一種高真空內(nèi)移動(dòng)測(cè)束法拉第驅(qū)動(dòng)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明主要涉及到集成電路離子注入技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種高真空內(nèi)移動(dòng)測(cè)束法拉第驅(qū)動(dòng)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在離子束在水平方向掃開(kāi)成條帶狀后，在注入晶片前需要用移動(dòng)法拉第來(lái)對(duì)束流指標(biāo)進(jìn)行測(cè)量，移動(dòng)法拉第在高真空區(qū)內(nèi)左右往復(fù)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)束流測(cè)量。如附圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)中，在高真空腔室內(nèi)設(shè)有以水平懸臂8，將移動(dòng)法拉第3固定在懸臂8上，在電機(jī)驅(qū)動(dòng)下使得懸臂8水平運(yùn)動(dòng)以帶動(dòng)移動(dòng)法拉第3往復(fù)運(yùn)動(dòng)，來(lái)實(shí)現(xiàn)水平往復(fù)掃描運(yùn)動(dòng)接測(cè)束流值。
[0003]此方案存在以下技術(shù)問(wèn)題:
(1)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，需要在電機(jī)端為懸臂8預(yù)留運(yùn)動(dòng)空間;并且由于懸臂8在往復(fù)運(yùn)動(dòng)中平穩(wěn)性較差，進(jìn)而對(duì)移動(dòng)法拉第3的平穩(wěn)產(chǎn)生影響，最終影響了測(cè)量精確性。
[0004](2)此方案運(yùn)動(dòng)軸的密封采用抱軸和滑動(dòng)的雙重密封，真空密封性差，需定期更換動(dòng)密封圈，使用成本高，整套裝置壽命較短。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明所解決的技術(shù)問(wèn)題在于:針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、移動(dòng)平穩(wěn)性好、真空密封性好的高真空內(nèi)移動(dòng)測(cè)束法拉第驅(qū)動(dòng)裝置。
[0006]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
一種高真空內(nèi)移動(dòng)測(cè)束法拉第驅(qū)動(dòng)裝置，包括高真空密封腔室，所述高真空密封腔室外設(shè)有驅(qū)動(dòng)裝置，所述高真空密封腔室內(nèi)設(shè)有移動(dòng)法拉第，所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)移動(dòng)法拉第于高真空密封腔室內(nèi)移動(dòng)以開(kāi)展檢測(cè)，所述高真空密封腔室內(nèi)設(shè)有平行布置的絲桿螺母副組件和滑動(dòng)導(dǎo)軌組件，所述移動(dòng)法拉第同時(shí)與絲桿螺母副組件和滑動(dòng)導(dǎo)軌組件相連，所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)絲桿螺母副組件運(yùn)動(dòng)以帶動(dòng)移動(dòng)法拉第沿滑動(dòng)導(dǎo)軌組件移動(dòng)。
[0007]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述絲桿螺母副組件包括相配合的絲桿和絲桿螺母，所述絲桿與驅(qū)動(dòng)裝置連接，所述滑動(dòng)導(dǎo)軌組件包括導(dǎo)軌和沿導(dǎo)軌自由滑動(dòng)的滑塊，所述移動(dòng)法拉第通過(guò)連接板同時(shí)與絲桿螺母和滑塊連接。
[0008]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述滑動(dòng)導(dǎo)軌組件為兩套，所述絲桿螺母副組件平行布置于兩套滑動(dòng)導(dǎo)軌組件之間。
[0009]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述絲桿螺母副組件包括滾珠絲桿螺母副。
[0010]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述高真空密封腔室的腔壁上設(shè)有密封連接組件，所述驅(qū)動(dòng)裝置通過(guò)密封連接組件與絲桿螺母副組件連接，所述密封連接組件包括磁流體密封旋轉(zhuǎn)軸和兩個(gè)滑塊聯(lián)軸器，所述磁流體密封旋轉(zhuǎn)軸一端通過(guò)一個(gè)滑塊聯(lián)軸器與驅(qū)動(dòng)裝置連接，所述磁流體密封旋轉(zhuǎn)軸的另一端伸入高真空密封腔室內(nèi)并通過(guò)另一個(gè)滑塊聯(lián)軸器與絲桿螺母副組件連接。
[0011]作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括電機(jī)和電機(jī)安裝座，所述電機(jī)固定于電機(jī)安裝座的一端上，所述電機(jī)安裝座的另一端與磁流體密封旋轉(zhuǎn)軸固定連接，所述電機(jī)安裝座設(shè)有空心部，連接電機(jī)與磁流體密封旋轉(zhuǎn)軸的滑塊聯(lián)軸器設(shè)于空心部?jī)?nèi)。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于:
