本發(fā)明涉及納米壓印液體材料、納米壓印液體材料的制造方法、固化產(chǎn)物圖案的制造方法、光學(xué)組件的制造方法和電路板的制造方法。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體器件和mems等中，愈來愈要求小型化，特別是，光納米壓印技術(shù)已經(jīng)引起了關(guān)注。

在光納米壓印技術(shù)中，在其中具有形成在表面上的微細(xì)凹凸圖案的模具壓向其上涂布有光固化性組合物(抗蝕劑)的基板(晶片)的狀態(tài)下，使抗蝕劑固化。通過該技術(shù)，模具的凹凸圖案轉(zhuǎn)印至抗蝕劑的固化產(chǎn)物，從而在基板上形成圖案。根據(jù)光納米壓印技術(shù)，可以在基板上形成幾納米量級的微細(xì)結(jié)構(gòu)體。

在光納米壓印技術(shù)中，首先，將抗蝕劑涂布至基板上的圖案形成區(qū)域(配置步驟)。下一步，使用形成有圖案的模具使該抗蝕劑成形(模具接觸步驟)。隨后，在通過光照射使抗蝕劑固化(光照射步驟)之后，使由此固化的抗蝕劑與模具脫離(脫模步驟)。通過上述的步驟，具有預(yù)定形狀的樹脂圖案(光固化產(chǎn)物)形成在基板上。此外，在基板上的不同位置重復(fù)進(jìn)行上述的全部步驟，使得可以在整個基板上形成微細(xì)結(jié)構(gòu)體。

[引用列表]

[專利文獻(xiàn)]

ptl1：日本專利特開no.2010-073811

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的問題

在包括光納米壓印技術(shù)的納米壓印技術(shù)中，通過使模具與涂布在基板上的抗蝕劑接觸而進(jìn)行圖案轉(zhuǎn)印和成形。因此，當(dāng)在配置步驟中要涂布在基板上的抗蝕劑中存在具有預(yù)定尺寸以上的異物時，從而在一些情況下模具的凹凸圖案會破損或堵塞。

特別是，在其中使用一個模具在基板上重復(fù)進(jìn)行圖案轉(zhuǎn)印和抗蝕劑固化的情況下，如果在操作期間凹凸圖案破損或堵塞，則在全部后續(xù)的轉(zhuǎn)印圖案中產(chǎn)生缺陷。結(jié)果，產(chǎn)率嚴(yán)重降低會不利地發(fā)生。

因此，考慮到上述問題，本發(fā)明的目的是改善納米壓印工藝的產(chǎn)率。

用于解決問題的方案

在根據(jù)本發(fā)明的一方面的納米壓印液體材料中，粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度(particlenumberconcentration)小于310個/ml。

參考附圖，從以下示例性實(shí)施方案的說明，本發(fā)明的進(jìn)一步特征將變得明顯。

附圖說明

[圖1a]圖1a為示意性示出根據(jù)一個實(shí)施方案的固化產(chǎn)物圖案的制造方法的截面圖。

[圖1b]圖1b為示意性示出根據(jù)該實(shí)施方案的固化產(chǎn)物圖案的制造方法的截面圖。

[圖1c]圖1c為示意性示出根據(jù)該實(shí)施方案的固化產(chǎn)物圖案的制造方法的截面圖。

[圖1d]圖1d為示意性示出根據(jù)該實(shí)施方案的固化產(chǎn)物圖案的制造方法的截面圖。

[圖1e]圖1e為示意性示出根據(jù)該實(shí)施方案的固化產(chǎn)物圖案的制造方法的截面圖。

[圖1f]圖1f為示意性示出根據(jù)該實(shí)施方案的固化產(chǎn)物圖案的制造方法的截面圖。

[圖1g]圖1g為示意性示出根據(jù)該實(shí)施方案的固化產(chǎn)物圖案的制造方法的截面圖。

[圖2a]圖2a為示意性示出顆粒的粒徑與模具圖案的凹部和凸部的寬度之間的關(guān)系的圖。

[圖2b]圖2b為示意性示出顆粒的粒徑與模具圖案的凹部和凸部的寬度之間的關(guān)系的圖。

[圖3a]圖3a為示意性示出根據(jù)一個實(shí)施方案的納米壓印液體材料的純化系統(tǒng)的圖。

[圖3b]圖3b為示意性示出根據(jù)一個實(shí)施方案的納米壓印液體材料的純化系統(tǒng)的圖。

[圖4]圖4為示出根據(jù)一個實(shí)施方案的納米壓印液體材料的制造方法的流程圖。

[圖5a]圖5a為示意性示出根據(jù)一個比較例的納米壓印液體材料的純化系統(tǒng)的圖。

[圖5b]圖5b為示意性示出根據(jù)一個比較例的納米壓印液體材料的純化系統(tǒng)的圖。

[圖6a]圖6a為示意性示出根據(jù)一個實(shí)施例的納米壓印液體材料的純化系統(tǒng)的圖。

[圖6b]圖6b為示意性示出根據(jù)一個實(shí)施例的納米壓印液體材料的純化系統(tǒng)的圖。

具體實(shí)施方式

下文中，將參照適當(dāng)?shù)母綀D詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方案。然而，本發(fā)明完全不限于以下實(shí)施方案。另外，在不背離本發(fā)明的范圍的情況下使用本領(lǐng)域技術(shù)人員的常識對以下實(shí)施方案進(jìn)行的適當(dāng)改變和改良等也可以包括在本發(fā)明中。

[納米壓印液體材料]

根據(jù)該實(shí)施方案的納米壓印液體材料(下文，簡稱為“液體材料l”)是其中粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度小于310個/ml的納米壓印液體材料。

根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l的種類不特別限定，只要可用于納米壓印工藝和只要為液體材料即可。在該實(shí)施方案中，納米壓印工藝為如下方法：在具有凹凸圖案的模具壓向通過將要借由熱或光而固化的組合物涂布在基板上獲得的薄膜之后，進(jìn)行光照射或熱處理以形成模具的凹凸圖案轉(zhuǎn)印至其的固化產(chǎn)物。根據(jù)納米壓印工藝，例如，可以形成具有1～100nm的微細(xì)凹凸圖案的固化產(chǎn)物(固化產(chǎn)物圖案)。

作為液體材料l，例如，可以提及(1)圖案形成用固化性組合物(下文，稱為“組合物(1)”)，如抗蝕劑形成用固化性組合物或模具復(fù)制形成用固化性組合物。可選擇地，作為液體材料l，可以提及(2)固化層形成用組合物(下文，稱為“組合物(2)”)，如粘著層形成用組合物、底層形成用組合物、中間層形成用組合物、面涂層形成用組合物或平滑層形成用組合物。然而，根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l的種類不限于上述那些。

另外，在本說明書中，“固化產(chǎn)物”表示通過使如固化性組合物等組合物中包含的聚合性化合物聚合獲得的部分或全部固化產(chǎn)物。另外，在固化產(chǎn)物中，特別是，相對于其面積具有極薄厚度的固化產(chǎn)物在一些情況下可以強(qiáng)調(diào)稱為“固化膜”。另外，在固化膜中，特別是，充當(dāng)形成層壓體的膜中之一的固化膜在一些情況下可以強(qiáng)調(diào)稱為“固化層”。

下文中，將詳細(xì)說明根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l。

(圖案形成用固化性組合物：組合物(1))

在該實(shí)施方案中，圖案形成用固化性組合物(組合物(1))優(yōu)選為至少包含以下組分(a)和組分(b)的固化性組合物。然而，組合物(1)不限于上述那些，只要其為可通過光照射或熱施加而固化的組合物即可。例如，組合物(1)可以包含充當(dāng)組分(a)和組分(b)的具有分子內(nèi)反應(yīng)性官能團(tuán)的化合物。

組分(a)：聚合性組分

組分(b)：聚合引發(fā)劑

下文中，將詳細(xì)說明組合物(1)的各組分。

<組分(a)：聚合性組分>

組分(a)為聚合性組分。該實(shí)施方案中的聚合性組分為與由聚合引發(fā)劑(組分(b))產(chǎn)生的聚合因子(自由基或陽離子等)反應(yīng)以通過鏈反應(yīng)(聚合反應(yīng))形成聚合物的組分。聚合性組分優(yōu)選為通過該鏈反應(yīng)形成高分子量化合物的固化產(chǎn)物的組分。

