本發(fā)明涉及刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備固定裝置。

背景技術(shù)：

隨著集成電路中器件集成密度及復(fù)雜度的不斷增加，對(duì)半導(dǎo)體工藝過程的嚴(yán)格控制顯得尤為重要。目前，半導(dǎo)體工業(yè)中的等離子體刻蝕機(jī)常用的等離子體源有電感耦合等離子體、變壓器耦合等離子體以及電子自旋共振等離子體等。這些等離子體源所產(chǎn)生的等離子體具有較高的刻蝕速率，如果工藝控制不合理的話，出現(xiàn)的過度刻蝕很容易造成下一層材料的損傷，進(jìn)而造成器件失效。因此，必須對(duì)刻蝕過程中的一些參數(shù)，如刻蝕用的化學(xué)氣體、刻蝕時(shí)間、刻蝕速率，以及刻蝕選擇比等參數(shù)進(jìn)行嚴(yán)格控制。此外，刻蝕機(jī)狀態(tài)的細(xì)微改變，如反應(yīng)腔內(nèi)氣體流量、溫度、氣體的回流狀態(tài)等，都會(huì)影響對(duì)刻蝕參數(shù)的控制。因此，必須經(jīng)常監(jiān)控刻蝕過程中的各種參數(shù)變化，以確?？涛g過程中刻蝕的一致性。終點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)刻蝕過程的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。

終點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備根據(jù)其原理需配合觀察窗進(jìn)行使用，因此其固定方式是很重要的一個(gè)影響因素。目前的固定方式存在外在因素影響多，可調(diào)節(jié)范圍小等缺點(diǎn)，因此需要設(shè)計(jì)一種提高監(jiān)測(cè)準(zhǔn)確性和效率的固定裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決上述問題，本發(fā)明公開一種刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備固定裝置，包括：固定套筒，呈圓筒狀，一端設(shè)有平面固定端，以上下可調(diào)節(jié)的方式固定于反應(yīng)腔的觀察窗蓋；探頭固定座，呈圓筒狀，一端封閉且中心開有圓孔，可沿所述固定套筒內(nèi)壁滑動(dòng)；以及終點(diǎn)檢測(cè)探頭，一端安裝在所述探頭固定座的圓孔處，另一端從所述探頭固定座座內(nèi)伸出。

優(yōu)選為，所述反應(yīng)腔的觀察窗蓋外周開設(shè)有螺紋孔，所述固定套筒的平面固定端對(duì)應(yīng)開設(shè)有長(zhǎng)孔。

優(yōu)選為，所述長(zhǎng)孔的長(zhǎng)度根據(jù)所述終點(diǎn)檢測(cè)探頭的上下調(diào)節(jié)的高度范圍設(shè)定。

優(yōu)選為，所述固定套筒設(shè)置有緊固件，當(dāng)所述終點(diǎn)檢測(cè)探頭調(diào)節(jié)到合適的探測(cè)距離后，對(duì)所述探頭固定座進(jìn)行固定。

優(yōu)選為，所述緊固件為開設(shè)在所述固定套筒外壁的螺紋通孔和螺栓，當(dāng)所述終點(diǎn)檢測(cè)探頭調(diào)節(jié)到合適的探測(cè)距離后，使用螺栓對(duì)稱穿過所述螺紋通孔，將所述探頭固定座夾緊在該位置。

優(yōu)選為，所述螺紋通孔為兩個(gè)，當(dāng)所述終點(diǎn)檢測(cè)探頭距離反應(yīng)腔觀察窗較近時(shí)使用靠近所述反應(yīng)腔觀察窗的螺紋通孔，當(dāng)距離所述反應(yīng)腔觀察窗較遠(yuǎn)時(shí)使用遠(yuǎn)離所述反應(yīng)腔觀察窗的螺紋通孔。

優(yōu)選為，其材質(zhì)為鋁或不銹鋼。

附圖說明

圖1是刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備固定裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備固定裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是反應(yīng)腔觀察窗的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是固定套筒的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是探頭固定座的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6是探測(cè)距離l＝0時(shí)探頭固定座與固定套筒相對(duì)位置的示意圖。

圖7是探測(cè)距離l＝l2時(shí)探頭固定座與固定套筒相對(duì)位置的示意圖。

圖8是刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備固定裝置的使用效果圖。

附圖標(biāo)記：

1～反應(yīng)腔的觀察窗蓋；11～固定用螺紋孔；12～調(diào)節(jié)用螺紋孔；2～固定套筒；21～平面固定端；22～長(zhǎng)孔；23～靠近反應(yīng)腔觀察窗的螺紋通孔；24～遠(yuǎn)離反應(yīng)腔觀察窗的螺紋通孔；3～探頭固定座；31～圓孔；4～終點(diǎn)檢測(cè)探頭；5～反應(yīng)腔觀察窗玻璃；6～晶圓；7～反應(yīng)腔。

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其它實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語"上"、"下"、“左”、“右”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。

圖1是刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備固定裝置的立體示意圖。圖2是刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備固定裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1和圖2所示，刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備固定裝置包括固定套筒2、探頭固定座3和終點(diǎn)檢測(cè)探頭4。材質(zhì)為鋁、不銹鋼或其他不透光的材料。

