技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種高增益的紫外雪崩探測器，包括藍寶石襯底，藍寶石襯底上生長有外延層，i型AlyGa1?yN吸收層上設(shè)置有N型歐姆接觸電極和ITO分離層，ITO分離層上設(shè)置有SiO2倍增層，SiO2倍增層設(shè)置有Ni/Au肖特基接觸層，Ni/Au肖特基接觸層上還設(shè)置有P型歐姆接觸電極；本發(fā)明的有益效果是：通過一種全新的高增益的紫外雪崩探測器制作方法，經(jīng)過精確的膜層結(jié)構(gòu)設(shè)計，實現(xiàn)器件擊穿電壓、響應度、增益因子、暗電流等參數(shù)的可調(diào)可控，還具有基礎(chǔ)的外延片可根據(jù)不同的設(shè)計指標重復使用的特點。

技術(shù)研發(fā)人員：張翼;陳勘;楊路華;李培咸;廉大楨
受保護的技術(shù)使用者：西安中為光電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.15
技術(shù)公布日：2017.10.20