專利名稱：真空磁性傳動機構的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種對真空環(huán)境行業(yè)中進行動力傳送的傳動才幾構，尤其涉及一 種對有機發(fā)光二極管生產線上真空室內的機械機構提供旋轉動力的真空》茲性傳 動機構。
背景技術：
隨著經濟的不斷發(fā)展、科技的不斷進步和世界能源的日益減少，人們在生 產中越來越重視能源的節(jié)約及利用效率，使得人與自然和諧發(fā)展以滿足中國新 型的工業(yè)化道路要求。
例如，對真空環(huán)境要求極高的數(shù)碼產品的顯示產業(yè)中，企業(yè)為了節(jié)約能源、
降低生產成本，都加大投資研發(fā)力度，不斷地追求節(jié)能的新產品。其中，OLED 顯示屏就是數(shù)碼產品中的一種新產品，OLED即有機發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode ), 又稱、為有才幾電；敫i16顯示(Organic Electroluminesence Display, OELD)，因為具備輕薄、省電等特性，因此在數(shù)碼產品的顯示屏上得到 了廣泛應用，并且具有較大的市場潛力，目前世界上對OLED的應用都聚焦在 平板顯示器上，因為OLED是唯一在應用上能和TFT-LCD相提并論的技術，且 是目前所有顯示技術中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率軟屏的顯示技 術，可以做成和紙張一樣的厚度；但OLED顯示屏幕與傳統(tǒng)的TFT-LCD顯示屏 幕并不同，其無需背光燈，采用非常薄的有機材料涂層和玻璃基片，當有電流 通過時，這些有機材料就會發(fā)光，而且OLED顯示屏幕可以做得更輕更薄，可 視角度更大，并且能夠顯著節(jié)省電能；相應地，制造OLED顯示屏幕的所有設 備必須要保證OLED顯示屏幕的精度要求。因此，作為有機發(fā)光二極管OLED 原材料的質量和精度，傳輸過程中傳動機構的自動化程度，清潔度，以及低噪音尤為重要。
現(xiàn)有的一種用于對真空室內的機械機構提供旋轉動力的傳動機構中，機械 機構與傳動軸相連，傳動軸與齒輪傳動裝置相連，齒輪傳動裝置通過驅動軸與 馬達等驅動設備相連，傳動軸可以從驅動軸獲取旋轉力，即當馬達等驅動設備 開動時，該傳動軸就可以帶動機械結構旋轉。上述傳送方式由于大都采用齒輪 相互嚙合的直接接觸的傳動方式，傳動的過程中容易造成機械磨損，導致傳動
能耗；同時，由于傳動中的各運動組件，例如齒輪，傳動軸、驅動軸等的接觸， 容易使傳動機構各運動組件之間因為摩擦而?；?，產生粉塵進入到具有機械機 構的真空室內，影響了產品的清潔度，并且傳動過程中產生了較大的噪聲；另 外，各運動組件之間的摩擦使得傳動機構使用壽命縮短。
因此，急需一種傳動能耗少、高清潔度、超靜音、安裝方便、結構簡單緊 湊的適用于對真空室內的機械機構提供旋轉動力的傳動機構。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于提供一種傳動能耗少、高清潔度、超靜音、安裝方便、 結構簡單緊湊的適用于對真空室內的機械機構提供旋轉動力的的真空磁性傳動 機構。
