溫度控制裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種溫度控制裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在平板顯示及半導(dǎo)體行業(yè)中，生產(chǎn)過程中多種工序中均會用到液體材料的傳輸和供給，例如涂覆光刻膠、顯影液噴涂和晶片處理等等，其中晶片處理的工藝分為干法刻蝕和濕法刻蝕兩種。
[0003]濕法刻蝕主要利用液態(tài)化學(xué)試劑與被刻蝕材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行刻蝕的技術(shù)，濕法刻蝕工藝主要是通過濕法刻蝕設(shè)備進(jìn)行實(shí)現(xiàn)的。濕法刻蝕設(shè)備中設(shè)置有放置刻蝕液的貯液箱，通過在貯液箱中安裝加熱器對刻蝕液加熱。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中的貯液箱，由于加熱器安裝在貯液箱的內(nèi)部，導(dǎo)致加熱器容易被腐蝕，造成刻蝕液的泄露，存在危險(xiǎn)性。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型提供一種溫度控制裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中貯液箱，由于加熱器安狀在貯液箱的內(nèi)部，導(dǎo)致加熱器容易被腐蝕，造成刻蝕液的泄露，存在危險(xiǎn)性的問題。
[0006]本實(shí)用新型提供一種溫度控制裝置，包括:用于盛放刻蝕液的貯液箱、加熱裝置和循環(huán)栗；
[0007]所述加熱裝置包含加熱回路以及加熱器，所述加熱回路包括加熱箱和導(dǎo)熱管；
[0008]所述導(dǎo)熱管的兩端均與所述加熱箱連接，且所述導(dǎo)熱管至少一部分位于所述貯液箱外，且能夠?qū)μ幱谒鲑A液箱內(nèi)部的刻蝕液進(jìn)行加熱，所述加熱器固定于所述加熱箱內(nèi)部，能夠?qū)λ黾訜嵯涞膬?nèi)部的液體進(jìn)行加熱，所述循環(huán)栗設(shè)置在所述加熱回路上，且用于為所述加熱回路內(nèi)的液體流動提供動力。
[0009]進(jìn)一步地，上述溫度控制裝置中，所述裝置還包括:第一閥門；所述第一閥門設(shè)置于所述加熱箱與所述貯液箱之間，且所述導(dǎo)熱管內(nèi)的液體由所述加熱箱經(jīng)所述第一閥門流向所述貯液箱。
[0010]進(jìn)一步地，上述溫度控制裝置中，所述裝置還包括:輸出管和第二閥門；所述輸出管與所述加熱箱連接，用于將所述加熱箱內(nèi)的液體排出，所述第二閥門設(shè)置在所述輸出管上。
[0011]進(jìn)一步地，上述溫度控制裝置中，所述裝置還包括:用于產(chǎn)生冷卻介質(zhì)的冷卻單元和輸送管；
[0012]所述循環(huán)栗設(shè)置在所述導(dǎo)熱管上，所述輸送管與所述導(dǎo)熱管的連接部位位于所述第一閥門與所述循環(huán)栗之間;所述冷卻單元與所述輸送管連接。
[0013]進(jìn)一步地，上述溫度控制裝置中，所述裝置還包括:第三閥門；所述第三閥門設(shè)置在所述輸送管上。
[0014]進(jìn)一步地，上述溫度控制裝置中，所述裝置還包括:輸入管；
[0015]所述輸入管與所述加熱箱連接。
[0016]進(jìn)一步地，上述溫度控制裝置中，所述裝置還包括:第四閥門，所述第四閥門設(shè)置在所述輸入管上。
[0017]進(jìn)一步地，上述溫度控制裝置中，所述第一閥門、第二閥門、第三閥門以及第四閥門各自為手動閥門或自動閥門。
[0018]進(jìn)一步地，上述溫度控制裝置中，所述裝置還包括:溫度計(jì)；
[0019]所述溫度計(jì)設(shè)置在所述貯液箱內(nèi)。
[0020]進(jìn)一步地，上述溫度控制裝置中，按照所述加熱管內(nèi)的液體流向，所述導(dǎo)熱管的液體流出端位于所述加熱箱的上部，所述導(dǎo)熱管的液體流入端位于所述加熱箱的下部。
