靜電電容元件和諧振電路的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明的電容元件（可變電容元件1）包括：包括介電層的電容元件主體2，以及由插入在其間的介電層形成的至少一對(duì)內(nèi)部電極10；以及外部端子3、4，形成在電容元件主體2的側(cè)表面上，并且電連接到內(nèi)部電極10。此外，該電容元件被配置為使得由于在介電層5與內(nèi)部電極的線性膨脹系數(shù)之間的差異而產(chǎn)生的應(yīng)力集中在利用介電層5和其間插入介電層5的一對(duì)內(nèi)部電極10配置的電容器C的中心。
【專利說明】靜電電容元件和諧振電路
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及靜電電容元件和包括靜電電容元件的諧振電路。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，隨著電子裝置在尺寸上的減小并且變得更可靠，已經(jīng)出現(xiàn)開發(fā)被小型化為用于電子設(shè)備的電子部件的電容元件的需求。此外，已經(jīng)提出了其中介電層和內(nèi)部電極交替堆疊以減小電容元件的尺寸并且增加電容元件的電容的靜電電容元件。
[0003]同時(shí)，本申請(qǐng)的發(fā)明人提出通過在烘烤時(shí)出現(xiàn)的殘余應(yīng)力來改善電氣特性的技術(shù),其通過在形成靜電電容的電容元件主體中形成無關(guān)的內(nèi)部電極作為通過堆疊多個(gè)內(nèi)部電極所形成的電容元件中的應(yīng)力控制單元(專利文獻(xiàn)I)。在專利文獻(xiàn)I中公開的技術(shù)中，由于應(yīng)力控制單元通過在電容元件主體的上方和下方堆疊內(nèi)部電極來形成，因此當(dāng)電容元件被烘烤時(shí)，可以具有由介電層的收縮而引起的內(nèi)部應(yīng)力以出現(xiàn)在電容元件主體的介電層中。因此，可以提高電容元件主體的介電層的相對(duì)介電常數(shù)。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:TO2011/013658
【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]發(fā)明要解決的技術(shù)問題
[0008]如上所述，在通過堆疊內(nèi)部電極形成的電容元件中，可以使用出現(xiàn)在烘烤時(shí)的殘余應(yīng)力提高介電層常數(shù)并增加靜電電容。由于該原因，當(dāng)可以進(jìn)一步提高殘余應(yīng)力時(shí)，靜電電容元件可被進(jìn)一步小型化。
[0009]鑒于上述，本公開的目的是改善在靜電電容元件中的電氣特性。另一個(gè)目的是使用靜電電容元件提供具有高可靠性的諧振電路。
[0010]問題的解決方案
[0011]本公開的靜電電容元件包括:介電層；電容元件主體，被配置為包括利用插入在其間的介電層形成的至少一對(duì)內(nèi)部電極；以及外部端子，被配置為形成在電容元件主體的側(cè)表面上,并且電連接到內(nèi)部電極。此外，由于介電層和內(nèi)部電極之間的線性膨脹系數(shù)中的差異而出現(xiàn)的應(yīng)力集中在利用介電層和其間插入介電層的內(nèi)部電極對(duì)配置的電容器的中心。
[0012]在本公開的靜電電容元件中，由于應(yīng)力(殘余的)出現(xiàn)為集中于電容器的中心，因此增加了每單位容積的靜電電容。
[0013]本公開的諧振電路包括被配置為包括靜電電容元件的諧振電容器和連接到諧振電容器的諧振線圈。
[0014]發(fā)明的有益效果
[0015]根據(jù)本公開，在靜電電容元件中的殘余應(yīng)力增加了，并且因此改善了電氣特性。【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1A是示出根據(jù)本公開的第一種實(shí)施方式的可變電容元件的透視圖，以及圖1B是示出可變電容元件的橫截面結(jié)構(gòu)。
[0017]圖2是示出配置根據(jù)本公開的第一種實(shí)施方式的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0018]圖3是示出當(dāng)從上方觀察內(nèi)側(cè)時(shí)形成于根據(jù)本公開的第一種實(shí)施方式的可變電容元件中的兩個(gè)內(nèi)部電極的平面視圖。
[0019]圖4是示出根據(jù)第一比較實(shí)例的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0020]圖5是示出根據(jù)第二比較實(shí)例的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0021]圖6是示出配置根據(jù)變形實(shí)例1-1的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0022]圖7是示出配置根據(jù)變形實(shí)例1-2的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0023]圖8是示出配置根據(jù)變形實(shí)例1-3的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0024]圖9是示出配置根據(jù)變形實(shí)例1-4的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0025]圖10是示出配置根據(jù)本公開的第二種實(shí)施方式的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0026]圖11是示出配置根據(jù)變形實(shí)例2-1的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0027]圖12是示出配置根據(jù)變形實(shí)例2-2的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0028]圖13是示出配置根據(jù)本公開的第三種實(shí)施方式的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0029]圖14是示出配置根據(jù)變形實(shí)例3-1的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0030]圖15是示出配置根據(jù)變形實(shí)例3-2的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0031]圖16是示出配置根據(jù)變形實(shí)例3-3的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0032]圖17是根據(jù)本公開的第四種實(shí)施方式的可變電容元件的外觀的透視圖。
[0033]圖18是根據(jù)變形實(shí)例4-1的可變電容元件的外觀的透視圖。
[0034]圖19是配置根據(jù)變形實(shí)例4-2的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0035]圖20是示出配置根據(jù)變形實(shí)例4-3的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0036]圖21是示出配置根據(jù)變形實(shí)例4-4的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0037]圖22是示出配置根據(jù)變形實(shí)例4-5的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0038]圖23是示出配置根據(jù)變形實(shí)例4-6的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0039]圖24是示出配置根據(jù)變形實(shí)例4-7的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0040]圖25是示出配置根據(jù)變形實(shí)例4-8的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。[0041]圖26是示出配置根據(jù)本公開的第五種實(shí)施方式的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0042]圖27是示出配置根據(jù)變形實(shí)例5-1的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0043]圖28是示出當(dāng)從上方觀察內(nèi)側(cè)時(shí)根據(jù)變形實(shí)例5-1的可變電容元件的兩個(gè)內(nèi)部電極的平面視圖。
[0044]圖29是示出配置根據(jù)變形實(shí)例5-2的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0045]圖30是示出配置根據(jù)變形實(shí)例5-3的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0046]圖31是示出根據(jù)本公開的第六種實(shí)施方式的可變電容元件的外觀的透視圖。
[0047]圖32是示出配置根據(jù)本公開的第六種實(shí)施方式的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0048]圖33是示出當(dāng)從上方觀察內(nèi)側(cè)時(shí)根據(jù)本公開的第六種實(shí)施方式的可變電容元件的示圖。
[0049]圖34是示出配置根據(jù)變形實(shí)例6-1的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0050]圖35是示出配置根據(jù)變形實(shí)例6-2的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0051]圖36A是示出根據(jù)本公開的第七種實(shí)施方式的可變電容元件的示意性透視圖，以及圖36B是示出可變電容元件的橫截面結(jié)構(gòu)視圖。
[0052]圖37是示出當(dāng)從長(zhǎng)邊方向中的一側(cè)觀察時(shí)的根據(jù)第七種實(shí)施方式的可變電容元件主體的分解視圖。
[0053]圖38A是示出當(dāng)從上方觀察時(shí)的第一內(nèi)部電極88的平面結(jié)構(gòu)視圖，以及圖38B是示出當(dāng)從一側(cè)觀察時(shí)的第一內(nèi)部電極88的結(jié)構(gòu)視圖。
[0054]圖39A是示出當(dāng)從上方觀察時(shí)的第二內(nèi)部電極89的平面結(jié)構(gòu)視圖，以及圖39B是示出當(dāng)從一側(cè)觀察時(shí)的第二內(nèi)部電極89的結(jié)構(gòu)視圖。
[0055]圖40A是示出當(dāng)從上方觀察時(shí)的第四內(nèi)部電極91的平面結(jié)構(gòu)視圖，以及圖40B是示出當(dāng)從一側(cè)觀察時(shí)的第四內(nèi)部電極91的結(jié)構(gòu)視圖。
[0056]圖41是示出其中集成了根據(jù)第七種實(shí)施方式的可變電容元件的電壓控制電路的電路配置視圖。
[0057]圖42是示出當(dāng)從長(zhǎng)邊方向中的一側(cè)觀察時(shí)的根據(jù)變形實(shí)例7-1的可變電容元件的可變電容元件主體的分解視圖。
[0058]圖43是示出當(dāng)從長(zhǎng)邊方向中的一側(cè)觀察時(shí)的根據(jù)變形實(shí)例7-2的可變電容元件的可變電容元件主體的分解視圖。
[0059]圖44A是示出根據(jù)本公開的第八種實(shí)施方式的可變電容元件的示意性透視圖，以及圖44B是可變電容元件的橫截面結(jié)構(gòu)視圖。
[0060]圖45是示出當(dāng)從長(zhǎng)邊方向中的一側(cè)觀察時(shí)的根據(jù)本公開的第八種實(shí)施方式的可變電容元件的分解視圖。[0061]圖46A是示出當(dāng)從上方觀察時(shí)的第一內(nèi)部電極123的平面結(jié)構(gòu)視圖，以及圖46B是示出當(dāng)從一側(cè)觀察時(shí)的第一內(nèi)部電極123的結(jié)構(gòu)視圖。
[0062]圖47A是示出當(dāng)從上方觀察時(shí)的第二內(nèi)部電極124的平面結(jié)構(gòu)視圖，以及圖47B是示出當(dāng)從一側(cè)觀察時(shí)的第二內(nèi)部電極124的結(jié)構(gòu)視圖。
[0063]圖48A是示出當(dāng)從上方觀察時(shí)的第四內(nèi)部電極126的平面結(jié)構(gòu)視圖，以及圖48B是示出當(dāng)從一側(cè)觀察時(shí)的第四內(nèi)部電極126的結(jié)構(gòu)視圖。
[0064]圖49是示出當(dāng)從上方觀察時(shí)的根據(jù)本公開的第八種實(shí)施方式的可變電容元件的第一內(nèi)部電極至第六內(nèi)部電極的結(jié)構(gòu)視圖。
[0065]圖50是示出其中集成了根據(jù)第八種實(shí)施方式的可變電容元件的電壓控制電路的電路配置視圖。
[0066]圖51是示出當(dāng)從長(zhǎng)邊方向中的一側(cè)觀察時(shí)的根據(jù)變形實(shí)例8-1的可變電容元件的可變電容元件主體的分解視圖。
[0067]圖52A是示出根據(jù)本公開的第九種實(shí)施方式的可變電容元件的示意性透視圖，以及圖52B是可變電容元件的橫截面結(jié)構(gòu)視圖。
[0068]圖53是示出當(dāng)從長(zhǎng)邊方向中的一側(cè)觀察時(shí)的根據(jù)本公開的第九實(shí)施方式的可變電容元件主體的分解視圖。
[0069]圖54A是示出當(dāng)從頂部觀察時(shí)的第一內(nèi)部電極144的平面結(jié)構(gòu)視圖，以及圖54B是示出當(dāng)從一側(cè)觀察時(shí)的第一內(nèi)部電極144的結(jié)構(gòu)視圖。
[0070]圖55是示出當(dāng)從上方觀察內(nèi)側(cè)時(shí)的根據(jù)本公開的第九種實(shí)施方式的可變電容元件的第一內(nèi)部電極至第六內(nèi)部電極的結(jié)構(gòu)視圖。
[0071]圖56是示出其中集成了根據(jù)第九種實(shí)施方式的可變電容元件的電壓控制電路的電路結(jié)構(gòu)視圖。
[0072]圖57是示出當(dāng)從長(zhǎng)邊方向中的一側(cè)觀察時(shí)的根據(jù)變形實(shí)例9-1的可變電容元件的可變電容元件主體的分解視圖。
[0073]圖58是示出使用根據(jù)本公開的第十種實(shí)施方式的諧振電路的非接觸IC卡的接收系統(tǒng)電路單元的方框結(jié)構(gòu)視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0074]在下文中，將參照附圖描述根據(jù)本公開的實(shí)施方式的示例性靜電電容元件和具有示例性靜電電容元件的示例性諧振電路。將按照下列順序描述本公開的實(shí)施方式。此外，將結(jié)合其中電容值根據(jù)所施加的電壓而變化的可變電容元件的實(shí)例描述下列實(shí)施方式。此夕卜，本公開并不限于下列實(shí)施方式。
[0075]1.第一種實(shí)施方式:其中提高了配置電容的電極主體的對(duì)稱性的可變電容元件
[0076]2.第二種實(shí)施方式:其中以虛擬方式提高了內(nèi)部電極的對(duì)稱性的可變電容元件
[0077]3.第三種實(shí)施方式:其中通過形成浮置電極提高對(duì)稱性的可變電容元件
[0078]4.第四種實(shí)施方式:其中提高了可變電容元件主體的形狀的對(duì)稱性的可變電容元件
[0079]5.第五種實(shí)施方式:其中可變電容元件主體的形狀與配置電容的電極主體形狀相同的可變電容元件[0080]6.第六種實(shí)施方式:其中多個(gè)連接電極形成于一個(gè)內(nèi)部電極中的可變電容元件
[0081]7.第七種實(shí)施方式:其中配置串聯(lián)在內(nèi)部電極的堆疊方向上的多個(gè)電容器的可變電容元件(其中之I)
[0082]8.第八種實(shí)施方式:其中配置串聯(lián)在內(nèi)部電極的堆疊方向上的多個(gè)電容器的可變電容元件(其中之I)
[0083]9.第九種實(shí)施方式:其中配置串聯(lián)在內(nèi)部電極的堆疊方向上的多個(gè)電容器的可變電容元件(其中之I)
[0084]10.第十種實(shí)施方式:其中集成了可變電容元件的諧振電路
[0085]〈1.第一種實(shí)施方式>
[0086][可變電容元件的結(jié)構(gòu)]
[0087]首先，將描述根據(jù)本公開的第一種實(shí)施方式的可變電容元件。圖1A是示出根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件的透視圖，以及圖1B是示出根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件的橫截面結(jié)構(gòu)視圖。圖2是示出配置根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。在圖1A和圖2中，穿過內(nèi)部電極和介電層的重心的線由虛線表示。這同樣適用于隨后的附圖。
[0088]如圖1A所示，根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件I包括配置有長(zhǎng)方體構(gòu)件的可變電容元件主體2以及兩個(gè)外部端子3和4。
[0089]如圖1B所示，可變電容元件主體2包括利用插入在其間的介電層5堆疊的兩個(gè)內(nèi)部電極10，堆疊在兩個(gè)內(nèi)部電極10之下的下部介電層6和堆疊在兩個(gè)內(nèi)部電極10之上的下部介電層7。換句話說，在本實(shí)施方式中，內(nèi)部電極10的表面通過下部介電層6和上部介電層7暴露?？勺冸娙菰黧w2具有其中堆疊片狀的介電層5 (其中形成配置內(nèi)部電極10的導(dǎo)電層)的結(jié)構(gòu)，并且形成為片狀每個(gè)介電層5具有作為其上形成內(nèi)部電極10的平面的矩形平面。
