用于處理工件的設(shè)備和方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于處理工件的設(shè)備和方法，特別是處理平面的基板，如晶片，例如，燃料或太陽能電池晶片。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)存用于翻轉(zhuǎn)工件的各種設(shè)備被統(tǒng)稱為翻轉(zhuǎn)器。
[0003]本發(fā)明的目的是提供一種改進(jìn)的工件處理裝置，其尤其可用于較大的工件吞吐量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]在一個方面，本發(fā)明提供了一種用于處理工件的工件處理設(shè)備，其包括:進(jìn)料站，工件在所述進(jìn)料站處被接收；出料站，工件從所述出料站被遞送；及工件翻轉(zhuǎn)裝置，所述工件翻轉(zhuǎn)裝置可操作以一個定向從進(jìn)料站遞送工件至出料站，所述定向為工件在所述進(jìn)料站被接收的定向或與在所述進(jìn)料站被接收的定向反向的一個定向。
[0005]在一個實施例中，所述進(jìn)料站包括工件輸送裝置，通過所述工件輸送裝置工件被輸送到所述進(jìn)料站，并且通過所述工件輸送裝置工件可從所述進(jìn)料站以所述一個定向被輸送到所述出料站。
[0006]在一個實施例中，所述出料站包括工件輸送裝置，通過所述工件輸送裝置工件從所述出料站輸送，并且通過所述工件輸送裝置工件可從所述進(jìn)料站以所述一個定向被輸送到所述出料站。
[0007]在一個實施例中，所述工件翻轉(zhuǎn)裝置包括第一和第二工件支承部件，所述第一和第二工件支承部件相對于進(jìn)料站和出料站可移動地設(shè)置，通過所述第一和第二工件支承部件工件以所述反向的定向從所述進(jìn)料站被輸送到所述出料站；以及驅(qū)動組件，所述驅(qū)動組件用于移動所述工件支承部件。
[0008]在一個實施例中，所述工件支承部件繞一個在所述進(jìn)料站和所述出料站之間的位置可轉(zhuǎn)動。
[0009]在一個實施例中，所述工件支承部件各自可在第一工件接收位置和第二工件接收位置之間轉(zhuǎn)動，在所述第一工件接收位置，當(dāng)所述工件支承部件位于所述進(jìn)料站處時，所述工件支承部件鄰近工件的下表面，并被設(shè)置以便允許工件在被輸送至所述進(jìn)料站時通過所述工件支承部件上方，在所述第二工件接收位置，當(dāng)所述工件支承部件位于所述出料站時，所述工件支承部件鄰近工件的上表面，并被設(shè)置以便允許工件在被輸送至所述出料站或從所述出料站輸送時通過所述工件支承部件下方。
[0010]在一個實施例中，所述工件支承部件各自包括支承件，當(dāng)工件被從所述進(jìn)料站輸送至所述出料站時，所述支承件支承工件；以及臂，所述支承件通過所述臂在所述進(jìn)料站和所述出料站之間轉(zhuǎn)動。
[0011]在一個實施例中，所述支承件具有平坦的支承表面，并包括至少一個抽吸孔，可選地是多個抽吸孔，通過所述抽吸孔，施加低壓或真空到工件以便將工件保持在所述支承件的固定位置上。
[0012]在一個實施例中，所述驅(qū)動組件包括第一驅(qū)動部件和第二驅(qū)動部件，所述第一工件支承部件附接至所述第一驅(qū)動部件，所述第二工件支承部件附接至所述第二驅(qū)動部件。
[0013]在一個實施例中，所述驅(qū)動部件可繞大致垂直于所述進(jìn)料站和所述出料站之間的輸送方向的軸轉(zhuǎn)動。
[0014]在一個實施例中，所述驅(qū)動部件獨(dú)立地相對于彼此可轉(zhuǎn)動，從而允許驅(qū)動部件以不同的相對速度在至少一部分轉(zhuǎn)動相位上轉(zhuǎn)動。