聚合性組分優(yōu)選為包含聚合性化合物的組分。另外，聚合性組分可以由一種聚合性化合物構(gòu)成或者由至少兩種聚合性化合物構(gòu)成。

另外，在該實(shí)施方案中，組合物(1)中包含的全部聚合性化合物優(yōu)選整體視為組分(a)。在該情況下，可以包括在組合物(1)中僅包含一種聚合性化合物的構(gòu)成和其中僅包含特定的多種聚合性化合物的構(gòu)成。

作為上述聚合性化合物，例如，可以提及自由基聚合性化合物或陽離子聚合性化合物。考慮到聚合速度、固化速度和工藝時間等的降低，根據(jù)該實(shí)施方案的聚合性化合物更優(yōu)選為自由基聚合性化合物。

下文中，將分別說明自由基聚合性化合物和陽離子聚合性化合物的具體實(shí)例。

自由基聚合性化合物優(yōu)選為具有至少一個丙烯酰基或甲基丙烯?；幕衔铮?，優(yōu)選為(甲基)丙烯酸系化合物。

即，當(dāng)自由基聚合性化合物用于該實(shí)施方案時，作為組合物(1)的組分(a)，優(yōu)選包含(甲基)丙烯酸系化合物。另外，組分(a)的主組分更優(yōu)選為(甲基)丙烯酸系化合物，此外，組合物(1)中包含的全部聚合性化合物最優(yōu)選為(甲基)丙烯酸系化合物。另外，上述“組分(a)的主組分為(甲基)丙烯酸系化合物”表示組分(a)的90重量％以上為(甲基)丙烯酸系化合物。

當(dāng)自由基聚合性化合物由多種(甲基)丙烯酸系化合物構(gòu)成時，優(yōu)選包含單官能(甲基)丙烯酸系單體和多官能(甲基)丙烯酸系單體。其原因在于，當(dāng)組合使用單官能(甲基)丙烯酸系單體和多官能(甲基)丙烯酸系單體時，可以獲得具有高機(jī)械強(qiáng)度的固化產(chǎn)物。

作為具有一個丙烯?；蚣谆；膯喂倌?甲基)丙烯酸系化合物，例如，可以提及(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸苯氧基-2-甲基乙酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙氧基乙酯、(甲基)丙烯酸3-苯氧基-2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸2-苯基苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸4-苯基苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸3-(2-苯基苯基)-2-羥基丙酯、eo改性的對枯基苯酚的(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-溴苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸2,4-二溴苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸2,4,6-三溴苯氧基乙酯、eo改性的(甲基)丙烯酸苯氧酯、po改性的(甲基)丙烯酸苯氧酯、聚氧乙烯壬基苯基醚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸1-金剛烷酯、(甲基)丙烯酸2-甲基-2-金剛烷酯、(甲基)丙烯酸2-乙基-2-金剛烷酯、(甲基)丙烯酸冰片酯、(甲基)丙烯酸三環(huán)癸烷酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烷酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸4-丁基環(huán)己酯、丙烯酰嗎啉、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯(amyl(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸戊基酯(pentyl(meth)acrylate)、(甲基)丙烯酸異戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸異辛酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸異癸酯、(甲基)丙烯酸十一烷基酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、(甲基)丙烯酸異硬脂酯、(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸1-萘基甲酯、(甲基)丙烯酸2-萘基甲酯、(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸丁氧基乙酯、(甲基)丙烯酸乙氧基二甘醇酯、聚(乙二醇)單(甲基)丙烯酸酯、聚(丙二醇)單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸甲氧基乙二醇酯、(甲基)丙烯酸乙氧基乙酯、甲氧基聚(乙二醇)(甲基)丙烯酸酯、甲氧基聚(丙二醇)(甲基)丙烯酸酯、雙丙酮(甲基)丙烯酰胺、異丁氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、n,n-二甲基(甲基)丙烯酰胺、叔辛基(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸二甲氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二乙氨基乙酯、(甲基)丙烯酸7-氨基-3,7-二甲基辛酯、n,n-二乙基(甲基)丙烯酰胺和n,n-二甲氨基丙基(甲基)丙烯酰胺。然而，單官能(甲基)丙烯酸系化合物不限于上述那些。

作為上述單官能(甲基)丙烯酸系化合物的商購可得的產(chǎn)品，例如，可以提及aronixm101、m102、m110、m111、m113、m117、m5700、to-1317、m120、m150和m156(由toagoseico.,ltd制造)；medol10，mibdol10，chdol10，mmdol30，medol30，mibdol30，chdol30，la，ibxa，2-mta，hpa，viscoat#150、#155、#158、#190、#192、#193、#220、#2000、#2100和#2150(由osakaorganicindustryltd.制造)；lightacrylatebo-a、ec-a、dmp-a、thf-a、hop-a、hoa-mpe、hoa-mpl、po-a、p-200a、np-4ea、np-8ea和epoxyesterm-600a(由kyoeishachemicalco.,ltd.制造)；kayaradtc110s、r-564和r-128h(由nipponkayakuco.,ltd.制造)；nkesteramp-10g和amp-20g(由shin-nakamurachemicalco.,ltd.制造)；fa-511a、512a和513a(由hitachichemicalco.,ltd.制造)；phe、cea、phe-2、phe-4、br-31、br-31m和br-32(由dai-ichikogyoseiyakyuco.,ltd.制造)；vp(由basf制造)；以及acmo、dmaa和dmapaa(由kohjinco.,ltd.制造)。然而，上述單官能(甲基)丙烯酸系化合物的商購可得的產(chǎn)品不限于上述那些。

作為具有至少兩個丙烯酰基或甲基丙烯?；亩喙倌?甲基)丙烯酸系化合物，例如，可以提及三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、eo-改性的三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、po-改性的三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、eo,po-改性的三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、二羥甲基三環(huán)癸烷二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四甘醇二(甲基)丙烯酸酯、苯基乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚(乙二醇)二(甲基)丙烯酸酯、聚(丙二醇)二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,9-壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,10-癸二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,3-金剛烷二甲醇二(甲基)丙烯酸酯、鄰苯二亞甲基二(甲基)丙烯酸酯、間苯二亞甲基二(甲基)丙烯酸酯、對苯二亞甲基二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羥基乙基)異氰脲酸酯三(甲基)丙烯酸酯、異氰脲酸三(丙烯酰氧基)酯、雙(羥基甲基)三環(huán)癸烷二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、eo-改性的2,2-雙(4-((甲基)酰氧基)苯基)丙烷、po-改性的2,2-雙(4-((甲基)酰氧基)苯基)丙烷和eo,po-改性的2,2-雙(4-((甲基)酰氧基)苯基)丙烷。然而，多官能(甲基)丙烯酸系化合物不限于上述那些。

作為上述多官能(甲基)丙烯酸系化合物的商購可得的產(chǎn)品，例如，可以提及yupimeruvsa1002和sa2007(由mitsubishichemicalcorp.制造)；viscoat#195、#230、#215、#260、#335hp、#295、#300、#360、#700、gpt和3pa(由osakaorganicchemicalindustry,ltd.制造)；lightacrylate4eg-a、9eg-a、np-a、dcp-a、bp-4ea、bp-4pa、tmp-a、pe-3a、pe-4a和dpe-6a(由kyoeishachemicalco.,ltd.制造)；kayaradpet-30，tmpta，r-604，dpha，dpca-20、-30、-60、-120，hx-620，d-310和d-330(由nipponkayakuco.,ltd.制造)；aronixm208、m210、m215、m220、m240、m305、m309、m310、m315、m325和m400(由toagoseico.,ltd.制造)；和ripoxyvr-77、vr-60和vr-90(由showadenkok.k.制造)。然而，上述多官能(甲基)丙烯酸系化合物的商購可得的產(chǎn)品不限于上述那些。

