而能夠在所期望的氣體下利用透射帶電粒子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡進(jìn)行觀察。
[0112]實(shí)施例4
[0113]在實(shí)施例中，與前述的實(shí)施例不同，對(duì)于沒有第2殼體121的情況的例子進(jìn)行說明。隔膜10周邊部、試樣平臺(tái)5及光學(xué)顯微鏡250周邊的構(gòu)成與前述實(shí)施例1至3幾乎相同，因此以下主要說明不同點(diǎn)。
[0114]圖17中示出本實(shí)施例的帶電粒子顯微鏡的整體構(gòu)成。本構(gòu)成中，帶電粒子光學(xué)鏡筒2嵌入在殼體271中，由真空密封部件123真空密封。殼體271由柱269支撐。柱269由基座270支撐。圖中僅圖示一根柱269，但為了支撐殼體，實(shí)際上優(yōu)選有多根。通過該構(gòu)成，試樣6的氣氛狀態(tài)成為與裝置外部同等，從而能夠?qū)⒃嚇訝顟B(tài)暴露于完全的大氣狀態(tài)下。
[0115]來自儲(chǔ)氣瓶103的氣體供給通過朝向試樣6附近方向的氣體噴嘴272來進(jìn)行。氣體噴嘴272例如通過支撐物273連接至殼體271。儲(chǔ)氣瓶103與氣體噴嘴272通過連接部102來連接。上述構(gòu)成為一個(gè)例子，但基于本構(gòu)成，能夠向試樣6附近噴射所期望的氣體。作為氣體種類，為了能夠?qū)㈦娮邮⑸錅p低，可為與大氣相比輕的氣體即氮?dú)?、水蒸氣、氦氣、氫氣等。氣體可以由用戶自由地更換。此外，為了將隔膜10和試樣6之間抽真空，可以將儲(chǔ)氣瓶103替換成真空泵。
[0116]光學(xué)顯微鏡250配置于殼體271的正下方，即與帶電粒子光學(xué)鏡筒的光軸同軸。由此能夠?qū)τ谠谠嚇悠脚_(tái)5上配置的試樣臺(tái)600上的試樣6，照射通過隔膜10的帶電粒子束，從而取得帶電粒子束顯微鏡像，同時(shí)取得利用光學(xué)顯微鏡250得到的光學(xué)顯微鏡像。光軸調(diào)整機(jī)構(gòu)260、用于將光學(xué)顯微鏡的內(nèi)部鏡頭向光學(xué)顯微鏡250的光軸251方向驅(qū)動(dòng)的光學(xué)鏡頭驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)253等的構(gòu)成如前述的實(shí)施例所示。
[0117]根據(jù)本實(shí)施例中的構(gòu)成，在隔膜10、試樣6及光學(xué)顯微鏡250不接觸的狀態(tài)下，能夠利用帶電粒子束顯微鏡和光學(xué)顯微鏡進(jìn)行相同部位的觀察。
[0118]本構(gòu)成的情況下，由于試樣配置空間沒有限制，因此在試樣臺(tái)600的尺寸非常大的情況下有用。
[0119]實(shí)施例5
[0120]其次，示出將能夠在大氣壓下觀察的大氣壓帶電粒子束顯微鏡裝置和光學(xué)顯微鏡裝置復(fù)合化的例子。本實(shí)施例中，關(guān)于前述實(shí)施例的帶電粒子光學(xué)鏡筒2相對(duì)于隔膜10位于下方的構(gòu)成進(jìn)行說明。
[0121]圖18示出本實(shí)施例的帶電粒子顯微鏡的構(gòu)成圖。將真空泵、控制系統(tǒng)等省略來圖示。此外，真空室的殼體7、帶電粒子光學(xué)鏡筒2相對(duì)于裝置設(shè)置面，通過柱、支撐物等來支持。各要素的工作、功能或附加于各要素的付加要素與前述實(shí)施例幾乎是同樣的，因此省略詳細(xì)的說明。
[0122]為了使搭載于試樣臺(tái)600的試樣6與隔膜10不接觸，在隔膜保持部件或殼體上具備試樣平臺(tái)5。也就是說，帶電粒子束照射至圖中試樣6的下側(cè)部。通過使用用于操作試樣平臺(tái)5的操作部204，能夠使試樣的圖中下側(cè)面接近于隔膜10部。
[0123]此外，光學(xué)顯微鏡602配置于帶電粒子光學(xué)鏡筒2及試樣臺(tái)600的上側(cè)，與帶電粒子光學(xué)鏡筒的光軸同軸地配置。由此能夠?qū)τ谂渲糜谠嚇悠脚_(tái)5的試樣6，照射通過隔膜10的帶電粒子束照射，取得帶電粒子束顯微鏡像，同時(shí)從圖中上方，取得利用光學(xué)顯微鏡602得到的光學(xué)顯微鏡像。