[0090]在本實(shí)施方式中，由于可變電容元件I被配置為具有根據(jù)施加的電壓而變化的電容，因此介電層5由鐵電材料制成。具體地，引起離子極化的介電材料可用作這種鐵電材料。引起離子極化的鐵電材料是由離子晶體材料制成的并且電極化為取代正離子和負(fù)離子的原子的鐵電材料。一般地，當(dāng)兩個(gè)特定元素是A和B并且具有鈣鈦礦結(jié)構(gòu)時(shí)，引起離子極化的鐵電材料由化學(xué)式ABO3 (O是元素氧)表示。鐵電材料的實(shí)例包括鈦酸鋇(BaTiO3)、鈮酸鋇(KNbO3)和鈦酸鉛(PbTiO3X此外，作為用于形成介電層5的材料，可使用其中鋯酸鉛(PbZr03)與鈦酸鉛(PbTiO3)混合的PZT (鋯鈦酸鉛)。
[0091]此外，引起電子極化的鐵電材料可用作鐵電材料。在鐵電材料中，執(zhí)行偏于正電荷的部分和偏于負(fù)電荷的部分的分離，并且發(fā)生電偶極矩，導(dǎo)致極化。作為這種材料，過去報(bào)告了稀土鐵氧化物，該稀土鐵氧化物由于形成Fe2+的電荷平面和Fe3+的平電荷面而形成極化并且顯示鐵電特性。在該系統(tǒng)中，當(dāng)稀土元素表示為RE并且鐵族元素表示為TM時(shí)，由分子式(RE).(TM) 2* O4 (O:元素氧)表示的材料被報(bào)告為具有高的介電常數(shù)。稀土元素的實(shí)例包括Y、Er、Yb和Lu (特別是Y和重稀土元素)，并且鐵族元素的實(shí)例包括Fe、Co和Ni (特別是 Fe)。此外，(RE).(TM) 2.04 的實(shí)例包括 ErFe204、LuFe2O4 和 YFe2O415
[0092]如圖2所示，內(nèi)部電極10包括具有圓形的電極主體8和連接電極9，連接電極9連接到電極主體8并且形成為使得端部暴露于可變電容元件主體2的側(cè)表面中。此外，內(nèi)部電極10的電極主體8的重心與形成為片狀的介電層5的中心對(duì)齊。內(nèi)部電極10可使用包括例如細(xì)金屬粉末(Pd、Pd/Ag、Ni等)的導(dǎo)電膠形成。此外，在本實(shí)施方式中，兩個(gè)內(nèi)部電極10由相同材料形成。然而，本公開并不限于該實(shí)例，并且例如可堆疊由根據(jù)目的等而不同的材料所形成的內(nèi)部電極10。
[0093]兩個(gè)內(nèi)部電極10利用插入在其間的介電層5堆疊，從而電極主體8的側(cè)面在堆疊方向上覆蓋重心。此外，配置相應(yīng)內(nèi)部電極10的相應(yīng)連接電極9被排布為位于彼此面對(duì)。換句話說，一個(gè)內(nèi)部電極10具有通過將另一個(gè)內(nèi)部電極10相對(duì)與電極平面垂直的軸旋轉(zhuǎn)180度所獲得的結(jié)構(gòu)，并且在可變電容元件主體2中，連接電極9暴露于相反側(cè)。
[0094]外部端子3和4形成在可變電容元件主體2的側(cè)面上，并且電連接到暴露的連接電極9。換句話說，在本實(shí)施方式中，兩個(gè)外部端子3和4形成在可變電容元件主體2的彼此相對(duì)的兩個(gè)側(cè)面上。此外，兩個(gè)外部端子3和4形成為在內(nèi)部電極10的堆疊方向上覆蓋可變電容元件主體2的側(cè)面，并且延伸超出可變電容元件主體2的上表面和下表面。
[0095]通過這種結(jié)構(gòu)，在本實(shí)施方式中，電容器C形成在兩個(gè)相對(duì)的電極主體8之間。此夕卜，當(dāng)在兩個(gè)外部端子3和4之間施加所期望的電壓時(shí)，在電極主體8之間的介電層5的相對(duì)介電常數(shù)變化。
[0096][制造方法]
[0097]將描述制造具有以上結(jié)構(gòu)的可變電容元件I的示例性方法。首先，制備由所期望的介電材料制成的介電片。介電片配置在可變電容元件主體2中的每個(gè)介電層5，并且具有例如約2.5μπι的厚度。可通過以期望的厚度在PET (聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯)膜上涂布糊劑狀的介電材料來形成介電片。此外，制備其中與圖2中示出的內(nèi)部電極10的形成區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域被打開的掩模。
[0098]隨后，例如調(diào)整由Pt、Pd、Pd/Ag、N1、Ni合金等的細(xì)金屬粉末制成的導(dǎo)電劑。然后，使用在先前步驟中制備的每個(gè)掩模將導(dǎo)電劑涂布(絲網(wǎng)印刷)在介電片的一個(gè)表面上。因此，形成其中內(nèi)部電極10形成在一個(gè)表面上的介電片。此時(shí)，介電片形成為使其中心與每個(gè)電極的電極主體8的中心(重心)匹配。
[0099]隨后，在對(duì)齊其上印刷每個(gè)電極的表面的方向之后，按照期望的順序堆疊其上上形成內(nèi)部電極10的介電片。此時(shí),執(zhí)行堆疊從而使兩個(gè)內(nèi)部電極10的電極主體的側(cè)面在堆疊方向上覆蓋其中心。此外，其上未印刷電極的介電片堆疊在堆疊的主體的上方和下方并且被卷曲(crimped,壓裙)。
[0100]隨后，卷曲的構(gòu)件在還原性氣氛下經(jīng)歷高溫背襯，并且介電片集成在由導(dǎo)電劑形成的每個(gè)電極中。因此，制造可變電容元件主體2。此后，兩個(gè)外部端子3和4附接到可變電容元件主體2的側(cè)面的特定位置。在本實(shí)施方式中，可變電容元件I通過上述方法制造。
[0101]同時(shí)，在根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件I中，出現(xiàn)由于在燒結(jié)介電材料和電極材料時(shí)的收縮率的差異而引起的殘余應(yīng)力(壓縮應(yīng)力)。殘余應(yīng)力出現(xiàn)在其中電極材料和介電材料在每層中收縮的方向上，殘余應(yīng)力發(fā)生。同時(shí)，在根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件I中，配置電容器C的兩個(gè)電極主體8具有相同的形狀并且堆疊成使得側(cè)面覆蓋內(nèi)部電極10在堆疊方向上的中心。此外，電極主體8形成為使得中心與介電層5的中心對(duì)齊。由于這個(gè)原因，在根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件I中，內(nèi)部電極10和介電層5朝向其中心收縮。因此，可以使在燒結(jié)時(shí)出現(xiàn)的殘余應(yīng)力集中在由兩個(gè)內(nèi)部電極10形成的電容器C的中心處。
[0102]此外，在根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件I中，形成電容器C的電極主體8形成為圓形。因此，可以使在烘烤時(shí)出現(xiàn)的殘余應(yīng)力朝向中心集中。圖3是示出當(dāng)從上方觀察內(nèi)部時(shí)的根據(jù)本實(shí)施方式的形成于可變電容元件I中的兩個(gè)內(nèi)部電極10的平面視圖。在圖3中，在下層的內(nèi)部電極10中出現(xiàn)的殘余應(yīng)力的方向和大小由箭頭a表示，并且在上層的內(nèi)部電極10中出現(xiàn)的殘余應(yīng)力的方向和大小由箭頭b表示。
[0103]圖4示出了根據(jù)第一比較實(shí)例的可變電容元件的內(nèi)部電極406的平面結(jié)構(gòu)，以及圖5示出了根據(jù)第二比較實(shí)例的可變電容元件的內(nèi)部電極403的平面結(jié)構(gòu)。第一比較實(shí)例和第二比較實(shí)例的可變電容元件在形成電容器的電極主體的形狀方面與根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件I不同。在第一比較實(shí)例中，電極主體404具有如圖4中示出的矩形形狀，并且在第二比較實(shí)例中，電極主體401具有如圖5中示出的正方形。在圖4中，在烘烤時(shí)出現(xiàn)的殘余應(yīng)力的出現(xiàn)方向和大小由箭頭a表示，并且在圖5中，在烘烤時(shí)出現(xiàn)的殘余應(yīng)力的出現(xiàn)方向和大小由箭頭d表示。
[0104]在第一比較實(shí)例中，如圖4所示，內(nèi)部電極406的電極主體404具有矩形形狀。由于這個(gè)原因，在烘烤時(shí)出現(xiàn)的殘余應(yīng)力在大小上不同:在電極主體404的長(zhǎng)邊方向上出現(xiàn)的殘余應(yīng)力與在短邊方向上出現(xiàn)的如由箭頭c表示的殘余應(yīng)力在大小上不同。此外，由于電極主體404具有其中在電極平面中的對(duì)稱性低的形狀，因此殘余應(yīng)力的朝向重心的分量很小。此外，當(dāng)增加在形成連接電極9的一側(cè)上出現(xiàn)的殘余應(yīng)力的大小時(shí)，在內(nèi)部電極406中出現(xiàn)的殘余應(yīng)力的大小或出現(xiàn)方向發(fā)散。
[0105]此外，在第二比較實(shí)例中，如圖5所示，內(nèi)部電極403的電極主體401具有正方形形狀。由于這個(gè)原因，在烘烤時(shí)出現(xiàn)的殘余應(yīng)力受到在形成連接電極9的一側(cè)上出現(xiàn)的如由箭頭d表示的殘余應(yīng)力的影響，并且在內(nèi)部電極403中出現(xiàn)的殘余應(yīng)力在平面內(nèi)不平衡并且在連接電極9 一側(cè)很大。此外，由于電極主體404具有其中在電極平面中的對(duì)稱性低的形狀，因此殘余應(yīng)力的朝向重心的分量很小。
[0106]同時(shí)，在本實(shí)施方式中，內(nèi)部電極10的電極主體8具有圓形形狀。由于這個(gè)原因，形狀的平面對(duì)稱性很高，并且在烘烤時(shí)出現(xiàn)的殘余應(yīng)力(壓縮應(yīng)力)在電極主體8的邊上朝向重心處出現(xiàn)。此外，當(dāng)增加在形成連接電極9的一側(cè)上出現(xiàn)的殘余應(yīng)力的大小時(shí)，出現(xiàn)的應(yīng)力從形成連接電極9的該側(cè)朝向中心增加。然而，由于電極主體8具有圓形形狀，因此殘余應(yīng)力在內(nèi)部電極10中的變化很慢，并且在形成連接電極9的一側(cè)出現(xiàn)的殘余應(yīng)力也朝向電極主體8的重心處出現(xiàn)。
[0107]因此，殘余應(yīng)力朝向形成內(nèi)部電極10的電容的電極主體8的中心集中，并且因此可以進(jìn)一步增加在內(nèi)部電極10的堆疊方向(電場(chǎng)方向)上的拉伸應(yīng)力。因此，可以改善電氣特性，例如，可以增加在電容器中每單位容積的靜電電容或增加可變率。
[0108]在本實(shí)施方式中，內(nèi)部電極10的電極主體8具有圓形形狀，但是只要電極主體8具有其中相對(duì)于穿過電極主體8的重心并且與電極平面水平的軸的對(duì)稱性高的形狀，便能夠獲得相同的效果。盡管存在許多穿過電極主體8的重心并且與電極平面水平的軸，但是“對(duì)稱性高”在此指電極形狀是能夠以小旋轉(zhuǎn)角度覆蓋原始電極形狀(或幾乎覆蓋)的形狀。在本實(shí)施方式中，作為具有高對(duì)稱性的電極主體8的形狀，正五邊形通過旋轉(zhuǎn)72或更小度數(shù)覆蓋原始電極形狀并且旋轉(zhuǎn)對(duì)稱性很高。因此，優(yōu)選通過旋轉(zhuǎn)72度或更小度數(shù)變成原始形狀的任意形狀。線性對(duì)稱性和旋轉(zhuǎn)對(duì)稱性的其中一個(gè)很高的形狀是令人滿意的，而線性對(duì)稱性和旋轉(zhuǎn)對(duì)稱性兩者都很高的形狀是更令人滿意的。
[0109]接著，將描述根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件的變形實(shí)例。
[0110][變形實(shí)例1-1]
[0111]圖6示出了配置根據(jù)變形實(shí)例1-1的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)。在圖6中，與圖2的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)的說明。
[0112]在根據(jù)變形實(shí)例1-1的可變電容元件中，內(nèi)部電極12的電極主體11具有橢圓形形狀。在變形實(shí)例1-1中，橢圓形的長(zhǎng)直徑方向用作介電層5的長(zhǎng)軸方向，并且短直徑方向用作介電層5的短軸方向。
[0113]在變形實(shí)例1-1中，盡管未示出，通過堆疊如圖6所示的內(nèi)部電極12將可變電容元件主體配置為兩層，從而電極主體11的邊和中心在堆疊方向上重疊，并且連接電極9暴露于相反側(cè)。此外，形成外部端子，其電連接到在長(zhǎng)軸方向上幾乎暴露于可變電容元件主體的中心處的相應(yīng)連接電極9，并且形成變形實(shí)例1-3的可變電容元件。在變形實(shí)例1-1中，由堆疊的一對(duì)電極主體11配置電容器。
[0114]在變形實(shí)例1-1中，配置電容器的電極主體11具有相對(duì)于穿過電極主體11的重心并且與電極平面水平的軸的對(duì)稱性很高的橢圓形形狀。因此，可以使在內(nèi)部電極12的平面中出現(xiàn)的殘余應(yīng)力集中在重心處，并且能夠獲得與在本實(shí)施方式中相同的效果。
[0115][變形實(shí)例1-2]
[0116]圖7示出了配置根據(jù)變形實(shí)例1-2的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)。在圖7中，與圖2的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)的說明。
[0117]在根據(jù)變形實(shí)例1-2的可變電容元件中，內(nèi)部電極14的電極主體13具有橢圓形形狀。在變形實(shí)例1-2中，橢圓形的長(zhǎng)直徑方向用作介電層5的短軸方向，并且短直徑方向用作介電層5的長(zhǎng)軸方向。
[0118]在變形實(shí)例1-2中，盡管未示出，通過堆疊在圖7中示出的內(nèi)部電極14將可變電容元件主體配置為兩層，從而電極主體13的邊和中心在堆疊方向上重疊，并且連接電極9暴露在相反側(cè)。此外，形成外部端子，其電連接到在長(zhǎng)軸方向上幾乎暴露于可變電容元件主體的中心處的相應(yīng)連接電極9，并且形成變形實(shí)例1-2的可變電容元件。在變形實(shí)例1-2中，由堆疊的一對(duì)電極主體13配置電容器。
[0119]在變形實(shí)例1-2中，配置電容器的電極主體13具有相對(duì)于穿過電極主體13的重心并且與電極平面水平的軸的對(duì)稱性很高的橢圓形形狀。因此，可以使在內(nèi)部電極14的平面中出現(xiàn)的殘余應(yīng)力集中在重心處，并且能夠獲得與在本實(shí)施方式中相同的效果。
[0120][變形實(shí)例1-3]
[0121]圖8示出了配置根據(jù)變形實(shí)例1-3的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)。在圖8中，與圖2的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)的說明。
[0122]在根據(jù)變形實(shí)例1-3的可變電容元件中，內(nèi)部電極16的電極主體15具有正六邊形形狀，并且被配置成使得正六邊形的兩個(gè)頂點(diǎn)在短軸方向上的穿過介電層5的中心的直
線上重疊。
[0123]在變形實(shí)例1-3中，盡管未示出，通過堆疊在圖8中示出的內(nèi)部電極16將可變電容元件主體配置為兩層，從而電極主體15的邊和重心在堆疊方向上重疊，并且連接電極9暴露在相反側(cè)。此外，形成外部端子，其電連接到在長(zhǎng)軸方向上幾乎暴露于可變電容元件主體的中心處的相應(yīng)連接電極9，并且形成變形實(shí)例1-3的可變電容元件。在變形實(shí)例1-3中，由堆疊的一對(duì)電極主體15配置電容器。
[0124]在變形實(shí)例1-3中，配置電容器的電極主體15具有相對(duì)于穿過電極主體15的重心并且與電極平面水平的軸的對(duì)稱性很高的正六邊形。因此，可以使在內(nèi)部電極16的平面中出現(xiàn)的殘余應(yīng)力集中在重心處，并且能夠獲得與在本實(shí)施方式中相同的效果。
[0125][變形實(shí)例1-4]
[0126]圖9示出了配置根據(jù)變形實(shí)例1-4的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)。在圖9中，與圖2的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)的說明。
[0127]在根據(jù)變形實(shí)例1-4的可變電容元件中，內(nèi)部電極18的電極主體17具有正六邊形形狀，并且被配置為使得正六邊形的兩個(gè)頂點(diǎn)在長(zhǎng)軸方向上的穿過介電層5中心的直線
上重疊。
[0128]在變形實(shí)例1-4中，盡管未示出，通過堆疊在圖9中示出的內(nèi)部電極18將可變電容元件主體配置為兩層，從而電極主體17的邊和重心在堆疊方向上重疊，并且連接電極9暴露在相反側(cè)。此外，形成外部端子，其電連接到在長(zhǎng)軸方向上幾乎暴露于可變電容元件的主體的中心處的相應(yīng)連接電極9，并且形成變形實(shí)例1-4的可變電容元件。在變形實(shí)例1-4中，由堆疊的一對(duì)電極主體17配置電容器。
[0129]在變形實(shí)例1-4中，配置電容器的電極主體17具有相對(duì)于穿過電極主體17的重心并且與電極平面水平的軸的對(duì)稱性很高的正六邊形。因此，可以使在內(nèi)部電極18的平面中出現(xiàn)的殘余應(yīng)力集中在重心處，并且能夠獲得與在本實(shí)施方式中相同的效果。
[0130]同時(shí)，在變形實(shí)例1-3和1-4中，盡管電極主體具有正六邊形形狀，但是只要電極主體具有正五邊形或更高階多邊形，便能夠獲得與在本實(shí)施方式中相同的效果，并且當(dāng)電極主體具有接近圓形的形狀時(shí)獲得更好的效果。如上所述，當(dāng)配置電容器的電極主體具有正五邊形或更高階多邊形形狀、圓形形狀或橢圓形形狀時(shí)，與當(dāng)電極主體具有正方形形狀時(shí)相比，可以使出現(xiàn)的殘余應(yīng)力進(jìn)一步集中在電極主體的重心處。
[0131]〈2.第二種實(shí)施方式〉
[0132]接著，將描述根據(jù)本公開的第二種實(shí)施方式的可變電容元件。本實(shí)施方式在配置內(nèi)部電極的連接電極方面不同于第一種實(shí)施方式，但是具有與在圖1A和IB中示出的第一種實(shí)施方式的可變電容元件相同的形狀和橫截面結(jié)構(gòu)，并且因此省略其說明。