這些自由基聚合性化合物可以單獨(dú)使用，或者其至少兩種可以組合使用。在上述化合物組中，(甲基)丙烯酸酯表示丙烯酸酯或具有與其等同的醇?xì)埢募谆┧狨ァ?甲基)丙烯?；硎颈；蚓哂信c其等同的醇?xì)埢募谆；?。“eo”表示環(huán)氧乙烷，和eo-改性的化合物a表示其中化合物a的(甲基)丙烯酸殘基和醇?xì)埢?jīng)由設(shè)置在二者之間的由至少一個環(huán)氧乙烷基構(gòu)成的嵌段結(jié)構(gòu)而彼此結(jié)合的化合物。另外，“po”表示環(huán)氧丙烷，和po-改性的化合物b表示其中化合物b的(甲基)丙烯酸殘基和醇?xì)埢?jīng)由設(shè)置在二者之間的由至少一個環(huán)氧丙烷基構(gòu)成的嵌段結(jié)構(gòu)而彼此結(jié)合的化合物。

另外，作為陽離子聚合性化合物，具有乙烯基醚基、環(huán)氧基和氧雜環(huán)丁烷基(oxetanylgroup)中的至少一個的化合物是優(yōu)選的。

因此，當(dāng)陽離子聚合性化合物用于該實(shí)施方案時，作為組合物(1)的組分(a)，優(yōu)選包含含有乙烯基醚基、環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基的化合物。另外，組分(a)的主組分更優(yōu)選為具有乙烯基醚基、環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基的化合物。此外，組合物(1)中包含的全部聚合性化合物最優(yōu)選為各自具有乙烯基醚基、環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基的化合物。另外，上述“組分(a)的主組分為具有乙烯基醚基、環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基的化合物”表示組分(a)的90重量％以上為具有乙烯基醚基、環(huán)氧基或氧雜環(huán)丁烷基的化合物。

當(dāng)陽離子聚合性化合物由多種各自包含乙烯基醚基、環(huán)氧基和氧雜環(huán)丁烷基中的至少一個的化合物構(gòu)成時，優(yōu)選包含單官能單體和多官能單體。其原因在于，當(dāng)組合使用單官能單體和多官能單體時，可以獲得具有高機(jī)械強(qiáng)度的固化產(chǎn)物。

作為具有一個乙烯基醚基的化合物，例如，可以提及甲基乙烯基醚、乙基乙烯基醚、丙基乙烯基醚、正丁基乙烯基醚、叔丁基乙烯基醚、2-乙基己基乙烯基醚、正壬基乙烯基醚、月桂基乙烯基醚、環(huán)己基乙烯基醚、環(huán)己基甲基乙烯基醚、4-甲基環(huán)己基甲基乙烯基醚、芐基乙烯基醚、二環(huán)戊烯基乙烯基醚、2-二環(huán)戊烯氧基乙基乙烯基醚、甲氧基乙基乙烯基醚、乙氧基乙基乙烯基醚、丁氧基乙基乙烯基醚、甲氧基乙氧基乙基乙烯基醚、乙氧基乙氧基乙基乙烯基醚、甲氧基(聚乙二醇)乙烯基醚、四氫糠基乙烯基醚、2-羥乙基乙烯基醚、2-羥丙基乙烯基醚、4-羥丁基乙烯基醚、4-羥甲基環(huán)己基甲基乙烯基醚、二甘醇單乙烯基醚、聚(乙二醇)乙烯基醚、氯乙基乙烯基醚、氯丁基乙烯基醚、氯乙氧基乙基乙烯基醚、苯乙基乙烯基醚和苯氧基(聚乙二醇)乙烯基醚。然而，具有一個乙烯基醚基的化合物不限于上述那些。

作為具有至少兩個乙烯基醚基的化合物，例如，可以提及二乙烯基醚類，如乙二醇二乙烯基醚、二甘醇二乙烯基醚、聚(乙二醇)二乙烯基醚、丙二醇二乙烯基醚、丁二醇二乙烯基醚、己二醇二乙烯基醚、雙酚a環(huán)氧烷二乙烯基醚和雙酚f環(huán)氧烷二乙烯基醚；以及多官能乙烯基醚類，如三羥甲基乙烷三乙烯基醚、三羥甲基丙烷三乙烯基醚、雙三羥甲基丙烷四乙烯基醚、甘油三乙烯基醚、季戊四醇四乙烯基醚、二季戊四醇五乙烯基醚、二季戊四醇六乙烯基醚、環(huán)氧乙烷加成三羥甲基丙烷三乙烯基醚(ethyleneoxideadducttrimethylolpropanetrivinylether)、環(huán)氧丙烷加成三羥甲基丙烷三乙烯基醚、環(huán)氧乙烷加成雙三羥甲基丙烷四乙烯基醚、環(huán)氧丙烷加成雙三羥甲基丙烷四乙烯基醚、環(huán)氧乙烷加成季戊四醇四乙烯基醚、環(huán)氧丙烷加成季戊四醇四乙烯基醚(propyleneoxideadductpentaerythritoltetravinylether)、環(huán)氧乙烷加成二季戊四醇六乙烯基醚和環(huán)氧丙烷加成二季戊四醇六乙烯基醚。然而，具有至少兩個乙烯基醚基的化合物不限于上述那些。

作為具有一個環(huán)氧基的化合物，例如，可以提及苯基縮水甘油醚、對叔丁基苯基縮水甘油醚、丁基縮水甘油醚、2-乙基已基縮水甘油醚、烯丙基縮水甘油醚、1,2-環(huán)氧丁烷、1,3-環(huán)氧丁烯(1,3-butadienemonooxide)、1,2-環(huán)氧十二烷、表氯醇、1,2-環(huán)氧癸烷、氧化苯乙烯、環(huán)己烯化氧、3-甲基丙烯酰氧基甲基環(huán)己烯化氧、3-丙烯酰氧基甲基環(huán)己烯化氧和3-乙烯基環(huán)己烯化氧。然而，具有一個環(huán)氧基的化合物不限于上述那些。

作為具有至少兩個環(huán)氧基的化合物，例如，可以提及雙酚a二縮水甘油醚、雙酚f二縮水甘油醚、雙酚s二縮水甘油醚、溴化雙酚a二縮水甘油醚、溴化雙酚f二縮水甘油醚、溴化雙酚s二縮水甘油醚、環(huán)氧-線型酚醛樹脂、氫化雙酚a二縮水甘油醚、氫化雙酚f二縮水甘油醚、氫化雙酚s二縮水甘油醚、3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲基-3',4'-環(huán)氧環(huán)己烷羧酸酯、2-(3,4-環(huán)氧環(huán)己基-5,5-螺-3,4-環(huán)氧)環(huán)己烷-間-二噁烷、雙(3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲基)己二酸酯、乙烯基環(huán)己烯化氧、4-乙烯基環(huán)氧環(huán)己烷、雙(3,4-環(huán)氧-6-甲基環(huán)己基甲基)己二酸酯、3,4-環(huán)氧-6-甲基環(huán)己基-3',4'-環(huán)氧-6'-甲基環(huán)己烷羧酸酯、亞甲基雙(3,4-環(huán)氧環(huán)己烷)、二氧化雙環(huán)戊二烯(dicyclopentadienediepoxide)、乙二醇的二(3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲基)醚、亞乙基雙(3,4-環(huán)氧環(huán)己烷羧酸酯)、環(huán)氧六氫鄰苯二甲酸二辛酯(dioctylepoxyhexahydrophthalate)、環(huán)氧六氫鄰苯二甲酸二-2-乙基己酯、1,4-丁二醇二縮水甘油醚、1,6-己二醇二縮水甘油醚、甘油三縮水甘油醚、三羥甲基丙烷三縮水甘油醚、聚(乙二醇)二縮水甘油醚、聚(丙二醇)二縮水甘油醚、1,1,3-十四碳二烯二氧化物(1,1,3-tetradecadienedioxide)、二氧化苧烯、1,2,7,8-二環(huán)氧辛烷和1,2,5,6-二環(huán)氧環(huán)辛烷。然而，具有至少兩個環(huán)氧基的化合物不限于上述那些。

