本技術(shù)涉及晶圓存放，具體涉及一種片盒架。

背景技術(shù)：

1、晶圓在每次的工藝處理過(guò)程中都會(huì)受到污染，所以要進(jìn)行清洗和干燥。而片盒作為晶圓的載具，也需要定期進(jìn)行清洗和干燥。

2、為解決上述問(wèn)題，申請(qǐng)?zhí)枮?02210318213.3的中國(guó)專(zhuān)利公開(kāi)了一種便捷式片盒清洗機(jī)片盒專(zhuān)用架，上述公開(kāi)的片盒專(zhuān)用架，包括固定架主體框架，所述固定架主體框架的內(nèi)側(cè)設(shè)置有片盒主體放置區(qū)，所述片盒主體放置區(qū)的頂部?jī)蓚?cè)皆設(shè)置有片盒主體放置軌道，所述片盒主體放置區(qū)的下方設(shè)置有片盒盒蓋放置區(qū)，所述片盒盒蓋放置區(qū)的頂部?jī)蓚?cè)皆設(shè)置有片盒盒蓋傾斜軌道，所述片盒盒蓋放置區(qū)的一側(cè)設(shè)置有片盒盒蓋阻擋結(jié)構(gòu)。申請(qǐng)?zhí)枮?01220255337.3的中國(guó)專(zhuān)利公開(kāi)了一種晶片盒存放架，上述公開(kāi)的晶片盒存放架，包括支架和位于支架下方的地腳，所述支架上方設(shè)有高效過(guò)濾器，所述支架的三面圍有防靜電軟簾，所述支架中間設(shè)有多組晶片盒固定槽，所述晶片盒固定槽內(nèi)設(shè)有尼龍導(dǎo)條。

3、晶圓尺寸從最初的1.5英寸發(fā)展到現(xiàn)在的12英寸，很多晶圓廠同時(shí)生產(chǎn)多種尺寸的晶圓，不同尺寸的晶圓需要不同尺寸的片盒，而片盒的形狀也是多種多樣，而上述方案中的片盒架只能放置單一尺寸形狀的片盒，這意味著，采用具有上述片盒架機(jī)構(gòu)的清洗機(jī)只能對(duì)單一規(guī)格的片盒進(jìn)行清洗，如晶圓廠需要清洗不同規(guī)格的片盒時(shí)，就要購(gòu)買(mǎi)不同型號(hào)的設(shè)備，進(jìn)而就增加了生產(chǎn)成本。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型是為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，提供一種片盒架，該片盒架幾乎可以兼容市場(chǎng)上所有不同尺寸不同形狀的片盒，當(dāng)晶圓廠需要清洗不同類(lèi)型的片盒時(shí)，只需設(shè)計(jì)與片盒對(duì)應(yīng)的模具即可，無(wú)需采購(gòu)新的設(shè)備，從而大大減少了晶圓廠的成本。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述實(shí)用新型目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：一種片盒架，包括：旋轉(zhuǎn)架，旋轉(zhuǎn)架中空設(shè)置；掛架，掛架沿旋轉(zhuǎn)架周向分布有若干個(gè)；所述掛架包括轉(zhuǎn)軸和掛件，掛架通過(guò)轉(zhuǎn)軸與旋轉(zhuǎn)架轉(zhuǎn)動(dòng)連接，掛件為板狀結(jié)構(gòu)，掛件用于掛接內(nèi)置片盒的模具。

3、本實(shí)用新型設(shè)計(jì)的片盒架利用板狀掛件與內(nèi)置片盒的模具的掛接配合，當(dāng)需要放置片盒時(shí)，將板狀掛件向旋轉(zhuǎn)架外部轉(zhuǎn)動(dòng)，使板狀掛件位于旋轉(zhuǎn)架外側(cè)，然后將內(nèi)置有片盒的模具掛接在板狀掛件上，再將掛件向旋轉(zhuǎn)架內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)，使模具位于旋轉(zhuǎn)架內(nèi)，從而可利用旋轉(zhuǎn)架內(nèi)部區(qū)域作為片盒儲(chǔ)存區(qū)域，無(wú)需再在片盒架上設(shè)計(jì)片盒固定放置區(qū)域，這意味著，片盒架結(jié)構(gòu)可不受片盒尺寸形狀限制，幾乎可以兼容市場(chǎng)上所有不同尺寸不同形狀的片盒，當(dāng)晶圓廠需要清洗不同類(lèi)型的片盒時(shí)，只需設(shè)計(jì)與片盒對(duì)應(yīng)的模具結(jié)構(gòu)即可，無(wú)需采購(gòu)新的設(shè)備，從而大大減少了晶圓廠的成本。

4、作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，各掛架中均設(shè)有兩組掛件，兩組掛件分別設(shè)置于轉(zhuǎn)軸的相對(duì)兩側(cè)。

