一種掃描電子顯微鏡樣品夾持裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域的一種掃描電子顯微鏡樣品夾持裝置，這種樣品夾持裝置適用于掃描電子顯微鏡樣品放置用。
【背景技術(shù)】
[0002]使用掃描電子顯微鏡時(shí)，需要將樣品通過導(dǎo)電膠帶粘在于掃描電鏡的載物臺(tái)上，但有時(shí)樣品不規(guī)則，觀測(cè)面和樣品與載物臺(tái)的粘合面不平行或者品與載物臺(tái)的粘合面不平整，在放置樣品時(shí)候又要盡可能的要求觀次品面處于水平狀態(tài)并保持固定狀態(tài)，傳統(tǒng)的載物臺(tái)是只能將樣品粘于載物臺(tái)上，因而對(duì)于部分不規(guī)則樣品，很難保證觀測(cè)面的水平，因而實(shí)用新型一種掃描電子顯微鏡載物臺(tái)，能適用于不規(guī)則樣品的夾持。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型是將掃描電鏡的載物臺(tái)上安裝4個(gè)支撐塊，在支撐塊上有滑桿，滑桿上裝有夾塊，夾塊可以在滑桿上來回移動(dòng)，夾塊中間有彈簧連接，用于固定、夾持樣品。
[0004]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:
[0005]一種掃描電子顯微鏡樣品夾持裝置，本實(shí)用新型特征是，在一圓形的載物臺(tái)上安裝有4個(gè)呈長方形分布的支撐塊，在長向的兩塊支撐塊之間分別連接有滑桿，在每根滑桿上套設(shè)有活動(dòng)的夾塊，在兩夾塊中間設(shè)置有套在滑桿上的彈簧。
[0006]本實(shí)用新型檢測(cè)的樣品放置于夾塊之間，靠彈簧收縮力來夾緊。
[0007]本實(shí)用新型解決的關(guān)鍵問題:傳統(tǒng)的掃描電鏡載物臺(tái)是只能將樣品粘于載物臺(tái)上，因而對(duì)于部分不規(guī)則樣品，很難保證觀測(cè)面的水平，本實(shí)用新型掃描電子顯微鏡載物臺(tái)，能適用于不規(guī)則樣品的夾持，并能很大程度保證觀測(cè)面處于水平放置。
[0008]該實(shí)用新型的機(jī)理主要是在傳統(tǒng)的掃描電鏡載物臺(tái)加裝滑桿和夾塊，夾塊間有彈簧連接，夾塊通過彈簧的收縮力來夾緊樣品。
[0009]該實(shí)用新型的有益結(jié)果:本實(shí)用新型掃描電子顯微鏡載物臺(tái)，在傳統(tǒng)的掃描電鏡載物臺(tái)加裝滑桿和夾塊，能適用于不規(guī)則樣品的夾持，并能很大程度保證觀測(cè)面處于水平放置。
【附圖說明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型立體結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]一種掃描電子顯微鏡樣品夾持裝置，本實(shí)用新型特征是，在一圓形的載物臺(tái)I上安裝有4個(gè)呈長方形分布的支撐塊2，在長向的兩塊支撐塊2之間分別連接有滑桿3，在每根滑桿3上套設(shè)有活動(dòng)的夾塊4，在兩夾塊4中間設(shè)置有套在滑桿3上的彈簧5用于固定、夾持樣品。
[0012] 本實(shí)用新型檢測(cè)的樣品放置于夾塊2之間，靠彈簧5收縮力來夾緊。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種掃描電子顯微鏡樣品夾持裝置，其特征是，在一圓形的載物臺(tái)(I)上安裝有4個(gè)呈長方形分布的支撐塊(2)，在長向的兩塊支撐塊(2)之間分別連接有滑桿(3)，在每根滑桿(3)上套設(shè)有活動(dòng)的夾塊(4)，在兩夾塊(4)中間設(shè)置有套在滑桿(3)上的彈簧(5)。
【專利摘要】一種掃描電子顯微鏡樣品夾持裝置，在一圓形的載物臺(tái)(1)上安裝有4個(gè)呈長方形分布的支撐塊(2)，在長向的兩塊支撐塊（2）之間分別連接有滑桿(3)，在每根滑桿(3)上套設(shè)有活動(dòng)的夾塊(4)，在兩夾塊(4)中間設(shè)置有套在滑桿（3）上的彈簧(5)。本實(shí)用新型在傳統(tǒng)的掃描電鏡載物臺(tái)加裝滑桿和夾塊，能適用于不規(guī)則樣品的夾持，并能很大程度保證觀測(cè)面處于水平放置。
【IPC分類】H01J37-20
【公開號(hào)】CN204289362
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420695658
【發(fā)明人】李志翔, 吳章勤, 孫成剛, 利佳, 劉榮海
【申請(qǐng)人】云南電網(wǎng)公司電力科學(xué)研究院
【公開日】2015年4月22日
【申請(qǐng)日】2014年11月19日