專利名稱：平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)及其制造方法。
背景技術(shù)：
現(xiàn)今視覺與聽覺是人類最直接的兩種感官反應(yīng)，因此長久以來，科學(xué)家們極力的發(fā)展各種可再生視覺與聽覺相關(guān)系統(tǒng)。目前包括揚(yáng)聲器的再生方式，其主要仍是由動圈式揚(yáng)聲器來主宰整個市場。但是隨著近幾年來人們對于感官品質(zhì)的日益要求，以及3C產(chǎn)品 (Computer，Communication, Consumer Electronics)在追求短小、輕薄的前提下，一禾中省電、輕薄、可依人體工學(xué)需求設(shè)計的揚(yáng)聲器，不管是搭配大尺寸的平面揚(yáng)聲器，還是小到隨身聽的耳機(jī)、立體聲的手機(jī)，在可以預(yù)見的明天，此方面的技術(shù)將有大量的需要與應(yīng)用的發(fā)展。目前電聲揚(yáng)聲器分類主要分為直接、間接輻射型，而驅(qū)動方式大概分為動圈式、壓電式及靜電式揚(yáng)聲器。動圈式揚(yáng)聲器目前使用最廣，技術(shù)成熟，不過由于其先天架構(gòu)的缺點，并無法將體積扁平化，使得面對3C產(chǎn)品越來越小及家庭劇院扁平化的趨勢，將不敷需求。壓電式揚(yáng)聲器利用壓電材料的壓電效應(yīng)，以附加一電場于壓電材料所造成材料變形的特性，用來推動震動膜發(fā)聲，此揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)扁平微小化；靜電式揚(yáng)聲器目前的市場主要為頂級(Hi-End)的耳機(jī)和喇叭，傳統(tǒng)靜電式揚(yáng)聲器的作用原理是將兩片開孔的固定電極板挾持導(dǎo)電振膜形成一種電容器，通過供給振膜直流偏壓以及給予兩個固定電極音頻的交流電壓，利用正負(fù)電場所發(fā)生的靜電力，帶動導(dǎo)電振膜振動并將聲音輻射出去。傳統(tǒng)靜電式揚(yáng)聲器的直流偏壓需達(dá)數(shù)百-上千伏特，因此需要外接高單價及龐大體積的擴(kuò)大機(jī)，是其無法普及的原因。例如美國第3，894，199號專利所提出的靜電式揚(yáng)聲器制作，其設(shè)計是將兩片開孔的固定電極板挾持導(dǎo)電振膜形成一種電容器，通過供給振膜直流偏壓以及給予兩個固定電極音頻的交流電壓，再利用正負(fù)電場所發(fā)生的靜電力，帶動導(dǎo)電振膜振動并將聲音輻射出去。此種靜電式揚(yáng)聲器的偏壓需達(dá)上百-上千伏特，因此需要外接高單價及龐大體積的擴(kuò)大機(jī)。未來于軟性電子的個性應(yīng)用中，聲音(Audio)是一個重要的元素。但軟性電子須具備軟、薄、低驅(qū)動電壓及可撓曲的特性，因此如何突破前述現(xiàn)有設(shè)計，完成具備軟性電子所需特色的零組件將是一大重點。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述問題，本發(fā)明提供一種平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，包括阻水氧結(jié)構(gòu)與揚(yáng)聲器單體。所述揚(yáng)聲器單體，在一實施例中，包括金屬或?qū)w材料的開孔電極以及作為振膜而含金屬層或?qū)w材料層的駐極體材料。上述阻水氧結(jié)構(gòu)設(shè)計于平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)的外側(cè)或振膜外側(cè)，利用其對環(huán)境中水氧的阻隔效果來讓揚(yáng)聲器單體的運作可靠度提高。揚(yáng)聲器單體中的
7開孔電極及振膜的金屬層或?qū)w材料層當(dāng)電極，當(dāng)交流信號源從上述電極輸入時，將在上下各形成電場，使振膜的駐極體材料，受到電場的影響而均勻產(chǎn)生排斥與吸引的振動，而使揚(yáng)聲器單體產(chǎn)生對應(yīng)的聲音。所述的阻水氧結(jié)構(gòu)，在多個實施例其中之一，包括一阻水氧保護(hù)層以及介于該揚(yáng)聲器單體與該阻水氧保護(hù)層之間的多個絕緣支撐體。所述的阻水氧結(jié)構(gòu)，在多個實施例其中之一，包括一阻水氧保護(hù)層，位于揚(yáng)聲器單體的開孔電極面對振膜的另一側(cè)面之上以及位于開孔電極的多個開孔內(nèi)。所述的阻水氧結(jié)構(gòu)，在多個實施例其中之一，包括一阻水氧保護(hù)層，位于揚(yáng)聲器單體的開孔電極面對振膜的側(cè)面上以及位于開孔電極的多個開孔內(nèi)。所述的阻水氧結(jié)構(gòu)，在多個實施例其中之一，包括一阻水氧保護(hù)層，位于揚(yáng)聲器單體的開孔電極面對振膜的兩側(cè)面上以及包括開孔電極的多個開孔上。所述的阻水氧結(jié)構(gòu)，在多個實施例其中之一，包括一第一阻水氧保護(hù)層與一第二阻水氧保護(hù)層，其中第一阻水氧保護(hù)層與第二阻水氧保護(hù)層分別位于振膜的兩側(cè)面，其中所述側(cè)面其中之一面對開孔電極。本揭露內(nèi)容提供一種適用于平面揚(yáng)聲器單體的阻水氧結(jié)構(gòu)的制造方法。所述方法在多個實施例其中之一，包括在基底上形成一犧牲層。在犧牲層上方形成一保護(hù)層，其中此保護(hù)層為包括阻隔水氧特性的保護(hù)材質(zhì)。在保護(hù)層上方形成一間隔層 (Spacer Layer)，其中此間隔層用以界定阻水氧結(jié)構(gòu)的區(qū)域大小。將保護(hù)層及其上方的間隔層從犧牲層上方剝離。將多個絕緣支撐體配置在保護(hù)層上方在間隔層的區(qū)域內(nèi)，以便在區(qū)域形成絕緣支撐體的一布局。所述方法在多個實施例其中之一，形成阻水氧結(jié)構(gòu)包括形成阻水氧保護(hù)層，位于揚(yáng)聲器單體的開孔電極面對振膜的另一側(cè)面之上。所述方法在多個實施例其中之一，包括形成阻水氧保護(hù)層，位于揚(yáng)聲器單體的開孔電極面對振膜的側(cè)面上以及位于開孔電極的多個開孔內(nèi)。所述方法在多個實施例其中之一，所形成的阻水氧結(jié)構(gòu)包括一第一阻水氧保護(hù)層與一第二阻水氧保護(hù)層，其中第一阻水氧保護(hù)層與第二阻水氧保護(hù)層分別位于振膜的兩側(cè)面，其中所述側(cè)面其中之一面對開孔電極。所述方法在多個實施例其中之一，所形成的阻水氧結(jié)構(gòu)，包括一阻水氧保護(hù)層，位于揚(yáng)聲器單體的開孔電極面對振膜的兩側(cè)面上以及包括開孔電極的多個開孔上。為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉實施例，并配合所附附圖作詳細(xì)說明如下。


圖1是說明本發(fā)明多個實施例其中之一的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)剖面示意圖；圖2A是說明本發(fā)明多個實施例其中一的平面揚(yáng)聲器單體剖面示意圖；圖2B是說明本發(fā)明多個實施例其中之一的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)剖面示意圖；圖2C是說明本發(fā)明多個實施例其中一的平面揚(yáng)聲器單體剖面示意圖；圖2D是說明本發(fā)明多個實施例其中之一的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)剖面示意圖；圖3A 圖3G是說明為說明本揭露內(nèi)容所提出阻水氧結(jié)構(gòu)的一實施例的制作工藝剖面示意圖；圖4A是說明本發(fā)明多個實施例其中之一的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)剖面示意圖；圖4B是說明本發(fā)明多個實施例其中的又一平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)剖面示意圖；圖5A 圖5E是說明本發(fā)明多個實施例其中的部分實施例中，采用不同阻水氧結(jié)構(gòu)的高可靠度的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)的多個實施例結(jié)構(gòu)剖面示意圖。主要元件符號說明