[0124]予以說明的是，本發(fā)明不限于上述實(shí)施例，而包含各種變形例。例如，上述實(shí)施例是為了將本發(fā)明說明得淺顯易懂而進(jìn)行了詳細(xì)說明，不一定限于具備所說明的全部構(gòu)成的方式。此外，可以將某實(shí)施例的構(gòu)成的一部分與其他實(shí)施例的構(gòu)成置換，此外，也可以在某實(shí)施例的構(gòu)成中加入其他實(shí)施例的構(gòu)成。此外，可以對(duì)各實(shí)施例的構(gòu)成的一部分，進(jìn)行其他構(gòu)成的追加、刪除、置換。此外，上述的各構(gòu)成、功能、處理部、處理方法等可以通過將它們的一部分或全部利用例如集成電路來設(shè)計(jì)等，使用硬件來實(shí)現(xiàn)。此外，上述的各構(gòu)成、功能等也可以通過處理器解釋實(shí)現(xiàn)各個(gè)功能的程序，并執(zhí)行，從而使用軟件來實(shí)現(xiàn)。
[0125]實(shí)現(xiàn)各功能的程序、表格、文件等信息可以置于存儲(chǔ)器、硬盤、SSD(固態(tài)硬盤(Solid State Drive))等記錄裝置，或IC卡、SD卡、光盤等記錄介質(zhì)。
[0126]此外，關(guān)于控制線、信息線，示出了認(rèn)為說明時(shí)所必要的部分，而產(chǎn)品中不一定示出全部控制線、信息線。也可認(rèn)為實(shí)際上幾乎全部構(gòu)成相互連接。
[0127]符號(hào)說明
[0128]1:光學(xué)鏡頭，2:帶電粒子光學(xué)鏡筒，3:檢測(cè)器，4:真空泵，5:試樣平臺(tái)，6:試樣，7:殼體，8:帶電粒子源，10:隔膜，11:第I空間，12:第2空間，14:泄漏閥，15:開放面，16:真空管道，17:平臺(tái)支持臺(tái)，18:支柱，19:蓋部件用支持部件，20:底板，35:計(jì)算機(jī)，36:上位控制部，37:下位控制部，43、44、45:通信線，100:氣體供給管，101:氣體控制用閥，102:連接部，103:儲(chǔ)氣瓶或真空泵，104:壓力調(diào)整閥，107:支持板，108:操作把手，109:操作把手，121 -M 2殼體，122:蓋部件，123、124、125、126、128、129:真空密封部件，154:信號(hào)增幅器，155:保持部件，156、157、158:信號(hào)線，159:隔膜保持基座，200:帶電粒子束的光軸，204:驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，207:目鏡，208:電氣連接部，209:配線，250:光學(xué)顯微鏡，251:光學(xué)顯微鏡的光軸，252:物鏡，253:光學(xué)鏡頭驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，254:CCD攝像機(jī)，255、256、257:光源，258:試樣平臺(tái)，259:開口部，260:光學(xué)顯微鏡位置調(diào)整機(jī)構(gòu)，263:底座或?qū)к壔驅(qū)蜓b置，267:微粒試樣，268:連接部，269:柱，270:基座，271:殼體，272:噴嘴，273:支撐物，274:支撐物，500:檢測(cè)元件，501:透明部件，502:薄膜，503:光檢測(cè)器，504:側(cè)壁，505:前置放大器基板，506:突起，507:配線，508:密度高的部分，509:密度低的部分，510:—次帶電粒子束，511:一次帶電粒子束，600:試樣臺(tái)，601:帶電粒子束顯微鏡，602:光學(xué)顯微鏡，603:光源，604:帶電粒子束檢測(cè)器，606:光學(xué)顯微鏡的光軸，607:開口部，608:光反射部，609:觀察部位，700:容器，701:培養(yǎng)基。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種試樣臺(tái)，是將通過照射帶電粒子束來觀察的試樣進(jìn)行搭載的試樣臺(tái)，其特征在于， 具有形成所述試樣臺(tái)的至少一部分且利用將所述試樣的內(nèi)部透射或散射的帶電粒子而發(fā)光的發(fā)光部件， 在所述發(fā)光部件上，直接或隔著規(guī)定的部件配置所述試樣， 至少在配置所述試樣的部位，和所述試樣臺(tái)中與配置所述試樣的部位相對(duì)的面之間，特定或全部波長(zhǎng)區(qū)域的可見光或紫外光或紅外光能夠通過。
2.如權(quán)利要求1所述的試樣臺(tái)，其特征在于，所述試樣臺(tái)能夠作為透射式光學(xué)顯微鏡的試樣臺(tái)利用。
3.如權(quán)利要求2所述的試樣臺(tái)，其特征在于，能夠在將所述試樣配置于所述試樣臺(tái)的狀態(tài)下利用所述透射式光學(xué)顯微鏡進(jìn)行觀察。
4.如權(quán)利要求1所述的試樣臺(tái)，其特征在于， 具備支持所述發(fā)光部件的基座， 特定或全部波長(zhǎng)區(qū)域的可見光或紫外光或紅外光能夠通過所述基座。