作為具有一個氧雜環(huán)丁烷基的化合物，例如，可以提及3-乙基-3-羥甲基氧雜環(huán)丁烷、3-(甲基)烯丙氧基甲基-3-乙基氧雜環(huán)丁烷、(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)甲基苯、4-氟-[1-(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)甲基]苯、4-甲氧基-[1-(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)甲基]苯、[1-(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)乙基]苯基醚、異丁氧基甲基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、異冰片基氧基乙基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、異冰片基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、2-乙基己基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、乙基二甘醇(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、二環(huán)戊二烯(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、二環(huán)戊烯基氧基乙基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、二環(huán)戊烯基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、四氫糠基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、四溴苯基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、2-四溴苯氧基乙基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、三溴苯基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、2-三溴苯氧基乙基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、2-羥基乙基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、2-羥基丙基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、丁氧基乙基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、五氯苯基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、五溴苯基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚和冰片基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚。然而，具有一個氧雜環(huán)丁烷基的化合物不限于上述那些。

作為具有至少兩個氧雜環(huán)丁烷基的化合物，例如，可以提及3,7-雙(3-氧雜環(huán)丁烷基)-5-氧雜-壬烷、3,3'-(1,3-(2-亞甲基)丙烷二基雙(氧基亞甲基))雙-(3-乙基氧雜環(huán)丁烷)、1,4-雙[(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)甲基]苯、1,2-雙[(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)甲基]乙烷、1,3-雙[(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)甲基]丙烷、乙二醇雙(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、二環(huán)戊烯基雙(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、三甘醇雙(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、四甘醇雙(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、三環(huán)癸烷二基二亞甲基(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、三羥甲基丙烷三(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、1,4-雙(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)丁烷、1,6-雙(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)己烷、季戊四醇三(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、季戊四醇四(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、聚(乙二醇)雙(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、二季戊四醇六(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、二季戊四醇五(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、二季戊四醇四(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、己內(nèi)酯改性的二季戊四醇六(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、己內(nèi)酯改性的二季戊四醇五(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、雙三羥甲基丙烷四(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、eo-改性的雙酚a雙(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、po-改性的雙酚a雙(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、eo-改性的氫化雙酚a雙(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚、po-改性的氫化雙酚a雙(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚和eo-改性的雙酚f(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲基)醚。然而，具有至少兩個氧雜環(huán)丁烷基的化合物不限于上述那些。

這些陽離子聚合性化合物可以單獨(dú)使用，或者其至少兩種可以組合使用。另外，在上述化合物組中，“eo”表示環(huán)氧乙烷，和eo改性的化合物表示具有由至少一個環(huán)氧乙烷基構(gòu)成的嵌段結(jié)構(gòu)的化合物。另外，“po”表示環(huán)氧丙烷，和po改性的化合物表示具有由至少一個環(huán)氧丙烷基構(gòu)成的嵌段結(jié)構(gòu)的化合物。此外，“氫化”表示至少一個氫原子與苯等的c＝c雙鍵加成的狀態(tài)。

<組分(b)：聚合引發(fā)劑>

組分(b)為聚合引發(fā)劑。作為根據(jù)該實(shí)施方案的聚合引發(fā)劑，例如，可以提及為通過光產(chǎn)生聚合因子的化合物的光聚合引發(fā)劑和為通過熱產(chǎn)生聚合因子的化合物的熱聚合引發(fā)劑。

組分(b)可以由一種聚合引發(fā)劑構(gòu)成或者可以由多種聚合引發(fā)劑構(gòu)成。另外，組分(b)可以由光聚合引發(fā)劑和熱聚合引發(fā)劑二者構(gòu)成。

光聚合引發(fā)劑為當(dāng)檢測到具有預(yù)定波長的光(紅外線，可見光線，紫外線，遠(yuǎn)紫外線，x-射線，如電子射線等帶電粒子射線，或放射線等)時產(chǎn)生上述聚合因子(如自由基或陽離子)的化合物。特別地，作為光聚合引發(fā)劑，例如，可以提及通過光產(chǎn)生自由基的光自由基產(chǎn)生劑和通過光產(chǎn)生質(zhì)子(h⁺)的光酸產(chǎn)生劑。當(dāng)聚合性組分(a)包含自由基聚合性化合物時，主要使用光自由基產(chǎn)生劑。另一方面，當(dāng)聚合性組分(a)包含陽離子聚合性化合物時，主要使用光酸產(chǎn)生劑。作為光自由基產(chǎn)生劑，例如，可以提及可以具有取代基的2,4,5-三芳基咪唑二聚體，如2-(鄰氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚體、2-(鄰氯苯基)-4,5-二(甲氧基苯基)咪唑二聚體、2-(鄰氟苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚體、或2-(鄰或?qū)?甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚體；二苯甲酮衍生物，如二苯甲酮、n,n'-四甲基-4,4'-二氨基二苯甲酮(米蚩酮(michler'sketone))、n,n'-四乙基-4,4'-二氨基二苯甲酮、4-甲氧基-4'-二甲基氨基二苯甲酮、4-氯二苯甲酮、4,4'-二甲氧基二苯甲酮或4,4'-二氨基二苯甲酮；α-氨基芳香酮衍生物，如2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代-苯基)-丁酮-1、或2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代-丙烷-1-酮；醌衍生物，如2-乙基蒽醌、菲醌、2-叔丁基-蒽醌、八甲基蒽醌、1,2-苯并蒽醌、2,3-苯并蒽醌、2-苯基蒽醌、2,3-二苯基蒽醌、1-氯蒽醌、2-甲基蒽醌、1,4-萘醌、9,10-菲醌、2-甲基-1,4-萘醌、或2,3-二甲基蒽醌；苯偶姻醚衍生物，如苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、或苯偶姻苯基醚；苯偶姻衍生物，如苯偶姻、甲基苯偶姻、乙基苯偶姻、或丙基苯偶姻；芐基衍生物，如芐基甲基縮酮；吖啶衍生物，如9-苯基吖啶、或1,7-雙(9,9'-吖啶基)庚烷；n-苯甘氨酸衍生物，如n-苯甘氨酸；苯乙酮衍生物，如苯乙酮、3-甲基苯乙酮、苯乙酮芐基縮酮、1-羥基環(huán)己基苯基酮、或2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮；噻噸酮衍生物，如噻噸酮、二乙基噻噸酮、2-異丙基噻噸酮、或2-氯噻噸酮；?；⒀趸镅苌铮?,4,6-三甲基苯甲?；交趸ⅰ㈦p(2,4,6-三甲基苯甲?；?苯基氧化膦、或雙(2,6-二甲氧基苯甲?；?-2,4,4-三甲基戊基氧化膦；肟酯衍生物，如1,2-辛二酮,1-[4-(苯硫基)-2-(o-苯甲?；?]、或乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲?；?-9h-咔唑-3-基],1-(o-乙?；?；呫噸酮、芴酮、苯甲醛、芴、蒽醌、三苯胺、咔唑、1-(4-異丙基苯基)-2-羥基-2-甲基丙烷-1-酮、或2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮。然而，光自由基產(chǎn)生劑不限于上述那些。

作為上述光自由基產(chǎn)生劑的商購可得的產(chǎn)品，例如，可以提及irgacure184、369、651、500、819、907、784、2959，cgi-1700、-1750、-1850，cg24-61，darocur1116、1173，lucirintpo，lr8893和lr8970(由basf制造)；和ubecrylp36(由ucb制造)。然而，光自由基產(chǎn)生劑的商購可得的產(chǎn)品不限于上述那些。

在上述那些化合物中，作為光自由基產(chǎn)生劑，酰基膦氧化物聚合引發(fā)劑或烷基苯酮聚合引發(fā)劑是優(yōu)選的。在上述實(shí)例中，?；⒀趸锞酆弦l(fā)劑為?；趸⒒衔铮?,4,6-三甲基苯甲?；交趸ⅰ㈦p(2,4,6-三甲基苯甲?；?苯基氧化膦、或雙(2,6-二甲氧基苯甲?；?-2,4,4-三甲基戊基氧化膦。另外，在上述實(shí)例中，烷基苯酮聚合引發(fā)劑為苯偶姻醚衍生物，如苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、或苯偶姻苯基醚；苯偶姻衍生物，如苯偶姻、甲基苯偶姻、乙基苯偶姻、或丙基苯偶姻；芐基衍生物，如芐基甲基縮酮；苯乙酮衍生物，如苯乙酮、3-甲基苯乙酮、苯乙酮芐基縮酮、1-羥基環(huán)己基苯基酮、或2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮；或α-氨基芳香酮衍生物，如2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代-苯基)-丁酮-1、或2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代-丙烷-1-酮。