[0133]圖10示出了配置根據(jù)本公開的第二種實(shí)施方式的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)。在圖10中，與圖2的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)的說明。
[0134]如圖10所示，在根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件中，內(nèi)部電極20包括具有圓形形狀的電極主體8和連接電極19，連接電極19暴露在可變電容元件主體的一側(cè)并且連接到外部端子。此外，連接電極19形成為具有其中在燒結(jié)可變電容元件主體時(shí)出現(xiàn)在連接電極19周圍的殘余應(yīng)力不影響出現(xiàn)在電極主體8中的殘余應(yīng)力的大小。因此，連接電極19形成為具有比電極主體8的面積大小充分小的面積大小，并且在本實(shí)施方式中，連接電極19形成為使得連接到外部端子的連接電極19的端部具有比電極主體8的直徑充分小的寬度。
[0135]在此，為了防止在連接電極19周圍出現(xiàn)的殘余應(yīng)力影響在電極主體8中出現(xiàn)的殘余應(yīng)力，優(yōu)選地連接到外部端子的連接電極19的端部寬度被設(shè)置為例如電極主體8的直徑的四分之一(1/4)或更小。
[0136]在本實(shí)施方式中，盡管未示出，可變電容元件主體被配置成使得圖10中示出的內(nèi)部電極20被堆疊，從而電極主體8的的邊和重心在堆疊方向上重疊，并且分別配置堆疊的內(nèi)部電極20的連接電極19暴露在相反側(cè)。此外，形成外部端子，其電連接到在長(zhǎng)軸方向上幾乎暴露于可變電容元件主體的中心處的相應(yīng)連接電極19，并且形成根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容兀件。在本實(shí)施方式中，由堆疊的一對(duì)電極主體8配置電容器。
[0137]在本實(shí)施方式中，由于連接電極19的寬度(面積大小)被設(shè)置為很小，因此可以虛擬方式提高包括連接電極19的內(nèi)部電極20的形狀的對(duì)稱性。在此，與第一種實(shí)施方式類似，“對(duì)稱性”是指相對(duì)于穿過電極主體8的重心并且與電極平面水平的軸的對(duì)稱性。
[0138][變形實(shí)例2-1]
[0139]圖11示出配置根據(jù)變形實(shí)例2-1的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)。在圖11中，與圖10的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)的說明。
[0140]在根據(jù)變形實(shí)例2-1的可變電容元件中，內(nèi)部電極22的電極主體21具有正方形形狀。在變形實(shí)例2-1中，連接電極19形成為具有比電極主體21的面積大小充分小的面積大小，并且連接電極19形成為具有比正方形形狀的寬度充分小的寬度。在變形實(shí)例2-1中，為了防止在連接電極19周圍出現(xiàn)的殘余應(yīng)力影響在電極主體21中出現(xiàn)的殘余應(yīng)力，優(yōu)選地連接到外部端子的連接電極19的端部的寬度被設(shè)置為例如電極主體21的最大寬度的η分之一(I/η)或更小。
[0141]在變形實(shí)例2-1中，盡管未示出，通過堆疊圖11中示出的內(nèi)部電極21來配置可變電容元件主體，從而電極主體21的邊和重心在堆疊方向上重疊，并且連接電極19暴露在相反側(cè)。此外，形成外部端子，其電連接到在長(zhǎng)軸方向上幾乎暴露于可變電容元件主體的中心處的相應(yīng)連接電極19，并且形成根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件。在本實(shí)施方式中，由堆疊的一對(duì)電極主體21配置電容器。
[0142]在變形實(shí)例2-1中，由于連接電極19的面積大小被設(shè)置為很小，因此可以虛擬方式提高內(nèi)部電極22的對(duì)稱性。換句話說，內(nèi)部電極22的對(duì)稱性高于其中連接電極的寬度幾乎與電極主體的寬度相同的第二比較實(shí)例。因此，可以使在內(nèi)部電極22的平面中出現(xiàn)的殘余應(yīng)力從內(nèi)部電極22的相應(yīng)頂點(diǎn)向中心處集中，并且能夠獲得相同的效果。
[0143]同時(shí)，在第二種實(shí)施方式和變形實(shí)例2-1中，盡管電極主體具有圓形形狀和正方形形狀，但是當(dāng)電極主體具有正五邊形或更高階多邊形形狀或橢圓形形狀時(shí)，能夠獲得與在本實(shí)施方式中相同的效果。在該情況下，只要連接電極形成為具有比電極主體的寬度充分小的寬度，便能夠獲得相同的效果，并且電極主體具有相對(duì)于穿過電極主體的重心并且與電極平面水平的軸的對(duì)稱性很高的形狀。
[0144][變形實(shí)例2-2]
[0145]圖12示出了配置根據(jù)變形實(shí)例2-2的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)。在圖12中，與圖10的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)的說明。
[0146]圖10中示出的可變電容元件的內(nèi)部電極20形成為使得連接電極19在長(zhǎng)軸方向上幾乎暴露于可變電容元件的主體的一側(cè)的中心處。另一方面，在變形實(shí)例2-2中，配置內(nèi)部電極24的連接電極23形成為在長(zhǎng)軸方向上暴露于偏離可變電容元件主體的一側(cè)的中心的位置處。
[0147]此外，在變形實(shí)例2-2中，如圖12所示，配置內(nèi)部電極24的連接電極23被布置在穿過電極主體8的重心的軸上。
[0148]由于連接電極23被布置在穿過如在變形實(shí)例2-2中的配置電容器的電極主體8的重心的軸上，因此可以增加設(shè)計(jì)外部端子的自由度，而不會(huì)損害殘余應(yīng)力的對(duì)稱性。
[0149]此外，能夠獲得與在第一種實(shí)施方式和第二種實(shí)施方式中相同的效果。
[0150]〈3.第三種實(shí)施方式〉
[0151]接著，將描述根據(jù)本公開的第三種實(shí)施方式的可變電容元件。本實(shí)施方式與第一種實(shí)施方式的不同在于內(nèi)部電極的結(jié)構(gòu)，但是具有與在圖1A和IB中不出的第一種實(shí)施方式的可變電容元件相同的形狀和橫截面結(jié)構(gòu)，并且因此省略其說明。
[0152]圖13示出了配置根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件的內(nèi)部電極28的平面結(jié)構(gòu)。在圖13中，與圖2的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)的說明。
[0153]如圖13所示，在根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件中，內(nèi)部電極28包括:正方形形狀的電極主體25 ;連接電極26，其連接到電極主體25的一側(cè)，暴露于可變電容元件主體的一側(cè)，并且連接到外部端子；以及浮置電極27。
[0154]電極主體25形成在介電層5的幾乎中心處，從而正方形形狀的中心與介電層5的中心對(duì)齊。
[0155]連接電極26連接到電極主體25的一側(cè)，并且形成為具有暴露在電容元件主體的一側(cè)的端部。
[0156]浮置電極27形成在與連接電極26相對(duì)的一側(cè)的區(qū)域中，其中，電極主體25插入在兩者之間。此外，浮置電極27具有幾乎與連接電極26相同的形狀，并且形成為相對(duì)于穿過電極主體25的重心的軸基本與連接電極26對(duì)稱。在此，浮置電極27未連接到電極主體25，并且形成為不暴露在可變電極主體的一側(cè)。因此，當(dāng)可變電容元件被驅(qū)動(dòng)時(shí)，外部電勢(shì)不會(huì)供應(yīng)給浮置電極27。
[0157]在本實(shí)施方式中，盡管未示出，通過堆疊圖13中示出的內(nèi)部電極28將可變電容元件主體配置為兩層，從而電極主體25的邊和重心在堆疊方向上重疊，并且連接電極26暴露在相反側(cè)。此外，形成外部端子，其電連接到在長(zhǎng)軸方向上幾乎暴露于可變電容元件主體的中心處的相應(yīng)連接電極26，并且形成根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件。在本實(shí)施方式中，由堆疊的一對(duì)電極主體25配置電容器。
[0158]在本實(shí)施方式中，由于連接電極27形成為與連接電極26對(duì)稱，其中，電極主體25插入在兩者之間，因此可以提高整個(gè)內(nèi)部電極的對(duì)稱性。因此，可以使在烘烤時(shí)伴隨收縮出現(xiàn)的殘余應(yīng)力集中在中心處并且在平面中為均勻的。因此，可改善電氣特性。
[0159]此外，可獲得與第一種實(shí)施方式中相同的效果。
[0160][變形實(shí)例3-1]
[0161]圖14示出了配置根據(jù)變形實(shí)例3-1的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)。在圖14中，與圖2的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)的說明。
[0162]在根據(jù)變形實(shí)例3-1的可變電容元件中，內(nèi)部電極32的電極主體29具有與第三種實(shí)施方式的形狀不同的形狀。
[0163]內(nèi)部電極32包括:圓形形狀的電極主體29 ;連接電極30，其連接到電極主體29的一側(cè)，暴露在可變電容元件主體的一側(cè)，并且連接到外部端子；以及浮置電極31。
[0164]電極主體29形成在介電層5的幾乎中心處，從而電極主體29的重心與介電層5的中心對(duì)齊。
[0165]連接電極30連接到電極主體29的一側(cè)，并且形成為具有暴露在電容元件主體的一側(cè)的端部。
[0166]浮置電極31形成在與連接電極30相對(duì)的一側(cè)的區(qū)域中，其中，電極主體29插入在兩者之間。此外，浮置電極31具有與連接電極30幾乎相同的形狀，并且形成為相對(duì)于穿過電極主體29的重心的軸與連接電極30基本對(duì)稱。在此，浮置電極31不連接到電極主體29，并且形成為不暴露在可變電極主體的一側(cè)。因此，當(dāng)可變電容元件被驅(qū)動(dòng)時(shí)，外部電勢(shì)不會(huì)供應(yīng)給浮置電極31。
[0167]在變形實(shí)例3-1中，盡管未示出，通過堆疊圖14中示出的內(nèi)部電極32將可變電容元件主體配置為兩層，從而電極主體29的邊和重心在堆疊方向上重疊，并且連接電極30暴露在相反側(cè)。此外，形成外部端子，其電連接到暴露在可變電容元件主體的一側(cè)的相應(yīng)連接電極30，并且形成根據(jù)變形實(shí)例3-1的可變電容元件。在變形實(shí)例3-1中，由堆疊的一對(duì)電極主體29配置電容器。
[0168]在變形實(shí)例3-1中，浮置電極31形成為與連接電極30對(duì)稱，其中，電極主體29插入在兩者之間。因此，能夠獲得與在第三種實(shí)施方式中相同的效果。此外，在變形實(shí)例3-1中，由于配置電容器的電極主體29具有圓形形狀，因此可以使出現(xiàn)在平面中的殘余應(yīng)力進(jìn)一步集中在中心上。
[0169][變形實(shí)例3-2]
[0170]圖15示出了配置根據(jù)變形實(shí)例3-2的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)。在圖15中，與圖13的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)的說明。
[0171]在變形實(shí)例3-2中，內(nèi)部電極35包括:具有正方形形狀的電極主體25 ;連接電極33，其連接到電極主體25的一側(cè)，暴露在可變電容元件主體的一側(cè)，并且連接到外部端子；以及兩個(gè)浮置電極27和34。連接電極33形成為具有比電極主體25的寬度充分薄的寬度。此外，兩個(gè)浮置電極27和34形成在之間插入連接電極33和電極主體25的兩個(gè)區(qū)域中并且相對(duì)于穿過電極主體25的重心的軸對(duì)稱。
[0172]在變形實(shí)例3-2中，盡管未示出，通過堆疊圖15中示出的內(nèi)部電極35將可變電容元件主體配置為兩層，從而電極主體25的邊和中心在堆疊方向上重疊，并且連接電極33暴露在相反側(cè)。此外，形成外部端子，其電連接到暴露在可變電容元件主體的一側(cè)的相應(yīng)連接電極33，并且形成根據(jù)變形實(shí)例3-2的可變電容元件。在變形實(shí)例3-2中，由堆疊的一對(duì)電極主體25配置電容器。
[0173]在變形實(shí)例3-2中，由于浮置電極33形成為具有比電極主體25的寬度充分小的寬度，因此可以減少出現(xiàn)在連接電極33中的殘余應(yīng)力。此外，在變形實(shí)例3-1中，由于不形成電容的浮置電極27和34對(duì)稱地形成在之間插入電極主體25的兩個(gè)區(qū)域中，因此可以增加在電容器的中心出現(xiàn)的殘余應(yīng)力。因此，可以改善可變電容元件的電氣特性。此外，可獲得與在第三種實(shí)施方式中相同的效果。
[0174][變形實(shí)例3-3]
[0175]圖16示出了配置根據(jù)變形實(shí)例3-3的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)。在圖16中，與圖14的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)的說明。
[0176]在變形實(shí)例3-3中，內(nèi)部電極38包括:具有圓形形狀的電極主體29 ;連接電極36，其連接到電極主體29的一側(cè)，暴露在可變電容元件主體的一側(cè)，并且連接到外部端子；以及兩個(gè)浮置電極31和37。連接電極36形成為具有比電極主體29的直徑充分薄的寬度。此外，浮置電極31和37形成在之間插入連接電極36和電極主體29的兩個(gè)區(qū)域中并且相對(duì)于穿過電極主體29的重心的軸對(duì)稱。
[0177]在變形實(shí)例3-3中，盡管未示出，通過堆疊圖16中示出的內(nèi)部電極38將可變電容元件主體配置為兩層，從而電極主體29的邊和中心在堆疊方向上重疊，并且連接電極36暴露在相反側(cè)。此外，形成外部端子，其電連接到暴露在可變電容元件主體的一側(cè)的相應(yīng)連接電極36，并且形成根據(jù)變形實(shí)例3-3的可變電容元件。在變形實(shí)例3-3中，由堆疊的一對(duì)電極主體29配置電容器。
[0178]在變形實(shí)例3-3中，由于連接電極36形成為具有比電極主體25的寬度充分小的寬度，因此可以減少在連接電極36中出現(xiàn)的殘余應(yīng)力。此外，在變形實(shí)例3-3中，由于不形成電容的浮置電極31和37對(duì)稱地形成在之間插入電極主體29的兩個(gè)區(qū)域中，因此可以增加在電容器的中心出現(xiàn)的殘余應(yīng)力。因此，可以改善可變電容元件的電氣特性。此外，能夠獲得與在第三種實(shí)施方式中相同的效果。
[0179]〈4.第四種實(shí)施方式〉
[0180]接著，將描述根據(jù)本公開的第四種實(shí)施方式的可變電容元件。本實(shí)施方式在可變電容元件主體的形狀方面與第一種實(shí)施方式不同，但是具有與在圖1中示出的第一種實(shí)施方式的可變電容元件相同的內(nèi)部電極的形狀和橫截面結(jié)構(gòu)，并且因此省略其說明。
[0181]圖17是根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件的外觀的透視圖。
[0182]如圖17所示，根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件40包括可變電容元件主體41以及兩個(gè)外部端子42和43?？勺冸娙菰黧w41具有長(zhǎng)方體形狀(或立方體形狀)，其中與其上形成內(nèi)部電極的平面平行的平面形狀是正方形形狀。換句話說，在本實(shí)施方式中，正方形形狀被配置成使得與其上形成內(nèi)部電極的平面平行的平面形狀具有如圖17所示的水平寬度W和垂直寬度W。
[0183]在根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件主體40中，由于其上形成內(nèi)部電極的平面具有正方形形狀，因此可變電容元件主體41的形狀的對(duì)稱性很高。在烘烤可變電容元件主體41時(shí)出現(xiàn)的殘余應(yīng)力由于電極材料與介電材料之間的收縮率(線性膨脹系數(shù))的差異而出現(xiàn)。因此，可以提高內(nèi)部電極的對(duì)稱性和可變電容元件主體41的形狀的對(duì)稱性，并且可以使殘余應(yīng)力進(jìn)一步集中在中心處。因此，可以改善由內(nèi)部電極形成的電容器的電氣特性。
[0184]此外，能夠獲得與在第一種實(shí)施方式中相同的效果。
[0185][變形實(shí)例4-1]
[0186]圖18是示出根據(jù)變形實(shí)例4-1的可變電容元件的外觀的透視圖。變形實(shí)例4-1在可變電容元件主體的形狀方面與第一種實(shí)施方式不同，但是具有與在圖1中示出的第一種實(shí)施方式的可變電容元件相同的內(nèi)部電極的形狀和橫截面結(jié)構(gòu)，并且因此省略其說明。
[0187]如圖17所示，根據(jù)變形實(shí)例4-1的可變電容元件44包括可變電容元件主體45以及兩個(gè)外部端子46和47?？勺冸娙菰黧w45具有其中與其上形成內(nèi)部電極的平面平行的平面形狀是圓形的圓柱形。[0188]在變形實(shí)例4-1中，由于可變電容元件主體45形成為圓柱形，因此可變電容元件主體45的形狀相對(duì)于在堆疊方向上的穿過內(nèi)部電極的電極主體的中心的直線的對(duì)稱性很高。因此，可以進(jìn)一步增加在可變電容元件主體45中出現(xiàn)的殘余應(yīng)力，并且能夠獲得與在第四實(shí)施方式中相同的效果。
[0189][變形實(shí)例4-2]
[0190]圖19示出了配置根據(jù)變形實(shí)例4-2的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)。在根據(jù)變形實(shí)例4-2的可變電容元件中，內(nèi)部電極51包括:具有正方形形狀的電極主體49 ;以及連接電極50，其連接到電極主體49的一側(cè)并且形成為使得端部暴露在電容元件主體的一側(cè)。此外,其上形成可變電容元件主體的內(nèi)部電極51的平面的形狀(即介電層48的平面形狀)是橢圓形，并且在橢圓形的介電層48的短直徑方向上形成配置內(nèi)部電極51的連接電極50。