100平面揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)
110揚(yáng)聲器單體
120第一阻水氧結(jié)構(gòu)
122第一阻水氧保護(hù)層
124第一絕緣支撐體
130第二阻水氧結(jié)構(gòu)
132第二阻水氧保護(hù)層
134第二絕緣支撐體
210第一開孔電極
212電極層
214開孔層
216音孔
220第二開孔電極
222電極層
224開孔層
226音孔
230振膜
232駐極體材料層
234金屬層
240、,250 第一、第二支撐體
260第一阻水氧結(jié)構(gòu)
270第二阻水氧結(jié)構(gòu)
262第一阻水氧保護(hù)層
264第一絕緣支撐體
272第二阻水氧保護(hù)層
274第二絕緣支撐體
310基底(Substrate)
312犧牲層(Sacrificial
314保護(hù)層
316:1 ] PftM (Spacer Layei
318支撐體
400揚(yáng)聲器單體
410開孔電極
412:電極層414 開孔層416 音子L420 振膜422 駐極體材料層424 金屬層430 支撐體440:阻水氧結(jié)構(gòu)442:阻水氧保護(hù)層444 絕緣支撐體510 第一開孔電極520 振膜522 駐極體材料層524 金屬層530 第二開孔電極540A,540B,540C,540D 第一阻水氧結(jié)構(gòu)550A、550B、550C、550D 第二阻水氧結(jié)構(gòu)560:平面揚(yáng)聲器單體
具體實施例方式在多個實施例中，提供一種平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其振膜使用超薄駐極體材料，取代傳統(tǒng)靜電式揚(yáng)聲器需要高達(dá)上百至上千伏的偏壓。而所提出的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)簡單，適用于未來平面可撓揚(yáng)聲器的結(jié)構(gòu)所需。在本實施例所提出的阻水氧層結(jié)構(gòu)，將可讓平面揚(yáng)聲器單體達(dá)成壽命延展的效益，因此可預(yù)期此技術(shù)將是軟性揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)不可缺失的一環(huán)。在多個實施例其中之一，揭示一種高可靠度的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，包括阻水氧保護(hù)層與揚(yáng)聲器單體。所述揚(yáng)聲器單體，在一實施例中，包括金屬或?qū)w材料的開孔電極以及作為振膜而含金屬層或?qū)w材料層的駐極體材料。上述阻水氧保護(hù)層設(shè)計于平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)的外側(cè)或振膜外側(cè)，利用其對環(huán)境中水氧的阻隔效果來讓揚(yáng)聲器單體的運作可靠度提高。 揚(yáng)聲器單體中的開孔電極及振膜的金屬層或?qū)w材料層當(dāng)電極，當(dāng)交流信號源從上述電極輸入時，將在上下各形成電場，使振膜的駐極體材料，受到電場的影響而均勻產(chǎn)生排斥與吸引的振動，而使揚(yáng)聲器單體產(chǎn)生對應(yīng)的聲音。在多個實施例其中之一，揭示一種高可靠度的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，包括第一阻水氧保護(hù)層、第二阻水氧保護(hù)層以及位于兩者之間的揚(yáng)聲器單體。所述揚(yáng)聲器單體，在一實施例中，包括金屬或?qū)w材料的第一開孔電極、作為振膜的含金屬層或?qū)w材料層的駐極體材料、包括金屬或?qū)w材料的第二開孔電極。上述第一阻水氧保護(hù)層及第二阻水氧保護(hù)層設(shè)計于揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)的外層，利用其對環(huán)境中水氧的阻隔效果來讓揚(yáng)聲器單體的運作可靠度提高。揚(yáng)聲器單體中的第一、第二開孔電極以及振膜的金屬層或?qū)w材料層當(dāng)作電極，當(dāng)交流信號源從電極輸入時，將在上下各形成電場，使中間層含金屬層的駐極體材料，受到電場的影響而均勻產(chǎn)生排斥與吸引的振動，而使揚(yáng)聲器單體產(chǎn)生對應(yīng)的聲音。
駐極體材料上述的揚(yáng)聲器單體，運用駐極體(Electret)材料內(nèi)部的電荷特性及靜電力效應(yīng)， 當(dāng)駐極體振膜受到外部電壓刺激，將于振膜表面產(chǎn)生變形，進(jìn)而驅(qū)動振膜周遭的空氣產(chǎn)生聲音。通過靜電力公式及能量定律得知振膜受力為整體揚(yáng)聲器的電容值乘上內(nèi)部電場大小及外部輸入聲音電壓信號，而若駐極體振膜受力越大，則輸出聲音越大。上述的揚(yáng)聲器單體構(gòu)造簡單，且可搭配現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行制作工藝，適于大量的生產(chǎn)， 可有效降低制造成本。本實施例可以提升揚(yáng)聲器高可靠度及提高發(fā)聲效率設(shè)計方法，此將是揚(yáng)聲器的重要技術(shù)之一。而此揚(yáng)聲器單體的構(gòu)造，可以選擇具有可撓與彎曲特性的可撓式揚(yáng)聲器單體，當(dāng)然，在材料的選擇上則必須采用在撓曲情況下不會影響特性的材料所制成。本實施例運用駐極體材料內(nèi)部的電荷特性及靜電力效應(yīng)，當(dāng)駐極體振膜受到外部電壓刺激后，產(chǎn)生垂直振膜表面的變形。亦即若振膜四邊固定，可避免產(chǎn)生平行振膜表面方向的變形產(chǎn)生，而有垂直于振膜表面方向的變形產(chǎn)生，進(jìn)而驅(qū)動振膜周遭的空氣來產(chǎn)生聲音。通過靜電力公式及能量定律得知振膜受力為整體揚(yáng)聲器的電容值乘上內(nèi)部電場大小及外部輸入聲音電壓信號，若駐極體振膜受力越大，則輸出聲音越大，其原理敘述如后。根據(jù)庫倫定律，兩帶電物體的電荷乘積正比于相互作用靜電力，反比于兩物的距離平方；兩電荷若同為正或負(fù)時，其物體受互斥靜電力，電荷一正一負(fù)時，其物體受相吸靜電力。本發(fā)明平面揚(yáng)聲器單體所運用的駐極體材料，可以是一種具有納微米大小的納米孔駐極體復(fù)合材料電聲致動器，平面揚(yáng)聲器單體為兩片帶電荷的開孔電極平板對稱等距離或非對稱地夾持一片駐極體振膜，構(gòu)造如一種電容器裝置，而前述兩片開孔電極平板分別帶正、負(fù)電壓(來自信號源)。依庫倫定律，中間駐極體振膜，將同時受到一個吸引的和一個排斥的靜電力作用，振膜單位面積受靜電力公式可由(式1)表示。
(ιΛ
2VmVes0 - + ^- seSe _0] =Se)-(式-)
" {Se + seSaf其中真空電容率ε。= 8. 85Χ 10_12F/m，駐極體材料的介電常數(shù)ε e,駐極體材料的厚度、空氣層厚度Sa，輸入信號電壓Vin，駐極體材料的電壓\，振膜單位受力P。由(式一)可知，靜電力正比于偏壓與音訊電壓的乘積，反比于開孔電極平板與駐極體振膜間的距離。因此，若在相同的距離下，揚(yáng)聲器能提供一個高駐電的話，音訊交流電壓可以用相對低的電壓即可達(dá)到所需的靜電力。本實施例利用納微米孔駐極體壓電復(fù)合材料，可提供一數(shù)百到上千伏特的駐電量，依據(jù)前述靜電力公式，本實施例音訊電壓可降低至十?dāng)?shù)伏特，因而提高本實施例的揚(yáng)聲器的實用性。由前述原理，駐極體振膜在兩個開孔電極平板的正、負(fù)偏壓作用下，受到一個推-拉靜電力，造成前述駐極體振膜的振動，壓縮周圍空氣，而產(chǎn)生聲音輸出。于本實施例設(shè)計中，駐極體振膜可選擇為例如介電材料經(jīng)過電化(Electrized) (電暈放電corona discharge)處理后而能長期保有靜電荷(Static Charges)的駐極體壓電振膜，且駐極體振膜可為單層或多層介電材料(Dielectric Materials)所制成的振膜，而此介電材料可為例如氟化乙烯丙烯共聚物(FEP)、聚四氟乙烯(PTFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)、部分含氟高分子聚合物(Fluorine Polymer)及其他適當(dāng)材料，此介電材料內(nèi)部包含納微米孔洞。由于駐極體振膜為介電材料經(jīng)過駐電處理后而能長期保有靜電荷，經(jīng)電暈充電后在材料內(nèi)部產(chǎn)生雙極性電荷(Dipolar Charges)而產(chǎn)生靜電效果。而以目前來說，揚(yáng)聲器單體的聲壓可能因材料或設(shè)計因素?zé)o法于短時間內(nèi)達(dá)成音量提高效果，而現(xiàn)今改良設(shè)計方式以朝駐極體振膜駐電量提高、或聲學(xué)結(jié)構(gòu)設(shè)計(Acoustic structure)為主，但前述方法皆需耗時研究無法于短時間內(nèi)達(dá)成音量提高的應(yīng)用設(shè)計需求，因此利用單體結(jié)構(gòu)設(shè)計改良方式來達(dá)成音量提升效果的方法也是本實施例的效益之
