一種硅芯高頻爐諧波治理系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及高頻設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種硅芯高頻爐諧波治理系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，通常使用硅芯高頻爐的拉制硅芯，多臺硅芯高頻爐均接入電源母線，形成硅芯高頻爐系統(tǒng)，硅芯高頻爐系統(tǒng)內(nèi)的各臺硅芯爐同步運(yùn)行。硅芯高頻爐運(yùn)行時(shí)，硅芯高頻爐的晶閘管處于深度導(dǎo)通階段，單臺硅芯高頻爐的諧波含量高達(dá)130%，多臺硅芯高頻爐運(yùn)行時(shí)，很容易引起各臺之間的諧波干擾。如果硅芯高頻爐運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生的諧波含量嚴(yán)重超標(biāo)，不僅危及到硅芯高頻爐自身設(shè)備的生產(chǎn)運(yùn)行安全與穩(wěn)定性，也危機(jī)整個配電系統(tǒng)的安全運(yùn)行和電能損耗，因此需要進(jìn)行諧波治理。
[0003]目前，硅芯高頻爐系統(tǒng)采用集中補(bǔ)償諧波治理方式，即為整個硅芯高頻爐系統(tǒng)配備一個APF(Active power filter，有源電力濾波器)，該APF連接在電源母線的盡端(臨近配電系統(tǒng))，APF發(fā)出與硅芯高頻爐的諧波相位相反的諧波，APF發(fā)出的諧波對硅芯高頻爐產(chǎn)生的諧波進(jìn)行補(bǔ)償?shù)窒瑥亩栊靖哳l爐的諧波。在現(xiàn)有的集中補(bǔ)償諧波治理方式中，APF與電源母線的連接點(diǎn)為諧波補(bǔ)償點(diǎn)，每臺硅芯高頻爐產(chǎn)生的諧波通過導(dǎo)線傳輸?shù)街C波補(bǔ)償點(diǎn)，由APF對各臺硅芯爐的諧波進(jìn)行補(bǔ)償?shù)窒?br>[0004]現(xiàn)有的集中補(bǔ)償諧波治理方式存在以下缺點(diǎn):
[0005]1、由于電源母線較長，通常有幾百米，APF與各臺硅芯高頻爐之間的距離較遠(yuǎn)，硅芯高頻爐產(chǎn)生的諧波電流會使導(dǎo)線發(fā)熱量加大，容易使導(dǎo)線老化，發(fā)生次生危害。
[0006]2、諧波補(bǔ)償點(diǎn)臨近配電系統(tǒng)，APF發(fā)出的高次諧波容易流入非抗諧波無功裝置，對非抗諧波無功裝置產(chǎn)生不利影響。
[0007]3、整個硅芯高頻爐系統(tǒng)只配備一個APF，一旦該APF故障，導(dǎo)致各臺硅芯高頻爐均無法進(jìn)行諧波治理，產(chǎn)生的影響較大，可靠性低。
[0008]因此，亟需一種硅芯高頻爐諧波治理系統(tǒng)以解決上述技術(shù)問題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0009]本實(shí)用新型針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述不足，提供一種硅芯高頻爐諧波治理系統(tǒng)，用以解決導(dǎo)線容易老化、APF發(fā)出的高次諧波危害非抗諧波無功裝置以及可靠性差的問題。
[0010]本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問題，采用如下技術(shù)方案:
[0011]本實(shí)用新型提供一種硅芯高頻爐諧波治理系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括多個硅芯高頻爐諧波治理裝置，硅芯高頻爐諧波治理裝置的數(shù)量與硅芯高頻爐的數(shù)量相等，一個硅芯高頻爐諧波治理裝置與一臺硅芯高頻爐相對應(yīng)；
[0012]所述硅芯高頻爐諧波治理裝置包括有源電力濾波器APF，所述APF并聯(lián)連接于相應(yīng)的硅芯高頻爐與電源母線的連接點(diǎn)之間。
