平板基座支撐裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體硅外延領域，尤其是涉及一種平板基座支撐裝置。
【背景技術】
[0002]厚度均勻性是硅外延生產(chǎn)的主要控制參數(shù)，隨著外延產(chǎn)品的質(zhì)量要求不斷提高，設備的精確度要求也變得越來越苛刻?，F(xiàn)有技術中的平板基座支撐裝置，譬如，意大利LPE(Liquid Phase Epitaxial，液相外延)公司的PE3061D外延爐的平板基座支撐裝置，支撐體與連接頭分離，由于裝配間隙的存在，支撐體與連接頭在軸向上的旋轉自由度未固定，導致基座在慣性下不能精確定位，從而引起硅片搭邊或貼邊，進而影響硅片的厚度均勻性。
[0003]在水平方向上，支撐體上表面與連接頭下表面存在裝配公差，不能有效保證平行度。在實際生產(chǎn)中，為了精確保證安裝在連接頭上端基座的水平，支撐體的垂直度將減小，從而導致支撐體底部邊緣應力集中，容易崩邊，損壞支撐體。
[0004]連接頭安裝在支撐體內(nèi)，由于接觸半徑較小，在旋轉力矩不變的情況下，接觸處的扭力較大，易導致疲勞損壞，縮短支撐體的壽命?，F(xiàn)有平板基座支撐裝置如圖1、圖2所示。
[0005]連接頭與支撐體的分離，增加了它們之間接觸部位的清潔難度，降低了硅片外延后的表面質(zhì)量。
[0006]設備維護時，連接頭與支撐體的隨機搭配，維護質(zhì)量存在不確定性。
[0007]因此，亟待解決上述問題。
【實用新型內(nèi)容】
[0008]實用新型目的:本實用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術中的不足，提供一種平板基座支撐裝置，來改善外延片厚度均勻性，降低設備備件的損耗，節(jié)約成本。
[0009]技術方案:本實用新型公開了一種平板基座支撐裝置，包括由石英制成的圓柱狀的支撐體，所述支撐體的一端中心開設用于與伺服電機相連接的圓柱狀的卡槽，另一端具有正八邊形的連接頭，該連接頭與支撐體為一體成型。
[0010]進一步，所述連接頭的內(nèi)切圓直徑為32?32.2mm
[0011]其中，所述支撐體的長度為363?365mm。
[0012]優(yōu)選的，所述連接頭的長度為8.5?9.5mm。
[0013]其中，在進行裝配時，所述連接頭嵌入式地與所需安裝的平板基座的底部八角襯套相連接。
[0014]有益效果:本實用新型與現(xiàn)有技術相比，其優(yōu)點為:本實用新型通過固定支撐體與連接頭的軸向旋轉自由度，有效降低了基座慣性引起的位置偏差，排除了引起外延片搭邊或貼邊的一個主要影響因素，改善了厚度均勻性;通過去除支撐體與連接頭的裝配公差，相當于提高了支撐體在伺服電機上的安裝垂直度，降低了支撐體底部崩邊的可能性，減少了備件損耗;通過增加連接頭內(nèi)切圓半徑，在旋轉扭矩不變的情況下，相當于減小了支撐體與連接頭接觸部位的扭力，延長了支撐體的疲勞壽命;通過將連接頭與支撐體設置為一體，降低了它們之間接觸部位的清潔難度，提高了硅片外延后的表面質(zhì)量;通過將連接頭與支撐體設置為一體，減少了設備維護時連接頭與支撐體的隨機搭配，提高了維護質(zhì)量。
【附圖說明】
[0015]圖1為現(xiàn)有平板基座支撐裝置裝配圖；
[0016]圖2為現(xiàn)有平板基座支撐裝置的縱剖面圖；
[0017]圖3為本實用新型平板基座支撐裝置的縱剖面圖；
[0018]圖4為本實用新型的實施例的縱剖面構造圖。
【具體實施方式】
[0019]下面結合附圖對本實用新型的技術方案作進一步說明。
[0020]如圖3、圖4所示，為了解決現(xiàn)有技術外延片厚度均勻性差、設備備件壽命較短的問題，本實用新型所述的平板基座支撐裝置，包括由石英制成的圓柱狀的支撐體I，所述支撐體I的一端中心開設圓柱狀的卡槽2，另一端具有正八邊形的連接頭3，該連接頭3與支撐體I為一體成型。通過固定支撐體I與連接頭3的軸向旋轉自由度，有效降低了基座慣性引起的位置偏差，排除了引起外延片搭邊或貼邊的一個主要影響因素，改善了厚度均勻性;通過去除支撐體I與連接頭3的裝配公差，相當于提高了支撐體I在伺服電機上的安裝垂直度，降低了支撐體I底部崩邊的可能性，減少了備件損耗。