ο在另外一實施例中，提出利用揚(yáng)聲器單體進(jìn)行組合，但在不改變輸入信號源的設(shè)計，即可達(dá)成驅(qū)動多組揚(yáng)聲器單體的發(fā)聲效果，迅速解決材料等的限制問題。電極層材料在上述多個高可靠度的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)中，揚(yáng)聲器單體具有可撓曲的特性，也就是開孔電極可使用具有透明的高分子材料，如聚碳酸酯(Polycarbonate，PC)、聚乙烯對苯甲酸酯(Polyethylene Terephthalate, PET)、環(huán)狀烯輕聚合物(Cyclic Olefin Copolymer, C0C)、聚甲基丙烯酸甲酯(Polymethyl Methacrylate, PMMA)等，而第一、第二開孔電極可為具有透明性的材料，如銦錫氧化物andium Tin Oxide, IT0)或銦鋅氧化物 (Indium Zinc Oxide, IZ0)等材料。而若是需要反射特性的材料，則可為鋁、銀等金屬反射膜等。在一實施例中，上述揚(yáng)聲器單體的開孔電極，可包括單一具有導(dǎo)電效果的金屬層。 在另一實施例中，開孔電極也可以包括一開孔層與一電極層，而此開孔層可以是不具有導(dǎo)電性質(zhì)的絕緣層或也可以包括具有導(dǎo)電性質(zhì)的導(dǎo)電層。電極層則是包括導(dǎo)電材質(zhì)的導(dǎo)電層。若是不考慮透光或是反射特性，當(dāng)開孔層為絕緣層時，可以包括塑膠(PET、PC)、 橡膠、紙張、不導(dǎo)電布料(棉纖維、高分子纖維)等不導(dǎo)電材料。而電極層可以包括鋁、金、 銀、銅等純金屬材質(zhì)或其合金或Ni/Au等雙金屬材質(zhì)、或是銦錫氧化物(Indium Tin Oxide, I TO)或銦鋅氧化物andium Zinc Oxide, IZ0)其中之一或其組合，或是高分子導(dǎo)電材 PEDOT等等。若是上述揚(yáng)聲器單體的開孔電極可為單一導(dǎo)電材質(zhì)，則可為例如金屬(鐵、銅、鋁等或其合金)、導(dǎo)電布料(金屬纖維、氧化金屬纖維、碳纖維、石墨纖維)其中之一或可為不同導(dǎo)電材質(zhì)的組合。支撐體本實施例所提出平面揚(yáng)聲器單體的設(shè)計，在多個實施例其中之一，可加入多個支撐體配置于開孔電極與振膜之間。所述支撐體可以依規(guī)格需求進(jìn)行支撐體各種圖樣化或高度變化等設(shè)計，將此平面揚(yáng)聲器單體置于開孔電極不具有孔洞的區(qū)域。支撐體的分布，則考量平面揚(yáng)聲器單體，可以有配置方式、高度等的設(shè)計。支撐體結(jié)構(gòu)設(shè)計，依音頻設(shè)計的考量置入最佳化的支撐體設(shè)計，可以有配置方式、高度等的設(shè)計。 而此支撐體配置設(shè)計可為點狀、柵狀或類十字狀等任意形狀或是不同類型混合搭配等等設(shè)計，而支撐體間的距離，可根據(jù)音頻設(shè)計實際狀況而達(dá)到最佳配置的設(shè)計。上述的支撐體的制作工藝可采用轉(zhuǎn)印或是轉(zhuǎn)貼的方式于開孔電極上，也可以直接在開孔電極上采用印制技術(shù)如噴墨印刷(Inkjet Printing)或是直接印刷法例如網(wǎng)印 (Screen Printing)等方法形成。在另一實施例中，支撐體的制作工藝也可采用直接貼合的方式，如先行制作支撐體完成后再置入第一、第二開孔金屬電極與振膜間，而支撐體可以采取與振膜(或是開孔金屬電極)有粘著(Adhesion)或不粘著的兩種設(shè)計方式。在另外實施例中，支撐體的制作工藝也可采用蝕刻方式或是光致抗蝕劑曝光顯影的方式來制作，或是采用點膠方式來形成。底下將以實施例配合圖示說明本揭露內(nèi)容所提出的多個實施例其中的部分。在多個實施例其中之一，揭示一種平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，請參照圖1所示。在此平面揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)100中，至少包括揚(yáng)聲器單體110以及位于其兩側(cè)的第一阻水氧結(jié)構(gòu)120與第二阻水氧結(jié)構(gòu)130。第一阻水氧結(jié)構(gòu)120包括一第一阻水氧保護(hù)層122，以及介于揚(yáng)聲器單體110與第一阻水氧保護(hù)層122之間的多個第一絕緣支撐體124。所述第一絕緣支撐體 1 用以隔離第一阻水氧保護(hù)層122與揚(yáng)聲器單體110。第二阻水氧結(jié)構(gòu)130包括一第二阻水氧保護(hù)層132，以及介于揚(yáng)聲器單體110與第二阻水氧保護(hù)層132之間的多個第二絕緣支撐體134。所述第二絕緣支撐體134用以隔離第二阻水氧保護(hù)層122與揚(yáng)聲器單體110。上述第一阻水氧保護(hù)層122及第二阻水氧保護(hù)層132的材料可以采用例如環(huán)烯共聚物(cyclic olefin copolymer, C0C)薄膜，或是高分子合成樹脂膜板，例如聚丙烯 (polypropylene, PP) ,M^M (poly ethylene, ΡΕ) ,MM^M (polyvinyl chloride, PVC) 和胺甲酸乙酯(urethane)作為防水材料的薄膜。上述第一絕緣支撐體IM與第二絕緣支撐體134配置的位置是介于所述揚(yáng)聲器單體110的非出音孔的區(qū)域。上述絕緣支撐體可以依規(guī)格需求進(jìn)行支撐體各種圖樣化或高度變化等設(shè)計。而絕緣支撐體的配置設(shè)計可為點狀、柵狀或類十字狀等任意形狀或是不同類型混合搭配等等設(shè)計。上述揚(yáng)聲器單體110，可以是不同的平面揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)，例如在一實施例中，可以包括兩開孔電極以及位于其兩者中間而作為振膜的含金屬層或?qū)w材料層的駐極體材料，但在此實施例中，含金屬層或?qū)w材料層的厚度不能大于駐極體振膜的厚度。在另一實施例中，也可以是一層開孔電極(開孔電極須位于振膜金屬層的下面)以及位于其兩者中間而作為振膜的含金屬層或?qū)w材料層的駐極體材料。請參照圖2A，為說明本揭露內(nèi)容其中一實施例的揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)剖面示意圖。在此揚(yáng)聲器單體中，包括第一開孔電極210、振膜230以及包括第二開孔電極220。第一開孔電極210與第二開孔電極220可以是單一具有導(dǎo)電效果的金屬層，或是包括一開孔層與一電極層。在此實施例中，此第一開孔電極210包括電極層212與開孔層214，而開孔層214 面對振膜230。另外，此第二開孔電極220包括電極層222與開孔層224，而開孔層2M面向振膜230。第一開孔電極210與第二開孔電極220分別包括多個音孔216與226。振膜230可以包括金屬層或?qū)щ姴牧蠈右约榜v極體材料，在此實施例中，振膜230 包括駐極體材料層232與金屬層234，而此金屬層234，可采用濺鍍或是電鍍等等方式形成于駐極體材料層232表面上。第一開孔電極210與振膜230之間，放置多個第一支撐體240于第一開孔電極210 的非音孔區(qū)域218，此非音孔區(qū)域218包括是避開第一開孔電極210音孔位置的區(qū)域。