為了實現(xiàn)上述目的，發(fā)明的技術方案為提供一種真空磁性傳動機構，適 用于帶動真空室內的機械機構旋轉，其中，所述真空磁性傳動機構包括驅動裝 置、主動軸、從動軸、磁流體傳動裝置、齒輪傳動裝置及磁力傳動裝置，所述 磁流體傳動裝置安裝于所述真空室的室壁上且位于所述真空室外，所述主動軸 的一端與所述驅動裝置固定連接，所述主動軸的另一端穿過所述^t流體傳動裝 置并延伸入真空室內且與所述齒輪傳動裝置的 一端連接，所述齒輪傳動裝置的 另一端與所述磁力傳動裝置的一端連接，所述磁力傳動裝置的另一端與所述從 動軸固定連接，所述從動軸與真空室內的機械機構連接，所述齒輪傳動裝置為 相鄰相互嚙合的多個齒輪組成，所述磁力傳動裝置為相鄰相互磁場作用的具有 磁性的多個磁力傳動輪組成，所述驅動裝置驅動所述齒輪傳動裝置的齒輪旋轉，
5所述齒輪的旋轉帶動所述磁力傳動輪旋轉，所述磁力傳動輪帶動所述機械機構 旋轉。
較佳地，所述磁流體傳動裝置包括支承殼體及永磁材料的磁流體組件，所 述磁流體組件容置于所述支承殼體內，所述真空室的室壁上開設有安裝孔，所 述支承殼體密封固定安裝于所述安裝孔上，所述主動軸與所述支承殼體樞接。 所述磁流體傳動裝置適用于進行往復或同時旋轉的主動軸平穩(wěn)安全運行，且有 效保證了密封性能，解決了驅動裝置輸出動力的密封泄露問題。
較佳地，所述齒輪傳動裝置的相鄰相互嚙合的多個齒輪分別為第一齒輪和 第二齒輪，所述第一齒輪與所述主動軸固定連接，所述第二齒輪具有傳動軸， 所述傳動軸與所述真空室的室壁樞接且與所述磁力傳動裝置固定連接。所述驅 動裝置輸出動力通過穿過所述真空室壁的主動軸傳遞給齒輪傳動裝置，使得所 述第一齒輪帶動所述第二齒輪更加的平穩(wěn)，結構的布局更加緊湊合理，避免了 因旋轉不平穩(wěn)而造成整個真空磁性傳動機構發(fā)生振動，同時起到減速的作用。
較佳地，所述磁力傳動裝置的相鄰相互磁場作用的具有磁性的多個磁力傳 動輪分別為永磁材料的第一磁力傳動輪和第二磁力傳動輪，所述第一磁力傳動 輪與所述傳動軸固定連接，所述第二磁力傳動輪與所述從動軸固定連接，所述 傳動軸帶動所述第 一磁力傳動輪旋轉，所述旋轉的第 一磁力傳動輪的通過磁場 帶動第二磁力傳動輪旋轉。所述第 一磁力傳動輪與所述第二磁力傳動輪為永磁 材料制成，使得第一磁力傳動輪與第二磁力傳動輪相互之間的磁場相互作用， 并且通過第一磁力傳動輪與第二磁力傳動輪之間的磁場相互作用，使第一磁力 傳動輪通過磁場帶動第二磁力傳動輪旋轉，避免了直接接觸通過摩擦或嚙合的 傳動方式所帶來的噪音大及對部件造成磨損的缺陷，同時由于本發(fā)明在真空室 內采用第 一磁力傳動輪通過磁力帶動第二磁力傳動輪旋轉的這種非接觸的傳動 方式，有效的避免了真空室內因通過摩擦或嚙合的直接接觸的傳動方式所產生 的?；勰瑥亩蟠蟮奶岣吡苏婵帐覂鹊臐崈舳?。
與現(xiàn)有技術相比，由于本發(fā)明真空磁性傳動機構中用于提供動力的齒輪傳 動裝置和用于傳遞齒輪傳動裝置輸出動力的磁力傳動裝置以及用于作業(yè)的機械結構均容置于所述真空室內，使得齒輪傳動裝置、磁力傳動裝置及機械結構發(fā) 出的噪音傳出到外界大大的減小了 ，同時也使驅動裝置產生的細小的顆粒粉因