[0021 ] 其中，支撐體I的長度為363?365mm，連接頭3的長度為8.5?9.5mm。
[0022]其中，連接頭3的內(nèi)切圓直徑為32?32.2mm，增加連接頭3內(nèi)切圓直徑，在旋轉扭矩不變的情況下，相當于減小了支撐體I與連接頭3接觸部位的扭力，延長了支撐體的疲勞壽命O
[0023]在進行裝配時，所述連接頭3嵌入式地與所需安裝的平板基座底部八角襯套相連接。
[0024]支撐體具有連接頭的一端為上表面，該上表面為平面，嵌入式地與所需安裝的平板基座底部八角襯套相連接;設有卡槽的一端表面為支撐體的下表面，該下表面與伺服電機金屬托盤相連接。
[0025]實施例1
[0026]本實用新型所述的平板基座支撐裝置，包括由石英制成的圓柱狀的支撐體I，所述支撐體I的一端中心開設圓柱狀的卡槽2，另一端具有正八邊形的連接頭3，該連接頭3與支撐體I為一體成型。其中，支撐體I的長度為364mm，直徑50_。
[0027]連接頭與支撐體設置為一體，固定了軸向旋轉自由度，有效降低了基座慣性引起的位置偏差，排除了引起外延片搭邊或貼邊的一個主要影響因素，改善了厚度均勻性。
[0028]連接頭與支撐體設置為一體消除了水平方向上的裝配公差，在精確保證連接頭上端基座水平的情況下，有效提高了支撐體在伺服電機上的安裝垂直度，降低了支撐體底部崩邊的可能性，節(jié)約了成本;連接頭與支撐體設置為一體，降低了它們之間接觸部位的清潔難度，提高了硅片外延后的表面質(zhì)量;連接頭與支撐體設置為一體，減少了設備維護時連接頭與支撐體的隨機搭配，提高了維護質(zhì)量。
[0029]連接頭3的長度為9_，連接頭3的內(nèi)切圓直徑為32_，通過增加支撐體與連接頭接觸處的直徑，在旋轉力矩不變的情況下，有效降低了支撐體與連接頭接觸處的扭力，延長了支撐體的疲勞壽命。
[0030]如圖4所示，本實用新型平板基座支撐裝置安裝在平板式外延爐中。
【主權項】
1.一種平板基座支撐裝置，其特征在于:包括由石英制成的圓柱狀的支撐體(I)，所述支撐體(I)的一端中心開設用于與伺服電機相連接的圓柱狀的卡槽(2)，另一端具有正八邊形的連接頭(3)，該連接頭(3)與支撐體(I)為一體成型。2.根據(jù)權利要求1所述的平板基座支撐裝置，其特征在于:所述連接頭(3)的內(nèi)切圓直徑為32?32.2mm。3.根據(jù)權利要求1所述的平板基座支撐裝置，其特征在于:所述支撐體(I)的長度為363?365mm。4.根據(jù)權利要求1所述的平板基座支撐裝置，其特征在于:所述連接頭(3)的長度為8.5?9.5mmο5.根據(jù)權利要求1所述的平板基座支撐裝置，其特征在于:在進行裝配時，所述連接頭(3)嵌入式地與所需安裝的平板基座的底部八角襯套相連接。
【專利摘要】本實用新型公開了一種平板基座支撐裝置，包括由石英制成的圓柱狀的支撐體，所述支撐體的一端中心開設圓柱狀的卡槽，另一端具有正八邊形的連接頭，該連接頭與支撐體為一體成型。本實用新型通過固定支撐體與連接頭的軸向旋轉自由度，有效降低了基座慣性引起的位置偏差，排除了引起外延片搭邊或貼邊的一個主要影響因素，改善了厚度均勻性；通過去除支撐體與連接頭的裝配公差，相當于提高了支撐體在伺服電機上的安裝垂直度，降低了支撐體底部崩邊的可能性，減少了備件損耗；通過增加連接頭內(nèi)切圓半徑，在旋轉扭矩不變的情況下，相當于減小了支撐體與連接頭接觸部位的扭力，延長了支撐體的疲勞壽命。
【IPC分類】H01L21/683, H01L21/673
【公開號】CN205177802
【申請?zhí)枴緾N201520944020
【發(fā)明人】施國政, 亞歷山大·金德爾, 何晶, 馬利行, 馮永平
【申請人】南京國盛電子有限公司
【公開日】2016年4月20日
【申請日】2015年11月24日