5、作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述掛件包括若干沿片盒架高度方向布置的掛桿，所述模具形成有掛接部，掛接部掛接于掛桿上。

6、作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述掛架還包括上板和下板，上板和下板分別連接于所述掛件的相對(duì)兩端。

7、作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述旋轉(zhuǎn)架包括上轉(zhuǎn)盤(pán)、下轉(zhuǎn)盤(pán)和若干支撐柱，上轉(zhuǎn)盤(pán)和下轉(zhuǎn)盤(pán)連接于若干支撐柱相對(duì)兩端，若干支撐柱沿上轉(zhuǎn)盤(pán)和下轉(zhuǎn)盤(pán)的周向方向設(shè)置。

8、作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述轉(zhuǎn)軸的兩端分別與上轉(zhuǎn)盤(pán)和下轉(zhuǎn)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，且每個(gè)掛架均設(shè)置于相鄰的支撐柱之間。

9、作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述片盒架還包括用于限定所述掛架與旋轉(zhuǎn)架相對(duì)位置的定位件。在內(nèi)置片盒的模具掛接于掛件上后，可利用定位件使掛架與旋轉(zhuǎn)架的相對(duì)位置固定，從而確保旋轉(zhuǎn)架在清洗機(jī)內(nèi)高速旋轉(zhuǎn)清洗晶圓時(shí)，掛架能夠保持穩(wěn)定。

10、作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，定位件包括下定位件，下定位件包括定位塊與旋鈕柱塞，下定位件中的定位塊設(shè)置于下轉(zhuǎn)盤(pán)上靠近掛架的一側(cè)，下定位件中的旋鈕柱塞適于穿過(guò)下板與定位塊配合。在需要掛接模具時(shí)，拉出旋鈕柱塞的旋鈕，使旋鈕柱塞前端從定位塊中縮回，此時(shí)掛架與旋轉(zhuǎn)架處于解鎖狀態(tài)，旋轉(zhuǎn)掛件至旋轉(zhuǎn)架外側(cè)，在掛件上掛接模具后再將掛件向旋轉(zhuǎn)架內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)，使模具位于旋轉(zhuǎn)架內(nèi)，然后按壓旋鈕柱塞的旋鈕，使旋鈕柱塞前端凸出伸入定位塊中，此時(shí)掛架與旋轉(zhuǎn)架相對(duì)位置固定，掛架與旋轉(zhuǎn)架處于鎖定狀態(tài)，從而確保后續(xù)旋轉(zhuǎn)架在清洗機(jī)內(nèi)高速旋轉(zhuǎn)清洗晶圓時(shí)，掛架能夠保持穩(wěn)定。

11、作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，定位件還包括上定位件，上定位件包括定位塊與旋鈕柱塞，上定位件中的定位塊設(shè)置于上轉(zhuǎn)盤(pán)上靠近掛架的一側(cè)，上定位件中的旋鈕柱塞適于穿過(guò)上板與定位塊配合。

12、作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，同一掛架上的下定位件與上定位件錯(cuò)位布置。通過(guò)錯(cuò)位布置的下定位件和上定位件，可進(jìn)一步提高掛架與旋轉(zhuǎn)架處于鎖定狀態(tài)時(shí)的旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定性。

13、作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述掛接部設(shè)置為掛接槽，掛接槽沿模具高度方向設(shè)置多個(gè)。通過(guò)設(shè)置多個(gè)沿模具高度方向的掛接槽有利于提升模具掛接的穩(wěn)定性。

14、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

15、1、通過(guò)設(shè)置在旋轉(zhuǎn)架上的若干掛架，每個(gè)掛架上的掛件在轉(zhuǎn)軸的作用下與旋轉(zhuǎn)架轉(zhuǎn)動(dòng)連接，同時(shí)掛件為板狀結(jié)構(gòu)，從而無(wú)需再在片盒架上設(shè)計(jì)片盒固定放置區(qū)，可直接在掛件上掛接模具并利用旋轉(zhuǎn)架中空的內(nèi)部空間作為放置區(qū)，進(jìn)而使得片盒架結(jié)構(gòu)可不受片盒尺寸形狀限制，滿足了對(duì)不同尺寸規(guī)格的片盒的存放；

16、2、進(jìn)一步的，通過(guò)在模具的掛接部上設(shè)置于掛桿相匹配的掛接槽，從而方便了模具的取放，進(jìn)而便于片盒的存放，另外通過(guò)設(shè)置在上轉(zhuǎn)盤(pán)的上定位塊和下轉(zhuǎn)盤(pán)的下定位塊分別與相對(duì)應(yīng)的上板的上旋鈕柱塞和下板的下旋鈕柱塞的配合，同時(shí)同一掛架上的上定位件與下定位件錯(cuò)位設(shè)置，從而將掛架固定在旋轉(zhuǎn)架上，確保旋轉(zhuǎn)架在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，掛架能夠保持穩(wěn)定。