第一支撐體240可根據(jù)需求而依據(jù)一定的配置式樣(Patterns)而設(shè)計。第二開孔電極220與振膜230之間，放置多個第二支撐體250于第二開孔電極220的非音孔區(qū)域228，而且也可根據(jù)需求而依據(jù)一定的配置式樣而設(shè)計。而如圖2B所示，為說明本揭露內(nèi)容所提出的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)實施例剖面示意圖。 在此實施例中，平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)除了包括圖2A的揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)外，更包括位于揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)兩側(cè)的第一阻水氧結(jié)構(gòu)260與第二阻水氧結(jié)構(gòu)270。第一阻水氧結(jié)構(gòu)沈0與第二阻水氧結(jié)構(gòu)270設(shè)計于揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)的外層，利用其對環(huán)境中水氧的阻隔效果來讓揚(yáng)聲器單體的運作可靠度提高。第一阻水氧結(jié)構(gòu)260包括一第一阻水氧保護(hù)層沈2，以及介于第一開孔電極210與第一阻水氧保護(hù)層262之間的多個第一絕緣支撐體沈4。第一絕緣支撐體264位于第一開孔電極210的非音孔區(qū)域218，并用以隔離第一阻水氧保護(hù)層262與揚(yáng)聲器單體，使其間具有一定的空隙(Air Gap)。第二阻水氧結(jié)構(gòu)270包括一第二阻水氧保護(hù)層272，以及介于第二開孔電極220與第二阻水氧保護(hù)層272之間的多個第二絕緣支撐體274。所述第二絕緣支撐體274位于第二開孔電極220的非音孔區(qū)域228，并用以隔離第二阻水氧保護(hù)層272與揚(yáng)聲器單體200，使其間具有一定的空隙(Air Gap)。在上述平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)實施例或是其他實施例中，不論是位于揚(yáng)聲器單體200內(nèi)的第一、第二支撐體對0、250，或是在第一阻水氧結(jié)構(gòu)260的第一絕緣支撐體沈4，或是第二阻水氧結(jié)構(gòu)270的第二絕緣支撐體274，可以依規(guī)格需求進(jìn)行支撐體各種圖樣化或高度變化等設(shè)計。上述支撐體的分布，可以有配置方式、高度等的設(shè)計。支撐體結(jié)構(gòu)設(shè)計，依音頻設(shè)計的考量置入最佳化的支撐體設(shè)計，可以有配置方式、高度等的設(shè)計。而此支撐體配置設(shè)計可為點狀、柵狀或類十字狀等任意形狀或是不同類型混合搭配等等設(shè)計，而支撐體間的距離，可根據(jù)音頻設(shè)計實際狀況而達(dá)到最佳配置的設(shè)計。上述的支撐體的制作工藝可采用轉(zhuǎn)印或是轉(zhuǎn)貼的方式于開孔電極上，也可以直接在開孔電極上采用印制技術(shù)如噴墨印刷(Inkjet Printing)或是直接印刷法例如網(wǎng)印 (Screen Printing)等方法形成。在另一實施例中，支撐體的制作工藝也可采用直接貼合的方式，如先行制作支撐體完成后再置入，而支撐體可以采取有粘著(Adhesion)或不粘著的兩種配置的設(shè)計。在另外實施例中，支撐體的制作工藝也可采用蝕刻方式或是光致抗蝕劑曝光顯影的方式來制作，或是采用點膠方式來形成。圖2C為說明本揭露內(nèi)容另一實施例的揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)剖面示意圖。在此實施例中，揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)與圖2A類似，差別在于第一開孔電極210的電極層212面對振膜230。 而第二開孔電極220的電極層222面向振膜230。圖2D包括為另一平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)實施例剖面示意圖。在此實施例中，平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)除了包括圖2C的揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)外，更包括位于揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)兩側(cè)的第一阻水氧結(jié)構(gòu)沈0與第二阻水氧結(jié)構(gòu)270。請參照圖3A 圖3G，為說明本揭露內(nèi)容所提出阻水氧結(jié)構(gòu)的一實施例的制作工藝剖面示意圖。請參照圖3A，在一基底(Substrate) 310上，將表面清洗干凈后，如圖;3B，在其清洗后的表面形成一犧牲層(Sacrificial layer) 312，此犧牲層312可以采用旋轉(zhuǎn)涂布 (Spinning Coating)制作工藝在基底310上形成此犧牲層312。此犧牲層312的材料可以是為光致抗蝕劑的材料，但不經(jīng)過高溫的硬烤，例如溫度不超過攝氏100度，或甚至不超過攝氏90度。
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請參照圖3C，在犧牲層312上方形成一保護(hù)層314，此保護(hù)層314為具有阻隔水氧特性的保護(hù)材質(zhì)，例如環(huán)烯共聚物(COC)薄膜，或是高分子合成樹脂膜板，例如聚丙烯 (PP)、聚乙烯(PE)、聚氯乙烯(PVC)和胺甲酸乙酯(urethane)等等具有防水的材料。在此實施例中，采用環(huán)烯共聚物(COC)薄膜。請參照圖3D，在保護(hù)層314上方形成一間隔層(Spacer Layer) 316，此間隔層316 用以界定所述阻水氧結(jié)構(gòu)的區(qū)域大小，以便在此區(qū)域中，可以形成支撐體的布局。請參照圖 3E，將保護(hù)層314及其上方的間隔層316從犧牲層312上方剝離。而如圖3F，將多個支撐體318配置在保護(hù)層314上方在間隔層316的區(qū)域內(nèi)。上述支撐體318的分布，可以有一定的布局(Pattern)、高度或是不同的配置方式設(shè)計。而如圖3G，利用切割剪裁的方法切割保護(hù)層314，讓間隔層316與部分周邊的保護(hù)層314去除，而留下所需要的阻水氧結(jié)構(gòu)，包括保護(hù)層314與其表面的支撐體318。本揭露內(nèi)容所提出阻水氧結(jié)構(gòu)，除了可以與圖2A的揚(yáng)聲器單體結(jié)合之外，在多個實施例其中之一，也可與圖4的揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)結(jié)合，而組成成為平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)。請參照圖4A與圖4B，為說明本揭露內(nèi)容多個實施例其中之一的揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)剖面示意圖。如圖4A，在此揚(yáng)聲器單體400中，包括開孔電極410以及振膜420。開孔電極410 包括多個音孔413。開孔電極410可以是單一具有導(dǎo)電效果的金屬層，或是包括一開孔層與一電極層。在此實施例中，此開孔電極410包括電極層412與開孔層414，而開孔層414面對振膜420。當(dāng)開孔電極410包括單一層的金屬層時，其材料包括鐵、銅、鋁或其合金材料。而當(dāng)開孔電極410的開孔層414為絕緣層時，此絕緣層材料包括塑膠、橡膠、紙張、棉纖維、高分子纖維材料。而當(dāng)開孔層414為導(dǎo)電層時，此導(dǎo)電層包括鋁、金、銀、銅或其合金、或Ni/ Au雙金屬材質(zhì)、或是銦錫氧化物(Indium Tin Oxide, I TO)或銦鋅氧化物(Indium Zinc Oxide, IZO)其中之一或其組合，或是高分子導(dǎo)電材PEDOT?