固定套筒2安裝在反應(yīng)腔的觀察窗蓋1上。反應(yīng)腔的觀察窗蓋1與反應(yīng)腔的觀察窗玻璃5配合安裝后固定在腔體上。在具體的一例中，如圖3所示，反應(yīng)腔的觀察窗蓋1的外周開設(shè)有多個(gè)固定用螺紋孔11，通過螺栓與腔體表面的螺紋孔配合安裝。該多個(gè)固定用螺紋孔11優(yōu)選均勻分布在反應(yīng)腔的觀察窗蓋的外周，以使反應(yīng)腔的觀察窗蓋1與腔體緊密安裝。固定套筒2呈圓筒狀，一端設(shè)有平面固定端21，平面固定端21以上下可調(diào)節(jié)的方式固定于反應(yīng)腔的觀察窗蓋1。在具體的一例中，如圖3所示，反應(yīng)腔的觀察窗蓋1的外周對(duì)稱開設(shè)有兩個(gè)調(diào)節(jié)用螺紋孔12，在固定套筒2的平面固定端21的左右兩側(cè)設(shè)有長(zhǎng)孔22，如圖4所示，兩者配合安裝，實(shí)現(xiàn)固定套筒2的上下調(diào)節(jié)。長(zhǎng)孔22的長(zhǎng)度決定固定套筒2的上下可調(diào)節(jié)的高度范圍。換句話說，長(zhǎng)孔22的長(zhǎng)度根據(jù)固定套筒2所需的上下調(diào)節(jié)范圍進(jìn)行設(shè)定。但是本發(fā)明不限定于此，例如也可以通過在反應(yīng)腔的觀察窗蓋1上對(duì)稱設(shè)置凸部，在固定套筒2的平面固定端21的左右兩側(cè)設(shè)置卡槽，使凸部能在卡槽中上下移動(dòng)?？傊?，只要能夠使固定套筒以上下可調(diào)節(jié)的方式安裝于反應(yīng)腔的觀察窗蓋即可。

探頭固定座3呈一端封閉式的圓筒狀，中心開有圓孔31，如圖5所示。終點(diǎn)檢測(cè)探頭4的一端安裝在探頭固定座3的封閉端的圓孔31處，另一端沿固定套筒2內(nèi)部伸出。這種設(shè)計(jì)可保證終點(diǎn)檢測(cè)探頭主體位于探頭固定座的筒狀結(jié)構(gòu)內(nèi)，從而能夠有效擋住外部的光線，消除外部光線等的影響。在本發(fā)明的具體一例中，如圖2所示，使用螺栓將終點(diǎn)檢測(cè)探頭4固定在探頭固定座3上。但是本發(fā)明不限定于此，例如也可以將終點(diǎn)檢測(cè)探頭4和探頭固定座3設(shè)計(jì)為一體式結(jié)構(gòu)。

探頭固定座3可沿固定套筒2的內(nèi)壁滑動(dòng)，帶動(dòng)終點(diǎn)檢測(cè)探頭4接近或遠(yuǎn)離反應(yīng)腔的觀察窗，實(shí)現(xiàn)終點(diǎn)檢測(cè)探頭探測(cè)距離l的調(diào)節(jié)。在圖6中示出了探測(cè)距離l＝0時(shí)探頭固定座與固定套筒相對(duì)位置的示意圖。在圖7中示出了探測(cè)距離l＝l2時(shí)探頭固定座與固定套筒相對(duì)位置的示意圖。

固定套筒2設(shè)置有緊固件，當(dāng)終點(diǎn)檢測(cè)探頭4調(diào)節(jié)到合適的探測(cè)距離后，對(duì)探頭固定座3進(jìn)行固定。在具體的一例中，如圖1，緊固件為開設(shè)在固定套筒2外壁的螺紋通孔和螺栓，當(dāng)終點(diǎn)檢測(cè)探頭4調(diào)節(jié)到合適的探測(cè)距離后，使用螺栓對(duì)稱穿過螺紋通孔，將探頭固定座3夾緊在該位置。進(jìn)一步優(yōu)選地，如圖4所示，設(shè)置兩個(gè)螺紋通孔23、24，當(dāng)所述終點(diǎn)檢測(cè)探頭4距離反應(yīng)腔觀察窗較近時(shí)使用靠近反應(yīng)腔觀察窗的螺紋通孔23，當(dāng)距離所述反應(yīng)腔觀察窗較遠(yuǎn)時(shí)使用遠(yuǎn)離反應(yīng)腔觀察窗的螺紋通孔24。但是，本發(fā)明不限定于此，緊固件也可以采用其他任何合適的結(jié)構(gòu)，只要能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)探頭固定座的固定即可。

圖8是刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備固定裝置的使用效果圖。如圖8所示，刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備以上下可調(diào)節(jié)的方式安裝在反應(yīng)腔的觀察窗蓋1上，反應(yīng)腔的觀察窗蓋1與反應(yīng)腔觀察窗玻璃5配合安裝后固定在反應(yīng)腔7上，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備的安裝固定，并且可根據(jù)具體參數(shù)調(diào)節(jié)刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備的檢測(cè)范圍，對(duì)晶圓6的刻蝕工藝進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。本發(fā)明可以有效的提高終點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備的檢測(cè)準(zhǔn)確性和效率，該設(shè)計(jì)極大程度的減少了外部光線等對(duì)檢測(cè)結(jié)果的影響，同時(shí)可調(diào)整范圍大，滿足諸多需求，且操作簡(jiǎn)單。

本發(fā)明適用于任何需要對(duì)刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備進(jìn)行固定的場(chǎng)合，尤其是等離子體刻蝕機(jī)反應(yīng)腔的終點(diǎn)檢測(cè)設(shè)備固定。

以上所述，僅為本發(fā)明的具體實(shí)施方式，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。