為真空室的室壁所阻礙而無法進入到真空環(huán)境內，大大的4是高了清潔度；通過
相鄰相互磁場作用的具有磁性的多個磁力傳動輪組成的磁力傳動裝置作為在真 空室內動力的傳動機構，避免了直接接觸通過摩擦或嚙合的傳動方式所帶來的
噪音大及對部件造成磨損的缺陷，同時由于本發(fā)明在真空室內采用^i力傳動裝 置利用磁場傳動的這種非接觸的傳動方式，有效的避免了真空室內因通過摩擦 或嚙合的直接接觸的傳動方式所產生的粒化粉末，從而大大的提高了真空室內 的潔凈度；另所述齒輪傳動裝置為相鄰相互嚙合的多個齒輪組成，通過所述齒 輪傳動裝置可有效的起到減速的作用，通過齒輪之間的相互嚙合使得在傳輸動 力時更加平穩(wěn)，并且結構的布局更加緊湊合理，避免了因旋轉不平穩(wěn)而造成整 個真空磁性傳動機構發(fā)生振動；由于本發(fā)明真空磁性傳動機構傳動能耗少、高 清潔度、超靜音、安裝方便、結構簡單緊湊，因此比較適用于對真空環(huán)境行業(yè) 中生產線上作業(yè)的機械機構提供旋轉動力，尤其是對有機發(fā)光二極管生產線上 真空室內的機械機構提供旋轉動力的真空磁性傳動機構。


圖l是本發(fā)明真空磁性傳動機構的結構示意圖。
具體實施例方式
如圖l所示，本發(fā)明真空磁性傳動機構100,包括驅動裝置l、主動軸7a、 傳動軸4c、從動軸7b、磁流體傳動裝置2、齒輪傳動裝置4及磁力傳動裝置5， 所述磁流體傳動裝置2安裝于所述真空室3的室壁3a上且位于所述真空室3外， 所述主動軸7a的一端與所述驅動裝置1固定連接，所述主動軸7a的另一端穿過 所述磁流體傳動裝置2并延伸入真空室3內且與所述齒輪傳動裝置4的一端連 接，所述齒輪傳動裝置4的另一端與所述磁力傳動裝置5的一端連接，所述磁 力傳動裝置5的另一端與所述從動軸7b固定連接，所述從動軸7b與所述機械機構6連接，所述齒輪傳動裝置4為相鄰相互嚙合的多個齒輪組成，所述磁力 傳動裝置5為相鄰相互磁場作用的多個磁力傳動輪組成，所述驅動裝置1驅動
所述齒輪傳動裝置4的齒輪旋轉，所述齒輪的旋轉帶動所述^t力傳動輪旋轉， 所述》茲力傳動輪帶動所述機械機構6旋轉。
較佳者，所述磁流體傳動裝置2包括支承殼體2a及永磁材料的磁流體組件 (圖中未示)，所迷磁流體組件容置于所述支承殼體2a內，所述真空室3的室 壁3a上開設有安裝孔3b,所述支承殼體2a密封固定安裝于所述安裝孔3b上， 所述主動軸7a與所述支承殼體2a樞接。所述磁流體傳動裝置2適用于進行往 復或同時旋轉的主動軸7a平穩(wěn)安全運行，且有效保證了密封性能，解決了驅動 裝置1輸出動力的密封泄露問題。
較佳者，所述齒輪傳動裝置4的相鄰相互嚙合的多個齒輪分別為第一齒輪 4a和第二齒輪4b,所述第一齒輪4a與所述主動軸7a固定連接，所述第二齒輪 4b具有傳動軸4c，所述傳動軸4c與所述真空室3的室壁3a片區(qū)4妻且與所述》茲力 傳動裝置5固定連接。所述驅動裝置1輸出動力通過穿過所述真空室壁3a的主 動軸7a傳遞給齒輪傳動裝置4,使得所述第一齒輪4a帶動所述第二齒輪4b更 加的平穩(wěn)，結構的布局更加緊湊合理，避免了因旋轉不平穩(wěn)而造成整個真空磁 性傳動機構1QQ發(fā)生振動。