；蚴钱?dāng)開孔層414為導(dǎo)電層時， 此導(dǎo)電層材料包括金屬纖維、氧化金屬纖維、碳纖維、石墨纖維其中之一或組合。上述開孔電極410在一實施例中，可以包括具有透光特性的材料，此材料例如是選自銦錫氧化物(ITO)、銦鋅氧化物(IZO)或鋁鋅氧化物(AZO)其中之一或其組合。振膜420可以包括金屬層或?qū)щ姴牧蠈右约榜v極體材料，在此實施例中，振膜420 包括駐極體材料層422與金屬層424，而此金屬層424，可采用濺鍍或是電鍍等等方式形成于駐極體材料層422表面上。開孔電極410與振膜420之間，放置多個支撐體430于開孔電極410的非音孔區(qū)域，此非音孔區(qū)域主要是避開開孔電極410上的音孔位置。這些支撐體430可根據(jù)需求而依據(jù)一定的配置式樣(Patterns)而設(shè)計。阻水氧結(jié)構(gòu)440設(shè)計于揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)的外層，利用其對環(huán)境中水氧的阻隔效果，來讓揚(yáng)聲器單體的運作可靠度提高。在此實施例中，此阻水氧結(jié)構(gòu)440配置于開孔電極 410相對于振膜420的另一側(cè)面。此阻水氧結(jié)構(gòu)440包括阻水氧保護(hù)層442，以及介于揚(yáng)聲器單體的開孔電極410與阻水氧保護(hù)層442之間的多個絕緣支撐體444。絕緣支撐體444 位于開孔電極410的非音孔區(qū)域，并用以隔離阻水氧保護(hù)層442與開孔電極410，使其間具有一定的至隙(Air Gap)。圖4B是另一個揚(yáng)聲器單體400結(jié)構(gòu)，與圖4A相同部分則以相同標(biāo)號表示，但不同的部分在于配置的位置，如圖所示，在圖4B中，開孔電極410包括電極層412與開孔層414， 而電極層412面對振膜420。本揭露內(nèi)容所提出高可靠度的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)的多個實施例中，部分實施例可參照圖5A 圖5D所示。在所揭示的高可靠度的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)中，至少包括阻水氧保護(hù)層與揚(yáng)聲器單體。所述揚(yáng)聲器單體，在一實施例中，包括開孔電極以及作為振膜而含金屬層或?qū)w材料層的駐極體材料。上述阻水氧保護(hù)層的設(shè)計，在部分實施例中，位于平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)的最外側(cè)，利用其對環(huán)境中水氧的阻隔效果讓揚(yáng)聲器單體的運作的可靠度提高，如圖5A 與圖5B所示。另外，在另外實施例中，此阻水氧保護(hù)層也可配置于揚(yáng)聲器單體內(nèi)，而達(dá)到對環(huán)境中水氧的阻隔，例如圖5C將阻水氧材料鍍于開孔電極上面，或是圖5D所示，先在振膜兩側(cè)形成阻水氧保護(hù)層后，再配置開孔電極以及之間的支撐體。詳細(xì)實施例內(nèi)容如底下所
7J\ ο請參照圖5A，在此實施例中，平面揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)至少包括揚(yáng)聲器單體以及位于其兩側(cè)的第一阻水氧結(jié)構(gòu)MOA與第二阻水氧結(jié)構(gòu)550A。在此，揚(yáng)聲器單體是以兩開孔電極以及位于其中間的駐極體材料作為實施例說明，但并非以此為限制，例如揚(yáng)聲器單體包括多層堆疊的架構(gòu)也屬本實施例的范疇。揚(yáng)聲器單體包括第一開孔電極510、第二開孔電極530、以及位于其中間的振膜 520。此振膜520包括駐極體材料層522與金屬層524。振膜520與第一開孔電極510之間，以及振膜520與第二開孔電極530之間配置多個支撐體570。此實施例中，第一阻水氧結(jié)構(gòu)MOA包括一第一阻水氧保護(hù)層M2，以及介于揚(yáng)聲器單體與第一阻水氧保護(hù)層M2之間的多個第一絕緣支撐體M4。所述第一絕緣支撐體M4 用以隔離第一阻水氧保護(hù)層542與揚(yáng)聲器單體。第二阻水氧結(jié)構(gòu)550A包括一第二阻水氧保護(hù)層552，以及介于揚(yáng)聲器單體與第二阻水氧保護(hù)層552之間的多個第二絕緣支撐體554。 所述第二絕緣支撐體5M用以隔離第二阻水氧保護(hù)層552與揚(yáng)聲器單體。上述第一阻水氧保護(hù)層542及第二阻水氧保護(hù)層552的材料可以采用例如環(huán)烯共聚物(cyclic olefin copolymer, C0C)薄膜，或是高分子合成樹脂膜板，例如聚丙烯 (polypropylene, PP) ,M^M (poly ethylene, ΡΕ) ,MM^M (polyvinyl chloride, PVC) 和胺甲酸乙酯(urethane)，在另一個實施例中，第一阻水氧保護(hù)層542及第二阻水氧保護(hù)層552的材料可以采用金屬加塑膠、混煉溶噴或混紡成阻水氧包護(hù)層，以作為具有防水功能的薄膜。請參照圖5B，此實施例與圖5A的結(jié)構(gòu)類似，因此，相同內(nèi)容以相同的標(biāo)號表示，不再冗述。此平面揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)至少包括揚(yáng)聲器單體以及位于其兩側(cè)的第一阻水氧結(jié)構(gòu) 540B與第二阻水氧結(jié)構(gòu)550B。上述第一阻水氧結(jié)構(gòu)MOB與第二阻水氧結(jié)構(gòu)550B則包括阻水氧保護(hù)材料，并且分別直接配置于第一開孔電極510與第二開孔電極530上方以及其開孔上。而形成的方法包括直接將防水材料例如經(jīng)由蒸鍍或是旋轉(zhuǎn)涂布的方式分別先形成第一阻水氧結(jié)構(gòu)MOB與第二阻水氧結(jié)構(gòu)550B，之后再黏合于開孔電極的外層，如此開孔電極與開孔電極之間不會有阻水氧材料。另，由于第一阻水氧結(jié)構(gòu)MOB與第二阻水氧結(jié)構(gòu) 550B設(shè)于第一開孔電極510與第二開孔電極530之外側(cè)表面上，使防水材料不會進(jìn)入開孔之孔洞內(nèi)，而在開孔表面形成，如圖5B所示。
請參照圖5C，此實施例與圖5A的結(jié)構(gòu)類似，因此，相同內(nèi)容以相同的標(biāo)號表示，不再冗述。此平面揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)至少包括揚(yáng)聲器單體以及位于其兩側(cè)的第一阻水氧結(jié)構(gòu) 540C與第二阻水氧結(jié)構(gòu)550C。上述第一阻水氧結(jié)構(gòu)MOC與第二阻水氧結(jié)構(gòu)550C則包括阻水氧保護(hù)材料，并且分別直接配置于第一開孔電極510與第二開孔電極530面對振膜520 一側(cè)的表面以及其開孔之間。而形成的方法包括直接將防水材料經(jīng)由蒸鍍或是旋轉(zhuǎn)涂布的方式，鍍于平面揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)的外側(cè)開孔電極面對振膜520 —側(cè)的表面上方以及其孔洞之間。也就是，在一實施例中，可以在形成外側(cè)開孔電極時，例如直接利用蒸鍍或是旋轉(zhuǎn)涂布的方式分別先形成第一阻水氧結(jié)構(gòu)MOC與第二阻水氧結(jié)構(gòu)550C于開孔電極的一表面上，之后利用例如貼合的方式將阻水氧材料與支撐體黏合，再與振膜520組裝完成此平面揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)。如此的結(jié)構(gòu)，阻水氧材料會部分填入開孔電極之開孔之孔洞內(nèi)。請參照圖5D，此實施例與圖5A的結(jié)構(gòu)類似，因此，相同內(nèi)容以相同的標(biāo)號表示，不再冗述。此平面揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)至少包括揚(yáng)聲器單體以及第一阻水氧結(jié)構(gòu)MOD與第二阻水氧結(jié)構(gòu)550D。上述第一阻水氧結(jié)構(gòu)MOD與第二阻水氧結(jié)構(gòu)550D則包括阻水氧保護(hù)材料， 并且分別直接配置于振膜520的兩側(cè)。