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成像裝置、成像系統(tǒng)、其控制方法和其程序的存儲(chǔ)介質(zhì)的制作方法

文檔序號(hào):7690855閱讀:200來(lái)源:國(guó)知局
專(zhuān)利名稱(chēng):成像裝置、成像系統(tǒng)、其控制方法和其程序的存儲(chǔ)介質(zhì)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種成像裝置、成像系統(tǒng)、其控制方法及其程序,更 具體地講,涉及一種關(guān)于拍攝的圖像的偏移校正技術(shù)。
背景技術(shù)
迄今為止,大多數(shù)照片為通過(guò)使用光學(xué)相機(jī)和銀鹽膠片而獲得的 膠片照片(銀鹽照片)。與半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展相關(guān)聯(lián)地,研制了諸如 視頻攝錄機(jī)機(jī)的成像裝置,其可通過(guò)使用固態(tài)成像器件來(lái)拍攝運(yùn)動(dòng)圖像,所述固態(tài)成像器件使用由CCD類(lèi)型的傳感器或MOS類(lèi)型的傳感 器作代表的硅(Si)單晶傳感器。然而,就像素的數(shù)量和S/N比率而 言,通過(guò)這樣的使用固態(tài)成像器件的成像裝置而獲得的圖像比膠片照 片差。為了拍攝靜止圖像,通常使用膠片照片。另一方面,最近幾年,對(duì)通過(guò)計(jì)算機(jī)進(jìn)行的圖像處理、通過(guò)電子 文件的保存、通過(guò)電子郵件的圖像的傳輸?shù)鹊男枨笕找嬖黾?。需要這 樣的電子成像裝置,其用于輸出作為數(shù)字信號(hào)的不比膠片照片圖像差 的照片圖像。這不僅適用于一般的照片,而且還適用于檢驗(yàn)和醫(yī)學(xué)領(lǐng) 域。例如,在醫(yī)學(xué)領(lǐng)域中存在作為使用照片技術(shù)的照片的X射線(xiàn)放 射照片。將從X射線(xiàn)源產(chǎn)生的X射線(xiàn)照射到作為目標(biāo)的人體的患處, X射線(xiàn)放射照片用于基于X射線(xiàn)的透射信息來(lái)辨別骨折或腫瘤等的存 在或不存在。長(zhǎng)期以來(lái),X射線(xiàn)放射照片廣泛用于醫(yī)學(xué)診斷。通常, 透射穿過(guò)患處的X射線(xiàn)進(jìn)入磷光體一次,被轉(zhuǎn)換為可見(jiàn)光,其后,被 啄光到銀鹽膠片上。然而,雖然銀鹽膠片具有靈敏度和分辨率高的這樣的優(yōu)點(diǎn),但是存在這樣的缺點(diǎn),即,顯影麻煩,保存和管理要花費(fèi)時(shí)間,不能將膠片立刻發(fā)送到遠(yuǎn)程感光板上,等等。因此,需要這樣的電子x射線(xiàn)成像裝置,其用于輸出作為數(shù)字信號(hào)的不比如上所提及的膠片照片圖像 差的照片圖像。這不僅適用于醫(yī)學(xué)領(lǐng)域,而且還適用于標(biāo)本(諸如結(jié) 構(gòu)等)的無(wú)損檢驗(yàn)領(lǐng)域。為了滿(mǎn)足這樣的需求,正研制這樣的成像裝置(平板檢測(cè)器;以 下,縮寫(xiě)為"FPD"),其使用通過(guò)兩維布置具有由非晶氬化硅構(gòu)成的 光電轉(zhuǎn)換元件的成像器件而獲得的大規(guī)模傳感器。通過(guò)使用這樣的原 理來(lái)實(shí)現(xiàn)FPD,即,當(dāng)將反向電場(chǎng)施加于光電轉(zhuǎn)換元件時(shí),根據(jù)入射 光的量的光電電流在半導(dǎo)體層中流動(dòng)。根據(jù)FPD,例如通過(guò)使用濺射裝置、化學(xué)汽相蒸發(fā)沉積裝置 (CVD裝置)等使金屬層、非晶硅層等沉積到其一側(cè)等于大約 30-50cm的絕緣基底上,并形成光電轉(zhuǎn)換元件(光電二極管)和薄膜 晶體管(以下,縮寫(xiě)為"TFT")。因而,例如,形成大約(2000x2000) 的光電轉(zhuǎn)換元件,反向偏壓的電場(chǎng)被施加于這些光電轉(zhuǎn)換元件,同時(shí), 可通過(guò)形成的TFT分別檢測(cè)每個(gè)光電轉(zhuǎn)換元件的反向流動(dòng)的電荷。然而,根據(jù)FPD,即使在沒(méi)有光照射的狀態(tài)下,稱(chēng)為暗電流的 電流也流過(guò),從而引起圖像中的偽像。此外,暗電流對(duì)圖像施以作為 散粒噪聲的影響,并變成引起檢測(cè)能力退化的因素之一,所述檢測(cè)能 力即整個(gè)裝置的靈敏度(S/N比率)。存在這樣的情況,即,這樣的 退化對(duì)醫(yī)學(xué)診斷和關(guān)于檢驗(yàn)的判斷產(chǎn)生不利的影響。例如,自然地, 如果由于作為起因的散粒噪聲而導(dǎo)致焦點(diǎn)和缺陷部分中的一個(gè)被忽 略,則問(wèn)題發(fā)生。因此,重要的是盡可能地減小暗電流。發(fā)明內(nèi)容如圖ll所示,F(xiàn)PD中的暗電流具有時(shí)間依賴(lài)的響應(yīng)特性。如圖 ll所示,剛將偏壓施加于光電轉(zhuǎn)換元件之后的暗電流最大,該暗電流 隨著時(shí)間的流逝而逐漸降低(平穩(wěn))??紤]它的以下兩個(gè)起因。這兩個(gè)起因之一在于,通常,在通過(guò)作為主組分材料的非晶硅半6導(dǎo)體形成光電轉(zhuǎn)換元件的情況下,通過(guò)非晶半導(dǎo)體膜中的懸桂鍵和在 形成工藝中混合的雜質(zhì)中的一個(gè)形成缺陷級(jí)。這些缺陷級(jí)起陷獲級(jí)的 作用。甚至就在施加偏壓之后或者施加偏壓之前,電子和空穴中的一 種也被俘獲,并且在幾毫秒至幾十秒時(shí)間過(guò)去之后,它們被熱激發(fā)到 導(dǎo)帶或價(jià)帶,并且傳導(dǎo)電流(暗電流)流動(dòng)。在MIS (金屬絕緣體半導(dǎo)體)類(lèi)型的光電轉(zhuǎn)換元件的情況下, 通常已知存在許多陷獲級(jí),特別是在半導(dǎo)體層(I層)和注入阻止層 (例如,N層)之間的界面部分中。在使用結(jié)晶類(lèi)型的MIS類(lèi)型的光 電轉(zhuǎn)換元件而不使用非晶半導(dǎo)體膜的情況下,通常已知,雖然它取決 于形式該元件時(shí)的處理?xiàng)l件和裝置,但是不存在與使用非晶半導(dǎo)體膜 的情況下的陷獲級(jí)一樣多的陷獲級(jí)。然而,在半導(dǎo)體層(I層)和注 入阻止層(例如,N層)之間的界面部分中,存在許多不匹配的晶格, 陷獲級(jí)不等于零,并且存在圖11中示出的光電轉(zhuǎn)換元件的輸出的趨 勢(shì)??紤]所述起因中的另一起因與注入阻止層的特性相關(guān)。例如,當(dāng) 注入阻止層由N類(lèi)型的非晶硅構(gòu)成時(shí),理想情況是,沒(méi)有空穴注入到 半導(dǎo)體層側(cè)。然而,實(shí)際上,具體地講,在非晶的情況下,N層沒(méi)有 非常好地阻斷空穴。已穿過(guò)N層并被注入到半導(dǎo)體層(I層)的空穴 變成暗電流。空穴在半導(dǎo)體層(I層)和絕緣層之間的界面中累積。 隨著空穴的累積,I層中的內(nèi)部電場(chǎng)發(fā)光。由于從N層注入到I層的 空穴的量隨著電場(chǎng)的發(fā)光而減少,所以暗電流衰減。以與MIS類(lèi)型的光電轉(zhuǎn)換元件類(lèi)似的方式,同樣,在具有作為 組分材料的非晶硅的PIN類(lèi)型的光電轉(zhuǎn)換元件的情況下,在施加偏壓 之后,直到暗電流變穩(wěn)定,要經(jīng)過(guò)預(yù)定時(shí)間??紤]這是由于膜中存在 的缺陷級(jí)而引起的。類(lèi)似地,在吸收輻射并直接轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的非晶 硒、砷化鎵、碘化汞、碘化鉛或碲化鎘的情況下,同樣,直到暗電流 變穩(wěn)定,要經(jīng)過(guò)預(yù)定時(shí)間。作為用于消除如上所提及的這樣的依賴(lài)于時(shí)間的暗電流響應(yīng)的 方法,存在總是連續(xù)地將偏壓施加于光電轉(zhuǎn)換元件的方法。然而,如果連續(xù)地將偏壓施加于光電轉(zhuǎn)換元件,則流動(dòng)的電流使半導(dǎo)體中的缺 陷的數(shù)量增加,特性逐漸退化,并且諸如暗電流增加、光電電流降低 等的現(xiàn)象出現(xiàn)。如果通過(guò)施加偏壓來(lái)連續(xù)地施加電場(chǎng),則不僅缺陷的數(shù)量增加,而且存在這樣的情況,即,它變成TFT的閾值偏移的起 因以及由于離子和電解的移動(dòng)而造成用于配線(xiàn)的金屬的腐蝕的起因, 這導(dǎo)致整個(gè)裝置的可靠性的降低。當(dāng)制造醫(yī)學(xué)裝置和檢驗(yàn)裝置的產(chǎn)品 時(shí),可靠性的降低是不期望的。例如,在需要應(yīng)急的診斷、治療或檢 驗(yàn)期間所述裝置失效是不期望的。因此,必須以這樣的方式設(shè)計(jì)FPD, 即,當(dāng)不使用FPD時(shí),使光電轉(zhuǎn)換元件不操作。與使用膠片的攝影不同,根據(jù)FPD,由于可將照片圖像顯示到 監(jiān)視器上并且可在攝影之后馬上進(jìn)行診斷,所以預(yù)料將在如在急救醫(yī) 療服務(wù)中那樣在短時(shí)間內(nèi)執(zhí)行攝影和診斷的領(lǐng)域中使用FPD。然而, 由于如上所提及的光電轉(zhuǎn)換元件的暗電流具有依賴(lài)于時(shí)間的響應(yīng)特 性,所以在剛將偏壓施加于光電轉(zhuǎn)換元件之后,暗電流大,并且偽像 和噪聲發(fā)生,從而畫(huà)面質(zhì)量退化。因此,在第6127684號(hào)美國(guó)注冊(cè)專(zhuān)利的官方公報(bào)中,在暗電流的 響應(yīng)平穩(wěn)之后,執(zhí)行X射線(xiàn)放射照相。