如權(quán)利要求15所述的相機(jī)模塊， 其中，所述多層膜通過布置六層或更多層的膜而形成，其中每ー層具有50nm至150nm的膜厚度。
17.如權(quán)利要求12所述的相機(jī)模塊， 其中，所述控制膜具有作為屏蔽紅外范圍的光的紅外截止濾波器的功能。
18.如權(quán)利要求12所述的相機(jī)模塊， 其中，除了控制膜之外，還在到光學(xué)傳感器的光接收單元的光學(xué)路徑上安置屏蔽紅外范圍的光的紅外截止濾波器。
19.如權(quán)利要求18所述的相機(jī)模塊， 其中，所述多層膜和所述紅外截止濾波器的截止波長和截止線寬滿足下列條件入 cf_IRCF+A 入 cf_IRCF/2 < 入 cf_ML_ A 入 cf_ML/2 這里，分別地，入cf_IRCF表示紅外截止濾波器的截止波長，A入cf_IRCF表示紅外截止濾波器的截止線寬，、cf_ML表示控制膜的截止波長，A A cf_ML表示控制膜的截止線寬。
20.如權(quán)利要求12所述的相機(jī)模塊， 其中，所述控制膜以中間高度安置在光學(xué)傳感器的光接收單元和所述密封材料的光入射面之間。
全文摘要
在此公開成像器件和相機(jī)模塊。所述成像器件包括光學(xué)傳感器，其包括能夠形成對象圖像的光接收單元；密封材料，其用于保護(hù)光學(xué)傳感器的光接收單元；中間層，其至少形成在光接收單元和面向光接收單元的密封材料的對向面之間；以及控制膜，其安置在中間層和密封材料的對向面之間；其中，在控制膜中，截止波長根據(jù)斜射在膜上的光的入射角而偏移至短波側(cè)。
文檔編號(hào)H04N5/225GK102651378SQ20121004217
公開日2012年8月29日 申請日期2012年2月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月22日
發(fā)明者丸山康, 前田兼作, 湯川弘章, 高地泰三 申請人:索尼公司