若揚(yáng)聲器包括多個平面揚(yáng)聲器單體堆疊，則此第一阻水氧結(jié)構(gòu)MOD與第二阻水氧結(jié)構(gòu)550D則是分別位于外側(cè)平面揚(yáng)聲器單體的振膜兩側(cè)， 如圖5E所示，第一阻水氧結(jié)構(gòu)MOD與第二阻水氧結(jié)構(gòu)550D位于外側(cè)的平面揚(yáng)聲器單體， 而其內(nèi)側(cè)至少包括另一個平面揚(yáng)聲器單體560。而形成的方法包括直接將防水材料經(jīng)由蒸鍍或是旋轉(zhuǎn)涂布的方式，鍍于振膜520 兩側(cè)，再將最外側(cè)開孔電極以及多個支撐體利用例如貼合的方式完成此平面揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)。上述圖5A 圖5D所揭露的高可靠度的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)的多個實施例中，防水材料可以采用例如環(huán)烯共聚物(cyclic olefin copolymer，C0C)薄膜，或是高分子合成樹脂膜板，例如聚丙烯(polypropylene, PP)、聚乙烯(poly ethylene, ΡΕ)、聚氯乙烯(polyvinyl chloride，PVC)、胺甲酸乙酯(urethane)或聚亞酰胺(Polyimide)。在另一實施例中，防水材料也可以是采用金屬材料加塑膠成混煉溶噴或混紡。本發(fā)明各實施例所述之阻水氧結(jié)構(gòu)如為開孔電極外側(cè)，可包括阻水氧結(jié)構(gòu)在開孔電極最外側(cè)之意或阻水氧結(jié)構(gòu)在開孔電極外側(cè)之意。雖然結(jié)合以上實施例揭露了本發(fā)明，然而其并非用以限定本發(fā)明，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域中熟悉此技術(shù)者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，可作些許的更動與潤飾，故本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以附上的權(quán)利要求所界定的為準(zhǔn)。
1權(quán)利要求
1.一種平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，包括阻水氧結(jié)構(gòu)；以及揚(yáng)聲器單體，其中該揚(yáng)聲器單體包括開孔電極以及振膜，其中該振膜包括金屬層與駐極體材料，其中，該阻水氧結(jié)構(gòu)配置于該平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)的外側(cè)，用以隔絕水氧進(jìn)入該平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)內(nèi)，其中該阻水氧結(jié)構(gòu)包括阻水氧保護(hù)層以及介于該揚(yáng)聲器單體與該阻水氧保護(hù)層之間的多個絕緣支撐體。
2.一種平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，包括阻水氧結(jié)構(gòu)；以及揚(yáng)聲器單體，其中該揚(yáng)聲器單體包括開孔電極以及振膜，其中該振膜包括金屬層與駐極體材料，其中，該阻水氧結(jié)構(gòu)配置于該平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)的外側(cè)，用以隔絕水氧進(jìn)入該平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)內(nèi)，其中該阻水氧結(jié)構(gòu)包括阻水氧保護(hù)層，位于該揚(yáng)聲器單體的該開孔電極面對該振膜的另一側(cè)面之上。
3.一種平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，包括阻水氧結(jié)構(gòu)；以及揚(yáng)聲器單體，其中該揚(yáng)聲器單體包括開孔電極以及振膜，其中該振膜包括金屬層與駐極體材料，其中，該阻水氧結(jié)構(gòu)包括阻水氧保護(hù)層，位于該揚(yáng)聲器單體的該開孔電極面對該振膜的側(cè)面上以及位于該開孔電極的多個開孔內(nèi)。
4.一種平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，包括阻水氧結(jié)構(gòu)；以及揚(yáng)聲器單體，其中該揚(yáng)聲器單體包括開孔電極以及振膜，其中該振膜包括金屬層與駐極體材料，其中，該阻水氧結(jié)構(gòu)包括第一阻水氧保護(hù)層與第二阻水氧保護(hù)層，其中該第一阻水氧保護(hù)層與該第二阻水氧保護(hù)層分別位于該振膜的兩側(cè)面，其中該些側(cè)面其中的一面對該開孔電極。
5.如權(quán)利要求1所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該絕緣支撐體在該揚(yáng)聲器單體與該阻水氧保護(hù)層之間具有布局圖案，其中該布局圖案是通過該些絕緣支撐體的配置位置所構(gòu)成。
6.如權(quán)利要求1所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該絕緣支撐體在該揚(yáng)聲器單體與該阻水氧保護(hù)層之間具有布局圖案，其中該布局圖案是通過該些絕緣支撐體的配置位置所構(gòu)成。
7.如權(quán)利要求1到4其中任一項所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該阻水氧保護(hù)層包括環(huán)烯共聚物薄膜、聚丙烯、聚乙烯、聚氯乙烯和胺甲酸乙酯其中之一或其組合。
8.如權(quán)利要求1到4其中任一項所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該平面揚(yáng)聲器單體的該開孔電極為包括多個開孔的單一層的金屬層。
9.如權(quán)利要求8所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該單一層的該金屬層包括鐵、銅、鋁或其合金材料。
10.如權(quán)利要求1到4其中任一項所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該平面揚(yáng)聲器單體的該開孔電極包括開孔層與電極層。
11.如權(quán)利要求10所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該開孔電極的該開孔層為絕緣層或?qū)щ妼悠渲兄弧?br> 12.如權(quán)利要求11所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中當(dāng)該開孔層為該絕緣層時，該絕緣層是由塑膠、橡膠、紙張、棉纖維、高分子纖維材料所組成。
13.如權(quán)利要求11所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中當(dāng)該開孔層為該導(dǎo)電層時，該導(dǎo)電層包括鋁、金、銀、銅或其合金、或Ni/Au雙金屬材質(zhì)、或是銦錫氧化物或銦鋅氧化物其中之一或其組合，或是高分子導(dǎo)電材。
14.如權(quán)利要求11所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中當(dāng)該開孔層為該導(dǎo)電層時，該導(dǎo)電層包括金屬纖維、氧化金屬纖維、碳纖維、石墨纖維其中之一或組合
15.如權(quán)利要求1到4其中任一項所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該駐極體材料采用納微米孔駐極體復(fù)合材料。
16.如權(quán)利要求15所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中，該納微米孔駐極體復(fù)合材料為選自包括氟化乙烯丙烯共聚物、聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯、具有雙碳鏈復(fù)合物及部分含氟高分子聚合物的材料所組成群組的其中一者。