[0013]優(yōu)選的，所述硅芯高頻爐諧波治理裝置還包括電抗器，所述電抗器串聯(lián)連接于相應(yīng)的硅芯高頻爐與電源母線的連接點(diǎn)之間。
[0014]優(yōu)選的，所述APF并聯(lián)連接于本硅芯高頻爐諧波治理裝置的電抗器與電源母線的連接點(diǎn)之間。
[0015]優(yōu)選的，所述APF并聯(lián)連接于相應(yīng)的硅芯高頻爐與電抗器的連接點(diǎn)之間。
[0016]優(yōu)選的，所述電源母線為三相，所述APF的三相電源線分別并聯(lián)連接于相應(yīng)的硅芯高頻爐與三相電源母線的連接點(diǎn)之間。
[0017]本實(shí)用新型具有如下有益效果:
[0018]本實(shí)用新型通過為每臺硅芯高頻爐配置一個硅芯高頻爐諧波治理裝置，即使部分硅芯高頻爐諧波治理裝置發(fā)生故障，也不會對整個硅芯高頻爐系統(tǒng)造成嚴(yán)重影響，提高了硅芯高頻爐系統(tǒng)的可靠性。通過將硅芯高頻爐諧波治理裝置的APF并聯(lián)連接于相應(yīng)的硅芯高頻爐與電源母線的連接點(diǎn)之間，即將APF設(shè)置在相應(yīng)的硅芯高頻爐附近，縮短了 APF與硅芯高頻爐之間的距離，遠(yuǎn)離配電系統(tǒng)，解決了導(dǎo)線易老化的問題，避免發(fā)生次生危害，可就近消除諧波，并能夠利用導(dǎo)線漏感抵消部分APF自身的高次諧波或部分負(fù)載諧波，減少對非抗諧波無功的危害。
【附圖說明】
[0019]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例1提供的硅芯高頻爐諧波治理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例2提供的硅芯高頻爐諧波治理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]圖例說明:
[0022]1、硅芯高頻爐諧波治理裝置 2、硅芯高頻爐
[0023]3、電源母線11、APF 12、電抗器
【具體實(shí)施方式】
[0024]為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0025]實(shí)施例1
[0026]以下結(jié)合圖1，詳細(xì)說明本實(shí)用新型實(shí)施例1提供的硅芯高頻爐諧波治理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。
[0027]如圖1所示，硅芯高頻爐諧波治理系統(tǒng)包括多個硅芯高頻爐諧波治理裝置1，硅芯高頻爐諧波治理裝置的數(shù)量與硅芯高頻爐2的數(shù)量相等，一個硅芯高頻爐諧波治理裝置I與一臺硅芯高頻爐2相對應(yīng)。通常，硅芯高頻爐系統(tǒng)可以包括8-10臺硅芯高頻爐2，各臺硅芯高頻爐2均接入電源母線3，即電源母線3與各臺硅芯高頻爐2的電源進(jìn)線端相連，能夠?yàn)楦髋_硅芯高頻爐2提供電力，從而實(shí)現(xiàn)各臺硅芯高頻爐2同步拉制硅芯。在實(shí)施例1中，以兩臺硅芯高頻爐2和兩個硅芯高頻爐諧波治理裝置I為例進(jìn)行說明。
[0028]硅芯高頻爐諧波治理裝置I包括有源電力濾波器APFlI，APFlI并聯(lián)連接于相應(yīng)的硅芯高頻爐2與電源母線3的連接點(diǎn)之間。
[0029]通過為每臺硅芯高頻爐配置一個硅芯高頻爐諧波治理裝置，即使部分硅芯高頻爐諧波治理裝置發(fā)生故障，也不會對整個硅芯高頻爐系統(tǒng)造成嚴(yán)重影響，提高了硅芯高頻爐系統(tǒng)的可靠性。通過將硅芯高頻爐諧波治理裝置的APF并聯(lián)連接于相應(yīng)的硅芯高頻爐與電源母線的連接點(diǎn)之間，即將APF設(shè)置在相應(yīng)的硅芯高頻爐附近，縮短了 APF與硅芯高頻爐之間的距離，遠(yuǎn)離配電系統(tǒng)，解決了導(dǎo)線易老化的問題，避免發(fā)生次生危害，可就近消除諧波，并能夠利用導(dǎo)線漏感抵消部分APF自身的高次