在X射線(xiàn)放射照相之后或之 前,對(duì)沒(méi)有X射線(xiàn)照射到其的偏移圖像進(jìn)行放射照相,并計(jì)算通過(guò)X 射線(xiàn)放射照相獲得的X射線(xiàn)圖像和偏移圖像之間的差,從而去除X 射線(xiàn)圖像的暗電流分量(以下,這樣的過(guò)程稱(chēng)為偏移校正)。根據(jù)前 一方法,由于在將偏壓施加于光電轉(zhuǎn)換元件之后操作者必須等待預(yù)定 時(shí)間,所以存在這樣問(wèn)題,即,在緊急的情況下,不能使用所述裝置, 并且可操作性低。根據(jù)后一方法,由于剛將偏壓施加于光電轉(zhuǎn)換元件 之后暗電流大,所以存在這樣的問(wèn)題,即,即使所述差被計(jì)算,也不 能非常好地去除暗電流分量。在第5818898號(hào)美國(guó)注冊(cè)專(zhuān)利的官方公報(bào)中,將每單位時(shí)間的暗 電流(噪聲量數(shù)據(jù))存儲(chǔ)到存儲(chǔ)器中?;谕ㄟ^(guò)累積時(shí)間段測(cè)量電路 測(cè)量的放射照相時(shí)的累積時(shí)間段和每單位時(shí)間的噪聲量數(shù)據(jù)來(lái)計(jì)算 累積噪聲量數(shù)據(jù),并從X射線(xiàn)圖像減去累積噪聲量數(shù)據(jù),從而進(jìn)行偏移校正。然而,由于如上所提及的,暗電流具有依賴(lài)于將偏壓施加于 光電轉(zhuǎn)換元件之后過(guò)去的時(shí)間的響應(yīng)特性,所以存在這樣的問(wèn)題,即,不能從X射線(xiàn)圖像完全地減去暗電流分量。在第6965111號(hào)美國(guó)注冊(cè)專(zhuān)利的官方公報(bào)中,通過(guò)使用諸如 LED、 EL等的光源將光照射到光電轉(zhuǎn)換元件上,使暗電流穩(wěn)定。然 而,必須配備光源,這導(dǎo)致成本和FPD的尺寸的增加。本發(fā)明的目的在于提供一種成像裝置,在該成像裝置中,即使剛 在將偏壓施加于光電轉(zhuǎn)換元件之后,也可執(zhí)行良好的放射照相,而不 增加成本和所述裝置的尺寸。根據(jù)本發(fā)明,提供一種成像裝置,包括檢測(cè)單元,包括在基底 上按陣列布置的多個(gè)轉(zhuǎn)換元件,這些轉(zhuǎn)換元件用于將入射輻射或入射 光轉(zhuǎn)換為電信號(hào),以得到基于該電信號(hào)的圖像;存儲(chǔ)器單元,用于存 儲(chǔ)在將偏壓施加于轉(zhuǎn)換元件之后的檢測(cè)單元的暗電流響應(yīng)特性;第一 時(shí)間段測(cè)量單元,用于測(cè)量第一時(shí)間段,第一時(shí)間段從偏壓到轉(zhuǎn)換元 件的施加直到用于得到所述圖像的轉(zhuǎn)換元件的累積的開(kāi)始為止;第二 時(shí)間段測(cè)量單元,用于測(cè)量第二時(shí)間段,第二時(shí)間段從累積的開(kāi)始直 到累積的結(jié)束為止;累積電荷量算術(shù)運(yùn)算單元,用于基于暗電流響應(yīng) 特性以及第一和第二時(shí)間段來(lái)計(jì)算包括在累積中的暗電流累積電荷 量;和圖像處理單元,基于暗電流累積電荷量進(jìn)行得到的圖像的偏移 校正。根據(jù)本發(fā)明,提供一種成像系統(tǒng),包括所述圖像裝置;和輻射 產(chǎn)生裝置,用于產(chǎn)生輻射。根據(jù)本發(fā)明,提供一種成像裝置的控制方法,所述成像裝置具有 檢測(cè)單元,包括在基底上按陣列布置的多個(gè)轉(zhuǎn)換元件,這些轉(zhuǎn)換元件 用于將入射輻射或入射光轉(zhuǎn)換為電信號(hào),以得到基于該電信號(hào)的圖 像;和存儲(chǔ)器單元,用于存儲(chǔ)在將偏壓施加于轉(zhuǎn)換元件之后的檢測(cè)單 元的暗電流響應(yīng)特性,所述方法包括以下步驟測(cè)量第一時(shí)間段,第件的累積的開(kāi)始為止;測(cè)量第二時(shí)間段,第二時(shí)間段從累積的開(kāi)始直到累積的結(jié)束為止;基于暗電流響應(yīng)特性以及第一和第二時(shí)間段來(lái)計(jì) 算包括在累積中的暗電流累積電荷量;基于計(jì)算的暗電流累積電荷量 進(jìn)行得到的圖像的偏移校正。根據(jù)本發(fā)明,提供一種用于存儲(chǔ)成像裝置的控制方法的程序的存 儲(chǔ)介質(zhì),所述成像裝置具有檢測(cè)單元,包括在基底上按陣列布置的 多個(gè)轉(zhuǎn)換元件,這些轉(zhuǎn)換元件用于將入射輻射或入射光轉(zhuǎn)換為電信 號(hào),以得到基于該電信號(hào)的圖像;和存儲(chǔ)器單元,用于存儲(chǔ)在將偏壓 施加于轉(zhuǎn)換元件之后的檢測(cè)單元的暗電流響應(yīng)特性,其中,所述程序 控制計(jì)算機(jī)執(zhí)行以下步驟測(cè)量第一時(shí)間段,第一時(shí)間段從偏壓到轉(zhuǎn) 換元件的施加直到用于得到所述圖像的轉(zhuǎn)換元件的累積的開(kāi)始為止; 測(cè)量第二時(shí)間段,第二時(shí)間段從累積的開(kāi)始直到累積的結(jié)束為止;基 于暗電流響應(yīng)特性以及第一和第二時(shí)間段來(lái)計(jì)算包括在累積中的暗 電流累積電荷量;基于計(jì)算的暗電流累積電荷量進(jìn)行得到的圖像的偏 移校正。根據(jù)本發(fā)明,基于空閑時(shí)間段、放射照相時(shí)的累積時(shí)間段和暗電 流響應(yīng)特性來(lái)計(jì)算暗電流累積電荷量,所述空閑時(shí)間段從偏壓到轉(zhuǎn)換 元件的施加直到用于得到所述圖像的放射照相的開(kāi)始為止。由于通過(guò) 使用計(jì)算的暗電流累積電荷量進(jìn)行圖像的偏移校正,所以即使剛在施 加偏壓之后,也正確地進(jìn)行偏移校正,而不增加所述裝置的成本和尺 寸,并且可執(zhí)行良好的放射照相。從以下參考附圖對(duì)示例性實(shí)施例的描述,本發(fā)明的進(jìn)一步的特征 將變得清楚。


圖l是示出第一實(shí)施例中的成像系統(tǒng)的示意性構(gòu)造的示圖。 圖2是示出第一實(shí)施例中的成像系統(tǒng)的處理操作的流程圖。 圖3是示出第一實(shí)施例中的成像系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)時(shí)序的時(shí)序圖。 圖4是示出按二維矩陣形式布置各自由光電轉(zhuǎn)換元件和切換元 件構(gòu)成的集合的示例的示圖。圖5是示出圖4中示出的構(gòu)造中的驅(qū)動(dòng)時(shí)序的時(shí)序圖。 圖6是示出第二實(shí)施例中的成像系統(tǒng)的示意性構(gòu)造的示圖。 圖7是示出第二實(shí)施例中的成像系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)時(shí)序的時(shí)序圖。 圖8是示出第二實(shí)施例中的成像系統(tǒng)的處理操作的流程圖。 圖9是示出第三實(shí)施例中的成像系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)時(shí)序的時(shí)序圖。 圖IO是示出第三實(shí)施例中的成像系統(tǒng)的處理操作的流程圖。 圖ll是示出光電轉(zhuǎn)換元件的暗電流響應(yīng)特性的示圖。
具體實(shí)施方式
以下將參考附圖描述本發(fā)明的示例性實(shí)施例。 (第一實(shí)施例)圖1是示出本發(fā)明的第一實(shí)施例中的成像系統(tǒng)的示意性構(gòu)造圖。 在圖1中,不包括用作輻射產(chǎn)生裝置的X射線(xiàn)源101及其控制系統(tǒng)的 構(gòu)造對(duì)應(yīng)于成像裝置。第一實(shí)施例中的成像系統(tǒng)由X射線(xiàn)源101、其 控制系統(tǒng)和所述成像裝置構(gòu)成。在第一實(shí)施例中的成像裝置中,可自 由地選擇性地設(shè)置運(yùn)動(dòng)圖像攝影模式和靜止圖像攝影模式,運(yùn)動(dòng)圖像 攝影模式用于執(zhí)行熒光透視法等,靜止圖像攝影模式用于執(zhí)行放射照 相。該實(shí)施例中的成像系統(tǒng)的整個(gè)操作受控制單元114 A控制??刂?臺(tái)單元112具有顯示器121上的觸摸面板、鼠標(biāo)、鍵盤(pán)、操縱桿、腳 踏開(kāi)關(guān)等。在該實(shí)施例中的成像系統(tǒng)中,操作者113可從控制臺(tái)單元 112進(jìn)行各種類(lèi)型的設(shè)置,諸如放射照相條件(靜止圖像、運(yùn)動(dòng)圖像、 電子管電壓、電子管電流、照射時(shí)間段等)、放射照相時(shí)序、圖像處 理?xiàng)l件、目標(biāo)ID、取出的圖像的處理方法等。控制單元114A將基于以下指令的放射照相條件命令給用于控制 放射照相序列的放射照相控制單元115A,所述指令為通過(guò)控制臺(tái)單 元112輸入的操作者113的指令和輻射信息系統(tǒng)的指令中的一個(gè),并 取出數(shù)據(jù)?;谒鲋噶睿派湔障嗫刂茊卧?15A驅(qū)動(dòng)作為輻射源 的X射線(xiàn)源101、用于放射照相的床架(未顯示)和輻射檢測(cè)單元103,取出圖像數(shù)據(jù),并傳送到圖像處理單元110A。圖像處理單元110A對(duì) 傳送的圖像數(shù)據(jù)執(zhí)行由操作者113指定的圖像處理,對(duì)顯示器121顯 示,同時(shí),將通過(guò)執(zhí)行基本圖像處理獲得的原始數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到存儲(chǔ)器111 中,所述基本圖像處理諸如偏移校正、白色校正、缺陷校正等。此外,基于操作者113的指令,控制單元114A執(zhí)行關(guān)于存儲(chǔ)在 存儲(chǔ)器lll中的圖像數(shù)據(jù)的重新圖像處理和再現(xiàn)顯示、圖像數(shù)據(jù)到網(wǎng) 絡(luò)上的裝置的傳送和保存、到顯示器上的顯示、對(duì)膠片的打印等。隨后,將根據(jù)信號(hào)的流程順序地描述圖1中示出的成像系統(tǒng)的操 作。