[0191]在變形實(shí)例4-2中，盡管未示出，通過堆疊圖19中示出的內(nèi)部電極51將可變電容元件主體配置為兩層，從而電極主體49的邊和中心在堆疊方向上重疊，并且連接電極50暴露在相反側(cè)。此外，形成外部端子，其電連接到暴露在可變電容元件主體的一側(cè)的相應(yīng)連接電極50，并且形成根據(jù)變形實(shí)例4-2的可變電容元件。在變形實(shí)例4-2中，由堆疊的一對(duì)電極主體49配置電容器。
[0192]在變形實(shí)例4-2中，由于可變電容元件主體具有擁有橢圓形的橫截面的柱形形狀，因此可以增加可變電容元件主體的形狀的對(duì)稱性，并且能夠獲得與在第四種實(shí)施方式中相同的效果。
[0193][變形實(shí)例4-3]
[0194]圖20示出了配置根據(jù)變形實(shí)例4-3的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)。根據(jù)變形實(shí)例4-3的可變電容元件在內(nèi)部電極51方面與在變形實(shí)例4-2中的相同。此外，其上形成可變電容元件的主體的內(nèi)部電極51的平面的形狀(即介電層52的平面形狀)是橢圓形，并且在橢圓形的介電層52的長(zhǎng)直徑方向上形成配置內(nèi)部電極51的連接電極50。
[0195]在變形實(shí)例4-3中，盡管未示出，通過堆疊圖20中示出的內(nèi)部電極51將可變電容元件主體配置為兩層，從而電極主體49的邊和中心在堆疊方向上重疊，并且連接電極50暴露在相反側(cè)。此外，形成外部端子，其電連接到暴露在可變電容元件主體的一側(cè)的相應(yīng)連接電極50，并且形成根據(jù)變形實(shí)例4-3的可變電容元件。在變形實(shí)例4-3中，由堆疊的一對(duì)電極主體49配置電容器。
[0196]在變形實(shí)例4-3中，由于可變電容元件主體具有擁有橢圓形的橫截面的柱形形狀，因此可以增加可變電容元件主體的形狀的對(duì)稱性，并且能夠獲得與在第四種實(shí)施方式中相同的效果。
[0197][變形實(shí)例4-4]
[0198]圖21示出了配置根據(jù)變形實(shí)例4-4的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)。根據(jù)變形實(shí)例4-4的可變電容元件在內(nèi)部電極51方面與在變形實(shí)例4-2中的相同。此外，其上形成可變電容元件主體的內(nèi)部電極51的平面的形狀(即介電層53的平面形狀)是圓角矩形(卵形)，并且在圓角矩形的介電層53的長(zhǎng)直徑方向上形成配置內(nèi)部電極51的連接電極50。[0199]在變形實(shí)例4-4中，盡管未示出，通過堆疊圖21中示出的內(nèi)部電極51將可變電容元件主體配置為兩層，從而電極主體49的邊和中心在堆疊方向上重疊，并且連接電極50暴露在相反側(cè)。此外，形成外部端子，其電連接到暴露在可變電容元件主體的一側(cè)的相應(yīng)連接電極50，并且形成根據(jù)變形實(shí)例4-4的可變電容元件。在變形實(shí)例4-4中，由堆疊的一對(duì)電極主體49配置電容器。
[0200]在變形實(shí)例4-4中，由于可變電容元件主體具有擁有橢圓形的橫截面的柱形形狀，因此可以增加可變電容元件主體的形狀的對(duì)稱性，并且能夠獲得與在第四種實(shí)施方式中相同的效果。
[0201][變形實(shí)例4-5]
[0202]圖22示出了配置根據(jù)變形實(shí)例4-5的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)。根據(jù)變形實(shí)例4-5的可變電容元件在內(nèi)部電極51方面與在變形實(shí)例4-2中的相同。此外，其上形成可變電容元件主體的內(nèi)部電極的平面的形狀(即介電層的平面形狀)是其中位于正方形的一個(gè)邊的兩側(cè)處的兩個(gè)角是圓形的四邊形。
[0203]在變形實(shí)例4-5中，盡管未示出，通過堆疊圖22中示出的內(nèi)部電極來配置可變電容元件主體，從而電極主體的邊和中心在堆疊方向上重疊，并且連接電極暴露在相反側(cè)。此夕卜，形成外部端子，其電連接到暴露在可變電容元件主體的一側(cè)的相應(yīng)連接電極，并且形成根據(jù)變形實(shí)例4-5的可變電容元件。在變形實(shí)例4-5中，由具有正方形的堆疊的電極主體49配置電容器。
[0204]在變形實(shí)例4-5中，由于可變電容元件主體具有其中一側(cè)的角是圓形的矩形柱形形狀，因此可以增加介電層平面形狀的對(duì)稱性和可變電容元件主體的對(duì)稱性，并且能夠獲得與在第四種實(shí)施方式中相同的效果。
[0205][變形實(shí)例4-6]
[0206]圖23示出了配置根據(jù)變形實(shí)例4-6的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)。根據(jù)變形實(shí)例4-6的可變電容元件在內(nèi)部電極51方面與在變形實(shí)例4-2中的相同。此外，其上形成可變電容元件主體的內(nèi)部電極51的平面形狀(即介電層55的平面形狀)是其中正方形的四個(gè)角是圓形的圓角矩形。
[0207]在變形實(shí)例4-6中，盡管未示出，通過堆疊圖23中示出的內(nèi)部電極51將可變電容元件主體配置為兩層，從而電極主體49的邊和中心在堆疊方向上重疊，并且連接電極50暴露在相反側(cè)。此外，形成外部端子，其電連接到暴露在可變電容元件主體的一側(cè)的相應(yīng)連接電極50，并且形成根據(jù)變形實(shí)例4-6的可變電容元件。在變形實(shí)例4-6中，由堆疊的一對(duì)電極主體49配置電容器。
[0208]在變形實(shí)例4-6中，由于可變電容元件主體形成為具有圓角正方形的橫截面的柱形形狀，因此可以增加可變電容元件主體的對(duì)稱性，并且能夠獲得與在第四種實(shí)施方式中相同的效果。
[0209][變形實(shí)例4_7]
[0210]圖24示出了配置根據(jù)變形實(shí)例4-7的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)。根據(jù)變形實(shí)例4-7的可變電容元件在內(nèi)部電極51方面與在變形實(shí)例4-2中的相同。此外，其上形成可變電容元件主體的內(nèi)部電極51的平面的形狀(即介電層56的平面形狀)是八邊形。[0211]在變形實(shí)例4-7中，盡管示出，通過堆疊圖24中示出的內(nèi)部電極51將可變電容元件主體配置為兩層，從而電極主體的邊和中心在堆疊方向上重疊，并且連接電極50暴露在相反側(cè)處。此外，形成外部端子，其電連接到在暴露在可變電容元件主體的一側(cè)的相應(yīng)連接電極50，并且形成根據(jù)變形實(shí)例4-7的可變電容元件。在變形實(shí)例4-7中，由堆疊的一對(duì)電極主體49配置電容器。
[0212]在變形實(shí)例4-7中，由于可變電容元件主體形成為具有八邊形的橫截面的柱形，因此可以增加可變電容元件主體的形狀的對(duì)稱性，并且能夠獲得與在第四種實(shí)施方式中相同的效果。
[0213][變形實(shí)例4-8]
[0214]圖25示出了配置根據(jù)變形實(shí)例4-8的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)。根據(jù)變形實(shí)例4-8的可變電容元件在內(nèi)部電極51方面與在變形實(shí)例4-2中的相同。此外，其上形成可變電容元件主體的內(nèi)部電極51的平面的形狀(即介電層57的平面形狀)是正六邊形。
[0215]在變形實(shí)例4-8中，盡管未示出，通過堆疊圖25中示出的內(nèi)部電極51將可變電容元件主體配置為兩層，從而電極主體49的邊和中心在堆疊方向上重疊，并且連接電極50暴露在相反側(cè)。此外，形成外部端子，其電連接到暴露在可變電容元件主體的一側(cè)的相應(yīng)連接電極50，并且形成根據(jù)變形實(shí)例4-8的可變電容元件。在變形實(shí)例4-8中，由堆疊的一對(duì)電極主體49配置電容器。
[0216]在變形實(shí)例4-8中，由于可變電容元件主體形成為具有正六邊形的橫截面的柱形，因此可以增加可變電容元件主體的形狀的對(duì)稱性，并且能夠獲得與在第四種實(shí)施方式中相同的效果。
[0217]〈5.第五種實(shí)施方式〉
[0218]接著，將描述根據(jù)本公開的第五種實(shí)施方式的可變電容元件。圖26是示出配置根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。本實(shí)施方式在可變電容元件主體的形狀方面與第一種實(shí)施方式不同。在圖26中，與圖2的那些部分對(duì)應(yīng)的部分由相同的附圖標(biāo)記表示，并且因此省略其說明。
[0219]在根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件中，內(nèi)部電極10包括:圓形的電極主體8 ;以及連接電極9，其連接到電極主體8的一側(cè)并且形成為使其端部暴露在可變電容元件主體的一側(cè)。此外，其上形成可變電容元件主體的內(nèi)部電極10的平面的形狀(即介電層58的平面形狀)是圓形。此外，內(nèi)部電極10的電極主體8的重心位于介電層58的中心處。
[0220]在本實(shí)施方式中，盡管未示出，通過堆疊圖26中示出的內(nèi)部電極10將可變電容元件主體配置為兩層，從而電極主體8的邊和中心在堆疊方向上重疊，并且連接電極9暴露在相反側(cè)。此外,形成外部端子,其電連接到暴露在可變電容元件主體的一側(cè)的相應(yīng)連接電極9，并且形成根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件。在本實(shí)施方式中，由堆疊的一對(duì)電極主體8配置電容器。
[0221]在本實(shí)施方式中，由于配置內(nèi)部電極10的電容的電極主體8的形狀與介電層58的平面形狀相同，因此電極主體8和可變電容元件主體的形狀的對(duì)稱性很高。因此，可以使在烘烤可變電容元件主體時(shí)出現(xiàn)的殘余應(yīng)力進(jìn)一步在中心方向上集中，并且可以改善由一對(duì)電極主體8配置的電容器的電氣特性。[0222]此外，能夠獲得與在第一種實(shí)施方式中相同的效果。
[0223][變形實(shí)例5-1]
[0224]圖27示出了配置根據(jù)變形實(shí)例5-1的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)。在圖27中，與圖26的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)的說明。在根據(jù)變形實(shí)例5-1的可變電容元件中，內(nèi)部電極20具有與第二種實(shí)施方式的內(nèi)部電極20相同的結(jié)構(gòu)。
[0225]在變形實(shí)例5-1中，盡管未示出，通過堆疊圖27中示出的內(nèi)部電極將可變電容元件主體配置為兩層，從而電極主體8的邊和中心在堆疊方向上重疊，并且連接電極19暴露在相反側(cè)。此外，形成外部端子，其電連接到在長(zhǎng)軸方向上幾乎暴露于可變電容元件主體的中心處的相應(yīng)連接電極19，并且形成根據(jù)變形實(shí)例5-1的可變電容元件。在變形實(shí)例5-1中，由堆疊的一對(duì)電極主體8配置電容器。
[0226]在變形實(shí)例5-1中，在內(nèi)部電極20中，連接到電極主體8的連接電極19形成為具有比電極主體8充分小的面積大小。因此，介電層58和內(nèi)部電極20可近似為類似形狀的關(guān)系。
[0227]圖28是示出當(dāng)從上方觀察內(nèi)部時(shí)的根據(jù)變形實(shí)例5-1的可變電容元件I的兩個(gè)內(nèi)部電極20的平面視圖。在圖28中，在下層的內(nèi)部電極20中出現(xiàn)的殘余應(yīng)力由箭頭e表示，并且在上層的內(nèi)部電極20中出現(xiàn)的殘余應(yīng)力由箭頭f表示。
[0228]如圖28所示，在變形實(shí)例5-1中，由于連接電極19形成為具有比電極主體8足夠小的區(qū)域大小，因此減小對(duì)出現(xiàn)在連接電極19中的殘余應(yīng)力的貢獻(xiàn)。因此，與其中連接電極9形成為具有幾乎等于電極主體8的直徑的寬度的第一種實(shí)施方式的內(nèi)部電極10相比，遍及整個(gè)表面，朝向電極主體8的中心出現(xiàn)的殘余應(yīng)力變得均勻。因此，進(jìn)一步增加在內(nèi)部電極20的堆疊方向(電場(chǎng)方向)上的拉伸應(yīng)力，并且改善電容器的電氣特性。
[0229]此外，在變形實(shí)例5-1中，由于配置內(nèi)部電極20的電容的電極主體8的形狀與介電層58的平面形狀相同，因此電極主體8和可變電容元件主體的形狀的對(duì)稱性高，并且能夠獲得與在第五種實(shí)施方式中相同的效果。
[0230][變形實(shí)例5-2]
[0231]圖29示出了配置根據(jù)變形實(shí)例5-2的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)。在變形實(shí)例5-2中，內(nèi)部電極51包括:具有正方形形狀的電極主體49 ;以及連接電極50，其連接到電極主體49的一側(cè)并且形成為使得端部暴露在電容元件主體的一側(cè)。此夕卜，其上形成可變電容元件主體的內(nèi)部電極51的平面的形狀(即介電層59的平面形狀)是正方形。此外，內(nèi)部電極51的電極主體49的重心位于介電層59的中心處。
[0232]在變形實(shí)例5-2中，盡管未示出，通過堆疊圖29中示出的內(nèi)部電極51將可變電容元件主體配置為兩層，從而電極主體49的邊和中心在堆疊方向上重疊，并且連接電極50暴露在相反側(cè)。此外，形成外部端子，其電連接到暴露在可變電容元件主體的一側(cè)的相應(yīng)連接電極，并且形成根據(jù)變形實(shí)例5-2的可變電容元件。在變形實(shí)例5-2中，由堆疊的一對(duì)電極主體49配置電容器。
[0233]在變形實(shí)例5-2中，由于配置內(nèi)部電極51的電容的電極主體49的形狀與介電層59的平面形狀相同，因此電極主體49和可變電容元件主體的形狀的對(duì)稱性很高，并且能夠獲得與在第五種實(shí)施方式中相同的效果。[0234][變形實(shí)例5-3]
[0235]圖30示出了配置根據(jù)變形實(shí)例5-3的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)。在圖30中，與圖29的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)的說明。在根據(jù)變形實(shí)例5-3的可變電容元件中，內(nèi)部電極22具有與在圖11中示出的變形實(shí)例2-1的內(nèi)部電極22相同的結(jié)構(gòu)。
[0236]在變形實(shí)例5-3中，盡管未示出，通過堆疊圖30中示出的內(nèi)部電極22將可變電容元件主體配置為兩層，從而電極主體21的邊和中心在堆疊方向上重疊，并且連接電極19暴露在相反側(cè)。此外，形成外部端子，其電連接到暴露在可變電容元件主體的一側(cè)的相應(yīng)連接電極19，并且形成根據(jù)變形實(shí)例5-3的可變電容元件。在變形實(shí)例5-3中，由堆疊的圓形的電極主體配置電容器。
[0237]在變形實(shí)例5-3中，在內(nèi)部電極22中，連接到電極主體21的連接電極19形成為具有比電極主體21充分小的面積大小。因此，介電層59和內(nèi)部電極22可近似為類似形狀的關(guān)系。因此，可以使在烘烤可變電容元件主體時(shí)出現(xiàn)的殘余應(yīng)力進(jìn)一步朝向中心集中，并且可以改善電容器的電氣特性。
[0238]此外，能夠獲得與在第五種實(shí)施方式中相同的效果。
[0239]〈6.第六種實(shí)施方式 > 三個(gè)端子
[0240]接著，將描述根據(jù)本公開的第六種實(shí)施方式的可變電容元件。圖31是示出根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件的透視圖。圖32是示出配置根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件的內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。
[0241]如圖31所示，根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件包括:配置有長(zhǎng)方體構(gòu)件的可變電容元件主體62，以及三個(gè)外部端子63a和三個(gè)外部端子63b。外部端子63a和63b在可變電容元件主體的側(cè)面上形成為彼此分開。盡管未示出，通過堆疊圖32中示出的兩個(gè)內(nèi)部電極67來配置可變電容元件主體62。
[0242]在本實(shí)施方式中，內(nèi)部電極67包括:具有圓形形狀的電極主體65 ;以及連接電極66，其連接到電極主體65，并且如圖32所示的以相等的間隔形成在電極主體65的圓周方向上。其上形成內(nèi)部電極67的介電層64的平面具有矩形形狀。
[0243]此外，在本實(shí)施方式中，三個(gè)連接電極66的每一個(gè)形成為比電極主體65的直徑更薄的帶狀，并且暴露在可變電容元件主體62的一側(cè)。此外，當(dāng)堆疊圖32中示出的內(nèi)部電極67與在其中圖32中示出的內(nèi)部電極67相對(duì)垂直于電極平面的軸旋轉(zhuǎn)180度的狀態(tài)中的內(nèi)部電極67時(shí)，連接電極66形成為在堆疊方向上不彼此重疊。
[0244]在本實(shí)施方式中，可通過堆疊圖32中示出的內(nèi)部電極67和在其中圖32中示出的內(nèi)部電極67相對(duì)垂直于電極平面的軸旋轉(zhuǎn)180度的狀態(tài)中的內(nèi)部電極67來配置可變電容元件主體。圖33是示出當(dāng)上方觀察內(nèi)部時(shí)的根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件主體62的示圖。