17.如權(quán)利要求1到4其中任一項所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該開孔電極為可撓曲與透明特性的材料。
18.如權(quán)利要求17所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該開孔電極材料是選自由聚碳酸酯、 聚乙烯對苯甲酸酯、環(huán)狀烯輕聚合物及聚甲基丙烯酸甲酯其中之一或其組合。
19.如權(quán)利要求1到4其中任一項所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該開孔電極包括具有透光特性的材料，該材料是選自銦錫氧化物、銦鋅氧化物或鋁鋅氧化物其中之一或其組合。
20.如權(quán)利要求1到4其中任一項所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該開孔電極包括開孔層與電極層，其中該開孔層面向該振膜，而該電極層位于向外發(fā)出聲音的方向。
21.如權(quán)利要求1到4其中任一項所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該開孔電極包括開孔層與電極層，其中該電極層面向該振膜，而該開孔層位于向外發(fā)出聲音的方向。
22.如權(quán)利要求1到4其中任一項所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中在該開孔電極與該振膜之間配置多個支撐體。
23.如權(quán)利要求22所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該些支撐體包括布局圖案，其中該布局圖案是配置于該開孔電極與該振膜之間靜電效應(yīng)而調(diào)整。
24.如權(quán)利要求23所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該布局圖案是通過該些支撐體的形狀或該些支撐體配置位置所構(gòu)成。
25.如權(quán)利要求22所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該些支撐體的形狀為點狀、柵狀、類十字狀、三角柱形、圓柱形或是矩形其中之一。
26.如權(quán)利要求22所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該些支撐體采用印制技術(shù)、直接印刷法、激光加工法或切割技術(shù)及沖壓技術(shù)形成。
27.如權(quán)利要求22所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該些支撐體是采用貼合的方式，分別貼合于該開孔電極與該振膜之間。
28.—種平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，包括第一阻水氧結(jié)構(gòu)；第二阻水氧結(jié)構(gòu)；以及揚(yáng)聲器單體，位于該第一阻水氧結(jié)構(gòu)與該第二阻水氧結(jié)構(gòu)之間，其中，該揚(yáng)聲器單體至少包括第一開孔電極層、振膜及第二開孔電極層，其中該振膜包括金屬層與駐極體材料，并配置于該第一電極層與該第二電極層之間，其中，該第一阻水氧結(jié)構(gòu)與該第二阻水氧結(jié)構(gòu)分別配置在該揚(yáng)聲器單體的該第一電極層與該第二電極層的外側(cè)，用以隔絕水氧進(jìn)入該揚(yáng)聲器單體內(nèi)。
29.如權(quán)利要求觀所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該第一阻水氧結(jié)構(gòu)包括第一阻水氧保護(hù)層以及介于該揚(yáng)聲器單體與該第一阻水氧保護(hù)層之間的多個第一絕緣支撐體，該第二阻水氧結(jié)構(gòu)包括第二阻水氧保護(hù)層以及介于該揚(yáng)聲器單體與該第一阻水氧保護(hù)層之間的多個第二絕緣支撐體。
30.如權(quán)利要求四所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該阻水氧保護(hù)層包括環(huán)烯共聚物薄膜、聚丙烯、聚乙烯、聚氯乙烯和胺甲酸乙酯其中之一或其組合。
31.如權(quán)利要求四所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該第一絕緣支撐體、第二絕緣支撐體在該揚(yáng)聲器單體與該阻水氧保護(hù)層之間分別具有第一布局圖案、第二布局圖案，其中該第一布局圖案、第二布局圖案是通過該些絕緣支撐體的配置位置所構(gòu)成。
32.—種平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，包括第一阻水氧結(jié)構(gòu)；第二阻水氧結(jié)構(gòu)；以及揚(yáng)聲器單體，其中，該揚(yáng)聲器單體至少包括第一開孔電極層、振膜及第二開孔電極層， 其中，該振膜包括金屬層與駐極體材料，并配置于該第一電極層與該第二電極層之間，其中，該第一阻水氧結(jié)構(gòu)包括第一阻水氧保護(hù)層，位于該揚(yáng)聲器單體的該第一開孔電極面對該振膜的另一側(cè)面之上，該第二阻水氧結(jié)構(gòu)包括第二阻水氧保護(hù)層，位于該揚(yáng)聲器單體的該第二開孔電極面對該振膜的另一側(cè)面之上。
33.一種平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，包括第一阻水氧結(jié)構(gòu)；第二阻水氧結(jié)構(gòu)；以及揚(yáng)聲器單體，其中，該揚(yáng)聲器單體至少包括第一開孔電極層、振膜及第二開孔電極層， 其中，該振膜包括金屬層與駐極體材料，并配置于該第一電極層與該第二電極層之間，其中，該第一阻水氧結(jié)構(gòu)包括第一阻水氧保護(hù)層，位于該揚(yáng)聲器單體的該第一開孔電極面對該振膜的側(cè)面之上以及位于該第一開孔電極的多個第一開孔內(nèi)，該第二阻水氧結(jié)構(gòu)包括第二阻水氧保護(hù)層，位于該揚(yáng)聲器單體的該第二開孔電極面對該振膜的側(cè)面之上以及位于該第二開孔電極的多個第二開孔內(nèi)。
34.一種平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，包括第一阻水氧結(jié)構(gòu)；第二阻水氧結(jié)構(gòu)；以及揚(yáng)聲器單體，其中，該揚(yáng)聲器單體至少包括第一開孔電極層、振膜及第二開孔電極層， 其中，該振膜包括金屬層與駐極體材料，并配置于該第一電極層與該第二電極層之間，其中，該第一阻水氧結(jié)構(gòu)包括第一阻水氧保護(hù)層，該第二阻水氧結(jié)構(gòu)包括第二阻水氧保護(hù)層，其中該第一阻水氧保護(hù)層與該第二阻水氧保護(hù)層分別位于該振膜的兩側(cè)面上，分別面對該第一開孔電極與該第二開孔電極。
35.如權(quán)利要求觀、33或34其中任一項所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該平面揚(yáng)聲器單體的該第一開孔電極、第二開孔電極分別包括多個開孔的單一層的第一金屬層、第二金屬層。
36.如權(quán)利要求35所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該單一層的該第一金屬層、第二金屬層包括鐵、銅、鋁或其合金材料。
37.如權(quán)利要求觀、33或34其中任一項所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該平面揚(yáng)聲器單體的該第一開孔電極、第二開孔電極分別包括第一開孔層、第二開孔層與第一電極層、第二電極層。
38.如權(quán)利要求37所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該第一開孔層、第二開孔層為絕緣層或?qū)щ妼印?br> 39.如權(quán)利要求38所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中當(dāng)該第一開孔層、第二開孔層為該絕緣層時，該絕緣層是由塑膠、橡膠、紙張、棉纖維、高分子纖維材料所組成。