X射線(xiàn)源101包括X射線(xiàn)管和X射線(xiàn)光圏。受放射照相控制單元 115A控制的高壓產(chǎn)生電源驅(qū)動(dòng)X射線(xiàn)管,X射線(xiàn)管照射作為輻射的 X射線(xiàn)束122。放射照相控制單元115A驅(qū)動(dòng)X射線(xiàn)光圏,X射線(xiàn)光 團(tuán)與放射照相區(qū)域中的變化相關(guān)聯(lián)地對(duì)X射線(xiàn)束122進(jìn)行成形,從而 不執(zhí)行不必要的X射線(xiàn)照射。從X射線(xiàn)源101照射的X射線(xiàn)束122直達(dá)位于穿透用于放射照 相的床架的X射線(xiàn)上的目標(biāo)102?;诜派湔障嗫刂茊卧?15A的指 令驅(qū)動(dòng)放射照相床架。照射到目標(biāo)102上的X射線(xiàn)束122穿透目標(biāo) 102和放射照相床架,其后,進(jìn)入輻射檢測(cè)單元103。輻射檢測(cè)單元103具有格柵(未顯示)、磷光體106、光電轉(zhuǎn)換 元件104、切換元件105、讀取電路107、 A/D轉(zhuǎn)換器(ADC) 108、 驅(qū)動(dòng)電路109和X射線(xiàn)曝光量監(jiān)視器(未顯示)。格柵減小在X射 線(xiàn)束122穿透目標(biāo)102之后引起的X射線(xiàn)散射的影響。格柵由X射 線(xiàn)低吸收材料和X射線(xiàn)高吸收材料形成,具有例如Al(鋁)和Pb(鉛) 的條紋結(jié)構(gòu)。在X射線(xiàn)照射時(shí),格柵基于放射照相控制單元115A的 指令而振動(dòng),以使不引起由于輻射檢測(cè)單元103 (更詳細(xì)地講,布置 在基底上的光電轉(zhuǎn)換元件104)的柵格比率和格柵之間的關(guān)系而引起 的云紋。作為波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換器的磷光體106吸收穿透目標(biāo)102的X射線(xiàn),使 磷光體106中的發(fā)光中心激勵(lì),并發(fā)射可見(jiàn)光。也就是說(shuō),磷光體106 轉(zhuǎn)換入射的X射線(xiàn)的波長(zhǎng)。從磷光體106發(fā)射的可見(jiàn)光照射到布置在絕緣基底上的光電轉(zhuǎn)換元件104的感光面上,并被光電轉(zhuǎn)換。此外, 通過(guò)同樣布置在絕緣基底上的切換元件105將光電轉(zhuǎn)換的信號(hào)電荷供 應(yīng)到讀取電路107,讀取電路107的積分放大器將這些信號(hào)電荷轉(zhuǎn)換 為電壓信號(hào)。ADC 108將被讀取電路107的積分放大器轉(zhuǎn)換的電壓信 號(hào)從模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào),并將其傳送到輻射檢測(cè)單元103的外 部。驅(qū)動(dòng)電路109基于來(lái)自放射照相控制單元115A的控制來(lái)驅(qū)動(dòng)光 電轉(zhuǎn)換元件104、切換元件105和讀取電路107,從而以這種方式執(zhí) 行所述信號(hào)的讀取操作。作為光電轉(zhuǎn)換元件104,例如,將非晶氫化硅用作主組分材料的 MIS類(lèi)型或PIN類(lèi)型的薄膜光電轉(zhuǎn)換元件、使用單硅(單晶硅)的 PN光電二極管等可被提及。作為切換元件105,使用非晶硅、多硅(多 晶硅)、單硅等的薄膜晶體管或者公知的MOS晶體管可被使用。作為絕緣基底的材料,主要使用堿組分小的透明玻璃。作為磷光 體106的材料,使用Gd202S:Tb、 CsI:Tl等。磷光體106不限于這樣 的材料,而是可由例如作為主組分材料的選自Gd202S、 Gd203、 CaW04、 CdW04、 Csl和ZnS的一種類(lèi)型構(gòu)成。還可構(gòu)造光電轉(zhuǎn)換元件104,以使具有這樣的功能,其用于吸收 X射線(xiàn),而不穿過(guò)磷光體106并直接轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。例如,光電轉(zhuǎn)換 元件104還可由作為主組分材料的選自非晶硒、砷化鎵、碘化汞、碘 化鉛或碲化鎘的一種類(lèi)型構(gòu)成。X射線(xiàn)啄光量監(jiān)視器監(jiān)視X射線(xiàn)透射量。X射線(xiàn)曝光量監(jiān)視器 能夠通過(guò)使用由結(jié)晶硅等構(gòu)成的感光元件來(lái)直接檢測(cè)X射線(xiàn),或者可 檢測(cè)穿透光電轉(zhuǎn)換元件104和切換元件105的可見(jiàn)光。將X射線(xiàn)曝光 量監(jiān)視器檢測(cè)到的信息傳輸?shù)椒派湔障嗫刂茊卧?15A。放射照相控 制單元115A基于X射線(xiàn)膝光量監(jiān)視器檢測(cè)到的信息切斷或調(diào)節(jié)X射 線(xiàn)源101。雖然在該實(shí)施例中在輻射檢測(cè)單元103的外部提供放射照 相控制單元115A,但是本發(fā)明不限于這樣的構(gòu)造,而是可在輻射檢 測(cè)單元103中提供放射照相控制單元115A。執(zhí)行放射照相的X射線(xiàn)室和操作者113執(zhí)行操作的控制室不同。將來(lái)自輻射檢測(cè)單元103的圖像信號(hào)從用于放射照相的X射線(xiàn)室傳送 到在操作者113執(zhí)行操作的控制室中提供的圖像處理單元IIOA。當(dāng) 傳送時(shí),在X射線(xiàn)室中由X射線(xiàn)產(chǎn)生而引起的噪聲大,并且存在由 于噪聲而導(dǎo)致沒(méi)有精確地傳送圖像數(shù)據(jù)的情況。因此,需要提高傳送 路徑的噪聲電阻。例如,理想情況是,使用具有糾錯(cuò)功能的傳輸系統(tǒng)、 由LVDS (低壓微分信令)作代表的微分信號(hào)傳輸系統(tǒng)、或者通過(guò)光 纖的傳送路徑。圖像處理單元IIOA基于放射照相控制單元115A的指令切換顯 示數(shù)據(jù)。作為其它功能,圖像處理單元110A以實(shí)時(shí)方式執(zhí)行圖像數(shù) 據(jù)的校正(偏移校正、白色校正、缺陷校正)、空間濾波、遞歸過(guò)程 等,此外,圖像處理單元110A可執(zhí)行分級(jí)過(guò)程、散射線(xiàn)校正、各種 類(lèi)型的空間頻率過(guò)程等。在圖像處理單元110A中處理的圖像顯示在 顯示器121上。與實(shí)時(shí)圖像處理同時(shí)地,將僅進(jìn)行數(shù)據(jù)校正的基本圖 像存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器lll中。作為存儲(chǔ)器lll,可滿(mǎn)足大容量、高速和高 可靠性的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)設(shè)備是理想的。例如,RAID等的硬盤(pán)陣列是理想 的。重新構(gòu)造存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器111中的圖像數(shù)據(jù),以滿(mǎn)足預(yù)定標(biāo)準(zhǔn)(例 如,IS&C),其后,將該圖像數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到外部存儲(chǔ)設(shè)備(未顯示) 中。外部存儲(chǔ)設(shè)備可為,例如,磁光盤(pán)、LAN中的文件服務(wù)器中的硬 盤(pán)等。該實(shí)施例中的成像系統(tǒng)還可通過(guò)LAN板連接至LAN,具有擁有 與HIS的數(shù)據(jù)兼容性的結(jié)構(gòu)。自然,多個(gè)成像系統(tǒng)可連接至LAN, 并且用于顯示運(yùn)動(dòng)圖像/靜止圖像的監(jiān)視器、用于對(duì)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行存檔 的文件服務(wù)器等連接至LAN。用于將圖像輸出到膠片上的圖像打印 機(jī)、用于執(zhí)行復(fù)雜的圖像處理并支持診斷的圖像處理終端等也被連 接。該實(shí)施例中的成像系統(tǒng)根據(jù)預(yù)定協(xié)議(例如,DICOM)輸出圖 像數(shù)據(jù)。另外,當(dāng)進(jìn)行X射線(xiàn)放射照相時(shí)可通過(guò)使用連接至LAN的 監(jiān)視器執(zhí)行由醫(yī)生進(jìn)行的實(shí)時(shí)遠(yuǎn)程診斷。隨后,將描述第一實(shí)施例中的成像系統(tǒng)中的偏移校正。以下將參考圖1中示出的示意性構(gòu)造圖、圖2中示出的流程圖和圖3中示出的 時(shí)序圖與圖2中示出的流程圖一起順序地描述從操作的開(kāi)始直到圖像 顯示為止的處理操作。在以下描述中,通過(guò)照射輻射并執(zhí)行放射照相 (輻射攝影)而獲得的光輸出(通過(guò)輸入輻射而獲得的輻射圖像)被 稱(chēng)為X射線(xiàn)幀,在不照射輻射的情況下通過(guò)執(zhí)行放射照相而獲得的暗 輸出被稱(chēng)為偏移幀。首先,設(shè)置目標(biāo)102的位置和放射照相條件,諸如電子管電壓、 電子管電流、輻射時(shí)間段等(S101 )。在此之后,開(kāi)始放射照相(S102 )。 當(dāng)開(kāi)始放射照相時(shí),放射照相控制單元115A將命令發(fā)到輻射檢測(cè)單 元103中的驅(qū)動(dòng)電路109。接收命令的驅(qū)動(dòng)電路109分別將電壓施加 于偏壓配線(xiàn)Vs、柵配線(xiàn)Vg和讀取電路107的參考電源Vref。通過(guò)將 電壓施加于柵配線(xiàn)Vg,切換元件105導(dǎo)通,電壓(Vs-Vref)被施 加于光電轉(zhuǎn)換元件104,并獲得可執(zhí)行光電轉(zhuǎn)換的狀態(tài)。圖2和圖3中示出的空閑表示如上所提及的偏壓已被施加于光電 轉(zhuǎn)換元件104的狀態(tài)。