[0015]在一個實施例中，所述驅(qū)動部件在所述進(jìn)料站和所述出料站之間的位置橫向地延伸。
[0016]在一個實施例中，所述驅(qū)動部件在其端處由第一和第二軸承支承。
[0017]在一個實施例中，所述第一驅(qū)動部件包括細(xì)長的第一驅(qū)動元件，其一端由所述第一軸承支承，其另一端由所述第二軸承支承。
[0018]在一個實施例中，所述第二驅(qū)動部件包括細(xì)長的第二驅(qū)動元件，其一端由所述第二軸承支承，其另一端由所述第一軸承支承。
[0019]在一個實施例中，所述第一驅(qū)動元件的所述一端包括孔，所述第二驅(qū)動元件的所述另一端包括突起，所述突起在所述第一驅(qū)動元件的所述一端處的所述孔中被可轉(zhuǎn)動地支承，可選地是被軸頸支承，所述第二驅(qū)動元件的所述一端包括孔，所述第一驅(qū)動元件的所述另一端包括突起，所述突起在所述第二驅(qū)動元件的所述一端處的所述孔中被可轉(zhuǎn)動地支承，可選地是被軸頸支承。
[0020]在一個實施例中，所述驅(qū)動部件分別在其一端處由相應(yīng)的所述第一和第二軸承支持。
[0021]在一個實施例中，所述第一驅(qū)動部件包括細(xì)長的第一驅(qū)動元件，其一端由第一軸承支承。
[0022]在一個實施例中，所述第二驅(qū)動部件包括細(xì)長的第二驅(qū)動元件，其一端由所述第二軸承支承。
[0023]在一個實施例中，所述第一驅(qū)動部件附接至所述第一工件支承部件，使得所述第一工件支承部件隨著所述第一驅(qū)動部件的轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動。
[0024]在一個實施例中，所述第二驅(qū)動部件附接至所述第二工件支承部件，使得所述第二工件支承部件隨著所述第二驅(qū)動部件的轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動。
[0025]在一個實施例中，所述驅(qū)動部件以偏置關(guān)系布置，從而當(dāng)所述工件支承部件處于相應(yīng)的所述工件接收和工件釋放位置時，所述工件支承部件在其間提供水平延伸的孔，以使工件能以相同的定向在其間從所述進(jìn)料站被輸送到所述出料站。
[0026]在另一方面，本發(fā)明提供一種工件翻轉(zhuǎn)裝置，用于以工件在進(jìn)料站被接收的定向或與工件在進(jìn)料站被接收的定向反向的定向中的一個定向選擇性地使工件從所述進(jìn)料站被遞送至所述出料站，其中所述工件翻轉(zhuǎn)裝置包括:第一和第二工件支承部件，所述第一和第二工件支承部件相對于所述進(jìn)料站和所述出料站可移動地設(shè)置，通過所述第一和第二工件支承部件，工件以所述反向的定向被從所述進(jìn)料站遞送至所述出料站；及驅(qū)動組件，所述驅(qū)動組件包括第一驅(qū)動部件和第二驅(qū)動部件，所述第一工件支承部件附接至所述第一驅(qū)動部件，所述第二工件支承部件附接至所述第二驅(qū)動部件；其中所述驅(qū)動部件以偏置關(guān)系布置，如，以提供在其間水平延伸的孔，以使工件能以相同的定向在其間從所述進(jìn)料站被輸送到所述出料站。