作為光酸產(chǎn)生劑，例如，可以提及鎓鹽化合物、砜化合物、磺酸酯化合物、砜酰亞胺化合物和重氮甲烷化合物。然而，光酸產(chǎn)生劑不限于上述那些。在本發(fā)明中，鎓鹽化合物是優(yōu)選的。

作為鎓鹽化合物，例如，可以提及碘鎓鹽、锍鹽、鏻鹽、重氮鹽、銨鹽和吡啶鎓鹽。

作為鎓鹽化合物，例如，可以提及雙(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟正丁烷磺酸鹽、雙(4-叔丁基苯基)碘鎓三氟甲磺酸鹽、雙(4-叔丁基苯基)碘鎓2-三氟甲基苯磺酸鹽、雙(4-叔丁基苯基)碘鎓芘磺酸鹽、雙(4-叔丁基苯基)碘鎓正十二烷基苯磺酸鹽、雙(4-叔丁基苯基)碘鎓對甲苯磺酸鹽、雙(4-叔丁基苯基)碘鎓苯磺酸鹽、雙(4-叔丁基苯基)碘鎓10-樟腦磺酸鹽、雙(4-叔丁基苯基)碘鎓正辛烷磺酸鹽、二苯基碘鎓全氟正丁烷磺酸鹽、二苯基碘鎓三氟甲磺酸鹽、二苯基碘鎓2-三氟甲基苯磺酸鹽、二苯基碘鎓芘磺酸鹽、二苯基碘鎓十二烷基苯磺酸鹽、二苯基碘鎓對甲苯磺酸鹽、二苯基碘鎓苯磺酸鹽、二苯基碘鎓10-樟腦磺酸鹽、二苯基碘鎓正辛烷磺酸鹽、三苯基锍全氟正丁烷磺酸鹽、三苯基锍三氟甲磺酸鹽、三苯基锍2-三氟甲基苯磺酸鹽、三苯基锍芘磺酸鹽、三苯基锍正十二烷基苯磺酸鹽、三苯基锍對甲苯磺酸鹽、三苯基锍苯磺酸鹽、三苯基锍10-樟腦磺酸鹽、三苯基锍正辛烷磺酸鹽、二苯基(4-叔丁基苯基)锍全氟正丁烷磺酸鹽、二苯基(4-叔丁基苯基)锍三氟甲磺酸鹽、二苯基(4-叔丁基苯基)锍2-三氟甲基苯磺酸鹽、二苯基(4-叔丁基苯基)锍芘磺酸鹽、二苯基(4-叔丁基苯基)锍正十二烷基苯磺酸鹽、二苯基(4-叔丁基苯基)锍對甲苯磺酸鹽、二苯基(4-叔丁基苯基)锍苯磺酸鹽、二苯基(4-叔丁基苯基)锍10-樟腦磺酸鹽、二苯基(4-叔丁基苯基)锍正辛烷磺酸鹽、三(4-甲氧基苯基)锍全氟正丁烷磺酸鹽、三(4-甲氧基苯基)锍三氟甲磺酸鹽、三(4-甲氧基苯基)锍2-三氟甲基苯磺酸鹽、三(4-甲氧基苯基)锍芘磺酸鹽、三(4-甲氧基苯基)锍正十二烷基苯磺酸鹽、三(4-甲氧基苯基)锍對甲苯磺酸鹽、三(4-甲氧基苯基)锍苯磺酸鹽、三(4-甲氧基苯基)锍10-樟腦磺酸鹽或三(4-甲氧基苯基)锍正辛烷磺酸鹽。然而，鎓鹽化合物不限于上述那些。

作為砜化合物，例如，可以提及β-酮砜、β-磺?；?、或其α-重氮化合物。作為砜化合物的具體實(shí)例，例如，可以提及苯甲酰甲基苯基砜、莢基苯甲酰甲基砜、雙(苯基磺?；?甲烷、或4-三苯甲酰甲基砜；然而，砜化合物不限于上述那些。

作為磺酸酯化合物，例如，可以提及烷基磺酸酯、鹵代烷基磺酸酯、芳基磺酸酯、或亞氨基磺酸酯。作為磺酸酯化合物的具體實(shí)例，例如，可以提及α-羥甲基苯偶姻全氟正丁烷磺酸酯、α-羥甲基苯偶姻三氟甲磺酸酯、或α-羥甲基苯偶姻2-三氟甲基苯磺酸酯；然而，磺酸酯化合物不限于上述那些。

作為砜酰亞胺化合物，例如，可以提及n-(三氟甲磺酰氧基)琥珀酰亞胺、n-(三氟甲磺酰氧基)鄰苯二甲酰亞胺、n-(三氟甲磺酰氧基)二苯基馬來酰亞胺、n-(三氟甲磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(三氟甲磺酰氧基)-7-氧雜二環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(三氟甲磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚烷-5,6-氧基-2,3-二羧基酰亞胺、n-(三氟甲磺酰氧基)萘酰亞胺、n-(10-樟腦磺酰氧基)琥珀酰亞胺、n-(l0-樟腦磺酰氧基)鄰苯二甲酰亞胺、n-(10-樟腦磺酰氧基)二苯基馬來酰亞胺、n-(10-樟腦磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(10-樟腦磺酰氧基)-7-氧雜二環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(10-樟腦磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚烷-5,6-氧基-2,3-二羧基酰亞胺、n-(10-樟腦磺酰氧基)萘酰亞胺、n-(4-甲基苯基磺酰氧基)琥珀酰亞胺、n-(4-甲基苯基磺酰氧基)鄰苯二甲酰亞胺、n-(4-甲基苯基磺酰氧基)二苯基馬來酰亞胺、n-(4-甲基苯基磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.l]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(4-甲基苯基磺酰氧基)-7-氧雜二環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(4-甲基苯基磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.l]庚烷-5,6-氧基-2,3-二羧基酰亞胺、n-(4-甲基苯基磺酰氧基)萘酰亞胺、n-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基)琥珀酰亞胺、n-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基)鄰苯二甲酰亞胺、n-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基)二苯基馬來酰亞胺、n-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基)-7-氧雜二環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚烷-5,6-氧基-2,3-二羧基酰亞胺、n-(2-三氟甲基苯基磺酰氧基)萘酰亞胺、n-(4-氟苯基磺酰氧基)琥珀酰亞胺、n-(4-氟苯基磺酰氧基)鄰苯二甲酰亞胺、n-(4-氟苯基磺酰氧基)二苯基馬來酰亞胺、n-(4-氟苯基磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(4-氟苯基磺酰氧基)-7-氧雜二環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基酰亞胺、n-(4-氟苯基磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.l]庚烷-5,6-氧基-2,3-二羧基酰亞胺、或n-(4-氟苯基磺酰氧基)萘酰亞胺。然而，砜酰亞胺化合物不限于上述那些。

作為重氮甲烷化合物，例如，可以提及雙(三氟甲磺?；?重氮甲烷、雙(環(huán)己基磺?；?重氮甲烷、雙(苯磺?；?重氮甲烷、雙(對甲苯磺酰基)重氮甲烷、甲磺?；鶎妆交酋；氐淄椤?環(huán)己基磺?；?(1,1-二甲基乙基磺?；?重氮甲烷、或雙(1,1-二甲基乙基磺?；?重氮甲烷；然而，重氮甲烷化合物不限于上述那些。

熱聚合引發(fā)劑為通過熱產(chǎn)生聚合因子(自由基或陽離子等)的化合物。特別地，作為熱聚合引發(fā)劑，例如，可以提及通過熱產(chǎn)生自由基的熱自由基產(chǎn)生劑或通過熱產(chǎn)生質(zhì)子(h⁺)的熱酸產(chǎn)生劑。當(dāng)聚合性組分(a)包含自由基聚合性化合物時，主要使用熱自由基產(chǎn)生劑。另一方面，當(dāng)聚合性組分(a)包含陽離子聚合性化合物時，主要使用熱酸產(chǎn)生劑。