在該實(shí)施例中,每當(dāng)操作者113按下X射線(xiàn)照 射開(kāi)關(guān)時(shí),操作模式可立即更換到讀取操作。當(dāng)空閑時(shí),為了對(duì)由于 通過(guò)將偏壓施加于光電轉(zhuǎn)換元件104而產(chǎn)生的暗電流所引起的累積電 荷進(jìn)行重置,將脈沖周期性地施加于柵配線(xiàn)Vg,從而使切換元件105 導(dǎo)通。作為空閑操作的開(kāi)始時(shí)間,放射照相控制單元115A將當(dāng)偏壓被 施加于輻射檢測(cè)單元103的光電轉(zhuǎn)換元件104時(shí)的時(shí)間tis供應(yīng)給X 射線(xiàn)幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元117和偏移幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元124。 X射線(xiàn)幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元117和偏移幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元124 存儲(chǔ)供應(yīng)的空閑操作的開(kāi)始時(shí)間tis (S103)。隨后,操作者113在任意時(shí)序按下X射線(xiàn)照射開(kāi)關(guān)。因而,作 為空閑操作的終止時(shí)間,放射照相控制單元115A將就在壓下X射線(xiàn) 照射開(kāi)關(guān)之前切換元件105從導(dǎo)通狀態(tài)更換到截止?fàn)顟B(tài)時(shí)的時(shí)間(暗 電流重置時(shí)間)txs供應(yīng)給X射線(xiàn)幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元117。此外, 放射照相控制單元115A將作為X射線(xiàn)幀的累積開(kāi)始時(shí)間的時(shí)間txs供應(yīng)給X射線(xiàn)幀累積時(shí)間段測(cè)量單元120。 X射線(xiàn)幀空閑時(shí)間段測(cè)量 單元117存儲(chǔ)供應(yīng)的空閑操作的終止時(shí)間txs, X射線(xiàn)幀累積時(shí)間段 測(cè)量單元120存儲(chǔ)供應(yīng)的X射線(xiàn)幀的累積開(kāi)始時(shí)間txs (S104)。X射線(xiàn)幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元117基于空閑操作的開(kāi)始時(shí)間tis 和終止時(shí)間txs來(lái)計(jì)算X射線(xiàn)幀的空閑時(shí)間段Txi ( -txs-tis),并 輸出。X射線(xiàn)幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元117對(duì)應(yīng)于第 一 時(shí)間段測(cè)量單元。 由于與放射照相過(guò)程并行地執(zhí)行由X射線(xiàn)幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元117 進(jìn)行的算術(shù)運(yùn)算過(guò)程,所以即使在算術(shù)運(yùn)算過(guò)程期間,也照射X射線(xiàn), 并且,在照射終止之后,輻射檢測(cè)單元103將操作模式更換到X射線(xiàn) 幀的讀取操作。當(dāng)讀取X射線(xiàn)幀時(shí),通過(guò)將電壓施加于柵配線(xiàn)Vg來(lái)使切換元件 105導(dǎo)通,光電轉(zhuǎn)換元件104的電荷被讀取電路107取出,被ADC 108 轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào),并被傳送到圖像處理單元IIOA。因而,在X射線(xiàn) 幀中獲得的X射線(xiàn)圖像(輻射圖像)被傳送到圖像處理單元110A (S105)。在X射線(xiàn)幀的讀取中,如圖3的時(shí)序圖中的光電轉(zhuǎn)換元件電流 所示,從光電轉(zhuǎn)換元件104輸出的電荷的量等于暗電流累積電荷量 Qwx和X射線(xiàn)電荷量Qx之和。暗電流累積電荷量Qwx表示根據(jù)光 電轉(zhuǎn)換元件104的暗電流響應(yīng)特性通過(guò)暗電流累積的電荷的量。X射 線(xiàn)電荷量Qx表示通過(guò)由X射線(xiàn)照射產(chǎn)生的光電轉(zhuǎn)換而獲得的電荷的 量。隨后,由于切換元件105從導(dǎo)通狀態(tài)更換到截止?fàn)顟B(tài),所以在光 電轉(zhuǎn)換元件104中累積的電荷的傳送終止,X射線(xiàn)幀的讀取終止。此 時(shí),作為X射線(xiàn)幀的讀取終止時(shí)間,放射照相控制單元115A將當(dāng)切 換元件105從導(dǎo)通狀態(tài)更換到截止?fàn)顟B(tài)時(shí)的時(shí)間txe供應(yīng)給X射線(xiàn)幀 累積時(shí)間段測(cè)量單元120。 X射線(xiàn)幀累積時(shí)間段測(cè)量單元120存儲(chǔ)供 應(yīng)的X射線(xiàn)幀的讀取終止時(shí)間txe 。 X射線(xiàn)幀累積時(shí)間段測(cè)量單元120 基于X射線(xiàn)幀的累積開(kāi)始時(shí)間txs和讀取終止時(shí)間txe來(lái)計(jì)算X射線(xiàn) 幀的累積時(shí)間段Tx ( -txe-txs),并輸出(S106) 。 X射線(xiàn)幀累積時(shí)間段測(cè)量單元120對(duì)應(yīng)于第二時(shí)間段測(cè)量單元。在X射線(xiàn)幀的讀取終止之后,X射線(xiàn)幀累積電荷量的算術(shù)運(yùn)算 單元118通過(guò)使用X射線(xiàn)幀的空閑時(shí)間段Txi和累積時(shí)間段Tx以及 存儲(chǔ)在暗電流響應(yīng)特性存儲(chǔ)器119中的暗電流響應(yīng)特性來(lái)計(jì)算和預(yù)測(cè) X射線(xiàn)幀的暗電流累積電荷量Qwx。暗電流響應(yīng)特性存儲(chǔ)器119對(duì)應(yīng) 于存儲(chǔ)器單元。當(dāng)計(jì)算X射線(xiàn)幀的暗電流累積電荷量Qwx時(shí),通過(guò) 如以下方程(1)所示相對(duì)于從Txi至(Txi+Tx)的范圍對(duì)通過(guò)計(jì)算暗電 流響應(yīng)特性f(t)而獲得的值進(jìn)行積分來(lái)獲得Qwx。
= L順…("在這種情形下,實(shí)際的X射線(xiàn)幀的暗電流累積電荷量和計(jì)算的X射線(xiàn)幀的暗電流累積電荷量之間的差越小,就可通過(guò)偏移校正實(shí)現(xiàn)對(duì) 越小的偽像的圖像校正。關(guān)于暗電流響應(yīng)特性f(t),如以下方程(2)所示,預(yù)先將通過(guò) 指數(shù)函數(shù)逼近的系數(shù)A和B存儲(chǔ)到存儲(chǔ)器中,并執(zhí)行關(guān)于X射線(xiàn)幀 的暗電流累積電荷量Qwx的計(jì)算。/(0"exp(-價(jià))…(2)雖然在該實(shí)施例中通過(guò)使用指數(shù)函數(shù)來(lái)逼近暗電流響應(yīng)特性,但 是可使用其它函數(shù),只要它可逼近響應(yīng)特性即可。在獲得暗電流響應(yīng) 特性時(shí),存在用于當(dāng)從工廠(chǎng)裝運(yùn)時(shí)獲得暗電流響應(yīng)特性的方法、在裝 配位置周期性地更新暗電流響應(yīng)特性的方法等。然而,如果使用剛在 放射照相之前的響應(yīng)特性,則由于在光電轉(zhuǎn)換元件中不存在老化轉(zhuǎn)換 的影響,所以可進(jìn)行更高精度的偏移校正。隨后,對(duì)偏移幀進(jìn)行放射照相。在終止X射線(xiàn)幀的讀取之后連 續(xù)地對(duì)偏移幀進(jìn)行放射照相的情況下,偏移幀的累積開(kāi)始時(shí)間tws變 為X射線(xiàn)幀的讀取終止時(shí)間。在提供時(shí)間段以減小關(guān)于X射線(xiàn)幀的X 射線(xiàn)圖像遲延的影響并對(duì)偏移幀進(jìn)行放射照相的情況下,偏移幀的累 積開(kāi)始時(shí)間tws變?yōu)榫驮谄茙扒袚Q元件105從導(dǎo)通狀 態(tài)更換到 截止?fàn)顟B(tài)時(shí)的時(shí)間。在該實(shí)施例中,假設(shè)在X射線(xiàn)幀的讀取終止之后對(duì)偏移幀進(jìn)行放射照相。作為偏移幀的累積開(kāi)始時(shí)間,放射照相控制單元115A將X射線(xiàn) 幀的讀取終止時(shí)間tws供應(yīng)給偏移幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元124。偏移 幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元124存儲(chǔ)供應(yīng)的偏移幀的累積開(kāi)始時(shí)間(5107) 。偏移幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元124基于當(dāng)將偏壓供應(yīng)給光電轉(zhuǎn)換 元件104時(shí)的時(shí)間(空閑操作的開(kāi)始時(shí)間)tis和偏移幀的累積開(kāi)始時(shí) 間tws計(jì)算偏移幀的空閑時(shí)間段Twi。隨后,偏移幀累積時(shí)間段的算術(shù)運(yùn)算單元116根據(jù)以下方程(3) 通過(guò)使用如上所述計(jì)算的X射線(xiàn)幀的暗電流累積電荷量Qwx、空閑 時(shí)間段Twi和暗電流響應(yīng)特性f(t)來(lái)計(jì)算偏移幀的累積時(shí)間段Tw(5108) 。gw"....