包括射頻識別標簽的半導(dǎo)體器件的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及包括射頻識別(RFID)標簽的半導(dǎo)體器件。此外，本發(fā)明涉及制造和操作這樣的器件的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體組件可以包括可以使用標識號來標識的多個半導(dǎo)體器件。可能期望的是，從半導(dǎo)體器件的制造到關(guān)聯(lián)的半導(dǎo)體組件的最終組裝(而且在半導(dǎo)體組件的使用期期間)識別并且追蹤半導(dǎo)體器件?？梢允褂霉鈱W(xué)標記(比如像數(shù)據(jù)矩陣(DMX)碼)來顯示半導(dǎo)體器件的標識號。這些標記需要被布置成可見的，以便提供可以由光學(xué)標記編碼的顯示信息。
【附圖說明】
[0003]附圖被包含來提供對多個方面的進一步理解，并且并入且構(gòu)成了本說明書的一部分。圖中圖示了多個方面并且連同說明書一起用來闡明多個方面的原理。隨著它們通過參考以下詳細說明而被更好地理解，其他方面以及多個方面的許多意圖優(yōu)點將是容易被認識到的。附圖的元素不必須相對于彼此成比例。類似的附圖標記可以指定對應(yīng)的相似部分。
[0004]圖1圖示了根據(jù)本公開內(nèi)容的器件100的示意圖。
[0005]圖2示意性地圖示了根據(jù)本公開內(nèi)容的另一器件200的截面圖。
[0006]圖3示意性地圖示了根據(jù)本公開內(nèi)容的另一器件300的截面圖。
[0007]圖4示意性地圖示了根據(jù)本公開內(nèi)容的另一器件400的截面圖。
[0008]圖5圖示了根據(jù)本公開內(nèi)容的另一器件500的透視圖。
[0009]圖6是用于操作根據(jù)本公開內(nèi)容的器件的方法600的框圖。
[0010]圖7示意性地圖示了用于執(zhí)行根據(jù)本公開內(nèi)容的方法的系統(tǒng)700。
【具體實施方式】
[0011]在以下詳細說明中，對附圖進行參考。附圖以圖示的方式示出了可以在其中實踐本發(fā)明的特定方面。對此，諸如“頂部”、“底部”、“前”、“后”等方向性術(shù)語可以參考所描述的圖的取向來使用。由于所描述的器件的組件是以多個不同的取向被定位的，所以方向性術(shù)語可以用于說明的目的，而絕不是限制性的。在不脫離本發(fā)明的概念的情況下，可以使用其他方面并且可以做出結(jié)構(gòu)上或邏輯上的改變。因此，以下詳細說明不以限制性意義來理解，并且本發(fā)明的概念由隨附的權(quán)利要求來限定。
[0012]如在本說明書中采用的，術(shù)語“連接”、“耦合”、“電連接”和/或“電耦合”不打算必然意味著元件必須直接連接或耦合在一起?？梢栽凇斑B接”、“耦合”、“電連接”或“電耦合”的元件之間提供中間元件。
[0013]另外，關(guān)于例如形成于或位于對象的表面“上”的材料層而使用的詞語“在……上”在本文中可以被用來意味著材料層可以“直接”位于(例如，形成、沉積等等)所暗示的表面“上”(例如直接與之接觸)。關(guān)于例如形成于或位于表面“上”的材料層而使用的詞語“在……上”在本文中也可以被用來意味著材料層可以“間接”位于(例如，形成、沉積等等)所暗示的表面“上”，其中例如在所暗示的表面與材料層之間布置了一個或多個附加層。
[0014]本文描述了器件和用于制造器件的方法。結(jié)合所描述的器件進行的評注對于對應(yīng)的方法可以同樣適用，并且反之亦然。例如，如果描述了器件的特定組件，則對應(yīng)的制造器件的方法可以包括以合適的方式提供該組件的動作，即使這樣的動作沒有在圖中被明確地描述或圖示。此外，除非另外具體注明，否則本文中描述的各個方面和示例的特征可以彼此組合。
