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一種垂直磁特性可調納米厚度GdFeCo合金薄膜的制備方法與流程

文檔序號:11776479閱讀:來源:國知局

技術特征:

技術總結
本發(fā)明公開了一種制備垂直磁特性可調納米厚度GdFeCo合金薄膜的簡單新方法,采用磁控濺射方法,在一定成分范圍內,通過控制生長薄膜的厚度可有效調節(jié)制備的納米厚度合金薄膜的磁性能,實現(xiàn)垂直磁特性的大范圍連續(xù)變化,并可在金屬緩沖(電極)層或者氧化物緩沖層上生長實現(xiàn),與磁電器件完全兼容。這種制備垂直磁特性可調的納米厚度亞鐵磁GdFeCo合金薄膜的新工藝極其簡單、可在較大范圍內連續(xù)調節(jié)薄膜的垂直磁特性包括矯頑力和飽和磁化強度,滿足磁電器件不同功能層以及超快光磁記錄領域的材料需要。

技術研發(fā)人員:王可;徐展
受保護的技術使用者:華僑大學
技術研發(fā)日:2017.06.09
技術公布日:2017.10.20
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