[0027]在進(jìn)一步方面，本發(fā)明提供一種處理工件的方法，包括以下步驟:提供進(jìn)料站，工件在所述進(jìn)料站被接收；提供出料站，工件從所述出料站被遞送；提供工件翻轉(zhuǎn)裝置，所述工件翻轉(zhuǎn)裝置可操作以在所述進(jìn)料站被接收的定向或與在所述進(jìn)料站被接收的定向反向的定向中的一個定向從進(jìn)料站遞送工件至出料站；及選擇性地操作所述工件翻轉(zhuǎn)裝置，以將工件以通過模式和翻轉(zhuǎn)模式之一的模式從所述進(jìn)料站遞送至所述出料站，在所述通過模式中，遞送到所述出料站的工件具有在所述進(jìn)料站被接收的定向，在所述翻轉(zhuǎn)模式中，遞送到所述出料站的工件具有與在所述進(jìn)料站被接收的所述定向反向的定向。
[0028]在一個實施例中，所述進(jìn)料站包括工件輸送裝置，通過所述工件輸送裝置，工件被輸送到所述進(jìn)料站，并且通過所述工件輸送裝置，工件能以所述一個定向從所述進(jìn)料站被輸送到所述出料站。
[0029]在一個實施例中，所述出料站包括工件輸送裝置，通過所述工件輸送裝置，工件從所述出料站被輸送，并且通過所述工件輸送裝置，工件能以所述一個定向從所述進(jìn)料站被輸送到所述出料站。
[0030]在一個實施例中，所述工件翻轉(zhuǎn)裝置包括第一和第二工件支承部件，所述第一和第二工件支承部件相對于所述進(jìn)料站和所述出料站可移動地設(shè)置，通過所述第一和第二工件支承部件，工件以所述反向的定向從所述進(jìn)料站被輸送到所述出料站，以及驅(qū)動組件，所述驅(qū)動組件用于移動所述工件支承部件。
[0031 ] 在一個實施例中，所述工件支承部件繞一個在所述進(jìn)料站和所述出料站之間的位置可轉(zhuǎn)動。
[0032]在一個實施例中，所述工件支承部件各自可在第一工件接收位置和第二工件接收位置之間轉(zhuǎn)動，在所述第一工件接收位置，當(dāng)所述工件支承部件位于所述進(jìn)料站處時，所述工件支承部件鄰近工件的下表面，并被設(shè)置以便允許工件在被輸送至所述進(jìn)料站時通過所述工件支承部件上方，在所述第二工件接收位置，當(dāng)所述工件支承部件位于所述出料站時，所述工件支承部件鄰近工件的上表面，并被設(shè)置以便允許工件在被輸送至所述出料站或從所述出料站輸送時通過所述工件支承部件下方。
[0033]在一個實施例中，所述工件支承部件各自包括支承件，當(dāng)工件被從所述進(jìn)料站輸送至所述出料站時，所述支承件支承工件，以及臂，所述支承件通過所述臂在所述進(jìn)料站和所述出料站之間轉(zhuǎn)動。
[0034]在一個實施例中，所述支承件具有平坦的支承表面，并包括至少一個抽吸孔，可選地是多個抽吸孔，通過所述抽吸孔，施加低壓或真空到工件以便將工件保持在所述支承件的固定位置上。
[0035]在一個實施例中，所述驅(qū)動組件包括第一驅(qū)動部件和第二驅(qū)動部件，所述第一工件支承部件附接至所述第一驅(qū)動部件，所述第二工件支承部件附接至所述第二驅(qū)動部件。
[0036]在一個實施例中，所述驅(qū)動部件可繞大致垂直于所述進(jìn)料站和所述出料站之間的輸送方向的軸轉(zhuǎn)動。
[0037]在一個實施例中，所述驅(qū)動部件獨(dú)立地相對于彼此可轉(zhuǎn)動，從而允許驅(qū)動部件以不同的相對速度在至少一部分轉(zhuǎn)動相位上轉(zhuǎn)動。
[0038]在一個實施例中，所述驅(qū)動部件在所述進(jìn)料站和所述出料站之間的位置橫向地延伸。
[0039]在一個實施例中，所述驅(qū)動部件在其端處由第一和第二軸承支承。
[0040]在一個實施例中，所述第一驅(qū)動部件包括細(xì)長的第一驅(qū)動元件，其一端由所述第一軸承支承，其另一端由所述第二軸承支承。
[0041]在一個實施例中，所述第二驅(qū)動部件包括細(xì)長的第二驅(qū)動元件，其一端由所述第二軸承支承，其另一端由所述第一軸承支承。
[0042]在一個實