[0245]如圖33所示，形成在堆疊的兩個(gè)內(nèi)部電極32上的總計(jì)六個(gè)連接電極66在堆疊方向中彼此不重疊。由于這個(gè)原因，在本實(shí)施方式中，在堆疊的連接電極66之間不形成電容，并且利用在堆疊方向上彼此重疊的電極主體65來配置電容器。隨后，形成外部端子63a和63b，其連接到暴露在根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件主體62的一側(cè)的六個(gè)連接電極66，并且因此形成根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件61。[0246]在本實(shí)施方式中，通過增加連接到電極主體65的連接電極66的數(shù)量，可以提高在輸入信號(hào)電壓上的耐受電壓。
[0247]此外，在本實(shí)施方式中，形成電容器的電極主體65具有圓形形狀，并且連接到電極主體65的連接電極66在三個(gè)方向上以相等的間隔形成，并且因此可以增加內(nèi)部電極67的對(duì)稱性。因此，可以使在烘烤可變電容元件主體62時(shí)出現(xiàn)的殘余應(yīng)力朝向中心集中，并且可以改善電容器的電氣特性。
[0248]此外，能夠獲得與在第一種實(shí)施方式中相同的效果。
[0249][變形實(shí)例6-1]
[0250]圖34示出了配置根據(jù)變形實(shí)例6-1的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。在圖34中，與圖32的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)的說明。在變形實(shí)例6-1中，內(nèi)部電極70包括:圓形的電極主體65 ;以及三個(gè)連接電極69，其連接到電極主體65并且以相等的間隔形成在電極主體65的圓周方向上。介電層68的其上形成內(nèi)部電極70的平面具有正方形形狀。
[0251]此外，在變形實(shí)例6-1中，三個(gè)連接電極69的每一個(gè)形成為使得寬度從連接到電極主體65的一側(cè)朝向暴露在可變電容元件主體的一側(cè)的端部側(cè)增加。此外，當(dāng)堆疊圖34中示出的內(nèi)部電極70和在其中圖32中示出的內(nèi)部電極67相對(duì)垂直于電極平面的軸旋轉(zhuǎn)180度的狀態(tài)中的內(nèi)部電極70，連接電極69形成為在堆疊方向上不彼此重疊。
[0252]在變形實(shí)例6-1中，可通過堆疊圖34中示出的內(nèi)部電極70和在其中圖34中示出的內(nèi)部電極70相對(duì)垂直于電極平面的軸旋轉(zhuǎn)180度的狀態(tài)中的內(nèi)部電極70來配置可變電容元件主體。因此，形成在兩個(gè)堆疊的內(nèi)部電極70上的總計(jì)六個(gè)連接電極69暴露在側(cè)面上，而在堆疊方向上不彼此重疊。此外，因?yàn)樵诙询B方向上形成的連接電極69在堆疊方向上不重疊，所以堆疊的連接電極69之間不形成電容。因此，形成連接到暴露在可變電容元件主體的側(cè)面上的六個(gè)連接電極69的外部端子，并且因此形成根據(jù)變形實(shí)例6-1的可變電容元件。
[0253]在變形實(shí)例6-1中，連接電極69形成為使其寬度朝向連接到外部端子的一側(cè)增力口。由于這個(gè)原因，與根據(jù)第六種實(shí)施方式的可變電容元件61相比，可提高耐受電壓。此外，能夠獲得與在第六種實(shí)施方式中相同的效果。
[0254][變形實(shí)例6-2]
[0255]圖35示出了配置根據(jù)變形實(shí)例6-2的可變電容元件的介電層和內(nèi)部電極的平面結(jié)構(gòu)視圖。在圖35中，與圖32的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)的說明。變形實(shí)例6-2與第六種實(shí)施方式的不同在于介電層的平面形狀。
[0256]在變形實(shí)例6-2中，介電層71具有正六邊形的平面形狀。此外，三個(gè)連接電極66形成為以交替的方式暴露在正六邊形的介電層71的側(cè)面上。在變形實(shí)例6-2中，可通過堆疊圖35中示出的內(nèi)部電極67和在其中圖35中示出的內(nèi)部電極67相對(duì)垂直于電極平面的軸旋轉(zhuǎn)180度的狀態(tài)中的內(nèi)部電極67來配置可變電容元件主體。隨后，形成外部端子，其連接到暴露在可變電容元件主體的側(cè)面的六個(gè)連接電極66，并且因此形成根據(jù)變形實(shí)例6-2的可變電容元件。此時(shí)，可變電容元件主體形成為其中橫截面具有正六邊形的柱形。
[0257]在根據(jù)變形實(shí)例6-2的可變電容元件中，內(nèi)部電極67和可變電容元件主體的形狀的對(duì)稱性很高，可以進(jìn)一步增加在烘烤可變電容元件主體時(shí)出現(xiàn)的殘余應(yīng)力，并且能夠獲得與在第六種實(shí)施方式中相同的效果。
[0258]上面已經(jīng)結(jié)合其中堆疊的內(nèi)部電極具有相同的形狀的實(shí)例描述了根據(jù)第一至第六實(shí)施方式的可變電容元件和根據(jù)變形實(shí)例的可變電容元件。然而，本公開并不限于該實(shí)例，并且甚至當(dāng)組合和堆疊不同形狀的內(nèi)部電極時(shí)，也獲得由于殘余應(yīng)力的增加而引起的電氣特性的改善的效果。當(dāng)堆疊的內(nèi)部電極的電極主體具有與在第一至第六實(shí)施方式中的相同的形狀時(shí)，進(jìn)一步改善了電氣特性。
[0259]下面將描述通過組合和堆疊基于根據(jù)以上實(shí)施方式的內(nèi)部電極的形狀和介電層的平面形狀的不同形狀的內(nèi)部電極所獲得的可變電容元件的結(jié)構(gòu)。將結(jié)合包括在內(nèi)部電極的堆疊方向上串聯(lián)的多個(gè)電容器的可變電容兀件的實(shí)例描述以下實(shí)施方式。
[0260]<7.第七種實(shí)施方式>
[0261]圖36A是示出根據(jù)本公開的第七種實(shí)施方式的可變電容元件81的示意性透視圖，以及圖36B是示出可變電容元件81的橫截面結(jié)構(gòu)視圖。在下文中，稍后描述的內(nèi)部電極的堆疊方向稱為“z方向”,與堆疊方向垂直的可變電容兀件81的一個(gè)方向稱為“X方向”,并且與堆疊方向垂直的可變電容元件81的另一個(gè)方向稱為“y方向”。此外，利用可變電容元件81的xy平面配置的一個(gè)平面稱為“上表面”，并且利用xy平面配置的另一個(gè)平面稱為“下表面”。此外，與可變電容元件I的上表面和下表面垂直的平面稱為“側(cè)表面”。
[0262]如圖36A所示，根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件I包括配置有具有正方形的xy平面的長(zhǎng)方體構(gòu)件的可變電容元件主體82以及六個(gè)外部端子(在下文中稱為第一至第六外部端子83a至83f )。
[0263]第一外部端子83a形成在可變電容元件主體82的配置有yz平面的一個(gè)側(cè)表面上，以及第六外部端子83f形成在可變電容元件主體82的配置有yz平面的另一個(gè)側(cè)表面上。第二外部端子83b和第四外部端子83d在可變電容元件主體82的配置有Xz平面的一個(gè)側(cè)表面上形成為彼此分開，以及第三外部端子83c和第五外部端子83e在可變電容元件主體82的配置有Xz平面的另一個(gè)側(cè)表面上形成為彼此分開。此外，當(dāng)在xy平面上觀察時(shí)，第二外部端子83b和第三外部端子83c位于相反的角度處，以及第四外部端子83d和第五外部端子83e位于相反的角度處。
[0264]此外，第一外部端子83a至第六外部端子83f形成為在z方向上覆蓋可變電容元件主體82的側(cè)表面，并且延伸超出可變電容元件主體82的上表面和下表面。
[0265]如圖36B所示，可變電容元件主體82包括介電層85和利用插入在其間的介電層85堆疊的六個(gè)內(nèi)部電極88至93。在以下描述中，為方便起見，六個(gè)內(nèi)部電極稱為“第一至第六內(nèi)部電極88至93”。通過按照從下表面到上表面的順序堆疊第一內(nèi)部電極88至第六內(nèi)部電極93來配置根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件主體82。此外，下部介電層86被堆疊為在第一內(nèi)部電極88下方的層,而上部介電層87被堆疊為在第六內(nèi)部電極93上方的層。
[0266]圖37是示出當(dāng)從長(zhǎng)邊方向中的一側(cè)觀察時(shí)的可變電容元件主體82的分解視圖。此外，圖38A是示出當(dāng)從上方觀察時(shí)的第一內(nèi)部電極88的平面結(jié)構(gòu)視圖，以及圖38B是示出當(dāng)從一側(cè)觀察時(shí)的第一內(nèi)部電極88的結(jié)構(gòu)視圖。此外，圖39A是示出當(dāng)從上方觀察時(shí)的第二內(nèi)部電極89的平面結(jié)構(gòu)視圖，以及圖39B是示出當(dāng)從一側(cè)觀察時(shí)的第二內(nèi)部電極89的結(jié)構(gòu)視圖。此外，圖40A是當(dāng)示出當(dāng)從上方觀察時(shí)的第四內(nèi)部電極91的平面結(jié)構(gòu)視圖，以及圖40B是示出當(dāng)從一側(cè)觀察時(shí)的第四內(nèi)部電極91的結(jié)構(gòu)視圖。在圖37至圖40中，穿過介電層85和內(nèi)部電極的中心(重心)的線由虛線表示。
[0267]如圖37所示，可變電容元件主體2具有其中堆疊片狀的介電層85的結(jié)構(gòu)，在介電層85中，內(nèi)部電極形成在一個(gè)表面上。形成為片狀的每個(gè)介電層85具有正方形的平面形狀，并且在可變電容元件主體82中，介電層85以其中形成內(nèi)部電極的一側(cè)面對(duì)上表面的狀態(tài)來堆疊。
[0268]此外，在本實(shí)施方式中，在第一內(nèi)部電極88的下方和六個(gè)內(nèi)部電極93的上方形成不包括電極的多個(gè)介電層85，并且介電層85配置下部介電層86和上部介電層87。配置有多個(gè)介電層85的下部介電層86和上部介電層87能夠防止電極暴露在可變電容兀件主體82的上表面和下表面。
[0269]在本實(shí)施方式中，由于可變電容元件I配置為具有根據(jù)施加的電壓而變化的電容，因此介電層85由鐵電材料制成。與在第一種實(shí)施方式中相同的鐵電材料可被用于本實(shí)施方式中。
[0270]如圖38A和38B所示，第一內(nèi)部電極88包括電極主體94和連接電極95。電極主體94具有正方形的平面形狀，并且形成為具有比形成為片狀的介電層85的面積大小(即，可變電容元件主體82的xy平面的面積大小)更小的面積大小并且不暴露在可變電容元件主體82的側(cè)表面上。此外，電極主體94形成為使其重心與介電層85的中心對(duì)齊。
[0271]連接電極95形成為連接到在y方向上延伸的電極主體94的一側(cè)并且暴露在可變電容元件主體82的側(cè)表面上。連接電極95在X方向上的的寬度被設(shè)置為與電極主體94在X方向上的的寬度相同。暴露在可變電容元件主體82的側(cè)表面上的連接電極95的端部電連接到第一外部端子83a。
[0272]如圖39A和圖39B所示，第二內(nèi)部電極89包括電極主體96和連接電極97。電極主體96形成為具有與配置第一內(nèi)部電極88的電極主體94相同的大小和形狀，從而其中心與介電層85的中心對(duì)齊。
[0273]連接電極97形成為連接到在X方向上延伸的電極主體96的一側(cè)并且暴露在可變電容元件主體82的側(cè)表面上。連接電極97在y方向上的寬度被設(shè)置為充分地小于電極主體96在y方向上的寬度，并且連接電極97連接到電極主體96在y方向上的一側(cè)的一個(gè)端部。暴露在可變電容元件主體82的側(cè)表面上的連接電極97的端部電連接到第二外部端子83b。
[0274]如圖40A和圖40B所示，第四內(nèi)部電極91包括電極主體98和連接電極99。電極主體98形成為具有與配置第一內(nèi)部電極88的電極主體94相同的大小和形狀，從而其重心與介電層85的中心對(duì)齊。
[0275]連接電極99形成為連接到在y方向上延伸的電極主體98的一側(cè)并且暴露在可變電容元件主體82的側(cè)表面上。此外，連接電極99在y方向上的寬度被設(shè)置為充分地小于電極主體98在y方向上的寬度，并且當(dāng)在xy平面上觀察時(shí)，連接電極99連接到在y方向上的電極主體98的一側(cè)的另一端部以被布置為與第二內(nèi)部電極89的連接電極97分開。暴露在可變電容元件主體82的側(cè)表面上的連接電極99的端部電連接到第四外部端子83d。
[0276]第三內(nèi)部電極90具有通過將圖39A中示出的第二內(nèi)部電極89相對(duì)與電極平面垂直的軸旋轉(zhuǎn)180度所獲得的結(jié)構(gòu)，并且包括與第二內(nèi)部電極89的那些相同的電極主體96和連接電極97。因此，當(dāng)在xy平面上觀察時(shí)，第三內(nèi)部電極90的連接電極97形成在與第二內(nèi)部電極89的連接電極97成斜對(duì)角的位置處。此外，暴露在可變電容元件主體82的側(cè)表面上的第三內(nèi)部電極90的連接電極97電連接到第三外部端子83c。
[0277]第五內(nèi)部電極92具有通過將圖40A中示出的第四內(nèi)部電極91相對(duì)與電極平面垂直的軸旋轉(zhuǎn)180度所獲得的結(jié)構(gòu)，并且包括與第四內(nèi)部電極91的那些相同的電極主體98和連接電極99。因此，當(dāng)在xy平面上觀察時(shí)，第五內(nèi)部電極92的連接電極99形成在與第四內(nèi)部電極91的連接電極99成斜對(duì)角的位置處。此外，暴露在可變電容元件主體82的側(cè)表面上的第五內(nèi)部電極92的連接電極99電連接到第五外部端子83e。
[0278]第六內(nèi)部電極93具有通過將圖38A中示出的第一內(nèi)部電極88相對(duì)與電極平面垂直的軸旋轉(zhuǎn)180度所獲得的結(jié)構(gòu)，并且包括與第一內(nèi)部電極88的那些相同的電極主體94和連接電極95。因此，當(dāng)在xy平面上觀察時(shí)，第六內(nèi)部電極93的連接電極95形成在與第一內(nèi)部電極88的連接電極95成斜對(duì)角的位置處。此外，暴露在可變電容元件主體82的側(cè)表面上的第六內(nèi)部電極93的連接電極95電連接到第六外部端子83f。
[0279]本實(shí)施方式的第一內(nèi)部電極88至第六內(nèi)部電極93可使用與在第一種實(shí)施方式中相同的材料形成。
[0280]根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件81可通過與在第一種實(shí)施方式中相同的制造工序來形成。換句話說，根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件81通過如下步驟來制造:通過以其中形成電極的一側(cè)面對(duì)上表面的狀態(tài)來堆疊其上形成相應(yīng)內(nèi)部電極的介電片并執(zhí)行烘烤的工序來形成可變電容元件主體82 ;以及在側(cè)表面的期望位置處形成外部端子。此外，在根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件81中，第一內(nèi)部電極88和第六內(nèi)部電極93、第二內(nèi)部電極89和第三內(nèi)部電極90以及第四內(nèi)部電極91和第五內(nèi)部電極92具有相同的形狀并且因此可使用相同的掩模來形成。
[0281]接著，將描述使用根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件81的示例性電壓控制電路。圖41示出了電壓控制電路的電路配置。例如，在圖41中示出的電壓控制電路200被布置在交變電流(AC)電源201與諸如整流電路的電路之間，并且將從AC電源201輸入到諸如整流電路的AC電壓(輸入信號(hào))調(diào)整為特定的電壓值。圖41的第一外部端子83a至第六外部端子83f與圖36的第一外部端子83a至第六外部端子83f對(duì)應(yīng)。
[0282]在本實(shí)施方式中，堆疊的第一內(nèi)部電極88至第六內(nèi)部電極93連接到不同的外部端子(第一外部端子83a至第六外部端子83f )。因此，第一電容器Cl形成在第一內(nèi)部電極88與第二內(nèi)部電極89之間。此外，第二電容器C2形成在第二內(nèi)部電極89與第三內(nèi)部電極90之間。此外，第三電容器C3形成在第三內(nèi)部電極90與第四內(nèi)部電極91之間。此外，第四電容器C4形成在第四內(nèi)部電極91與第五內(nèi)部電極92之間。此外，第五電容器C5形成在第五內(nèi)部電極92與第六內(nèi)部電極93之間。此外，根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件81是其中第一電容器Cl至第五電容器C5依次串聯(lián)的電路。
[0283]在本實(shí)施方式中，第二電容器C2、第三電容器C3和第四電容器C4用作可變電容電容器，以及第一電容器Cl和第五電容器C5用作DC去除電容器。因此，可變電容兀件81的第一外部端子83a連接到AC電源201的一個(gè)輸出端子，并且第六外部端子83f連接到AC電源201的另一個(gè)輸出端子。換句話說，包括第一電容器Cl至第五電容器C5的串聯(lián)電路并聯(lián)到AC電源201。盡管未在圖41中示出，輸入從AC電源201施加的信號(hào)的諸如整流電路的電路并聯(lián)在可變電容元件81的第一外部端子83a與第六外部端子83f之間。[0284]此外，第二外部端子83b和第四外部端子83d通過DC去除電阻器203和205連接到控制電源202的負(fù)電極端子。此外，第三外部端子83c和第五外部端子83e通過DC去除電阻器204和206連接到控制電源202的正電極端子。換句話說，在根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件81中，控制源202并聯(lián)到第二電容器C2、第三電容器C3和第四電容器C4。此夕卜，第二電容器C2、第三電容器C3和第四電容器C4的每一個(gè)的電容通過從控制電源202輸入的直流(DC)信號(hào)(控制信號(hào))來調(diào)整。
[0285]用作DC去除電容器的第一電容器Cl和第五電容器C5以及三個(gè)DC去除電阻器被布置成成抑制在從控制電源202流出的DC偏置電流與從AC電源201流出的AC電流之間的干擾的影響。在本實(shí)施方式中，DC去除電感(線圈)可被用于代替DC去除電阻器。