較佳者，所述磁力傳動裝置5的相鄰相互磁場作用的具有磁性的多個磁力 傳動輪分別為永磁材料的第一磁力傳動輪5a和第二磁力傳動輪5b,所述第一磁 力傳動輪5a與所述傳動軸4c固定連接，所述第二石茲力傳動4侖5b與所述從動軸 7b固定連接，所述傳動軸4c帶動所述第一磁力傳動輪5a旋轉，所述旋轉的第 一磁力傳動輪5a通過磁場帶動第二磁力傳動輪5b旋轉。所述第一磁力傳動輪 5a與所迷第二磁力傳動輪5b為永磁材料制成，使得第一磁力傳動輪5a與第二 磁力傳動輪5b相互之間的磁場相互作用，并且通過第一磁力傳動輪5a與第二 磁力傳動輪5b之間的磁場相互作用，使第一磁力傳動輪5a通過磁場帶動第二 磁力傳動輪5b旋轉，避免了直接接觸通過摩擦或嚙合的傳動方式所帶來的噪音 大及對部件造成磨損的缺陷，同時由于本發(fā)明在真空室3內采用第一磁力傳動輪5a通過磁力帶動第二磁力傳動輪5b旋轉的這種非接觸的傳動方式，有效的 避免了真空室3內因通過摩擦或嚙合的直接接觸的傳動方式所產生的?；勰?， 從而大大的提高了真空室3內的潔凈度。
結合圖1對本發(fā)明真空^茲性傳動機構100帶動機械結構6的工作原理做一 詳細的i兌明
在本發(fā)明真空磁性傳動機構中，所述驅動裝置1通過主動軸7a驅動所述齒 輪傳動裝置4的第一齒輪4a旋轉，第一齒輪化嚙合帶動第二齒輪4b，第二齒 輪4b通過傳動軸化帶動磁力傳動裝置5的第一磁力傳動輪5a旋轉，所述第一 f茲力傳動4侖5a通過磁場帶動第二磁力傳動輪5b旋轉，所述第二石茲力傳動4侖5b 通過從動軸7b繼而帶動所述機械機構6旋轉，從而實現(xiàn)本發(fā)明真空》茲性傳動寸幾 構100為真空室內的機械機構提供旋轉動力的目的。由于用來提供動力的齒輪 傳動裝置4和用于傳遞齒輪傳動裝置4輸出動力的磁力傳動裝置5均容置于所 述真空室內，使得齒輪傳動裝置4、磁力傳動裝置5發(fā)出的噪音傳出到外界大大 的減小了 ，同時也使驅動裝置1產生的細小的顆粒粉因為真空室3的室壁3a所 阻礙而無法進入到真空環(huán)境內，大大的提高了清潔度；通過相鄰相互磁場作用 的具有磁性的多個磁力傳動輪組成的磁力傳動裝置5作為在真空室3內動力的 傳動機構6，避免了直接接觸通過摩擦或嚙合的傳動方式所帶來的噪音大及對部 件造成磨損的缺陷，同時由于本發(fā)明在真空室3內采用磁力傳動裝置5利用磁 場傳動的這種非接觸的傳動方式，有效的避免了真空室3內因通過摩擦或嚙合 的直接接觸的傳動方式所產生的粒化粉末，從而大大的提高了真空室3內的潔 凈度；另所述齒輪傳動裝置4為相鄰相互嚙合的多個齒輪組成，通過所述齒輪 傳動裝置4可有效的起到減速的作用，通過齒輪之間的相互嚙合使得在傳輸動 力時更加平穩(wěn)，并且結構的布局更加緊湊合理，避免了因旋轉不平穩(wěn)而造成整 個真空^t性傳動機構IOO發(fā)生振動；由于本發(fā)明真空^茲性傳動^4勾100傳動能 耗少、高清潔度、超靜音、安裝方便、結構簡單緊湊，因此比較適用于對真空 環(huán)境行業(yè)中生產線上作業(yè)的機械機構提供旋轉動力，尤其是對有機發(fā)光二極管 生產線上真空室內的機械機構提供旋轉動力的真空磁性傳動機構。
9本發(fā)明真空磁性傳動機構100所涉及的磁流體傳動裝置2及磁力傳動裝置5
的工作原理均為本領域普通技術人員所熟知，在此不再啦支詳細的說明。