作為熱自由基產(chǎn)生劑，例如，可以提及有機(jī)過氧化物和偶氮系化合物。作為有機(jī)過氧化物，例如，可以提及過氧化酯類，如叔己基過氧異丙基單碳酸酯、叔己基過氧-2-乙基己酸酯、叔丁基過氧-3,5,5-三甲基己酸酯、或叔丁基過氧異丙基碳酸酯；過氧縮酮類，如1,1-雙(叔己基過氧)-3,3,5-三甲基環(huán)己烷；或二?；^氧化物類，如過氧化月桂酰；然而，有機(jī)過氧化物不限于上述那些。另外，作為偶氮系化合物，盡管可以提及偶氮腈類，如2,2'-偶氮二異丁腈、2,2'-偶氮雙(2-甲基丁腈)、或1,1'-偶氮雙(環(huán)己烷-1-甲腈)，但偶氮系化合物不限于此。

作為熱酸產(chǎn)生劑，例如，可以提及已知的碘鎓鹽、锍鹽、鏻鹽或二茂鐵類。特別地，例如，可以提及但不限于二苯基碘鎓六氟銻酸鹽、二苯基碘鎓六氟磷酸鹽、二苯基碘鎓六氟硼酸鹽、三苯基锍六氟銻酸鹽、三苯基锍六氟磷酸鹽或三苯基锍六氟硼酸鹽。

在組合物(1)中充當(dāng)聚合引發(fā)劑的組分(b)的共混比例相對于作為聚合性組分的組分(a)的總量為0.01～10重量％并優(yōu)選0.1～7重量％。

當(dāng)組分(b)的共混比例相對于組分(a)的總量設(shè)定為0.01重量％以上時，組合物(1)的固化速度可以提高。結(jié)果，反應(yīng)效率可得以改善。另外，當(dāng)組分(b)的共混比例相對于組分(a)的總量設(shè)定為10重量％以下時，要獲得的固化產(chǎn)物能夠具有一定的機(jī)械強(qiáng)度。

<其它添加組分(c)>

除了組分(a)和組分(b)以外，根據(jù)各種目的，根據(jù)該實(shí)施方案的組合物(1)還可以在不惡化本發(fā)明的優(yōu)勢的情況下包含至少一種添加組分(c)。作為上述添加組分(c)，例如，可以提及增感劑、供氫體、內(nèi)部添加型脫模劑、表面活性劑、抗氧化劑、溶劑、聚合物組分、和上述組分(b)以外的聚合引發(fā)劑。

為了促進(jìn)聚合反應(yīng)和改善反應(yīng)轉(zhuǎn)化率，增感劑為適宜添加的化合物。作為增感劑，例如，可以提及增感染料。

增感染料為通過吸收具有特定波長的光而被激發(fā)且與充當(dāng)光聚合引發(fā)劑的組分(b)相互作用的化合物。另外，上述相互作用表示從激發(fā)態(tài)的增感染料向充當(dāng)光聚合引發(fā)劑的組分(b)的能量轉(zhuǎn)移或電子轉(zhuǎn)移等。

作為增感染料的具體實(shí)例，例如，可以提及但不限于，蒽衍生物、蒽醌衍生物、芘衍生物、苝衍生物、咔唑衍生物、二苯甲酮衍生物、噻噸酮衍生物、呫噸酮衍生物、香豆素衍生物、吩噻嗪衍生物、樟腦醌衍生物、吖啶系染料、硫代吡喃鎓鹽系染料、部花青系染料、喹啉系染料、苯乙烯基喹啉系染料、酮基香豆素系染料、噻噸系染料、咕噸系染料、氧雜菁(oxonol)系染料、花青系染料、若丹明系染料或吡喃鎓鹽系染料。

增感劑可以單獨(dú)使用，或者其至少兩種可以組合使用。

供氫體為通過與由組分(b)產(chǎn)生的引發(fā)自由基和/或與聚合生長末端的自由基反應(yīng)產(chǎn)生具有更高反應(yīng)性的自由基的化合物。當(dāng)組分(b)為光自由基產(chǎn)生劑或熱自由基產(chǎn)生劑時，優(yōu)選添加供氫體。

作為上述供氫體的具體實(shí)例，例如，可以提及胺化合物，如正丁胺、二-正丁胺、三-正丁胺、烯丙基硫脲、s-芐基異硫脲-對甲苯亞磺酸鹽(s-benzylisothiuronium-p-toluenesulfinate)、三乙胺、甲基丙烯酸二甲基氨基乙酯、三亞乙基四胺、4,4'-雙(二烷基氨基)二苯甲酮、n,n-二甲基氨基苯甲酸乙酯、n,n-二甲基氨基苯甲酸異戊酯、戊基-4-二甲基氨基苯甲酸酯、三乙醇胺、或n-苯甘氨酸；或者巰基化合物，如2-巰基-n-苯基苯并咪唑、或巰基丙酸酯。

供氫體可以單獨(dú)使用，或者其至少兩種可以組合使用。

當(dāng)根據(jù)該實(shí)施方案的組合物(1)包含作為添加組分(c)的增感劑和供氫體時，其含量相對于組分(a)的總量各自優(yōu)選為0～20重量％。另外，其含量各自優(yōu)選為0.1～5.0重量％并且更優(yōu)選0.2～2.0重量％。當(dāng)相對于組分(a)的總量包含0.1重量％以上的增感劑時，可以更有效地獲得聚合促進(jìn)效果。另外，當(dāng)增感劑或供氫體的含量相對于組分(a)的總量設(shè)定為5.0重量％以下時，形成固化產(chǎn)物的高分子量化合物的分子量可以充分提高。此外，增感劑或供氫體在組合物(1)中的不充分溶解和/或其貯存穩(wěn)定性的降低可以得到抑制。

為了降低模具與抗蝕劑之間的界面結(jié)合力，即，為了降低后述脫模步驟中的脫模力，內(nèi)部添加型脫模劑可以添加至組合物(1)中。在該情況下，本說明書中的“內(nèi)部添加型脫模劑”表示在進(jìn)行后述配置步驟之前預(yù)先添加至組合物(1)中的脫模劑。

作為內(nèi)部添加型脫模劑，例如，可以使用表面活性劑，如硅酮系表面活性劑、氟系表面活性劑或烴系表面活性劑。在該實(shí)施方案中，內(nèi)部添加型脫模劑不具有聚合性。

氟系表面活性劑可以包括具有全氟烷基的醇的聚(環(huán)氧烷)(如聚(環(huán)氧乙烷)或聚(環(huán)氧丙烷))加成物或全氟聚醚的聚(環(huán)氧烷)(如聚(環(huán)氧乙烷)或聚(環(huán)氧丙烷))加成物。另外，氟系表面活性劑可以在其分子結(jié)構(gòu)的一部分(如端基)具有羥基、烷氧基、烷基、氨基或硫醇基等。

作為氟系表面活性劑，也可以使用商購可得的產(chǎn)品。作為商購可得的氟系表面活性劑，例如，可以提及但不限于，megafacf-444、tf-2066、tf-2067和tf-2068(由dic制造)；fluoradfc-430和fc-431(由sumitomo3mlimited制造)；surflons-382(由agc制造)；eftopef-122a、122b、122c、ef-121、ef-126、ef-127和mf-100(由tohkemproductscorp.制造)；pf-636、pf-6320、pf-656和pf-6520(由omnovasolutions,inc.制造)；unidyneds-401、ds-403和ds-451(由daikinindustries,ltd制造)；和ftergent250、251、222f和208g(由neos制造)。

烴系表面活性劑可以包括其中具有2～4個碳原子的環(huán)氧烷加成至具有1～50個碳原子的烷基醇的烷基醇聚(環(huán)氧烷)加成物。

作為烷基醇聚(環(huán)氧烷)加成物，例如，可以提及甲醇環(huán)氧乙烷加成物、癸醇環(huán)氧乙烷加成物、月桂醇環(huán)氧乙烷加成物、十六烷醇環(huán)氧乙烷加成物、硬脂醇環(huán)氧乙烷加成物、或硬脂醇環(huán)氧乙烷/環(huán)氧丙烷加成物。另外，烷基醇聚(環(huán)氧烷)的端基不限于通過將聚(環(huán)氧烷)加成至烷基醇而單純制造的羥基。該羥基可以由其它取代基，例如，由極性官能團(tuán)，如羧基、氨基、吡啶基、硫醇基或硅烷醇基，或者疏水性官能團(tuán)，如烷基或烷氧基等取代。