技術(shù)特征：

1.一種片盒架，其特征在于：包括：旋轉(zhuǎn)架(1)，旋轉(zhuǎn)架(1)中空設(shè)置；掛架(2)，掛架(2)沿旋轉(zhuǎn)架(1)周向分布有若干個(gè)；所述掛架(2)包括轉(zhuǎn)軸(202)和掛件(201)，掛架(2)通過(guò)轉(zhuǎn)軸(202)與旋轉(zhuǎn)架(1)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，掛件(201)為板狀結(jié)構(gòu)，掛件(201)用于掛接內(nèi)置片盒(3)的模具(4)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種片盒架，其特征在于，各所述掛架(2)中均設(shè)有兩組掛件(201)，兩組掛件(201)分別設(shè)置于轉(zhuǎn)軸(202)的相對(duì)兩側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種片盒架，其特征在于，所述掛件(201)包括若干沿片盒架高度方向布置的掛桿(2011)，所述模具(4)形成有掛接部(401)，掛接部(401)掛接于掛桿(2011)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種片盒架，其特征在于，所述掛架(2)還包括上板(203)和下板(204)，上板(203)和下板(204)分別連接于所述掛件(201)的相對(duì)兩端。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種片盒架，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)架(1)包括上轉(zhuǎn)盤(pán)(101)、下轉(zhuǎn)盤(pán)(103)和若干支撐柱(102)，上轉(zhuǎn)盤(pán)(101)和下轉(zhuǎn)盤(pán)(103)連接于若干支撐柱(102)相對(duì)兩端，若干支撐柱(102)沿上轉(zhuǎn)盤(pán)(101)和下轉(zhuǎn)盤(pán)(103)的周向方向設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種片盒架，其特征在于，所述片盒架還包括用于限定所述掛架(2)與旋轉(zhuǎn)架(1)相對(duì)位置的定位件(5)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種片盒架，其特征在于，所述定位件(5)包括下定位件(501)，下定位件(501)包括下定位塊(5011)與下旋鈕柱塞(5012)，下定位件(501)中的下定位塊(5011)設(shè)置于下轉(zhuǎn)盤(pán)(103)上靠近掛架(2)的一側(cè)，下定位件(501)中的下旋鈕柱塞(5012)適于穿過(guò)下板(204)與下定位塊(5011)配合。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種片盒架，其特征在于，所述定位件(5)還包括上定位件(502)，上定位件(502)包括上定位塊(5021)與上旋鈕柱塞(5022)，上定位件(502)中的上定位塊(5021)設(shè)置于上轉(zhuǎn)盤(pán)(101)上靠近掛架(2)的一側(cè)，上定位件(502)中的上旋鈕柱塞(5022)適于穿過(guò)上板(203)與上定位塊(5021)配合。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種片盒架，其特征在于，同一所述掛架(2)上的下定位件(501)與上定位件(502)錯(cuò)位布置。

10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種片盒架，其特征在于，所述掛接部(401)設(shè)置為掛接槽(4011)，掛接槽(4011)沿模具(4)高度方向設(shè)置多個(gè)。

技術(shù)總結(jié)
一種片盒架，包括：旋轉(zhuǎn)架，旋轉(zhuǎn)架中空設(shè)置；掛架，掛架沿旋轉(zhuǎn)架周向分布有若干個(gè)；所述掛架包括轉(zhuǎn)軸和掛件，掛架通過(guò)轉(zhuǎn)軸與旋轉(zhuǎn)架轉(zhuǎn)動(dòng)連接，掛件為板狀結(jié)構(gòu)，掛件用于掛接內(nèi)置片盒的模具；與現(xiàn)有技術(shù)相比，本申請(qǐng)通過(guò)設(shè)置在旋轉(zhuǎn)架上的若干掛架，每個(gè)掛架上的掛件轉(zhuǎn)軸的作用下與旋轉(zhuǎn)架轉(zhuǎn)動(dòng)連接，同時(shí)掛件為板狀結(jié)構(gòu)，從而無(wú)需再在片盒架上設(shè)計(jì)片盒固定放置區(qū)，可直接在掛件上掛接模具并利用旋轉(zhuǎn)架中空的內(nèi)部空間作為放置區(qū)，進(jìn)而使得片盒架結(jié)構(gòu)可不受片盒尺寸形狀限制，滿足了對(duì)不同尺寸規(guī)格的片盒的存放。

技術(shù)研發(fā)人員：李鵬,王鍇,請(qǐng)求不公布姓名
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無(wú)錫琨圣芯成科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240416
技術(shù)公布日：2025/1/9