[0286]在本實(shí)施方式中，配置每個(gè)電容器的內(nèi)部電極和用于內(nèi)部電極的介電層具有對(duì)稱性高的形狀。因此，獲得了電氣特性的改善(諸如可變電容元件81的電容可變率的改善和靜電電容的改善)。
[0287][變形實(shí)例7-1]
[0288]接著，將描述根據(jù)變形實(shí)例7-1的可變電容元件。根據(jù)變形實(shí)例7-1的可變電容元件具有與在圖36A、圖36B和圖41中示出的第七種實(shí)施方式的那些相同的外觀結(jié)構(gòu)、橫截面結(jié)構(gòu)和電路結(jié)構(gòu)，并且因此省略其說明和重復(fù)解釋。
[0289]圖42是示出當(dāng)從長(zhǎng)邊方向中的一側(cè)觀察時(shí)的根據(jù)變形實(shí)例7-1的可變電容元件的可變電容元件主體10的分解視圖。在變形實(shí)例7-1中，使用用于制造第二內(nèi)部電極89和第三內(nèi)部電極90的掩模形成第四內(nèi)部電極91和第五內(nèi)部電極92。在圖42中，與圖37的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)的說明。
[0290]在變形實(shí)例7-1中，第四內(nèi)部電極91具有通過將圖39A中示出的第二內(nèi)部電極89相對(duì)在X方向上的穿過電極主體96的重心并且與電極主體96的平面水平的軸旋轉(zhuǎn)180度所獲得的結(jié)構(gòu)。換句話說，第四內(nèi)部電極91具有通過相對(duì)在X方向上的軸反轉(zhuǎn)圖39A中示出的第二內(nèi)部電極89所獲得的結(jié)構(gòu)。因此，當(dāng)在xy平面上觀察時(shí)，第四內(nèi)部電極91的連接電極97被布置為與第二內(nèi)部電極89的連接電極97分開。此外，與第七種實(shí)施方式類似，第四外部端子83d連接到第四內(nèi)部電極91的連接電極97。
[0291]第五內(nèi)部電極92具有通過將圖39A中示出的第二內(nèi)部電極89相對(duì)在y方向上的穿過電極主體96的重心的軸旋轉(zhuǎn)180度并將其相對(duì)在X方向上的穿過電極主體96的重心的軸旋轉(zhuǎn)180度而獲得的結(jié)構(gòu)。換句話說，變形實(shí)例7-1的第五內(nèi)部電極92具有通過相對(duì)在y方向上的軸反轉(zhuǎn)第七種實(shí)施方式的第三內(nèi)部電極90所獲得的結(jié)構(gòu)。此外，與第七種實(shí)施方式類似，第五外部端子83e連接到第五內(nèi)部電極92的連接電極97。
[0292]在變形實(shí)例7-1中，與圖36的可變電容元件類似的可變電容元件81可通過如下步驟形成:使用相同的掩模形成第二內(nèi)部電極89至第四內(nèi)部電極91 ;以及在旋轉(zhuǎn)和/或反轉(zhuǎn)介電層的同時(shí)，堆疊其上形成相應(yīng)的內(nèi)部電極的片狀的介電層。具體地，如圖42所示，第一內(nèi)部電極88至第三內(nèi)部電極90以其中電極平面面對(duì)上表面的狀態(tài)了堆疊，以及第四內(nèi)部電極91至第六內(nèi)部電極93以其中電極平面面對(duì)下表面的狀態(tài)堆疊。此外，其上未形成電極的介電層85插入在其上形成第三內(nèi)部電極90的介電層85與其上形成第四內(nèi)部電極91的介電層85之間，并且因此介電層85形成在第三內(nèi)部電極90與第四內(nèi)部電極91之間。
[0293]由于如上所述地旋轉(zhuǎn)和/或反轉(zhuǎn)并隨后堆疊使用相同掩模形成的第二內(nèi)部電極89至第四內(nèi)部電極91，因此相應(yīng)的連接電極97可配置為暴露在可變電容元件主體的側(cè)表面的不同位置處。此外，由于外部端子連接到連接電極97，所有可以給相應(yīng)的內(nèi)部電極供應(yīng)不同的電勢(shì)，并且與第七種實(shí)施方式類似，可以配置其中內(nèi)部電極在堆疊方向上串聯(lián)的電容器。
[0294]如上所述，在變形實(shí)例7-1中，由于第二內(nèi)部電極89至第五內(nèi)部電極92可使用相同的掩模來形成，因此可減少成本。此外，能夠獲得與在第七種實(shí)施方式中相同的效果。
[0295][變形實(shí)例7-2]
[0296]接著，將描述根據(jù)變形實(shí)例7-2的可變電容元件。根據(jù)變形實(shí)例7-2的可變電容元件具有與在圖36A、圖36B和圖41中示出的第七種實(shí)施方式的那些相同的外觀結(jié)構(gòu)、橫截面結(jié)構(gòu)和電路結(jié)構(gòu)，并且因此省略其說明和重復(fù)的解釋。
[0297]圖43是示出當(dāng)從長(zhǎng)邊方向中的一側(cè)觀察時(shí)的根據(jù)變形實(shí)例7-1的可變電容元件的可變電容元件主體111的分解視圖。在變形實(shí)例7-2中，應(yīng)力控制單元100和101形成為在第一內(nèi)部電極88下方的層以及在第六內(nèi)部電極93上的層。在圖43中，與圖37的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)說明。
[0298]如圖43所示，在變形實(shí)例7-2中，第一應(yīng)力控制單元100形成為在第一內(nèi)部電極88下方的層，以及第二應(yīng)力控制單元101形成為在第六內(nèi)部電極93上的層。
[0299]第一應(yīng)力控制單元100配置有利用插入在其間的介電層85堆疊的多個(gè)第一內(nèi)部電極88，并且配置第一應(yīng)力控制單元100的第一內(nèi)部電極88連接到第一外部端子83a，與配置第一電容器Cl的第一內(nèi)部電極88類似。因此，由于配置第一電容器Cl的第一內(nèi)部電極88和配置第一應(yīng)力控制單元100的第一內(nèi)部電極88具有相同的電勢(shì)，因此在這些電極之間不形成電容器。此外，由于在第一應(yīng)力控制單元100中形成的多個(gè)第一內(nèi)部電極88具有相同電勢(shì)，所以沒有電容器形成在第一應(yīng)力控制單元100中。
[0300]第二應(yīng)力控制單元101配置有利用插入在其間的介電層85堆疊的多個(gè)第六內(nèi)部電極93，并且配置第二應(yīng)力控制單元101的第六內(nèi)部電極93連接到第六外部端子83f，與配置第五電容器C5的第六內(nèi)部電極93類似。因此，由于配置第五電容器C5的第六內(nèi)部電極93和配置第二應(yīng)力控制單元101的第六內(nèi)部電極93具有相同的電勢(shì)，因此在這些電極之間不形成電容器。此外，由于在第二應(yīng)力控制單元101中形成的多個(gè)第六內(nèi)部電極93具有相同電勢(shì)，因此在第二應(yīng)力控制單元101中不形成電容器。
[0301]在根據(jù)變形實(shí)例7-2的可變電容元件中，由于在烘烤時(shí)在電極材料與介電材料之間的收縮率的差異，在第一應(yīng)力控制單元100和第二應(yīng)力控制單元101中也出現(xiàn)殘余應(yīng)力。因此，由于殘余應(yīng)力通過第一應(yīng)力控制單元100和第二應(yīng)力控制單元101增加，因此與當(dāng)未形成應(yīng)力控制時(shí)相比，可以增加電容值和電容可變率。
[0302]此外，能夠獲得與在第七種實(shí)施方式中相同的效果。
[0303]<7.第八種實(shí)施方式>
[0304]圖44A是示出根據(jù)本公開的第八種實(shí)施方式的可變電容元件121的示意性透視圖，以及圖44B是可變電容元件121的橫截面結(jié)構(gòu)視圖。在圖44A和圖44B中，與圖36A和圖36B的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)的說明。
[0305]如圖44所示，根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件121包括配置有具有正方形的xy平面的長(zhǎng)方體構(gòu)件的可變電容元件主體122和10個(gè)外部端子(在下文中稱為“第一外部端子129a至第十外部端子129j”)。
[0306]第一外部端子129a至第十外部端子129 j在可變電容元件主體122的四個(gè)側(cè)表面上被布置成彼此分開。此外，當(dāng)在xy平面上觀察時(shí)，第一外部端子129a和第八外部端子129h、第二外部端子129b和第三外部端子129c以及第九外部端子129i和第十外部端子129j被布置在對(duì)應(yīng)的位置處。此外，當(dāng)在xy平面上觀察時(shí)，第四外部端子129d和第七外部端子129g以及第五外部端子129e和第六外部端子129f被布置在對(duì)應(yīng)的位置處。
[0307]此外，第一外部端子129a至第十外部端子129j形成為在z方向上覆蓋可變電容元件主體122的側(cè)表面，并且延伸超出可變電容元件122的上表面和下表面。
[0308]如圖44B所示，可變電容元件主體122包括介電層85和利用插入在其間的介電層85堆疊的六個(gè)內(nèi)部電極123至128。在以下描述中，為方便起見，三個(gè)內(nèi)部電極被稱為第一內(nèi)部電極123至第六內(nèi)部電極128。通過按照從下表面到上表面的順序堆疊第一內(nèi)部電極123至第六內(nèi)部電極128來配置根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件主體122。
[0309]圖45是示出當(dāng)從長(zhǎng)邊方向中的一側(cè)觀察時(shí)的可變電容元件主體122的分解視圖。圖46A是示出當(dāng)從上方觀察時(shí)的第一內(nèi)部電極123的平面結(jié)構(gòu)視圖，以及圖46B是示出當(dāng)從一側(cè)觀察時(shí)的第一內(nèi)部電極123的結(jié)構(gòu)視圖。圖47A是示出當(dāng)從上方觀察時(shí)的第二內(nèi)部電極124的平面結(jié)構(gòu)視圖，以及圖47B是示出當(dāng)從一側(cè)觀察時(shí)的第二內(nèi)部電極124的結(jié)構(gòu)視圖。圖48A是示出當(dāng)從上方觀察時(shí)的第四內(nèi)部電極126的平面結(jié)構(gòu)視圖，以及圖48B是示出當(dāng)從一側(cè)觀察時(shí)的第四內(nèi)部電極126的結(jié)構(gòu)視圖。在圖45至圖48中，穿過介電層85和相應(yīng)內(nèi)部電極的中心(重心)的線由虛線表示。
[0310]如圖45所示，可變電容元件主體122具有其中堆疊其中內(nèi)部電極形成在一側(cè)的片狀的介電層85的結(jié)構(gòu)。形成為片狀的相應(yīng)介電層85具有正方形的平面形狀，并且在可變電容元件主體122中，以其中形成內(nèi)部電極的一側(cè)面對(duì)上表面的狀態(tài)來堆疊介電層85。
[0311]如圖46A和圖46B所示，第一內(nèi)部電極123包括電極主體130和連接電極131。電極主體130具有圓形的平面形狀，并且形成為具有比形成為片狀的介電層85的面積大小(即，可變電容元件主體122的xy平面的面積大小)更小的面積大小，并且不暴露在可變電容元件主體122的側(cè)表面上。此外，電極主體130形成為使其重心與介電層85的中心對(duì)齊。
[0312]三個(gè)連接電極131在電極主體130的圓周方向上以等間隔連接到電極主體130。此外，連接電極131的每一個(gè)形成為具有比形成為圓形的電極主體130的直徑更小的寬度的帶狀。換句話說，在本實(shí)施方式中，第一內(nèi)部電極123具有與圖32中示出的第六實(shí)施方式的內(nèi)部電極67相同的結(jié)構(gòu)。
[0313]配置第一內(nèi)部電極123的三個(gè)連接電極131暴露在可變電容元件主體122的側(cè)表面處，并且連接到不同的外部端子，即，第一外部端子129a至第三外部端子129c。
[0314]如圖47A和圖48B所示，第二內(nèi)部電極124包括電極主體132和連接電極133。電極主體132形成為具有與配置第一內(nèi)部電極123的電極主體130相同的大小和形狀，從而其重心與介電層85的中心對(duì)齊。
[0315]連接電極133連接到電極主體132，并且布置在穿過電極主體132的重心(中心)的直線上。此外，連接電極133形成為暴露在偏離可變電容元件主體122的利用Xz平面配置的側(cè)表面的中心的位置處。此外，連接電極133形成為具有比形成為圓形的電極主體132的直徑更小的寬度的帶狀。換句話說，在本實(shí)施方式中，第二內(nèi)部電極124具有與在圖12中所示的變形實(shí)例2-2的內(nèi)部電極20相同的結(jié)構(gòu)。此外，配置第二內(nèi)部電極124的連接電極133暴露在可變電容元件主體122的利用xy平面配置的一個(gè)側(cè)表面上，并且其端部電連接到第四外部端子129d。
[0316]如圖48A和圖48B所示，第四內(nèi)部電極126包括電極主體134和連接電極135。電極主體134形成為具有與配置第一內(nèi)部電極123的電極主體130相同的大小和形狀，從而其重心與介電層85的中心對(duì)齊。
[0317]連接電極135連接到電極主體134，并且布置在穿過電極主體134的重心(中心)的直線上。此外，連接電極135形成為暴露在偏離可變電容元件主體122的利用XZ平面配置的側(cè)表面的中心的位置處。此外，連接電極135形成為具有比形成為圓形的電極主體134的直徑更小的寬度的帶狀。換句話說，在本實(shí)施方式中，第四內(nèi)部電極126具有與第二內(nèi)部電極124相同的結(jié)構(gòu)以及與圖12中所示的變形實(shí)例2-2的內(nèi)部電極20相同的結(jié)構(gòu)。
[0318]此外，在本實(shí)施方式中，第四內(nèi)部電極126的連接電極135與第二內(nèi)部電極124的連接電極133相對(duì)于y方向上的穿過電極主體134的重心的軸線性對(duì)稱。此外，配置第四內(nèi)部電極126的連接電極135暴露在可變電容元件主體122的利用xz平面配置的一個(gè)側(cè)表面上，并且其端部電連接到第六外部端子129f。
[0319]第三內(nèi)部電極125具有通過將圖46A中示出的第二內(nèi)部電極124相對(duì)在z方向上的穿過電極主體132的重心的軸旋轉(zhuǎn)180度所獲得的結(jié)構(gòu)，并且包括與第二內(nèi)部電極124的那些相同的電極主體132和連接電極133。因此，當(dāng)在xy平面上觀察時(shí)，第三內(nèi)部電極125的連接電極133形成在與第二內(nèi)部電極124的連接電極133成斜對(duì)角的位置處。此外，暴露在可變電容元件主體122的側(cè)表面上的第三內(nèi)部電極125的連接電極133電連接到第五外部端子129e。
[0320]第五內(nèi)部電極127具有通過將圖47A中示出的第四內(nèi)部電極126相對(duì)在z方向上的穿過電極主體134的重心的軸旋轉(zhuǎn)180度所獲得的結(jié)構(gòu)，并且包括與第四內(nèi)部電極126的那些相同的電極主體134和連接電極135。因此，當(dāng)在xy平面上觀察時(shí)，第五內(nèi)部電極127的連接電極135形成在與第四內(nèi)部電極126的連接電極135成斜對(duì)角的位置處。此外，暴露在可變電容元件主體122的側(cè)表面上的第五內(nèi)部電極127的連接電極135電連接到第七外部端子129g。
[0321]第六內(nèi)部電極128具有通過將圖46A中示出的第一內(nèi)部電極123相對(duì)在z方向上的穿過電極主體130的重心的的軸旋轉(zhuǎn)180度所獲得的結(jié)構(gòu)，并且包括與第一內(nèi)部電極123的那些相同的電極主體130和連接電極131。因此，當(dāng)在xy平面上觀察時(shí)，第六內(nèi)部電極128的三個(gè)連接電極131形成在與第一內(nèi)部電極123的三個(gè)連接電極131成斜對(duì)角的位置處。此外,暴露在可變電容元件主體122的側(cè)表面上的第六內(nèi)部電極128的三個(gè)連接電極131電連接到第八外部端子129h至第十外部端子129j。
[0322]本實(shí)施方式的第一內(nèi)部電極123至第六內(nèi)部電極128可使用與在第一種實(shí)施方式中相同的材料形成。
[0323]可通過與在第一種實(shí)施方式中相同的制造工序來制造根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件121。換句話說，根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件可通過如下步驟制造:通過以其上形成電極的一側(cè)面對(duì)上表面的狀態(tài)堆疊其上形成相應(yīng)內(nèi)部電極的介電片并執(zhí)行烘烤的工序來形成可變電容元件主體；以及在側(cè)表面的期望位置處形成外部端子。此外，在根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件121中，第一內(nèi)部電極123和第六內(nèi)部電極128、第二內(nèi)部電極124和第三內(nèi)部電極125以及第四內(nèi)部電極126和第五內(nèi)部電極127具有相同的形狀并且因此可使用相同的掩模來形成。
[0324]圖49是示出當(dāng)從上方觀察內(nèi)部時(shí)的根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件121的第一內(nèi)部電極123至第六內(nèi)部電極128的結(jié)構(gòu)視圖。如圖49所示，在本實(shí)施方式中，在第一內(nèi)部電極123至第六內(nèi)部電極128中的所有連接電極被布置為在堆疊方向上不重疊。因此在堆疊的連接電極之間不形成電容。
[0325]接著，將描述使用根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件121的示例性電壓控制電路。圖50示出了電壓控制電路207的電路結(jié)構(gòu)。在圖50中，與圖41的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)的說明。
[0326]在本實(shí)施方式中，堆疊的第一內(nèi)部電極123至第六內(nèi)部電極128連接到不同的外部端子(第一外部端子129a至第十外部端子129j)。因此，第一電容器Cl形成在第一內(nèi)部電極123與第二內(nèi)部電極124之間。此外，第二電容器C2形成在第二內(nèi)部電極124與第三內(nèi)部電極125之間。此外，第三電容器C3形成在第三內(nèi)部電極125與第四內(nèi)部電極126之間。此外，第四電容器C4形成在第四內(nèi)部電極126與第五內(nèi)部電極127之間。此外，第五電容器C5形成在第五內(nèi)部電極127與第六內(nèi)部電極128之間。此外，根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件121是其中第一電容器Cl至第五電容器C5依次串聯(lián)的電路。