(3)偏移幀累積時(shí)間段算術(shù)運(yùn)算單元116將計(jì)算的偏移幀的累積時(shí) 間段Tw輸出到放射照相控制單元115A。在從偏移幀的累積開(kāi)始時(shí)間 tws過(guò)去偏移幀的累積時(shí)間段Tw之后,放射照相控制單元115A將偏 移幀的讀取開(kāi)始命令發(fā)到輻射檢測(cè)單元103。接收命令的輻射檢測(cè)單 元103讀出偏移幀(S109、 SllO)。由于以與X射線(xiàn)幀的方式類(lèi)似的 方式執(zhí)行偏移幀的讀取,所以省略其描述。在偏移幀的讀取終止之后,將讀出的偏移校正數(shù)據(jù)傳送到圖像處 理單元110A。圖像處理單元IIOA執(zhí)行(X射線(xiàn)圖像)—(偏移校正 數(shù)據(jù))的減法過(guò)程(偏移校正),還執(zhí)行必要的圖像處理,諸如增益 校正等(S111),并允許將校正的圖像顯示到顯示器121上(S112)。以這種方式,通過(guò)使用X射線(xiàn)幀的空閑時(shí)間段Txi、 X射線(xiàn)幀的 累積時(shí)間段Tx和暗電流響應(yīng)特性f(t)來(lái)計(jì)算和預(yù)測(cè)X射線(xiàn)幀的暗電 流累積電荷量Qwx。確定偏移幀的累積時(shí)間段,該累積時(shí)間段用于獲 得作為偏移校正數(shù)據(jù)的與計(jì)算的X射線(xiàn)幀的暗電流累積電荷量Qwx 相同的量的電荷。通過(guò)獲得的偏移校正數(shù)據(jù)進(jìn)行X射線(xiàn)圖像的偏移校正。因而,消除了由于新光源的添加等而導(dǎo)致的所述裝置的尺寸的增 加,并且即使在這樣的暗電流響應(yīng)特性的情況下,即,剛將偏壓施加于光電轉(zhuǎn)換元件104之后的變化大的情況下,也可正確地進(jìn)行偏移校 正,并且也可執(zhí)行良好的放射照相。通過(guò)交替地重復(fù)這樣的X射線(xiàn)幀 的放射照相(輻射攝影)和偏移幀的放射照相,還可執(zhí)行運(yùn)動(dòng)圖像的 連續(xù)的放射照相。雖然以上基于提供一個(gè)光電轉(zhuǎn)換元件104和一個(gè)切換元件105 的假設(shè)進(jìn)行了描述,但是事實(shí)上,以一維或二維陣列形狀將多個(gè)光電 轉(zhuǎn)換元件104和多個(gè)切換元件105布置在絕緣基底上。圖4示出以3x3的二維矩陣形狀布置各自由光電轉(zhuǎn)換元件和切換 元件構(gòu)成的集合(像素)的示例。雖然為了簡(jiǎn)化描述示出了 (3x3) 個(gè)像素的矩陣,但是可任意設(shè)置像素的數(shù)量。本發(fā)明還可應(yīng)用于例如 (2000x2000 )個(gè)像素或更多個(gè)像素的面積傳感器。在圖4中,Sm-n表示光電轉(zhuǎn)換元件;Tm-n表示切換元件(TFT 晶體管);123表示用于順序地使切換元件導(dǎo)通的移位寄存器;Vgm 表示用于傳送用于驅(qū)動(dòng)切換元件的脈沖的柵配線(xiàn)。An表示用于讀出 在光電轉(zhuǎn)換元件Sm-n中累積的電荷的放大器(算術(shù)運(yùn)算放大器); Cfn表示用于計(jì)算當(dāng)從光電轉(zhuǎn)換元件Sm-n讀出電荷時(shí)的信號(hào)電荷的 積分的積分電容器;Mn表示用于傳送所述信號(hào)電荷的信號(hào)配線(xiàn);Vs 表示用于將偏壓施加于光電轉(zhuǎn)換元件Sm-n的偏壓配線(xiàn);Vref表示由 放大器An和積分電容器Cfn構(gòu)成的讀取電路的參考電源。m和n中 的每個(gè)表示下標(biāo)(m-l至3的自然數(shù),11 = 1至3的自然數(shù);這適用 于以下描述)。第m行和第n列的光電轉(zhuǎn)換元件Sm-n的一端連接至偏壓配線(xiàn) Vs,另 一端通過(guò)第m行和第n列的切換元件Tm-n連接至第n列的信 號(hào)配線(xiàn)Mn。第m行的切換元件Tm-1至Tm-3的控制終端(晶體管 的柵)連接至第m行的柵配線(xiàn)Vgm。第n列的放大器An的一個(gè)輸 入連接至參考電源Vref,另一輸入連接至第n列的信號(hào)配線(xiàn)Mn。積 分電容器Cfn并聯(lián)在放大器An的另一輸入和輸出之間。圖5是示出在如圖4所示構(gòu)造輻射檢測(cè)單元103中的光電轉(zhuǎn)換元 件和切換元件的集合的情況下的驅(qū)動(dòng)時(shí)序的時(shí)序圖。在圖4中示出的 構(gòu)造的情況下,由于它具有(3x3)個(gè)像素的矩陣結(jié)構(gòu),所以每一柵 配線(xiàn)地測(cè)量X射線(xiàn)幀的空閑時(shí)間段和X射線(xiàn)幀的累積時(shí)間段,每一 柵配線(xiàn)地測(cè)量偏移幀的累積時(shí)間段。首先,當(dāng)開(kāi)始放射照相時(shí),放射照相控制單元115A將命令發(fā)到 輻射檢測(cè)單元103中的驅(qū)動(dòng)電路109。接收命令的驅(qū)動(dòng)電路109分別 將電壓施加于偏壓配線(xiàn)Vs和讀取電路的參考電源Vref。放射照相控 制單元115A通過(guò)移位寄存器123順序地驅(qū)動(dòng)?xùn)排渚€(xiàn)Vgl、Vg2和Vg3, 從而順序地使切換元件Tl-n、 T2-n和T3-n導(dǎo)通/截止。通過(guò)施加偏 壓和使切換元件Tm-n導(dǎo)通,電壓(Vs-Vref)被施加于光電轉(zhuǎn)換元件 Sm-n,并且暗電流開(kāi)始流動(dòng)。通過(guò)將電壓施加于柵配線(xiàn)Vgm,可對(duì) 通過(guò)光電轉(zhuǎn)換元件Sm-n的暗電流累積的電荷進(jìn)行重置。作為空閑操作的開(kāi)始時(shí)間,放射照相控制單元115A將當(dāng)偏壓被 施加于光電轉(zhuǎn)換元件Sm-n時(shí)的時(shí)間tism供應(yīng)給X射線(xiàn)幀空閑時(shí)間段 測(cè)量單元117和偏移幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元124。 X射線(xiàn)幀空閑時(shí)間 段測(cè)量單元117和偏移幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元124分別將供應(yīng)的空閑 操作的開(kāi)始時(shí)間tism存儲(chǔ)到內(nèi)部存儲(chǔ)器中。隨后,操作者按下X射線(xiàn)照射開(kāi)關(guān)。作為空閑操作的終止時(shí)間, 放射照相控制單元115A將就在壓下X射線(xiàn)照射開(kāi)關(guān)之前切換元件 Tm-n從導(dǎo)通狀態(tài)更換到截止?fàn)顟B(tài)時(shí)的時(shí)間txsm供應(yīng)到X射線(xiàn)幀空閑 時(shí)間段測(cè)量單元117。對(duì)于每一柵配線(xiàn)Vgm, X射線(xiàn)幀空閑時(shí)間段測(cè) 量單元117存儲(chǔ)供應(yīng)的空閑操作的終止時(shí)間txsm,并且計(jì)算X射線(xiàn) 幀的空閑時(shí)間段Txim ( =txsm-tism)。作為X射線(xiàn)幀的累積開(kāi)始時(shí)間,放射照相控制單元115A將就在 壓下X射線(xiàn)照射開(kāi)關(guān)之前切換元件Tm-n從導(dǎo)通狀態(tài)更換到截止?fàn)顟B(tài) 時(shí)的時(shí)間txsm供應(yīng)到X射線(xiàn)幀累積時(shí)間段測(cè)量單元120。 X射線(xiàn)幀 累積時(shí)間段測(cè)量單元120將供應(yīng)的X射線(xiàn)幀的累積開(kāi)始時(shí)間txsm存 儲(chǔ)到內(nèi)部存儲(chǔ)器中。隨后,照射X射線(xiàn),在光電轉(zhuǎn)換元件Sm-n中執(zhí)行光電轉(zhuǎn)換,并 產(chǎn)生電荷。因而,放射照相控制單元115A順序地驅(qū)動(dòng)?xùn)排渚€(xiàn)Vgm, 放大器An讀出在光電轉(zhuǎn)換元件Sm-n中累積的電荷作為電壓信號(hào)。 讀出的電壓信號(hào)被A/D轉(zhuǎn)換,并被作為X射線(xiàn)圖像傳送到圖像處理 單元110A。作為X射線(xiàn)幀的讀取終止時(shí)間,放射照相控制單元115A 將當(dāng)切換元件Tm-n從導(dǎo)通狀態(tài)更換到截止?fàn)顟B(tài)時(shí)的時(shí)間txem供應(yīng) 給X射線(xiàn)幀累積時(shí)間段測(cè)量單元120。對(duì)于每一柵配線(xiàn)Vgm, X射線(xiàn) 幀累積時(shí)間段測(cè)量單元120存儲(chǔ)供應(yīng)的X射線(xiàn)幀的讀取終止時(shí)間 txem,并且計(jì)算X射線(xiàn)幀的累積時(shí)間段Txm ( - txem - txsm )。隨后,X射線(xiàn)幀累積電荷量的算術(shù)運(yùn)算單元118從暗電流響應(yīng)特 性存儲(chǔ)器119讀出X射線(xiàn)幀的空閑時(shí)間段Txim、累積時(shí)間段Txm和 每一柵配線(xiàn)的暗電流響應(yīng)特性,并計(jì)算和預(yù)測(cè)X射線(xiàn)幀的暗電流累積 電荷量。隨后,作為偏移幀的累積開(kāi)始時(shí)間,放射照相控制單元115A將 時(shí)間twsm供應(yīng)給偏移幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元124。對(duì)于每一柵配線(xiàn) Vgm,偏移幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元124存儲(chǔ)供應(yīng)的偏移幀的累積開(kāi)始 時(shí)間twsm,并且計(jì)算偏移幀的空閑時(shí)間段Twim ( = twsm - tism )。此外,偏移幀累積時(shí)間段的算術(shù)運(yùn)算單元116通過(guò)使用X射線(xiàn) 幀的暗電流累積電荷量、空閑時(shí)間段Twim和每一柵配線(xiàn)Vgm的暗 電流響應(yīng)特性來(lái)計(jì)算偏移幀的累積時(shí)間段Twm。