5.如權(quán)利要求4所述的試樣臺(tái)，其特征在于，在所述基座的周緣部具有側(cè)壁。
6.如權(quán)利要求4所述的試樣臺(tái)，其特征在于，配置所述試樣的部位與所述基座的載置所述試樣一側(cè)的面是相同的高度。
7.如權(quán)利要求4所述的試樣臺(tái)，其特征在于，所述基座的載置所述試樣的側(cè)面的整面是所述發(fā)光部件。
8.如權(quán)利要求4所述的試樣臺(tái)，其特征在于，在所述基座上配置有多個(gè)所述發(fā)光部件。
9.如權(quán)利要求1所述的試樣臺(tái)，其特征在于，所述規(guī)定的部件設(shè)置于所述發(fā)光部件和所述試樣之間，是所述帶電粒子束的至少一部分能夠透射的厚度。
10.如權(quán)利要求4所述的試樣臺(tái)，其特征在于，所述發(fā)光部件的配置試樣的側(cè)面和所述基座的載置試樣的側(cè)面的距離為數(shù)百微米以下。
11.如權(quán)利要求4所述的試樣臺(tái)，其特征在于，所述發(fā)光部件具有與所述基座的厚度相同的厚度。
12.如權(quán)利要求4所述的試樣臺(tái)，其特征在于，在所述發(fā)光部件或所述基座上，具有能夠記載所述試樣的信息的部位。
13.一種帶電粒子束裝置，其特征在于，具有: 帶電粒子光學(xué)鏡筒，其將一次帶電粒子束照射至試樣、 真空泵，其將所述帶電粒子光學(xué)鏡筒的內(nèi)部抽真空、 試樣平臺(tái)，其能夠裝卸地配置利用將所述試樣的內(nèi)部透射或散射的帶電粒子而發(fā)光的發(fā)光部件或具有所述發(fā)光部件的試樣臺(tái)、和 光轉(zhuǎn)換檢測(cè)器，將至少通過配置有所述試樣的部位和所述試樣臺(tái)中與配置有所述試樣的部位相對(duì)的面之間的來自所述發(fā)光部件的發(fā)光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。
14.如權(quán)利要求13所述的帶電粒子束裝置，其特征在于， 具有能夠裝卸的隔膜，所述隔膜被配置成隔離載置有所述試樣的空間和所述帶電粒子光學(xué)鏡筒，并使所述一次帶電粒子束透射或通過， 具有所述試樣及所述發(fā)光部件的試樣臺(tái)保持在與帶電粒子光學(xué)鏡筒的內(nèi)部不同的壓力狀態(tài)的氣氛下， 相對(duì)于所述試樣，所述發(fā)光部件被載置在所述隔膜的相反側(cè)。
15.如權(quán)利要求13所述的帶電粒子束裝置，其特征在于， 具有光學(xué)顯微鏡，所述光學(xué)顯微鏡利用至少通過配置有所述試樣的部位和所述試樣臺(tái)中與配置有所述試樣的部位相對(duì)的面之間的特定或全部波長(zhǎng)區(qū)域的可見光或紫外光或紅外光來成像光學(xué)顯微鏡圖像，并且與所述帶電粒子光學(xué)鏡筒同軸地配置。
16.—種試樣觀察方法，是由帶電粒子束顯微鏡通過照射帶電粒子束來觀察試樣的試樣觀察方法，其特征在于，具有下述步驟: 對(duì)于在形成試樣臺(tái)的至少一部分且利用將所述試樣的內(nèi)部透射或散射的帶電粒子而發(fā)光的發(fā)光部件上直接或隔著規(guī)定的部件而配置的所述試樣，照射所述帶電粒子束的步驟、 檢測(cè)所述發(fā)光部件的發(fā)光，取得帶電粒子顯微鏡圖像的步驟、和 在將所述試樣配置在所述試樣臺(tái)的狀態(tài)下利用光學(xué)顯微鏡來取得光學(xué)顯微鏡圖像的步驟。
【專利摘要】本發(fā)明涉及的帶電粒子束裝置將從帶電粒子束顯微鏡(601)發(fā)出的一次帶電粒子束，照射于構(gòu)成試樣臺(tái)(600)的至少一部分的發(fā)光部件(500)上配置的試樣(6)，通過發(fā)光部件(500)檢測(cè)透射或散射試樣(6)內(nèi)部的帶電粒子，從而取得帶電粒子顯微鏡圖像，同時(shí)將試樣(6)配置于試樣臺(tái)(600)的狀態(tài)下利用光學(xué)顯微鏡(602)取得光學(xué)顯微鏡圖像。
【IPC分類】H01J37-244, H01J37-16, H01J37-18, H01J37-22, H01J37-20
【公開號(hào)】CN104798172
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201380060806
【發(fā)明人】大南佑介, 大島卓, 伊東佑博
【申請(qǐng)人】株式會(huì)社日立高新技術(shù)
【公開日】2015年7月22日
【申請(qǐng)日】2013年11月26日
【公告號(hào)】EP2924706A1, WO2014081040A1