(1)本發(fā)明的高真空內(nèi)移動(dòng)測(cè)束法拉第驅(qū)動(dòng)裝置，由于在高真空密封腔室內(nèi)采用絲桿螺母副組件與滑動(dòng)導(dǎo)軌組件配合運(yùn)動(dòng)的形式帶動(dòng)移動(dòng)法拉第運(yùn)動(dòng)，使得在高真空密封腔室內(nèi)不用再設(shè)置水平懸臂，無(wú)需為懸臂預(yù)留運(yùn)動(dòng)空間，使得本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊；同時(shí)由于取消了懸臂，使得本發(fā)明剛性好，移動(dòng)法拉第在往復(fù)運(yùn)動(dòng)中平穩(wěn)性好，運(yùn)動(dòng)精度高，確保了測(cè)量的精確度。
[0013](2)本發(fā)明的高真空內(nèi)移動(dòng)測(cè)束法拉第驅(qū)動(dòng)裝置，在高真空密封腔室的腔壁上設(shè)置磁流體密封旋轉(zhuǎn)軸，能夠確保本發(fā)明的高真空密封腔室內(nèi)的真空密封性，滿(mǎn)足設(shè)備的高真空要求；同時(shí)，磁流體密封旋轉(zhuǎn)軸無(wú)需定期更換密封圈，提高了本發(fā)明的使用壽命，降低了使用成本。
【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1是現(xiàn)有技術(shù)的剖視結(jié)構(gòu)原理示意圖。
[0015]圖2是本發(fā)明的高真空內(nèi)移動(dòng)測(cè)束法拉第驅(qū)動(dòng)裝置的剖視結(jié)構(gòu)原理示意圖。
[0016]圖3是本發(fā)明的高真空內(nèi)移動(dòng)測(cè)束法拉第驅(qū)動(dòng)裝置的局部立體結(jié)構(gòu)原理示意圖。
[0017]圖例說(shuō)明:
1、高真空密封腔室;2、驅(qū)動(dòng)裝置;21、電機(jī);22、電機(jī)安裝座;3、移動(dòng)法拉第;4、絲桿螺母副組件;41、絲桿;42、絲桿螺母;5、滑動(dòng)導(dǎo)軌組件;51、導(dǎo)軌;52、滑塊;6、連接板;7、密封連接組件;71、磁流體密封旋轉(zhuǎn)軸;72、滑塊聯(lián)軸器。
【具體實(shí)施方式】
[0018]以下結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0019]如圖2和圖3所示，本發(fā)明提供一種高真空內(nèi)移動(dòng)測(cè)束法拉第驅(qū)動(dòng)裝置，包括高真空密封腔室1，高真空密封腔室1外設(shè)有驅(qū)動(dòng)裝置2，高真空密封腔室1內(nèi)設(shè)有移動(dòng)法拉第3，驅(qū)動(dòng)裝置2驅(qū)動(dòng)移動(dòng)法拉第3于高真空密封腔室1內(nèi)移動(dòng)以開(kāi)展檢測(cè)。高真空密封腔室1內(nèi)設(shè)有平行布置的絲桿螺母副組件4和滑動(dòng)導(dǎo)軌組件5，移動(dòng)法拉第3同時(shí)與絲桿螺母副組件4和滑動(dòng)導(dǎo)軌組件5相連，驅(qū)動(dòng)裝置2驅(qū)動(dòng)絲桿螺母副組件4運(yùn)動(dòng)以帶動(dòng)移動(dòng)法拉第3沿滑動(dòng)導(dǎo)軌組件5移動(dòng)。由于在高真空密封腔室1內(nèi)采用絲桿螺母副組件4與滑動(dòng)導(dǎo)軌組件5配合運(yùn)動(dòng)的形式，使得在高真空密封腔室1內(nèi)不用再設(shè)置水平懸臂，移動(dòng)法拉第3通過(guò)滑動(dòng)導(dǎo)軌組件5直接掛載于高真空密封腔室1內(nèi)，并通過(guò)運(yùn)動(dòng)的絲桿螺母副組件4帶動(dòng)實(shí)現(xiàn)在高真空密封腔室1內(nèi)往復(fù)運(yùn)動(dòng)以開(kāi)展檢測(cè)。使得本發(fā)明無(wú)需為懸臂預(yù)留運(yùn)動(dòng)空間，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊；同時(shí)由于取消了懸臂，使得本發(fā)明剛性好，移動(dòng)法拉第3在往復(fù)運(yùn)動(dòng)中平穩(wěn)性好，運(yùn)動(dòng)精度高，確保了測(cè)量的精確性。
[0020]進(jìn)一步，在較佳實(shí)施例中，絲桿螺母副組件4包括相配合的絲桿41和絲桿螺母42，絲桿41與驅(qū)動(dòng)裝置2連接，滑動(dòng)導(dǎo)軌組件5包括導(dǎo)軌51和沿導(dǎo)軌51自由滑動(dòng)的滑塊52，移動(dòng)法拉第3通過(guò)連接板6同時(shí)與絲桿螺母42和滑塊52連接。在本實(shí)施例中，滑動(dòng)導(dǎo)軌組件5的導(dǎo)軌51固定安裝在高真空密封腔室1內(nèi)的腔體上，導(dǎo)軌51和絲桿41相互平行設(shè)置，移動(dòng)法拉第3通過(guò)連接板6與滑塊52連接，實(shí)現(xiàn)掛載于高真空密封腔室1內(nèi)。當(dāng)驅(qū)動(dòng)裝置2驅(qū)動(dòng)絲桿41旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，勢(shì)必會(huì)導(dǎo)致相配合的絲桿螺母42發(fā)生水平位移;進(jìn)而帶動(dòng)與絲桿螺母42連接的連接板6同步移動(dòng)，使得固定在連接板6上的移動(dòng)法拉第3沿著導(dǎo)軌51水平移動(dòng)。
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