以上所揭露的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已，當然不能以此來限定本發(fā)明 之權利范圍，因此依本發(fā)明申請專利范圍所作的等同變化，仍屬本發(fā)明所涵蓋 的范圍。
權利要求
1、一種真空磁性傳動機構，適用于帶動真空室內的機械機構旋轉，其特征在于所述真空磁性傳動機構包括驅動裝置、主動軸、從動軸、磁流體傳動裝置、齒輪傳動裝置及磁力傳動裝置，所述磁流體傳動裝置安裝于所述真空室的室壁上且位于所述真空室外，所述主動軸的一端與所述驅動裝置固定連接，所述主動軸的另一端穿過所述磁流體傳動裝置并延伸入真空室內且與所述齒輪傳動裝置的一端連接，所述齒輪傳動轉動裝置的另一端與所述磁力傳動裝置的一端連接，所述磁力傳動裝置的另一端與所述從動軸固定連接，所述從動軸與真空室內的機械機構連接，所述齒輪傳動裝置為相鄰相互嚙合的多個齒輪組成，所述磁力傳動裝置為相鄰相互磁場作用的具有磁性的多個磁力傳動輪組成，所述驅動裝置驅動所述齒輪傳動裝置的齒輪旋轉，所述齒輪的旋轉帶動所述磁力傳動輪旋轉，所述磁力傳動輪帶動所述機械機構旋轉。
2、 如權利要求1所述的真空磁性傳動機構，其特征在于所述磁流體傳動裝置 包括支承殼體及永磁材料的磁流體組件，所述磁流體組件容置于所述支承殼體 內，所述真空室的室壁上開設有安裝孔，所述支承殼體密封固定安裝于所述安 裝孔上，所述主動軸與所述支承殼體樞接。
3、 如權利要求1所述的真空磁性傳動機構，其特征在于所述齒輪傳動裝置的 相鄰相互嚙合的多個齒輪分別為第一齒輪和第二齒輪，所述第一齒輪與所述主 動軸固定連接，所述第二齒輪具有傳動軸，所述傳動軸與所述真空室的室壁樞 接且與所述磁力傳動裝置固定連接。
4、 如權利要求3所述的真空磁性傳動機構，其特征在于所述磁力傳動裝置的 相鄰相互磁場作用的具有磁性的多個磁力傳動輪分別為永磁材料的第一磁力傳 動輪和第二磁力傳動輪，所述第一磁力傳動輪與所述傳動軸固定連接，所述第二磁力傳動4侖與所述從動軸固定連接，所述傳動軸帶動所述第 一磁力傳動輪旋 轉，所述旋轉的第一-茲力傳動輪的通過磁場帶動所述第二^茲力傳動輪i走轉。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種真空磁性傳動機構，適用于帶動真空室內的機械機構旋轉，包括驅動裝置、主動軸、從動軸、磁流體傳動裝置、齒輪傳動裝置及磁力傳動裝置，磁流體傳動裝置位于真空室外，主動軸穿過磁流體傳動裝置并延伸入真空室內且與齒輪傳動裝置連接，齒輪傳動轉動裝置與磁力傳動裝置連接，磁力傳動裝置與從動軸固定連接，從動軸與真空室內的機械機構連接，齒輪傳動裝置為相鄰相互嚙合的多個齒輪組成，磁力傳動裝置為相鄰相互磁場作用的多個磁力傳動輪組成，驅動裝置驅動齒輪傳動裝置的齒輪旋轉，齒輪的旋轉帶動磁力傳動輪旋轉，磁力傳動輪帶動機械機構旋轉。本發(fā)明傳動能耗少、高清潔度、超靜音、安裝方便、結構簡單緊湊。
文檔編號H02K49/10GK101630893SQ20091004164
公開日2010年1月20日 申請日期2009年8月4日 優(yōu)先權日2009年8月4日
發(fā)明者楊明生, 勇 王, 王曼媛, 范繼良, 郭業(yè)祥 申請人:東莞宏威數(shù)碼機械有限公司