[0327]在本實(shí)施方式中，第二電容器C2、第三電容器C3和第四電容器C4被用作可變電容電容器，并且第一電容器Cl和第五電容器C5用作DC去除電容器。因此，連接到第一內(nèi)部電極123的第一外部端子129a至第三外部端子129c連接到AC電源201的一個(gè)輸出端子。同時(shí)，連接到第六內(nèi)部電極128的第八外部端子129h至第十外部端子129 j連接到AC電源201的另一個(gè)輸出端子。
[0328]此外，第四外部端子129d和第六外部端子129f通過DC去除電阻器203和205連接到控制電源202的負(fù)電極端子。此外，第五外部端子129e和第七外部端子129g通過DC去除電阻器204和206連接到控制電源202的正電極端子。換句話說，在根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件121中，控制源202并聯(lián)到第二電容器C2、第三電容器C3和第四電容器C4。此外，第二電容器C2、第三電容器C3和第四電容器C4的每一個(gè)的電容通過從控制電源202輸入的DC信號(hào)(控制信號(hào))來調(diào)節(jié)。
[0329]在本實(shí)施方式中，來自三個(gè)連接電極的AC電源的信號(hào)被輸入到第一內(nèi)部電極123和第六內(nèi)部電極128。因此，提高了對(duì)從AC電源輸入的信號(hào)的耐受電壓。
[0330]此外，能夠獲得與在第七種實(shí)施方式中相同的效果。此外，類似于第七種實(shí)施方式的變形實(shí)例7-2，根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件可被設(shè)置有應(yīng)力控制單元。
[0331][變形實(shí)例8-1]
[0332]接著，將描述根據(jù)變形實(shí)例8-1的可變電容元件。根據(jù)變形實(shí)例8-1的可變電容元件具有與在圖44A、圖44B和圖50中示出的第八種實(shí)施方式的那些相同的外觀結(jié)構(gòu)、橫截面結(jié)構(gòu)和電路結(jié)構(gòu)，并且因此省略其說明和重復(fù)的解釋。
[0333]圖51是示出當(dāng)從長(zhǎng)邊方向中的一側(cè)觀察時(shí)的根據(jù)變形實(shí)例8-1的可變電容元件的可變電容元件主體140的分解視圖。在變形實(shí)例8-1中，使用用于制造第二內(nèi)部電極124和第三內(nèi)部電極125的掩模來形成第四內(nèi)部電極126和第五內(nèi)部電極127。在圖51中，與圖45的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)的說明。
[0334]在變形實(shí)例8-1中，第四內(nèi)部電極126具有通過將圖47A中示出的第二內(nèi)部電極124相對(duì)在y方向上的穿過電極主體132的重心的軸旋轉(zhuǎn)180度而獲得的結(jié)構(gòu)。換句話說，第四內(nèi)部電極126具有通過相對(duì)在y方向上的軸反轉(zhuǎn)圖47A中示出的第二內(nèi)部電極124所獲得的結(jié)構(gòu)。因此，當(dāng)在xy平面上觀察時(shí)，第四內(nèi)部電極126的連接電極133被布置為與第二內(nèi)部電極124的連接電極133分開。此外，與第八種實(shí)施方式類似，第六外部端子129f連接到第四內(nèi)部電極126的連接電極133。
[0335]第五內(nèi)部電極127具有通過將圖47A中示出的第二內(nèi)部電極124相對(duì)在y方向上的穿過電極主體132的重心的軸旋轉(zhuǎn)180度并且將其相對(duì)在z方向上的穿過電極主體132的重心的軸旋轉(zhuǎn)180度而獲得的結(jié)構(gòu)。換句話說，第五內(nèi)部電極127具有通過相對(duì)在y方向上的軸反轉(zhuǎn)第八種實(shí)施方式的第三內(nèi)部電極125所獲得的結(jié)構(gòu)。此外，與第八種實(shí)施方式類似，第七外部端子129g連接到第五內(nèi)部電極127的連接電極133。
[0336]在變形實(shí)例8-1中，與圖44B的可變電容元件類似的可變電容元件121可通過如下步驟形成:使用相同的掩模形成第二內(nèi)部電極124至第五內(nèi)部電極127 ;以及在旋轉(zhuǎn)和/或反轉(zhuǎn)介電層的同時(shí)，堆疊其上形成相應(yīng)內(nèi)部電極的片狀的介電層。具體地，如圖51所示，以其中電極平面面對(duì)上表面的狀態(tài)堆疊第一內(nèi)部電極123至第三內(nèi)部電極125，以及以其中電極平面面對(duì)下表面的狀態(tài)堆疊第四內(nèi)部電極126至第六內(nèi)部電極128。此外，其上未形成電極的介電層85插入在其上形成第三內(nèi)部電極125的介電層85與其上形成第四內(nèi)部電極126的介電層85之間，并且因此介電層85形成在第三內(nèi)部電極125與第四內(nèi)部電極126之間。
[0337]如上所述，在變形實(shí)例8-1中，由于第二內(nèi)部電極124至第五內(nèi)部電極127可使用相同的掩模來形成，因此可減少成本。此外，能夠獲得與在第七種實(shí)施方式中相同的效果。
[0338]此外，與根據(jù)第七種實(shí)施方式的變形實(shí)例7-2的可變電容元件類似，根據(jù)變形實(shí)例8-1的可變電容元件可被設(shè)置有應(yīng)力控制單元。
[0339]<9.第九種實(shí)施方式>
[0340]圖52A是示出根據(jù)本公開的第九種實(shí)施方式的可變電容元件141的示意性透視圖，以及圖52B是可變電容元件141的橫截面結(jié)構(gòu)視圖。根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件141與根據(jù)第七種實(shí)施方式的可變電容兀件121的不同在于第一內(nèi)部電極144和第六內(nèi)部電極149的結(jié)構(gòu)。在圖52A和圖52B中，與圖36A和圖36B的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)的說明。
[0341]如圖52A所示，根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件141包括配置有具有正方形的xy平面的長(zhǎng)方體構(gòu)件的可變電容元件主體142和八個(gè)外部端子(在下文中稱為“第一外部端子143a至第八外部端子143h”)。
[0342]第一外部端子143a至第八外部端子143h在可變電容元件主體142四個(gè)側(cè)表面上被布置成彼此分開。此外，當(dāng)在xy平面上觀察時(shí)，第一外部端子143a和第二外部端子143b、第三外部端子143c和第六外部端子143f、第四外部端子143d和第五外部端子143e以及第七外部端子143g和第八外部端子143h被布置在相對(duì)的位置處。
[0343]此外，第一外部端子143a至第八外部端子143h形成為在z方向上覆蓋可變電容元件主體142的側(cè)表面，并且延伸超出可變電容元件142的上表面和下表面。[0344]如圖52B所示，可變電容元件主體142包括介電層85和利用插入在其間的介電層85堆疊的六個(gè)內(nèi)部電極。在以下描述中，為方便起見，六個(gè)內(nèi)部電極被稱為“第一至第六內(nèi)部電極144至149”。通過按照從下表面到上表面的順序堆疊第一內(nèi)部電極144至第六內(nèi)部電極149來配置根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件主體142。
[0345]圖53是示出當(dāng)從長(zhǎng)邊方向中的一側(cè)觀察時(shí)的可變電容元件的分解視圖。此外，圖54A是示出當(dāng)從上方觀察時(shí)的第一內(nèi)部電極144的平面結(jié)構(gòu)視圖，以及圖54B是示出當(dāng)從一側(cè)觀察時(shí)的第一內(nèi)部電極144的結(jié)構(gòu)視圖。
[0346]如圖54A和圖54B所示，第一內(nèi)部電極144包括電極主體150、兩個(gè)連接電極151和虛擬電極152。電極主體150具有圓形的平面形狀，并且形成為具有比形成為片狀的介電層85的面積大小(即，可變電容元件主體142的xy平面的面積大小)更小的面積大小，并且不暴露在可變電容元件主體142的側(cè)表面上。此外，電極主體150形成為使其重心與介電層85的中心對(duì)齊。
[0347]連接電極151和虛擬電極152幾乎相等的間隔形成在電極主體150的圓周方向上。此外,兩個(gè)連接電極151形成為暴露在可變電容元件主體142的相對(duì)的側(cè)表面上。此夕卜，虛設(shè)電極152朝向可變電容兀件主體142的側(cè)表面形成,但不暴露在側(cè)表面上。此外，連接電極151和虛擬電極152形成為具有從電極主體150 —側(cè)向可變電容元件主體142的側(cè)表面增加的寬度。此外，配置第一內(nèi)部電極144的兩個(gè)連接電極151的其中一個(gè)連接到第一外部端子143a，并且另一個(gè)連接到第二外部端子143b。
[0348]第六內(nèi)部電極149具有通過將圖54A中示出的第一內(nèi)部電極144相對(duì)在z方向上的穿過電極主體150的重心的軸旋轉(zhuǎn)180度所獲得的結(jié)構(gòu)，并且包括與第一內(nèi)部電極144的那些相同的電極主體150、連接電極131和虛擬電極152。此外，暴露在可變電容元件主體142的側(cè)表面上的第六內(nèi)部電極149的兩個(gè)連接電極151電連接到第七外部端子143g和第八外部端子143h。
[0349]此外，在本實(shí)施方式中，第二內(nèi)部電極145至第五內(nèi)部電極148具有與在第七種實(shí)施方式中的第二內(nèi)部電極124至第五內(nèi)部電極127相同的結(jié)構(gòu)。換句話說，與如在圖47A和47B中所示的第二內(nèi)部電極124和第三內(nèi)部電極125類似，第二內(nèi)部電極145和第三內(nèi)部電極146的每一個(gè)包括電極主體132和連接電極133。此外，第四內(nèi)部電極147和第五內(nèi)部電極148的每一個(gè)包括如在圖48A和48B中所示的電極主體134和連接電極135。此夕卜，第二內(nèi)部電極145至第五內(nèi)部電極148分別連接到第三外部端子143c至第六外部端子143f0
[0350]根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件141可通過與在第一種實(shí)施方式中相同的制造工序來制造。換句話說，根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件141通過如下步驟制造:通過以其上形成電極的一側(cè)用作上表面的狀態(tài)堆疊其上形成相應(yīng)內(nèi)部電極的介電片并執(zhí)行烘烤的工序來形成可變電容元件主體142 ;以及在側(cè)表面的期望的位置處形成外部端子。此外，在根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件141中，第一內(nèi)部電極144和第六內(nèi)部電極149、第二內(nèi)部電極145和第三內(nèi)部電極146以及第四內(nèi)部電極147和第五內(nèi)部電極148具有相同的形狀，并且因此可使用相同的掩模來形成。
[0351]圖55是示出當(dāng)從上方觀察內(nèi)側(cè)時(shí)的根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件141的第一內(nèi)部電極144至第六內(nèi)部電極149的結(jié)構(gòu)視圖。如圖55所示，在本實(shí)施方式中，在第一內(nèi)部電極144至第六內(nèi)部電極149中的所有連接電極被布置為在堆疊方向上不重疊。因此在堆疊的連接電極之間不形成電容。
[0352]接著，將描述使用根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件141的示例性電壓控制電路。圖56示出了電壓控制電路208的電路結(jié)構(gòu)。在圖56中，與圖41的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)的說明。
[0353]在本實(shí)施方式中，堆疊的第一內(nèi)部電極144至第六內(nèi)部電極149連接到不同的外部端子(第一外部端子143a至第八外部端子143h)。因此，第一電容器Cl形成在第一內(nèi)部電極144與第二內(nèi)部電極145之間。此外，第二電容器C2形成在第二內(nèi)部電極145與第三內(nèi)部電極146之間。此外，第三電容器C3形成在第三內(nèi)部電極146與第四內(nèi)部電極147之間。此外，第四電容器C4形成在第四內(nèi)部電極147與第五內(nèi)部電極148之間。此外，第五電容器C5形成在第五內(nèi)部電極148與第六內(nèi)部電極149之間。此外，根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件141是其中第一電容器Cl至第五電容器C5依次串聯(lián)的電路。
[0354]在本實(shí)施方式中，第二電容器C2、第三電容器C3和第四電容器C4用作可變電容電容器，并且第一電容器Cl和第五電容器C5用作DC去除電容器。因此，連接到第一內(nèi)部電極144的第一外部端子143a和第二外部端子143b連接到AC電源201的一個(gè)輸出端子。同時(shí)，連接到第六內(nèi)部電極149的第七外部端子143g和第八外部端子143h連接到AC電源201的另一個(gè)輸出端子。
[0355]此外，第三外部端子143c和第五外部端子143e通過DC去除電阻器203和205連接到控制電源202的負(fù)電極端子。此外，第四外部端子143d和第六外部端子143f通過DC去除電阻器204和206連接到控制電源202的正電極端子。換句話說，在根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件141中，控制源202并聯(lián)到第二電容器C2、第三電容器C3和第四電容器C4。此外，第二電容器C2、第三電容器C3和第四電容器C4的每一個(gè)的電容通過從控制電源202輸入的DC信號(hào)(控制信號(hào))來調(diào)節(jié)。
[0356]在本實(shí)施方式中，來自兩個(gè)連接電極的AC電源的信號(hào)被輸入到第一內(nèi)部電極144和第六內(nèi)部電極149。因此，提高了對(duì)從AC電源輸入的信號(hào)的耐受電壓。此外，在本實(shí)施方式中，在第一內(nèi)部電極144和第六內(nèi)部電極149中，連接電極151的連接到外部端子的一側(cè)具有寬的寬度。因此，在可變電容元件141中，可進(jìn)一步提高耐受電壓。此外，在第一內(nèi)部電極144和第六內(nèi)部電極149中，因?yàn)樾纬闪颂摂M電極152，因此提高了內(nèi)部電極的對(duì)稱性，并且因此提高了殘余應(yīng)力。
[0357]已經(jīng)結(jié)合其中設(shè)置虛擬電極152的實(shí)例描述了本實(shí)施方式，但是與第六種實(shí)施方式類似，三個(gè)連接電極可形成為暴露在可變電容元件主體142的側(cè)表面上并且連接到外部端子。在該情況下，由于連接到AC電源的外部電極的數(shù)量增加，因此可進(jìn)一步提高耐受電壓。
[0358]此外，與變形實(shí)例7-2類似，根據(jù)本實(shí)施方式的可變電容元件141可設(shè)置有應(yīng)力控制單元。
[0359][變形實(shí)例9-1]
[0360]接著，將描述根據(jù)變形實(shí)例9-1的可變電容元件。根據(jù)變形實(shí)例9-1的可變電容元件具有與在圖52A、圖52B和圖56中示出的第九種實(shí)施方式的那些相同的外觀結(jié)構(gòu)、橫截面結(jié)構(gòu)和電路結(jié)構(gòu)，并且因此省略其說明和重復(fù)的解釋。[0361]圖57是示出當(dāng)從長(zhǎng)邊方向中的一側(cè)觀察時(shí)的根據(jù)變形實(shí)例9-1的可變電容元件的可變電容元件主體153的分解視圖。在變形實(shí)例9-1中，使用用于制造第二內(nèi)部電極145和第三內(nèi)部電極146的掩模來形成第四內(nèi)部電極147和第五內(nèi)部電極148。在圖57中，與圖53的那些部件對(duì)應(yīng)的部件由相同的附圖標(biāo)記表示，并且省略重復(fù)的說明。
[0362]在變形實(shí)例9-1中，第四內(nèi)部電極147具有通過將第二內(nèi)部電極145相對(duì)在y方向上的穿過電極主體132的重心的軸旋轉(zhuǎn)180度而獲得的結(jié)構(gòu)。換句話說，第二內(nèi)部電極145具有通過相對(duì)在y方向上的軸反轉(zhuǎn)第二內(nèi)部電極145所獲得的結(jié)構(gòu)。因此，當(dāng)在xy平面上觀察時(shí)，第四內(nèi)部電極147的連接電極133與第二內(nèi)部電極145的連接電極133被布置為在相同的側(cè)表面上彼此分開。此外，與第九種實(shí)施方式類似，第五外部端子143e連接到第四內(nèi)部電極147的連接電極133。
[0363]第五內(nèi)部電極148具有通過將第二內(nèi)部電極145相對(duì)在y方向上的穿過電極主體132的重心的軸旋轉(zhuǎn)180度并且將其相對(duì)在z方向上的穿過電極主體132的重心的軸上旋轉(zhuǎn)180度而獲得結(jié)構(gòu)。換句話說，第五內(nèi)部電極148具有通過相對(duì)在y方向上的軸反轉(zhuǎn)第八種實(shí)施方式的第三內(nèi)部電極146所獲得的結(jié)構(gòu)。此外，與第八種實(shí)施方式類似，第六外部端子143f連接到第五內(nèi)部電極148的連接電極133。