商購可得的產(chǎn)品可以用作烷基醇聚(環(huán)氧烷)加成物。作為烷基醇聚(環(huán)氧烷)加成物的商購可得的產(chǎn)品，例如，可以提及但不限于，由aokioilindustrialco.,ltd.制造的聚氧乙烯甲基醚(甲醇環(huán)氧乙烷加成物)(blaunonmp-400、mp-550或mp-1000)，由aokioilindustrialco.,ltd.制造的聚氧乙烯癸基醚(癸醇環(huán)氧乙烷加成物)(finesurfd-1303、d-1305、d-1307或d-1310)，由aokioilindustrialco.,ltd.制造的聚氧乙烯月桂基醚(月桂醇環(huán)氧乙烷加成物)(blaunonel-1505)，由aokioilindustrialco.,ltd.制造的聚氧乙烯十六烷基醚(十六烷醇環(huán)氧乙烷加成物)(blaunonch-305或ch-310)，由aokioilindustrialco.,ltd.制造的聚氧乙烯硬脂基醚(硬脂醇環(huán)氧乙烷加成物)(blaunonsr-705、sr-707、sr-715、sr-720、sr-730或sr-750)，由aokioilindustrialco.,ltd.制造的無規(guī)聚合型聚氧乙烯聚氧丙烯硬脂基醚(blaunonsa-50/501000r或sa-30/702000r)，由basf制造的聚氧乙烯甲基醚(pluriola760e)，或者由kaocorp.制造的聚氧乙烯烷基醚(emulgen系列)。

內(nèi)部添加型脫模劑可以單獨(dú)使用，或者其至少兩種可以組合使用。

當(dāng)內(nèi)部添加型脫模劑添加至固化性組合物中時，作為內(nèi)部添加型脫模劑，優(yōu)選添加氟系表面活性劑和烴系表面活性劑中的至少一種。

當(dāng)根據(jù)該實(shí)施方案的組合物(1)包含作為添加組分(c)的內(nèi)部添加型脫模劑時，該內(nèi)部添加型脫模劑的含量相對于組分(a)的總量優(yōu)選為0.001～10重量％。另外，該含量更優(yōu)選為0.01～7重量％，特別優(yōu)選0.05～5重量％。

當(dāng)內(nèi)部添加型脫模劑的含量相對于組分(a)的總量設(shè)定為10重量％以下時，可以抑制組合物(1)的固化性質(zhì)的劣化。即，例如，即使以低曝光量使組合物(1)固化，至少固化產(chǎn)物的表面充分固化，并且圖案坍塌的缺陷不太可能發(fā)生。另外，當(dāng)內(nèi)部添加型脫模劑的含量相對于組分(a)的總量設(shè)定為0.001重量％以上時，可以獲得脫模力的降低效果和/或填充性的改善效果。

根據(jù)該實(shí)施方案的組合物(1)優(yōu)選為納米壓印用固化性組合物，并且更優(yōu)選光納米壓印用固化性樹脂組合物。

另外，通過使用紅外光譜法、紫外-可見光譜法或熱分解氣相色譜質(zhì)譜分析法等分析根據(jù)該實(shí)施方案的組合物(1)或通過使組合物(1)固化獲得的固化產(chǎn)物，可以獲得組分(a)與組分(b)的比。結(jié)果，可以獲得組合物(1)中組分(a)與組分(b)的比。當(dāng)包含添加組分(c)時，通過與上述類似的方法，也可以獲得組分(a)、組分(b)和組分(c)之間的比。

另外，盡管溶劑也可以用于根據(jù)該實(shí)施方案的組合物(1)中，但優(yōu)選的是，組合物(1)中實(shí)質(zhì)上不包含溶劑?！皩?shí)質(zhì)上不包含溶劑”表示不包含除了如雜質(zhì)等無意包含的溶劑以外的溶劑的情況。即，例如，根據(jù)該實(shí)施方案的組合物(1)中溶劑的含量相對于組合物(1)的總量優(yōu)選為3重量％以下，更優(yōu)選1重量％以下。另外，該情況中所述的“溶劑”表示一般用于固化性組合物或光致抗蝕劑中的溶劑。即，溶劑的種類不特別限定，只要能夠溶解或均勻分散用于本發(fā)明的組合物并且不與其反應(yīng)即可。

<圖案形成用固化性組合物共混時的溫度>

當(dāng)制備根據(jù)該實(shí)施方案的組合物(1)時，將至少組分(a)和組分(b)在預(yù)定的溫度條件下混合并彼此溶解。特別地，該操作在0℃～100℃的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行。當(dāng)包含組分(c)時，進(jìn)行與上述類似的操作。

<圖案形成用固化性組合物的粘度>

根據(jù)該實(shí)施方案的組合物(1)的除溶劑以外的組分的混合物在23℃下的粘度優(yōu)選為1～100mpa·s。另外，上述粘度更優(yōu)選為1～50mpa·s，進(jìn)一步優(yōu)選1～20mpa·s。

由于組合物(1)的粘度設(shè)定為100mpa·s以下，因而當(dāng)使組合物(1)與模具接觸時，將組合物(1)填充至模具的微細(xì)圖案的凹部所需的時間不會很長。即，通過使用根據(jù)該實(shí)施方案的組合物(1)，可以以高生產(chǎn)性進(jìn)行納米壓印法。另外，由不充分填充導(dǎo)致的圖案缺陷不太可能發(fā)生。

另外，由于粘度設(shè)定為1mpa·s以上，因而當(dāng)組合物(1)涂布至基板時，涂覆不均勻不太可能發(fā)生。此外，當(dāng)使組合物(1)與模具接觸時，組合物(1)不太可能從模具的端部流出。

<圖案形成用固化性組合物的表面張力>

根據(jù)該實(shí)施方案的組合物(1)的除溶劑以外的組分的混合物在23℃下的表面張力優(yōu)選為5～70mn/m。另外，上述表面張力更優(yōu)選為7～35mn/m，進(jìn)一步優(yōu)選10～32mn/m。在該情況下，由于表面張力設(shè)定為5mn/m以上，因而當(dāng)使組合物(1)與模具接觸時，將組合物(1)填充至模具的微細(xì)圖案的凹部所需的時間不會很長。

另外，由于表面張力設(shè)定為70mn/m以下，因而通過使組合物(1)固化獲得的固化產(chǎn)物具有表面平滑性。

(固化層形成用組合物：組合物(2))

在該實(shí)施方案中，固化層形成用組合物(組合物(2))為包含以下組分(d)和組分(e)的組合物。組合物(2)優(yōu)選為除了組分(d)和組分(e)以外進(jìn)一步包含組分(b)的固化性組合物，但不限于此，只要為通過如光或熱等刺激形成固化層的組合物即可。例如，在將組分(d)溶解或分散在組分(e)中的組合物(2)涂布之后，當(dāng)通過加熱等將組分(e)從組合物(2)中除去時，也可以形成固化層。另外，組合物(2)可以包含充當(dāng)組分(d)和組分(b)的具有分子內(nèi)反應(yīng)性官能團(tuán)的化合物。

組分(d)：聚合性組分和/或聚合物組分

組分(e)：溶劑

下文中，將詳細(xì)說明組合物(2)的各組分。

<組分(d)：聚合性組分和/或聚合物組分>

組分(d)為聚合性組分和/或聚合物組分。根據(jù)該實(shí)施方案的聚合物組分為具有各自源自至少一種單體的重復(fù)單元的結(jié)構(gòu)并且具有1,000以上的分子量的聚合物。

在該實(shí)施方案中，作為組分(d)的聚合性組分，除了可以用作上述組分(a)的聚合性化合物以外，也可以使用通過加成反應(yīng)、取代反應(yīng)、縮合反應(yīng)或開環(huán)反應(yīng)等聚合的任意的化合物。即，組分(d)中包含的化合物不特別限定，只要能夠通過如光或熱等刺激，和/或通過溶劑(組分(e))的蒸發(fā)形成固化層即可。