[0015]本文描述的器件和方法可以基于射頻識別(RFID)技術(shù)。RFID技術(shù)可以包括無線使用電磁輻射來傳遞數(shù)據(jù)以識別、跟蹤和/或追蹤可以附著到器件或包含在器件中的RFID標簽。為此目的，RFID標簽可以包括電存儲的信息。在一個示例中，RFID標簽可以由來自電磁場的電磁感應(yīng)來供電，所述電磁場可以是在RFID讀取器附近或者由RFID讀取器產(chǎn)生。RFID標簽可以從詢問無線電波收集能量并且可以使用該能量來生成和發(fā)送射頻信號形式的響應(yīng)。這樣的RFID標簽可以稱作無源RFID標簽。在另一示例中，RFID標簽可以由諸如像電池這樣的電源供電，并且可以稱作有源RFID標簽。注意，本文描述的器件和方法可以優(yōu)選地基于無源RFID標簽。與光學(xué)標記相比，RFID標簽不需要必然被布置在RFID讀取器的視線內(nèi)。相反，RFID標簽也可以被嵌入或包封在要識別、跟蹤和/或追蹤的器件內(nèi)。
[0016]本文描述的器件可以包括一個或多個RFID標簽，所述一個或多個RFID標簽可以是RFID系統(tǒng)的一部分。RFID系統(tǒng)可以包括附著到要識別、跟蹤和/或追蹤的對象的RFID標簽。此外，RFID系統(tǒng)可以包括雙向無線電收發(fā)機，其可以向RFID標簽發(fā)送無線電信號并讀取其響應(yīng)。這樣的收發(fā)機可以稱作RFID讀取器或詢問器。
[0017]通常，RFID標簽可以是無源的、有源的或者電池輔助無源的。有源RFID標簽可以例如包括板上電池，并且可以周期性地發(fā)送標識信號，所述標識信號被配置成標識RFID標簽以及因此與RFID標簽關(guān)聯(lián)的器件。電池輔助無源RFID標簽可以例如包括板上電池，并且可以在存在RFID讀取器的情況下被激活。無源RFID標簽可以特別地不包括電源，但是可以從外部輻射汲取操作所需的能量。
[0018]在一個示例中，RFID標簽可以是至少部分地只讀的。RFID標簽的這樣的部分可以提供標識號，所述標識號可以是只讀的并且被用作進入數(shù)據(jù)庫的密鑰。標識號可以被配置成唯一地標識RFID標簽以及因此與RFID標簽關(guān)聯(lián)的器件。這里，可能合理的是，確保標識號不被任何境況改變。在另一示例中，RFID標簽可以是至少部分地讀/寫的。也就是說，可以例如由RFID系統(tǒng)將數(shù)據(jù)寫入RFID標簽的存儲器。
[0019]RFID標簽可以包括用于存儲和處理信息的集成電路。此外，集成電路可以被配置成調(diào)制和解調(diào)射頻信號并且還從可能已從RFID讀取器接收到的射頻信號收集電力。RFID標簽還可以包括天線，所述天線被配置成接收和發(fā)送射頻信號。在一個示例中，RFID標簽和天線可以被包括(或集成)在單一芯片中。另外，RFID標簽可以包括被配置成存儲數(shù)據(jù)的存儲器。RFID標簽的存儲器可以包括只讀存儲器和/或讀/寫存儲器。在一個示例中，存儲器可以是至少部分地非易失性的。RFID標簽還可以包括被配置成處理數(shù)據(jù)的芯片接線邏輯或已編程的或可編程的數(shù)據(jù)處理器。
[0020]RFID系統(tǒng)可以包括RFID讀取器。在一個示例中，RFID讀取器可以是無源的，即，RFID讀取器可以僅從有源RFID標簽接收無線電信號。在另一示例中，RFID讀取器可以是有源的，即，RFID讀取器可以被配置成發(fā)送詢問器信號并接收來自無源RFID標簽的回復(fù)。RFID讀取器可以包括雙向無線電收發(fā)機，所述雙向無線電收發(fā)機被配置成向RFID標簽發(fā)送無線電信號并讀取RFID標簽的響應(yīng)。
[0021]在RFID系統(tǒng)的操作期間，RFID讀取器可以發(fā)送(可能地，已編碼的)無線電信號來詢問RFID標簽。RFID標簽可以接收RFID讀取器的請求并且可以通過發(fā)送響應(yīng)數(shù)據(jù)來響應(yīng)。也就是說，RFID標簽可以被配置成以無接觸方式，具體地經(jīng)由近場無接觸通信鏈路，向RFID讀取器提供信息。這樣的響應(yīng)數(shù)據(jù)可以例如包括標識了 RFID標簽以及進一步信息的數(shù)據(jù)。響應(yīng)數(shù)據(jù)可以僅表示唯一標簽序列號，或者可以是關(guān)于產(chǎn)品的信息，比如貨號、組或批號、生產(chǎn)日期或如在以下指定的