[0364]在變形實(shí)例9-1中，與圖52B的可變電容元件類似的可變電容元件153可通過如下步驟形成:使用相同的掩模形成第二內(nèi)部電極145至第五內(nèi)部電極148 ;以及在旋轉(zhuǎn)和/或反轉(zhuǎn)介電層的同時(shí)，堆疊其上形成形成相應(yīng)內(nèi)部電極的片狀的介電層85。具體地，如圖57所示，以其中電極平面面對(duì)上表面的狀態(tài)堆疊第一內(nèi)部電極144至第三內(nèi)部電極146，以及以其中電極平面面對(duì)下表面的狀態(tài)堆疊第四內(nèi)部電極147至第六內(nèi)部電極149。此外，其上未形成電極的介電層85插入在其上形成第三內(nèi)部電極146的介電層85與其上形成第四內(nèi)部電極147的介電層85之間，并且因此介電層85形成在第三內(nèi)部電極146與第四內(nèi)部電極147之間。
[0365]如上所述，在變形實(shí)例9-1中，由于第二內(nèi)部電極145至第五內(nèi)部電極148可使用相同的掩模來形成，因此可減少成本。此外，能夠獲得與在第八種實(shí)施方式中相同的效果。
[0366]此外，與變形實(shí)例7-2類似，根據(jù)變形實(shí)例9-1的可變電容元件可設(shè)置有應(yīng)力控制單元。
[0367]同時(shí)，在第一種至第九種實(shí)施方式中，在每一個(gè)內(nèi)部電極中，連接電極的連接到外部端子的端部寬度被設(shè)置為小于電極主體的寬度，但是連接電極的連接到外部端子的端部寬度可被適當(dāng)?shù)馗淖儭＠?，?duì)于僅施加DC電壓的電極，由于在連接電極中的高電阻是沒有問題的，因此允許連接電極的寬度小于電極主體的寬度，但是對(duì)于流入AC電流的電極，優(yōu)選地鑒于電阻，連接電極形成為具有大的寬度。此外，當(dāng)殘余應(yīng)力由應(yīng)力控制單元或多層堆疊的電極控制時(shí)，最外層的電極的連接電極可具有很大寬度。此外，作為減少連接電極的電極電阻的方法，存在增加電極的寬度的方法、減少長(zhǎng)度的方法以及增加厚度的方法，但是可以通過組合這些方法采用優(yōu)選的形式。
[0368]此外，已經(jīng)結(jié)合作為電容元件的實(shí)例的其中電容根據(jù)所施加的電壓而變化的可變電容描述了第一種實(shí)施方式到第九種實(shí)施方式，但是本公開不限于該實(shí)例。在第一種實(shí)施方式至第九種實(shí)施方式中描述的配置可被應(yīng)用于其中無論輸入信號(hào)的類型及其信號(hào)電平電容幾乎不變化的電容元件(在下文中稱為“恒定電容元件”)，。[0369]在該情況下，介電層由相對(duì)介電常數(shù)低的順電材料制成。順電材料的實(shí)例包括紙、聚對(duì)苯二甲酸乙二酯、聚丙烯、聚苯硫醚、聚苯乙烯、1102、1%1102、1%1^03、5—81102、4丨203和Ta205。恒定電容元件可通過與第一種實(shí)施方式的可變電容元件相同的方法來制造。
[0370]此外，適于本公開的靜電電容元件的電容C (F)還取決于使用頻率f (Hz)0本公開適于其中阻抗Z (歐姆)(Z=l/2 Jifc)是2歐姆或更多、優(yōu)選地是15歐姆或更多以及更優(yōu)選地是100歐姆或更多的具有電容C (F)的電容元件。
[0371]〈10.第十實(shí)施方式:諧振電路〉
[0372]接著，將描述根據(jù)本發(fā)明的第十種實(shí)施方式的諧振電路。本實(shí)施方式是其中本發(fā)明的電容元件應(yīng)用到諧振電路的實(shí)例，并且特別地是其中應(yīng)用第一種實(shí)施方式的可變電容元件I的實(shí)例。此外，在本實(shí)施方式中，諧振電路用于非接觸IC卡。
[0373]圖58是示出使用本實(shí)施方式的諧振電路的非接觸IC卡530的接收系統(tǒng)電路的方框結(jié)構(gòu)視圖。在本實(shí)施方式中，為了簡(jiǎn)化說明，未示出信號(hào)發(fā)射系統(tǒng)(調(diào)制系統(tǒng))電路單元。發(fā)射系統(tǒng)電路單元具有與現(xiàn)有技術(shù)的非接觸IC卡相同的結(jié)構(gòu)。
[0374]如圖58所示，非接觸IC卡包括接收單元531 (天線)、整流單元532以及信號(hào)處理單元533。
[0375]接收單元531配置有包括諧振線圈534和諧振電容器535的諧振電路，并且從非接觸IC卡530的R/W (未示出)發(fā)送的信號(hào)由諧振電路接收。在圖58中，諧振線圈534被分成電感組件534a (L)和電阻組件534b (r:大約幾歐姆)。 [0376]諧振電容器535被配置為使電容Co的電容器535a與其中電容Cv根據(jù)所接收的信號(hào)的電壓值(接收電壓值)而變化的可變電容元件I并聯(lián)。換句話說，在本實(shí)施方式中，可變電容元件I連接到現(xiàn)有技術(shù)的天線(包括諧振線圈534和電容器535a的諧振電路)。
[0377]作為電容器535a，與現(xiàn)有技術(shù)的天線類似，使用由順電材料形成的電容器。由順電材料形成的電容器535a的相對(duì)介電常數(shù)很低，并且無論輸入電壓的類型(AC或DC)及其電壓值，其具有幾乎不變化的電容。因此，電容器535a在輸入信號(hào)上具有非常穩(wěn)定的特性。在現(xiàn)有技術(shù)的天線中，為了防止天線的諧振頻率偏離，使用在輸入信號(hào)上具有高穩(wěn)定性的順電材料形成的電容器。
[0378]此外，在實(shí)際電路中，存在由在信號(hào)處理單元533中的集成電路的輸入端子的寄生電容引起的諧振線圈534的電感組件L中的變化或接收單元531的電容變化(大約幾個(gè)PF)，并且變化量根據(jù)每個(gè)非接觸IC卡530而不同。在這方面，在本實(shí)施方式中，為了抑制(校正)這種影響，通過調(diào)整電容器535a的電極圖案來適當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)電容Co。
[0379]整流單元532配置有包括整流二極管536和整流電容器537的半波整流電路、將由接收單元531接收的AC電壓整流為DC電流并輸出DC電壓。
[0380]信號(hào)處理單元533主要配置有半導(dǎo)體器件的集成電路(大規(guī)模集成(LSI))，并解調(diào)由接收單元531接收的AC信號(hào)。在信號(hào)處理單元533中的LSI由從整流單元532供應(yīng)的DC電壓來驅(qū)動(dòng)。此外，在現(xiàn)有技術(shù)的非接觸IC卡中使用的LSI可被用作LSI。
[0381]在本實(shí)施方式中，在用于接收單元的可變電容元件I中，堆疊的內(nèi)部電極的中心(重心)被布置在堆疊方向上的直線上，并且因此獲得很大的殘余應(yīng)力。因此，改善了電氣特性，并且以低電壓獲得很大的可變寬度。此外，由于隨著可變寬度增加，在諧振電容器上的變化負(fù)載減少，因此當(dāng)諧振電容器的介電層在厚度上增加時(shí)，耐受電壓提高，并且因此可以處理大的AC電壓。
[0382]在本實(shí)施方式中，作為諧振電路的可變電容元件，使用了第一種實(shí)施方式的可變電容元件1，但是可使用第二種實(shí)施方式的可變電容元件。
[0383]此外，本技術(shù)還可配置為如下。
[0384](I) 一種靜電電容元件，包括:
[0385]介電層；
[0386]電容元件主體，被配置為包括利用插入在其間的介電層形成的至少一對(duì)內(nèi)部電極；以及
[0387]外部端子，被配置為形成在電容元件主體的側(cè)表面上，并且電連接到內(nèi)部電極，
[0388]其中，由于在介電層與內(nèi)部電極之間的線性膨脹系數(shù)中的差異而出現(xiàn)的應(yīng)力集中在利用介電層和其間插入介電層的一對(duì)內(nèi)部電極配置的電容器的中心。
[0389](2)根據(jù)(I)所述的靜電電容元件，
[0390]其中，內(nèi)部電極包括配置電容器的電極主體和連接到電極主體并連接到外部端子的連接電極，并且
[0391]其中，配置電容器的至少一個(gè)內(nèi)部電極的電極主體的平面形狀是圓形。
[0392](3)根據(jù)(I)或(2)所述的靜電電容元件，
[0393]其中，連接到外部端子的連接電極的端部寬度是電極主體的直徑的四分之一或更小。
[0394](4)根據(jù)(I)到(3)中任一項(xiàng)所述的靜電電容元件，
[0395]其中，與其上形成內(nèi)部電極的電容元件主體的平面平行的平面的形狀是圓形。
[0396](5)根據(jù)(I)到(4)中任一項(xiàng)所述的靜電電容元件，
[0397]其中，電容元件主體的形狀是圓柱形。
[0398](6)根據(jù)(I)到(5)中任一項(xiàng)所述的靜電電容元件，
[0399]其中，內(nèi)部電極包括配置電容器的電極主體和連接到電極主體并連接到外部端子的連接電極，并且
[0400]配置電容器的至少一個(gè)內(nèi)部電極的電極主體的平面形狀是橢圓形。
[0401](7)根據(jù)(I)到(5)中任一項(xiàng)所述的靜電電容元件，
[0402]其中，內(nèi)部電極包括配置電容器的電極主體和連接到電極主體并連接到外部端子的連接電極，并且
[0403]其中，配置電容器的至少一個(gè)內(nèi)部電極的電極主體的平面形狀是正五邊形或更高階的多邊形。
[0404](8)根據(jù)(I)到(7)中任一項(xiàng)所述的靜電電容元件，
[0405]其中，內(nèi)部電極包括:配置電容器的電極主體；連接電極,連接到電極主體并連接到外部端子；以及浮置電極，既不連接到電極主體也不連接到外部端子。
[0406](9)根據(jù)(I)到(7)中任一項(xiàng)所述的靜電電容元件，
[0407]其中，內(nèi)部電極包括配置電容器的電極主體和連接到電極主體并連接到外部端子的多個(gè)連接電極。
[0408](10)根據(jù)(9)所述的靜電電容元件，
[0409]其中，電極主體形成為圓形，并且多個(gè)連接電極以相等的間隔形成在電極主體的圓周方向上。
[0410](11)根據(jù)(I)到(3 )中任一項(xiàng)所述的靜電電容元件，
[0411]其中，電容元件主體的形狀是圓柱形。
[0412](12)根據(jù)(I)到(3)中任一項(xiàng)所述的靜電電容元件，
[0413]其中，電容元件主體的形狀是具有正方形的橫截面的柱形。
[0414](13)根據(jù)(I)到(3)中任一項(xiàng)所述的靜電電容元件，
[0415]其中，電容元件主體的形狀是具有橢圓形的橫截面的柱形。
[0416](14)根據(jù)(I)到(3)中任一項(xiàng)所述的靜電電容元件，
[0417]其中，電容元件主體的形狀是具有多邊形的橫截面的柱形。
[0418](15)根據(jù)(I)到(3)中任一項(xiàng)所述的靜電電容元件，
[0419]其中，電容元件主體的形狀是具有正多邊形的橫截面的柱形。
[0420](16)根據(jù)(I)到(15)中任一項(xiàng)所述的靜電電容元件，
[0421 ] 其中，其上形成內(nèi)部電極的電容元件主體的平面的形狀與內(nèi)部電極的電極主體的形狀相同。
[0422]( 17)根據(jù)(I)所述的靜電電容元件，
[0423]其中，其上形成內(nèi)部電極的電容元件主體的平面的形狀和內(nèi)部電極的電極主體的形狀是圓形。
[0424](18)根據(jù)(I)到(17)中任一項(xiàng)所述的靜電電容元件，
[0425]其中，多個(gè)內(nèi)部電極利用插入在其間的介電層來堆疊，并且由多個(gè)內(nèi)部電極形成的多個(gè)電容器串聯(lián)在內(nèi)部電極的堆疊方向上。
[0426](19)根據(jù)(18)所述的靜電電容元件，
[0427]其中，堆疊的內(nèi)部電極的每一個(gè)包括配置電容器的電極主體和連接到電極主體并連接到外部端子的多個(gè)連接電極，并且
[0428]內(nèi)部電極的電極主體具有相同的形狀，并且內(nèi)部電極的電極主體的重心被布置在堆疊方向上的直線上。
[0429]( 20) 一種諧振電路，包括:
[0430]諧振電容器，被配置為包括靜電電容器元件，所述諧振電容器包括，
[0431]介電層，
[0432]電容元件主體，被配置為包括利用插入在其間的介電層形成的至少一對(duì)內(nèi)部電極，以及
[0433]外部端子，被配置為形成在電容元件主體的側(cè)表面上，并且電連
[0434]接到內(nèi)部電極；以及
[0435]諧振線圈，被配置為連接到諧振電容器，
[0436]其中，由于在介電層與內(nèi)部電極之間的線性膨脹系數(shù)中的差異而出現(xiàn)的應(yīng)力集中在利用介電層和其間插入介電層的一對(duì)內(nèi)部電極配置的電容器的中心。
【權(quán)利要求】
1.一種靜電電容兀件，包括: 介電層； 電容元件主體，被配置為包括利用插入在其間的所述介電層形成的至少一對(duì)內(nèi)部電極；以及 外部端子，被配置為形成在所述電容元件主體的側(cè)表面上，并且電連接到所述內(nèi)部電極， 其中，由于在所述介電層與所述內(nèi)部電極之間的線性膨脹系數(shù)的差異而出現(xiàn)的應(yīng)力集中在利用所述介電層和其間插入所述介電層的所述一對(duì)電極配置的電容器的中心。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電電容元件， 其中，所述內(nèi)部電極包括配置電容器的電極主體和連接到所述電極主體并連接到所述外部端子的連接電極，并且 其中，配置所述電容器的至少一個(gè)內(nèi)部電極的電極主體的平面形狀是圓形。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的靜電電容元件， 其中，連接到所述連接電極的外部端子的端部的寬度是電極主體的直徑的四分之一或更小。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的靜電電容元件， 其中，與其上形成所述內(nèi)部電極的所`述電容元件主體的平面平行的平面的形狀是圓形。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的靜電電容元件， 其中，所述電容元件主體的形狀是圓柱形。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電電容元件， 其中，所述內(nèi)部電極包括配置電容器的電極主體和連接到所述電極主體并連接到所述外部端子的連接電極，并且 配置所述電容器的至少一個(gè)內(nèi)部電極的電極主體的平面形狀是橢圓形。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電電容元件， 其中，所述內(nèi)部電極包括配置電容器的電極主體和連接到所述電極主體并且連接到所述外部端子的連接電極，并且 其中，配置所述電容器的至少一個(gè)內(nèi)部電極的電極主體的平面形狀是正五邊形或更高階的多邊形。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電電容元件， 其中，所述內(nèi)部電極包括:配置電容器的電極主體；連接電極，連接到所述電極主體并連接到所述外部端子；以及浮置電極，既不連接到所述電極主體也不連接到所述外部端子。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電電容元件， 其中，所述內(nèi)部電極包括配置電容器的電極主體和連接到所述電極主體并連接到所述外部端子的多個(gè)連接電極。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的靜電電容元件， 其中，所述電極主體形成為圓形，并且所述多個(gè)連接電極以相等的間隔形成在所述電極主體的圓周方向上。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電電容元件，其中，所述電容元件主體的形狀是圓柱形。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電電容元件， 其中，所述電容元件主體的形狀是具有正方形的截面的柱形。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電電容元件， 其中，所述電容元件主體的形狀是具有橢圓形的截面的柱形。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電電容元件， 其中，所述電容元件主體的形狀是具有多邊形的截面的柱形。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電電容元件， 其中，所述電容元件主體的形狀是具有正多邊形的截面的柱形。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電電容元件， 其中，其上形成所述內(nèi)部電極的所述電容元件主體的平面的形狀與所述內(nèi)部電極的電極主體的形狀相同。
17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電電容元件， 其中，其上形成所述內(nèi)部電極的所述電容元件主體的平面的形狀和所述內(nèi)部電極的電極主體的形狀是圓形。
18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電電容元件， 其中，所述多個(gè)內(nèi)部電極利用介電層來堆疊，并且由所述多個(gè)內(nèi)部電極形成的多個(gè)電容器串聯(lián)連接在所述內(nèi)部電極的堆疊方向上。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的靜電電容元件， 其中，所堆疊的內(nèi)部電極的每一個(gè)包括配置電容器的電極主體和連接到所述電極主體并連接到所述外部端子的多個(gè)連接電極，并且 所述內(nèi)部電極的所述電極主體具有相同的形狀，并且所述內(nèi)部電極的所述電極主體的重心被布置在堆疊方向上的直線上。
20.一種諧振電路，包括: 諧振電容器，被配置為包括靜電電容器元件，所述諧振電容器包括， 介電層， 電容元件主體，被配置為包括利用插入在其間的所述介電層形成的至少一對(duì)內(nèi)部電極，以及 外部端子，被配置為形成在所述電容元件主體的側(cè)表面上并且電連接到所述內(nèi)部電極；以及 諧振線圈，被配置為連接到所述諧振電容器， 其中，由于在所述介電層與所述內(nèi)部電極之間的線性膨脹系數(shù)的差異而出現(xiàn)的應(yīng)力集中在利用所述介電層和其間插入所述介電層的所述一對(duì)內(nèi)部電極配置的電容器的中心。
【文檔編號(hào)】H03H5/02GK103890883SQ201280051181
【公開日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2012年10月2日 優(yōu)先權(quán)日:2011年10月24日
【發(fā)明者】佐藤則考, 管野正喜 申請(qǐng)人:索尼公司