[0021]本實(shí)用新型溫度控制裝置，包括用于盛放刻蝕液的貯液箱、加熱裝置和循環(huán)栗，加熱裝置包含加熱回路以及加熱器，加熱回路包括加熱箱和導(dǎo)熱管，導(dǎo)熱管的兩端均與加熱箱連接，且導(dǎo)熱管至少一部分位于貯液箱外，且能夠?qū)μ幱谫A液箱內(nèi)部的刻蝕液進(jìn)行加熱，加熱器固定于加熱箱內(nèi)部，能夠?qū)訜嵯涞膬?nèi)部的液體進(jìn)行加熱，循環(huán)栗設(shè)置在加熱回路上，且用于為加熱回路內(nèi)的液體流動提供動力，解決了現(xiàn)有技術(shù)中的貯液箱，由于加熱器安裝在貯液箱的內(nèi)部，導(dǎo)致加熱器容易被腐蝕，造成刻蝕液的泄露，存在危險(xiǎn)性的問題，實(shí)現(xiàn)了降低生產(chǎn)過程的危險(xiǎn)性，顯著提高了安全性的效果。
【附圖說明】
[0022]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0023]圖1為本實(shí)用新型溫度控制裝置實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖2為本實(shí)用新型溫度控制裝置實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖3為本實(shí)用新型溫度控制裝置實(shí)施例三的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]附圖標(biāo)記:
[0027]1-1C 液箱
[0028]11—加熱裝置
[0029]110一加熱回路
[0030]1100—加熱箱
[0031]1101—導(dǎo)熱管
[0032]111—加熱器
[0033]12—循環(huán)栗
[0034]13—第一閥門
[0035]14—輸出管
[0036]15—第二閥門
[0037]16—冷卻單元
[0038]17一輸送管
[0039]18—第三閥門
[0040]19—輸入管[0041 ] 20—第四閥門
[0042]21—溫度計(jì)
【具體實(shí)施方式】
[0043]為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0044]實(shí)施例一
[0045]圖1為本實(shí)用新型溫度控制裝置實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，本實(shí)施例的溫度控制裝置，包括:用于盛放刻蝕液的貯液箱10、加熱裝置11和循環(huán)栗12。
[0046]其中，加熱裝置11包含加熱回路110以及加熱器111，本實(shí)施例中使用的加熱器111既要避免與刻蝕液直接接觸，又不能夠脫離液體直接對貯液箱10進(jìn)行加熱，因此，通過設(shè)置加熱回路110來傳遞加熱器111產(chǎn)生的熱量，從而對貯液箱10內(nèi)的刻蝕液以熱傳遞的方式進(jìn)行加熱。加熱回路110包括加熱箱1100和導(dǎo)熱管1101，具體地，導(dǎo)熱管1101的兩端均與加熱箱1100連接，且導(dǎo)熱管1101至少一部分位于貯液箱10外，例如，導(dǎo)熱管1101至少一部分位于貯液箱10外的底部、導(dǎo)熱管1101至少一部分纏繞在貯液箱10的側(cè)壁等方式，加熱箱1100內(nèi)的經(jīng)過加熱的液體流入導(dǎo)熱管1101后，經(jīng)過貯液箱10的位置，利用熱傳遞的方式對貯液箱10內(nèi)部的刻蝕液進(jìn)行加熱，通過這種方式，避免加熱器111與刻蝕液直接接觸，從而解決了現(xiàn)有技術(shù)中的加熱裝置11因?yàn)榧訜崞?11內(nèi)置在貯液箱10中使得刻蝕液將加熱器111腐蝕，造成刻蝕液泄露的問題。實(shí)現(xiàn)了降低生產(chǎn)過程的危險(xiǎn)性的同時(shí)提高安全性、節(jié)約成本的效果O