偏移幀累積時(shí)間段 算術(shù)運(yùn)算單元116將計(jì)算的偏移幀的累積時(shí)間段Twm輸出到放射照 相控制單元115A。以與圖1至圖3中示出的示例類(lèi)似的方式,以下基于放射照相控 制單元115A的指令執(zhí)行偏移幀的讀取,在圖像處理單元110A中執(zhí) 行偏移校正等。在具有多個(gè)像素的面積傳感器的情況下,作為決定偏移幀的累積 時(shí)間段的方法,存在通過(guò)使用所有像素的均值來(lái)決定偏移幀的累積時(shí) 間段的方法、與在該實(shí)施例中 一樣針對(duì)每一柵配線(xiàn)來(lái)決定偏移幀的累 積時(shí)間段的方法、或者基于像素單位決定偏移幀的累積時(shí)間段的方法。由于光電轉(zhuǎn)換元件的暗電流響應(yīng)特性根據(jù)制造時(shí)的差異而對(duì)于每 一像素有所不同,所以理想情況是,基于像素單位決定偏移幀的累積時(shí)間段。通過(guò)這種方法,可非常好地使由于暗電流而導(dǎo)致的x射線(xiàn)幀的累積電荷量和偏移幀的累積電荷量相等。然而,由于還存在存儲(chǔ)器 容量、處理時(shí)間段和讀取時(shí)間段增加的情況,所以基于合適的單位控 制偏移幀的累積時(shí)間段是足夠的。 (第二實(shí)施例)現(xiàn)在將描述本發(fā)明的第二實(shí)施例。在前面的第一實(shí)施例中,在對(duì)x射線(xiàn)幀進(jìn)行放射照相(輻射拍攝)之后,對(duì)偏移幀進(jìn)行放射照相。 考慮以下情況也就是說(shuō),如果在對(duì)X射線(xiàn)幀進(jìn)行放射照相之后對(duì)偏 移幀進(jìn)行放射照相,則由于通過(guò)將光照射到光電轉(zhuǎn)換元件上而施加的 影響使得圖像遲延發(fā)生,圖像遲延分量被混合到偏移幀中,并且在偏 移校正之后獲得的圖像中偽像發(fā)生。因此,在第二實(shí)施例中,在對(duì)X射線(xiàn)幀進(jìn)行放射照相(輻射攝 影)之前對(duì)偏移幀進(jìn)行放射照相。從而,可在一定程度上防止由于X 射線(xiàn)幀的放射照相所引起的圖像遲延的影響施加于偏移幀上,并且可 在一定程度上防止偽像發(fā)生在完成偏移校正之后獲得的圖像中,并可 在不擴(kuò)大放射照相時(shí)間段的情況下獲得良好的圖像。圖6是第二實(shí)施例中的成像系統(tǒng)的示意性構(gòu)造圖。在圖6中,用 相同的標(biāo)號(hào)表示基本具有與圖1中示出的組成元件的功能相同的功能 的組成元件,這里省略其重疊的描述。此外,在圖6中,不包括用作 輻射產(chǎn)生裝置的X射線(xiàn)源101及其控制系統(tǒng)的構(gòu)造對(duì)應(yīng)于成像裝置。 成像系統(tǒng)由X射線(xiàn)源101、其控制系統(tǒng)和所述成像裝置構(gòu)成。該實(shí)施例中的成像系統(tǒng)的整個(gè)操作受控制單元114B控制??刂?單元114B對(duì)應(yīng)于第一實(shí)施例中的控制單元114A,雖然在內(nèi)部構(gòu)造中 存在不同的部分。放射照相控制單元115B對(duì)應(yīng)于第一實(shí)施例中的放 射照相控制單元115A。圖像處理單元110B對(duì)應(yīng)于第一實(shí)施例中的圖 像處理單元110A,關(guān)于偏移校正的處理操作與圖像處理單元110A的 操作處理不同。雖然將基于提供一個(gè)光電轉(zhuǎn)換元件104和一個(gè)切換元件105的假 設(shè)描述第二實(shí)施例,但是可以以一維或二維陣列形狀在絕緣基底上布 置多個(gè)光電轉(zhuǎn)換元件104和多個(gè)切換元件105。將描述第二實(shí)施例中的成像系統(tǒng)的偏移校正。以下將參考圖6 中示出的示意性構(gòu)造圖、圖7中示出的時(shí)序圖和圖8中示出的流程圖 與圖8中示出的流程圖 一起順序地描述從操作的開(kāi)始直到圖像顯示為 止的處理操作。首先,設(shè)置目標(biāo)102的位置和放射照相條件(S201)。在此之后, 開(kāi)始放射照相(S202 )。當(dāng)開(kāi)始放射照相時(shí),以與第一實(shí)施例類(lèi)似的 方式,驅(qū)動(dòng)電路109基于來(lái)自放射照相控制單元115B的指令分別將 電壓施加于偏壓配線(xiàn)Vs、柵配線(xiàn)Vg和讀取電路107的參考電源Vref。 當(dāng)將偏壓施加于光電轉(zhuǎn)換元件104時(shí)的空閑操作的開(kāi)始時(shí)間Us從放 射照相控制單元115B被供應(yīng)到X射線(xiàn)幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元117和 偏移幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元124,并被存儲(chǔ)(S203 )。當(dāng)偏壓被施加于光電轉(zhuǎn)換元件104時(shí),暗電流開(kāi)始在光電轉(zhuǎn)換元 件104中流動(dòng)。因此,在操作者113按下X射線(xiàn)照射開(kāi)關(guān)之前,電壓 被周期性地施加于柵配線(xiàn)Vg。因而,周期性地對(duì)暗電流的累積電荷 進(jìn)行重置,并可減小在偏移幀中累積的暗電流(散粒噪聲)。隨后,操作者113按下X射線(xiàn)照射開(kāi)關(guān)(S204)。因而,作為 空閑操作的終止時(shí)間,放射照相控制單元115B將就在按下X射線(xiàn)照 射開(kāi)關(guān)之前切換元件105截止時(shí)的時(shí)間tws供應(yīng)給偏移幀空閑時(shí)間段 測(cè)量單元124。此外,作為偏移幀的累積開(kāi)始時(shí)間,放射控制單元115B 將時(shí)間tws供應(yīng)給偏移幀累積時(shí)間段的測(cè)量單元126。偏移幀空閑時(shí) 間段測(cè)量單元124存儲(chǔ)供應(yīng)的空閑操作的終止時(shí)間tws,偏移幀累積 時(shí)間段測(cè)量單元126存儲(chǔ)供應(yīng)的偏移幀的累積開(kāi)始時(shí)間tws(S205)。偏移幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元124基于空閑操作的開(kāi)始時(shí)間tis和 偏移幀的累積開(kāi)始時(shí)間tws來(lái)計(jì)算偏移幀的空閑時(shí)間段Twi ( =tws -tis),并輸出。在此之后,在過(guò)去任意累積時(shí)間段之后,電壓被施加于柵配線(xiàn)Vg,切換元件105導(dǎo)通,并且開(kāi)始偏移幀的讀取(S206)。當(dāng)切換元 件105截止并且偏移幀的讀取終止時(shí),作為偏移幀的讀取終止時(shí)間, 放射照相控制單元115B將當(dāng)讀取終止時(shí)的時(shí)間twe供應(yīng)給偏移幀累 積時(shí)間段測(cè)量單元126 (S207)。偏移幀累積時(shí)間段測(cè)量單元126存儲(chǔ)供應(yīng)的偏移幀的讀取終止 時(shí)間twe。偏移幀累積時(shí)間段測(cè)量單元126基于偏移幀的累積開(kāi)始時(shí) 間tws和當(dāng)讀取終止時(shí)的時(shí)間twe來(lái)計(jì)算偏移幀的累積時(shí)間段Tw( -twe-tws),并輸出。由偏移幀的讀取操作讀出的數(shù)據(jù)被作為偏移數(shù) 據(jù)存儲(chǔ)。偏移幀累積電荷量的算術(shù)運(yùn)算單元127基于偏移幀的空閑時(shí)間 段Twi和累積時(shí)間段Tw以及存儲(chǔ)在暗電流響應(yīng)特性存儲(chǔ)器119中的 暗電流響應(yīng)特性來(lái)計(jì)算偏移幀的暗電流累積電荷量Qw。作為X射線(xiàn)幀的累積開(kāi)始時(shí)間,放射照相控制單元115B將當(dāng)切 換元件105截止并且偏移幀的讀取終止時(shí)的時(shí)間txs供應(yīng)給X射線(xiàn)幀 空閑時(shí)間段測(cè)量單元117和X射線(xiàn)幀累積時(shí)間段測(cè)量單元120。 X射 線(xiàn)幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元117存儲(chǔ)供應(yīng)的X射線(xiàn)幀的累積開(kāi)始時(shí)間 txs,并基于空閑操作的開(kāi)始時(shí)間tis和X射線(xiàn)幀的累積開(kāi)始時(shí)間txs 來(lái)計(jì)算X射線(xiàn)幀的空閑時(shí)間段Txi ( =txs-tis),并輸出。X射線(xiàn)幀 累積時(shí)間段測(cè)量單元120存儲(chǔ)供應(yīng)的X射線(xiàn)幀的累積開(kāi)始時(shí)間txs。 X射線(xiàn)幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元117對(duì)應(yīng)于第一時(shí)間段測(cè)量單元。X射 線(xiàn)幀累積時(shí)間段測(cè)量單元120對(duì)應(yīng)于第二時(shí)間段測(cè)量單元。在偏移幀的讀取終止之后,照射X射線(xiàn),并開(kāi)始X射線(xiàn)幀的讀 取(S208, S209)。當(dāng)讀取X射線(xiàn)幀時(shí),從光電轉(zhuǎn)換元件104輸出的 電荷的量等于根據(jù)暗電流響應(yīng)特性通過(guò)暗電流累積的電荷的暗電流 累積電荷量Qwx和通過(guò)由于X射線(xiàn)的照射而引起的光電轉(zhuǎn)換而獲得 的電荷的X射線(xiàn)電荷量Qx之和。當(dāng)X射線(xiàn)幀的讀取終止時(shí),作為X射線(xiàn)幀的讀取終止時(shí)間,放 射照相控制單元115B將當(dāng)讀取終止時(shí)的時(shí)間txe供應(yīng)給X射線(xiàn)幀累 積時(shí)間段測(cè)量單元120 (S210) 。 