40.如權(quán)利要求39所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中當(dāng)該第一開孔層、第二開孔層為該導(dǎo)電層時，該導(dǎo)電層包括鋁、金、銀、銅或其合金、或Ni/Au雙金屬材質(zhì)、或是銦錫氧化物或銦鋅氧化物其中之一或其組合，或是高分子導(dǎo)電材PED0T。
41.如權(quán)利要求39所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中當(dāng)該開孔層為該導(dǎo)電層時，該第一導(dǎo)電層、第二導(dǎo)電層包括金屬纖維、氧化金屬纖維、碳纖維、石墨纖維其中之一或組合
42.如權(quán)利要求觀、33或34其中任一項所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該駐極體材料采用納微米孔駐極體復(fù)合材料。
43.如權(quán)利要求42所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中，該納微米孔駐極體復(fù)合材料為選自包括氟化乙烯丙烯共聚物、聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯、具有雙碳鏈復(fù)合物及部分含氟高分子聚合物的材料所組成群組的其中一者。
44.如權(quán)利要求觀、33或34其中任一項所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該第一開孔電極、 第二開孔電極為可撓曲與透明特性的材料。
45.如權(quán)利要求44所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該第一開孔電極層材料、第二開孔電極層材料均是選自由聚碳酸酯、聚乙烯對苯甲酸酯、環(huán)狀烯輕聚合物及聚甲基丙烯酸甲酯其中之一或其組合。
46.如權(quán)利要求洲、33或34其中任一項所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該第一開孔電極、 第二開孔電極包括具有透光特性的材料，該材料是選自銦錫氧化物、銦鋅氧化物或鋁鋅氧化物其中之一或其組合。
47.如權(quán)利要求觀、33或34其中任一項所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該第一開孔電極、 第二開孔電極分別包括第一開孔層、第二開孔層與第一電極層、第二電極層，其中該第一開孔層、第二開孔層面向該振膜，而該第一電極層、第二電極層位于向外發(fā)出聲音的方向。
48.如權(quán)利要求觀、33或34其中任一項所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該第一開孔電極、 第二開孔電極分別包括第一開孔層、第二開孔層與第一電極層、第二電極層，其中該第一電極層、第二電極層面向該振膜，而該第一開孔層、第二開孔層位于向外發(fā)出聲音的方向。
49.如權(quán)利要求觀、33或34其中任一項所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中在該第一開孔電極、第二開孔電極分別與該振膜之間配置多個第一支撐體、第二支撐體。
50.如權(quán)利要求49所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該些第一支撐體、第二支撐體分別包括第一布局圖案、第二布局圖案，其中該第一布局圖案、第二布局圖案是配置于該第一開孔電極、第二開孔電極與該振膜之間靜電效應(yīng)而調(diào)整。
51.如權(quán)利要求50所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該第一布局圖案、第二布局圖案是通過該些第一支撐體、第二支撐體的形狀或該些第一支撐體、第二支撐體配置位置所構(gòu)成。
52.如權(quán)利要求49所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該些第一支撐體、第二支撐體的形狀為點狀、柵狀、類十字狀、三角柱形、圓柱形或是矩形其中之
53.如權(quán)利要求49所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該些第一支撐體、第二支撐體采用印制技術(shù)、直接印刷法、激光加工法或切割技術(shù)及沖壓技術(shù)形成。
54.如權(quán)利要求49所述的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其中該些第一支撐體與該些第二支撐體是采用貼合的方式，分別貼合于該第一開孔電極與該振膜之間，以及該第二開孔電極與該振膜之間。
55.一種適用于平面揚(yáng)聲器單體的阻水氧結(jié)構(gòu)的制造方法，包括在一基底上，形成一犧牲層；在該犧牲層上方形成一保護(hù)層，其中該保護(hù)層為包括阻隔水氧特性的保護(hù)材質(zhì)；在該保護(hù)層上方形成一間隔層，其中該間隔層用以界定該阻水氧結(jié)構(gòu)的區(qū)域大?。粚⒃摫Ｗo(hù)層及其上方的該間隔層從該犧牲層上方剝離；以及將多個絕緣支撐體配置在該保護(hù)層上方在該間隔層的該區(qū)域內(nèi)，以便在該區(qū)域形成該些絕緣支撐體的一布局。
56.如權(quán)利要求55的制造方法，其中還包括采用一旋轉(zhuǎn)涂布制作工藝在該基底上形成該犧牲層。
57.如權(quán)利要求55的制造方法，其中該犧牲層的材料為光致抗蝕劑的材料。
58.如權(quán)利要求55的制造方法，其中該保護(hù)層材料包括包括環(huán)烯共聚物薄膜、聚丙烯、 聚乙烯、聚氯乙烯或胺甲酸乙酯。
59.一種制造具有阻水氧結(jié)構(gòu)的平面揚(yáng)聲器單體的方法，包括形成一平面揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)，其中該平面揚(yáng)聲器單體至少包括一開孔電極及一振膜， 其中該振膜包括一金屬層與一駐極體材料，并配置于該電極層與該第二電極層之間，該開孔電極具有多個孔洞以及將防水材料經(jīng)由蒸鍍或是旋轉(zhuǎn)涂布的方式，鍍于該平面揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)的該開孔電極上方，以便在該開孔電極上方以及其該些孔洞內(nèi)形成一阻水氧結(jié)構(gòu)。
60.如權(quán)利要求59的方法，其中還包括在該開孔電極與該振膜之間配置多個支撐體。
全文摘要
本發(fā)明公開一種高可靠度的平面揚(yáng)聲器結(jié)構(gòu)，其包括第一阻水氧結(jié)構(gòu)、平面揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)及第二阻水氧結(jié)構(gòu)。第一阻水氧結(jié)構(gòu)及第二阻水氧結(jié)構(gòu)設(shè)計于平面揚(yáng)聲器的外層或振膜外層，利用其對環(huán)境中水氧的阻隔效果來讓平面揚(yáng)聲器的運作可靠度提高。平面揚(yáng)聲器單體結(jié)構(gòu)至少包括第一層開孔電極、含金屬層的駐極體材料以及第二開孔電極，其中第一、二層開孔電極層及含金屬層的駐極體材料當(dāng)電極，當(dāng)交流信號源從電極輸入時，將在上下各形成電場，使中間層含金屬層的駐極體材料，受到電場的影響而均勻產(chǎn)生排斥與吸引的振動，而使揚(yáng)聲器單體產(chǎn)生對應(yīng)的聲音。
文檔編號H04R31/00GK102387453SQ201110256200
公開日2012年3月21日 申請日期2011年8月31日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月31日
發(fā)明者劉昌和, 孫晢原, 曾國華, 陳冠位, 陳明道 申請人:財團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院