[0047]本實(shí)施例中的加熱器111固定于加熱箱1100內(nèi)部，例如，加熱器111可以固定在加熱箱1100的底部，也可以固定在加熱箱111的側(cè)壁上，還可以固定在加熱箱1100的中心等，固定位置以生產(chǎn)過程中實(shí)際應(yīng)用為準(zhǔn)，在本實(shí)施例中只是示例性說明，通過加熱器111能夠?qū)訜嵯?100的內(nèi)部的液體進(jìn)行加熱，經(jīng)過加熱的液體流入導(dǎo)熱管1101中，實(shí)現(xiàn)了為加熱貯液箱10內(nèi)的刻蝕液提供熱量的效果。并且，因加熱回路110中加熱箱1100的內(nèi)部的液體在經(jīng)過導(dǎo)熱管1101后，通過熱傳遞的方式對貯液箱10內(nèi)的刻蝕液進(jìn)行加熱，當(dāng)導(dǎo)熱管1101內(nèi)的液體溫度降低后，因?qū)峁?101內(nèi)的液體沒有流動性，從而導(dǎo)致無法對貯液箱內(nèi)10內(nèi)的刻蝕液持續(xù)加熱。因此，需要設(shè)置循環(huán)栗12，循環(huán)栗12設(shè)置在加熱回路110上，可以設(shè)置在加熱回路110的上游、中游或下游，當(dāng)循環(huán)栗12開始工作時(shí)，其產(chǎn)生的動力用于為加熱回路110內(nèi)的液體流動，即加熱箱1100中被加熱的液體流入導(dǎo)熱管1101，對貯液箱10進(jìn)行加熱后，流回加熱箱1100中，形成循環(huán)回路，實(shí)現(xiàn)了可以持續(xù)對貯液箱10內(nèi)的刻蝕液進(jìn)行加熱的效果。
[0048]本實(shí)施例的溫度控制裝置實(shí)現(xiàn)了降低生產(chǎn)過程的危險(xiǎn)性的同時(shí)顯著提高了安全性、節(jié)約了生產(chǎn)成本的效果。
[0049]實(shí)施例二
[0050]圖2為本實(shí)用新型溫度控制裝置實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖2所示，在上述實(shí)施例一的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步地，本實(shí)施例的溫度控制裝置還包括:第一閥門13;輸出管14和第二閥門15;輸入管19和第四閥門20。
[0051 ]當(dāng)需要對貯液箱10內(nèi)的刻蝕液停止加熱時(shí)，上述實(shí)施例中溫度控制裝置中設(shè)置的結(jié)構(gòu)存在無法快速停止加熱的問題，因此，通過設(shè)置第一閥門13來實(shí)現(xiàn)快速停止加熱，第一閥門13設(shè)置于加熱箱1100與貯液箱10之間，且導(dǎo)熱管1101內(nèi)的液體由加熱箱1100經(jīng)第一閥門13流向貯液箱10，這樣設(shè)置的目的在于當(dāng)需要停止加熱時(shí)，關(guān)閉第一閥門13就將導(dǎo)熱管1101內(nèi)流動的液體從源頭切斷，使其無法流向貯液箱10，從而實(shí)現(xiàn)了對貯液箱10內(nèi)的刻蝕液快速停止加熱的效果。
[0052]另外，當(dāng)溫度控制裝置第一次使用時(shí)，加熱箱1100內(nèi)還未注入液體時(shí)，如果沒有設(shè)置第一閥門13，則液體可以直接流入導(dǎo)熱管1101中，導(dǎo)致不能很好的對貯液箱10內(nèi)的刻蝕液進(jìn)行加熱，因此需要關(guān)閉第一閥門13和循環(huán)栗12，待加熱箱1100內(nèi)的液體溫度可以達(dá)到對貯液箱10內(nèi)的刻蝕液進(jìn)行加熱的溫度后，打開第一閥門13和循環(huán)栗12，使得經(jīng)加熱后的液體可以經(jīng)由導(dǎo)熱管1101對貯液箱10內(nèi)的刻蝕液進(jìn)行加熱，從而實(shí)現(xiàn)了提高加熱效率的效果O
[0053]需要更換加熱箱1100內(nèi)的液體或需要將