X射線(xiàn)幀累積時(shí)間段測(cè)量單元120存儲(chǔ)供應(yīng)的X射線(xiàn)幀的讀取終止時(shí)間txe。 X射線(xiàn)幀累積時(shí)間段測(cè)量 單元120基于X射線(xiàn)幀的累積開(kāi)始時(shí)間txs和讀取終止時(shí)間txe來(lái)計(jì) 算X射線(xiàn)幀的累積時(shí)間段Tx,并輸出。此外,X射線(xiàn)幀累積電荷量的算術(shù)運(yùn)算單元118根據(jù)方程(1) 通過(guò)使用X射線(xiàn)幀的空閑時(shí)間段Txi和累積時(shí)間段Tx以及存儲(chǔ)在暗 電流響應(yīng)特性存儲(chǔ)器119中的暗電流響應(yīng)特性來(lái)計(jì)算X射線(xiàn)幀的暗電 流累積電荷量Qwx。隨后,圖像處理單元110B通過(guò)使用偏移幀的暗電流累積電荷量 Qw和X射線(xiàn)幀的暗電流累積電荷量Qwx來(lái)將作為偏移數(shù)據(jù)的偏移 圖像與(Qwx/Qw)相乘,從而進(jìn)行關(guān)于暗電流分量的校正。圖像處 理單元110B通過(guò)使用暗電流校正的偏移校正數(shù)據(jù)來(lái)進(jìn)行X射線(xiàn)圖像 的偏移校正,隨后執(zhí)行必要的各種類(lèi)型的圖像處理,諸如增益校正等 (S211),從而允許將校正的圖像顯示到顯示器121上(S212)。如上所述,也可通過(guò)圖像處理使暗電流累積電荷均衡。即使就在 將偏壓施加于光電轉(zhuǎn)換元件104之后,也可進(jìn)行適當(dāng)?shù)母鶕?jù)暗電流響 應(yīng)特性的偏移校正,而不擴(kuò)大裝置的尺寸,并可執(zhí)行良好的放射照相。雖然在第二實(shí)施例中基于暗電流累積電荷量來(lái)進(jìn)行偏移校正,所 述暗電流累積電荷量通過(guò)對(duì)通過(guò)放射照相而獲得的偏移數(shù)據(jù)進(jìn)行算 術(shù)運(yùn)算而獲得,但是本發(fā)明不限于這樣的方法。例如,也可通過(guò)根據(jù) 這樣的計(jì)算形成偏移校正數(shù)據(jù)來(lái)進(jìn)行偏移校正,所述計(jì)算基于從工廠(chǎng) 裝運(yùn)時(shí)測(cè)量的空閑時(shí)間段、累積時(shí)間段和暗電流響應(yīng)特性等。還可交替地重復(fù)如上所述的偏移幀的放射照相和X射線(xiàn)幀的放 射照相(輻射攝影)來(lái)執(zhí)行連續(xù)的運(yùn)動(dòng)圖像放射照相。此外,可通過(guò)按以下順序執(zhí)行放射照相并通過(guò)對(duì)X射線(xiàn)幀之前 和之后的偏移幀進(jìn)行平均而獲得的偏移幀進(jìn)行偏移校正來(lái)減小散粒 噪聲,其中所述順序即偏移幀放射照相—X射線(xiàn)幀放射照相—偏移 幀放射照相。在這種情形下,除了第二實(shí)施例之外,還應(yīng)用第一實(shí)施 例的方法,對(duì)在X射線(xiàn)幀放射照相之后執(zhí)行的偏移幀放射照相時(shí)的累 積時(shí)間段進(jìn)行調(diào)整,并且使X射線(xiàn)幀的暗電流累積電荷量以及X射線(xiàn)幀之前和之后的偏移幀的暗電流累積電荷量中的每個(gè)均衡,從而能 夠減少偽像。(第三實(shí)施例)現(xiàn)在將描述本發(fā)明的第三實(shí)施例。已關(guān)于執(zhí)行一個(gè)X射線(xiàn)幀的放射照相和一個(gè)偏移幀的放射照相的情況對(duì)第一和第二實(shí)施例進(jìn)行 了描述。在以下將描述的第三實(shí)施例中,通過(guò)連續(xù)地對(duì)x射線(xiàn)幀進(jìn)行 放射照相,能夠?qū)崿F(xiàn)運(yùn)動(dòng)圖像放射照相。由于第三實(shí)施例中的成像系統(tǒng)的構(gòu)造與第二實(shí)施例中的成像系 統(tǒng)的構(gòu)造類(lèi)似,所以省略其描述。將描述第三實(shí)施例中的成像系統(tǒng)中的偏移校正。以下將參考圖9 中示出的時(shí)序圖和圖10中示出的流程圖與圖10中示出的流程圖的流 程一起描述操作。從操作的開(kāi)始直到偏移幀的讀取的終止為止的步驟S301至S307 中的操作與第二實(shí)施例中的步驟S201至S207中的操作類(lèi)似。在步驟S307中,作為作為第一幀的第一X射線(xiàn)幀的累積開(kāi)始時(shí) 間,將當(dāng)偏移幀的讀取終止時(shí)的時(shí)間txsl供應(yīng)給X射線(xiàn)幀空閑時(shí)間 段測(cè)量單元117和X射線(xiàn)幀累積時(shí)間段測(cè)量單元120。 X射線(xiàn)幀空閑 時(shí)間段測(cè)量單元117存儲(chǔ)供應(yīng)的第一X射線(xiàn)幀的累積開(kāi)始時(shí)間txsl。 X射線(xiàn)幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元117基于第一X射線(xiàn)幀的空閑操作的開(kāi) 始時(shí)間tis和累積開(kāi)始時(shí)間txsl來(lái)計(jì)算第一 X射線(xiàn)幀的空閑時(shí)間段 Txil ( -txsl-tis),并輸出。X射線(xiàn)幀累積時(shí)間段測(cè)量單元120存 儲(chǔ)供應(yīng)的第一 X射線(xiàn)幀的累積開(kāi)始時(shí)間txsl。在偏移幀的讀取終止之后,在第一時(shí)間照射X射線(xiàn),并開(kāi)始第 一 X射線(xiàn)幀的讀取(S308, S309)。當(dāng)讀取第一X射線(xiàn)幀時(shí),從光 電轉(zhuǎn)換元件104輸出的電荷的量等于根據(jù)暗電流響應(yīng)特性通過(guò)暗電流 累積的電荷的暗電流累積電荷量Qwxl和通過(guò)X射線(xiàn)照射而引起的光 電轉(zhuǎn)換而獲得的X射線(xiàn)電荷量Qxl之和。當(dāng)?shù)谝籜射線(xiàn)幀的讀取終止時(shí),作為第一X射線(xiàn)幀的讀取終止 時(shí)間,放射照相控制單元115B將當(dāng)讀取終止時(shí)的時(shí)間txel供應(yīng)給X射線(xiàn)幀累積時(shí)間段測(cè)量單元120 (S310) 。 X射線(xiàn)幀累積時(shí)間段測(cè)量 單元120存儲(chǔ)供應(yīng)的第一X射線(xiàn)幀的讀取終止時(shí)間txel。 X射線(xiàn)幀累 積時(shí)間段測(cè)量單元120基于第一 X射線(xiàn)幀的累積開(kāi)始時(shí)間txsl和讀 取終止時(shí)間txel來(lái)計(jì)算第一X射線(xiàn)幀的累積時(shí)間段Txl,并輸出。此外,X射線(xiàn)幀累積電荷量的算術(shù)運(yùn)算單元118根據(jù)方程(1) 通過(guò)使用X射線(xiàn)幀的空閑時(shí)間段Txil和累積時(shí)間段Txl以及存儲(chǔ)在 暗電流響應(yīng)特性存儲(chǔ)器119中的暗電流響應(yīng)特性來(lái)計(jì)算第一X射線(xiàn)幀 的暗電流累積電荷量Qwxl。隨后,圖像處理單元110B通過(guò)使用偏移幀的暗電流累積電荷量 Qw和第一 X射線(xiàn)幀的暗電流累積電荷量Qwxl來(lái)將偏移圖像與 (Qwxl/Qw)相乘,從而進(jìn)行關(guān)于暗電流分量的校正。圖像處理單元 110B通過(guò)使用暗電流校正的偏移校正數(shù)據(jù)來(lái)進(jìn)行第一幀的X射線(xiàn)圖 像的偏移校正,隨后執(zhí)行必要的各種類(lèi)型的圖像處理,諸如增益校正 等(S311),從而允許將校正的圖像顯示到顯示器121上(S312)。在步驟S310中,放射照相控制單元115B將作為第二幀的第二X 射線(xiàn)幀的累積開(kāi)始時(shí)間txs2供應(yīng)給X射線(xiàn)幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元117 和X射線(xiàn)幀累積時(shí)間段測(cè)量單元120。 X射線(xiàn)幀空閑時(shí)間段測(cè)量單元 117存儲(chǔ)供應(yīng)的第二X射線(xiàn)幀的累積開(kāi)始時(shí)間txs2。 X射線(xiàn)幀空閑時(shí) 間段測(cè)量單元117計(jì)算第二 X射線(xiàn)幀的空閑時(shí)間段Txi2 ( -txs2-tis),并輸出。X射線(xiàn)幀累積時(shí)間段測(cè)量單元120存儲(chǔ)供應(yīng)的第二X 射線(xiàn)幀的累積開(kāi)始時(shí)間txs2。在該實(shí)施例中,在X射線(xiàn)幀的讀取終止之后,連續(xù)地執(zhí)行下一X 射線(xiàn)幀的放射照相。因此,作為第n幀的X射線(xiàn)幀的讀取終止時(shí)間txen 變?yōu)樽鳛橄乱?(n+l)幀的X射線(xiàn)幀的累積開(kāi)始時(shí)間txs(n+l)。在將校正的圖像顯示到顯示器121上之后,控制單元114B將放 射照相的幀的號(hào)碼n的值增加"l" (S313),并辨別是否已終止放射 照相(S314)。重復(fù)步驟S308至S314中的操作,直到確定放射照相的終止為 止。在更新時(shí)間的同時(shí),按第二幀、第三幀......的順序執(zhí)行X射線(xiàn)幀的放射照相。對(duì)于每一幀,X射線(xiàn)幀累積電荷量的算術(shù)運(yùn)算單元118 計(jì)算第n幀的X射線(xiàn)幀的暗電流累積電荷量Qwxn。圖像處理單元 110B將偏移圖像與(Qwxn/Qw)相乘,從而進(jìn)行關(guān)于首先對(duì)其進(jìn)行 放射照相的偏移幀的暗電流分量的校正,并通過(guò)使用校正的偏移校正 數(shù)據(jù)來(lái)進(jìn)行X射線(xiàn)圖像的偏移校正。以這種方式,圖像處理單元110B 連續(xù)地執(zhí)行X射線(xiàn)幀的放射照相,并執(zhí)行運(yùn)動(dòng)圖像的放射照相。 (本發(fā)明的其它實(shí)施例)本發(fā)明還合并了這樣的示例,在該示例中,為了使各種類(lèi)型的設(shè) 備操作以實(shí)現(xiàn)上述實(shí)施例的功能,將實(shí)現(xiàn)前述實(shí)施例的功能的軟件程 序供應(yīng)給連接至各種設(shè)備的系統(tǒng)或裝置中的計(jì)算機(jī)(CPU或MPU ), 并且根據(jù)存儲(chǔ)在所述系統(tǒng)或裝置的計(jì)算機(jī)中的程序來(lái)使各種設(shè)備操 作,從而實(shí)施這些功能。在這樣的情況下,軟件的程序自身實(shí)現(xiàn)前述 實(shí)施例的功能,這些程序自身構(gòu)成本發(fā)明。用于將所述程序供應(yīng)給計(jì) 算機(jī)的單元(例如,已存儲(chǔ)這樣的程序的存儲(chǔ)介質(zhì))構(gòu)成本發(fā)明。作 為用于存儲(chǔ)所述程序的存儲(chǔ)介質(zhì),例如,軟盤(pán)、硬盤(pán)、光盤(pán)、磁光盤(pán)、 CD-ROM、磁帶、非易失性存儲(chǔ)卡、ROM等可被使用。自然,即使 在供應(yīng)的程序與在計(jì)算機(jī)中操作的操作系統(tǒng)、其它應(yīng)用程序軟件等協(xié) 作實(shí)現(xiàn)前述實(shí)施例的功能的情況下,這樣的程序也被合并在本發(fā)明的 實(shí)施例中。此外,自然地,本發(fā)明還合并了這樣的情況,即,供應(yīng)的 程序被存儲(chǔ)在為關(guān)于計(jì)算機(jī)的功能擴(kuò)展板或功能擴(kuò)展單元而配備的 存儲(chǔ)器中,其后,為功能擴(kuò)展板、功能擴(kuò)展單元等配備的CPU等基 于所述程序的指令來(lái)執(zhí)行實(shí)際過(guò)程中的部分過(guò)程或所有過(guò)程。自然, 通過(guò)這些過(guò)程實(shí)現(xiàn)前述實(shí)施例的功能的情況也合并在本發(fā)明中。例 如,本發(fā)明還合并了這樣的情況,即,通過(guò)具有CPU、 ROM和RAM 的計(jì)算機(jī)的功能實(shí)現(xiàn)控制單元114A (114B)和圖像處理單元110A (110B),預(yù)先將用于執(zhí)行如上所述的處理操作的處理程序存儲(chǔ)在 ROM中,并且CPU從ROM讀出該處理程序并執(zhí)行該處理程序,從 而進(jìn)行控制用于實(shí)現(xiàn)前述的處理操作。前述的實(shí)施例僅僅是用于實(shí)施本發(fā)明的特定示例。不能通過(guò)這些示例對(duì)本發(fā)明的技術(shù)范圍進(jìn)行限制性解釋。也就是說(shuō),在不脫離本發(fā) 明的技術(shù)概念或其原理特征的情況下,可以以各種形式實(shí)施本發(fā)明。盡管已參考示例性實(shí)施例描述了本發(fā)明,但是應(yīng)理解,本發(fā)明不 限于所公開(kāi)的示例性實(shí)施例。應(yīng)該給予權(quán)利要求的范圍以最寬的解 釋?zhuān)园ㄋ羞@樣的修改以及等同結(jié)構(gòu)和功能。
權(quán)利要求
1、一種成像裝置,包括檢測(cè)單元,包括在基底上按陣列布置的多個(gè)轉(zhuǎn)換元件,這些轉(zhuǎn)換元件用于將入射輻射或入射光轉(zhuǎn)換為電信號(hào),以得到基于該電信號(hào)的圖像;存儲(chǔ)器單元,用于存儲(chǔ)基于在將偏壓施加于轉(zhuǎn)換元件之后的時(shí)間的檢測(cè)單元的暗電流響應(yīng)特性;第一時(shí)間段測(cè)量單元,用于測(cè)量第一時(shí)間段,第一時(shí)間段從偏壓到轉(zhuǎn)換元件的施加直到用于得到所述圖像的轉(zhuǎn)換元件的累積的開(kāi)始為止;第二時(shí)間段測(cè)量單元,用于測(cè)量第二時(shí)間段,第二時(shí)間段從累積的開(kāi)始直到累積的結(jié)束為止;累積電荷量算術(shù)運(yùn)算單元,用于基于暗電流響應(yīng)特性以及第一和第二時(shí)間段來(lái)計(jì)算包括在累積中的暗電流累積電荷量;和圖像處理單元,基于暗電流累積電荷量進(jìn)行得到的圖像的偏移校正。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的成像裝置,還包括 累積時(shí)間段算術(shù)運(yùn)算單元,用于基于暗電流響應(yīng)特性、第一和第二時(shí)間段以及暗電流累積電荷量來(lái)計(jì)算用于從檢測(cè)單元得到暗電流累積電荷量的第三時(shí)間段;和控制單元,根據(jù)第三時(shí)間段控制檢測(cè)單元,其中, 圖像處理單元基于從由控制單元根據(jù)第三時(shí)間段控制的檢測(cè)單元得到的偏移校正數(shù)據(jù)來(lái)進(jìn)行所述圖像的偏移校正。
3、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的成像裝置,其中, 圖像處理單元基于通過(guò)對(duì)偏移數(shù)據(jù)的算術(shù)運(yùn)算處理得到的偏移校正數(shù)據(jù)進(jìn)行所述圖像的偏移校正,其中預(yù)先根據(jù)從暗電流響應(yīng)特性 以及第 一和第二時(shí)間段計(jì)算的放射照相的暗電流累積電荷量得到所 述偏移數(shù)據(jù)。
4、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的成像裝置,其中, 通過(guò)作為指數(shù)函數(shù)的逼近法來(lái)計(jì)算所述暗電流響應(yīng)特性。
5、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的成像裝置,其中, 所述轉(zhuǎn)換元件由作為主組分材料的非晶硅形成。
6、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的成像裝置,其中, 所述轉(zhuǎn)換元件包括波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換器和光電轉(zhuǎn)換元件,所述波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換器用于將入射輻射轉(zhuǎn)換為光,所述光電轉(zhuǎn)換元件用于將所述光轉(zhuǎn)換為電 信號(hào)。
7、 一種成像系統(tǒng),包括 根據(jù)權(quán)利要求1所述的成像裝置;和 輻射產(chǎn)生裝置,用于產(chǎn)生輻射。
8、 一種成像裝置的控制方法,所述成像裝置包括 檢測(cè)單元,包括在基底上按陣列布置的多個(gè)轉(zhuǎn)換元件,這些轉(zhuǎn)換元件用于將入射輻射或入射光轉(zhuǎn)換為電信號(hào),以得到基于該電信號(hào)的 圖像;和存儲(chǔ)器單元,用于存儲(chǔ)基于在將偏壓施加于轉(zhuǎn)換元件之后的時(shí)間 的檢測(cè)單元的暗電流響應(yīng)特性, 所述方法包括以下步驟測(cè)量第一時(shí)間段,第一時(shí)間段從偏壓到轉(zhuǎn)換元件的施加直到用于 得到所述圖像的轉(zhuǎn)換元件的累積的開(kāi)始為止;測(cè)量第二時(shí)間段,第二時(shí)間段從累積的開(kāi)始直到累積的結(jié)束為止;基于暗電流響應(yīng)特性以及第一和第二時(shí)間段來(lái)計(jì)算包括在累積 中的暗電流累積電荷量;和基于計(jì)算的暗電流累積電荷量進(jìn)行得到的圖像的偏移校正。
9、 一種用于存儲(chǔ)成像裝置的控制方法的程序的存儲(chǔ)介質(zhì),所述 成像裝置包括檢測(cè)單元,包括在基底上按陣列布置的多個(gè)轉(zhuǎn)換元件,這些轉(zhuǎn)換 元件用于將入射輻射或入射光轉(zhuǎn)換為電信號(hào),以得到基于該電信號(hào)的圖像;和存儲(chǔ)器單元,用于存儲(chǔ)基于在將偏壓施加于轉(zhuǎn)換元件之后的時(shí)間 的檢測(cè)單元的暗電流響應(yīng)特性,其中,通過(guò)計(jì)算機(jī),所述程序執(zhí)行以下步驟測(cè)量第一時(shí)間段,第一時(shí)間段從偏壓到轉(zhuǎn)換元件的施加直到用于 得到所述圖像的轉(zhuǎn)換元件的累積的開(kāi)始為止;測(cè)量第二時(shí)間段,第二時(shí)間段從累積的開(kāi)始直到累積的結(jié)束為止;基于暗電流響應(yīng)特性以及第 一和第二時(shí)間段來(lái)計(jì)算包括在累積 中的暗電流累積電荷量;和基于計(jì)算的暗電流累積電荷量進(jìn)行得到的圖像的偏移校正。
全文摘要
一種成像裝置、成像系統(tǒng)、其控制方法和其程序的存儲(chǔ)介質(zhì)。測(cè)量將偏壓施加于轉(zhuǎn)換元件之后直到用于得到圖像的轉(zhuǎn)換元件的累積的開(kāi)始為止的空閑時(shí)間段和從累積的開(kāi)始到累積的終止的累積時(shí)間段。通過(guò)使用基于測(cè)量的空閑時(shí)間段和累積時(shí)間段以及存儲(chǔ)的暗電流響應(yīng)特性計(jì)算的累積中的暗電流累積電荷量來(lái)進(jìn)行圖像的偏移校正。因而,即使剛在將偏壓施加于轉(zhuǎn)換元件之后,也可正確地進(jìn)行偏移校正。提供一種成像裝置,即使剛在將偏壓施加于轉(zhuǎn)換元件之后,該成像裝置也可執(zhí)行良好的放射照相,而不增加成本和尺寸。
文檔編號(hào)H04N5/361GK101282427SQ200810090078
公開(kāi)日2008年10月8日 申請(qǐng)日期2008年4月2日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月6日
發(fā)明者八木朋之, 橫山啟吾, 竹中克郎, 遠(yuǎn)藤忠夫, 龜島登志男 申請(qǐng)人:佳能株式會(huì)社
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