特別地，作為通過組分(d)中包含的聚合性化合物的聚合反應(yīng)獲得的高分子量化合物，例如，可以提及(甲基)丙烯酸衍生物聚合物，如聚(甲基)丙烯酸酯或聚(甲基)丙烯酰胺；聚(乙烯基醚)、聚(環(huán)氧乙烷)、聚氧雜環(huán)丁烷、聚(環(huán)氧丙烷)、聚甲醛、聚(烯丙基醚)、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚酯、聚碳酸酯、聚氨酯、聚酰胺、聚(酰胺酰亞胺)、聚(醚酰亞胺)、聚酰亞胺、聚砜、聚(醚砜)、聚(醚醚酮)、酚醛樹脂、三聚氰胺樹脂或脲醛樹脂。然而，高分子量化合物不限于上述那些，只要通過如光或熱等刺激，和/或通過溶劑(組分(e))的蒸發(fā)由組分(d)形成即可。

這些聚合性化合物可以單獨(dú)使用，或者其至少兩種可以組合使用。

另外，作為組分(d)的聚合物組分，例如，可以提及但不限于，(甲基)丙烯酸衍生物聚合物，如聚(甲基)丙烯酸酯或聚(甲基)丙烯酰胺；聚(乙烯基醚)、聚(環(huán)氧乙烷)、聚氧雜環(huán)丁烷、聚(環(huán)氧丙烷)、聚甲醛、聚(烯丙基醚)、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚酯、聚碳酸酯、聚氨酯、聚酰胺、聚(酰胺酰亞胺)、聚(醚酰亞胺)、聚酰亞胺、聚砜、聚(醚砜)、聚(醚醚酮)、酚醛樹脂、三聚氰胺樹脂或脲醛樹脂。

這些聚合物組分可以單獨(dú)使用，或者其至少兩種可以組合使用。

在該實(shí)施方案中，當(dāng)組合物(2)為粘著層形成用組合物時，優(yōu)選包含要結(jié)合至兩層(如基材和充當(dāng)固化性組合物的組合物(1))的具有分子內(nèi)反應(yīng)性官能團(tuán)的化合物作為組分(d)。

<組分(b)：聚合引發(fā)劑>

與組合物(1)中相同，根據(jù)該實(shí)施方案的組合物(2)也可以包含作為組分(b)的聚合引發(fā)劑。

與組合物(1)中相同，在組合物(2)中作為聚合引發(fā)劑的組分(b)的共混比例相對于組分(d)的總量優(yōu)選為0.01～10重量％，更優(yōu)選0.1～7重量％。

當(dāng)組分(b)的共混比例相對于組分(d)的總量設(shè)定為0.01重量％以上時，組合物(2)的固化速度可以提高。結(jié)果，反應(yīng)效率可以得到改善。另外，當(dāng)組分(b)的共混比例相對于組分(d)的總量設(shè)定為10重量％以下時，要獲得的固化產(chǎn)物可以具有一定的機(jī)械強(qiáng)度。

然而，當(dāng)作為組分(d)僅使用聚合物組分時，由于不再需要開始聚合，因而組分(b)的共混比例相對于組分(d)的總量優(yōu)選設(shè)定為小于0.01重量％。

<組分(e)：溶劑>

組分(e)為溶劑。根據(jù)該實(shí)施方案的組分(e)不特別限定，只要為溶解組分(d)、或者組分(d)和組分(b)的溶劑即可。作為優(yōu)選的溶劑，可以提及在常壓下具有80℃～200℃的沸點(diǎn)的溶劑。具有羥基、醚結(jié)構(gòu)、酯結(jié)構(gòu)和酮結(jié)構(gòu)中的至少之一的溶劑是更優(yōu)選的。這些溶劑是優(yōu)選的，這是因?yàn)樵谌芙饨M分(d)和組分(b)方面優(yōu)異并且在潤濕基材方面優(yōu)異。

作為根據(jù)該實(shí)施方案的組分(e)，可以單獨(dú)使用或者以組合使用例如，醇系溶劑，如丙醇、異丙醇或丁醇；醚系溶劑，如乙二醇單甲醚、乙二醇二甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇二乙醚、乙二醇單丁醚或丙二醇單甲醚；酯系溶劑，如乙酸丁酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、乙二醇單丁醚乙酸酯或丙二醇單甲醚乙酸酯；或酮系溶劑如甲基異丁基酮、二異丁基酮、環(huán)己酮、2-庚酮、γ-丁內(nèi)酯或乳酸乙酯。在上述這些中，考慮到涂布性，丙二醇單甲醚乙酸酯或其混合溶劑是優(yōu)選的。

盡管根據(jù)該實(shí)施方案的組分(e)對組合物(2)的共混比例可以通過組分(d)和組分(b)各自的粘度和涂布性以及要形成的固化層的厚度來適當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)，但是共混比例相對于組合物(2)的總量優(yōu)選為70重量％以上。共混比例更優(yōu)選為90重量％以上，更優(yōu)選95重量％以上。由于要形成的固化層的厚度可以隨著溶劑(e)的量增加而降低，因而當(dāng)組合物(2)用作納米壓印粘著層形成用組合物等時，較高的共混比例是特別優(yōu)選的。另外，當(dāng)組分(e)對組合物(2)的共混比例為70重量％以下時，在一些情況下不能獲得充分的涂布性。

<其它添加組分(f)>

除了組分(d)、組分(e)和組分(b)以外，根據(jù)各種目的，根據(jù)該實(shí)施方案的組合物(2)可以在不惡化本發(fā)明的優(yōu)勢的情況下進(jìn)一步包含至少一種添加組分(f)。作為上述添加組分，例如，可以提及增感劑、供氫體、表面活性劑、交聯(lián)劑、抗氧化劑或聚合抑制劑。

<固化層形成用組合物的粘度>

盡管根據(jù)組分(d)、組分(e)和組分(b)的種類及其共混比例而變化，但是根據(jù)該實(shí)施方案的組合物(2)在23℃下的粘度優(yōu)選為0.5～20mpa·s。上述粘度更優(yōu)選為1～10mpa·s，進(jìn)一步優(yōu)選1～5mpa·s。由于組合物(2)的粘度設(shè)定為20mpa·s以下，因而獲得優(yōu)異的涂布性，可以容易地調(diào)節(jié)固化層的厚度。

[混合在納米壓印液體材料中的雜質(zhì)]

在根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l中，雜質(zhì)的含量優(yōu)選為盡可能地降低。此處所述的“雜質(zhì)”表示除了液體材料l中意圖包含的那些以外的材料。即，當(dāng)液體材料l為組合物(1)時，雜質(zhì)為除了組分(a)、組分(b)和添加組分(c)以外的材料，和當(dāng)液體材料l為組合物(2)時，雜質(zhì)為除了組分(d)、組分(e)、組分(b)和添加組分(f)以外的材料。特別地，例如，可以提及顆粒、金屬雜質(zhì)和有機(jī)雜質(zhì)，但雜質(zhì)不限于上述那些。

<顆粒>

根據(jù)該實(shí)施方案的顆粒表示微小異物顆粒。顆粒各自代表性表示粒徑為幾納米至幾微米的凝膠狀或固體狀粒狀物質(zhì)，或者如納米氣泡或微米氣泡等氣泡(下文，簡稱為“納米氣泡”)。

當(dāng)使用包含顆粒的液體材料l進(jìn)行光納米壓印工藝時，如模具的破損和/或成形后的圖案缺陷等問題會不利地發(fā)生。例如，當(dāng)在光納米壓印工藝的配置步驟中涂布在基板上的組合物(1)中存在顆粒時，在隨后的后述模具接觸步驟[2]和對準(zhǔn)步驟[3]中，在一些情況下可能對模具造成破損。例如，由于顆粒堵塞在形成在模具的表面中的凹凸圖案的凹部，或者凹部的寬度通過顆粒而變寬，因而在一些情況下會破壞凹凸圖案。伴隨該問題，產(chǎn)生圖案缺陷，因此，在一些情況下會出現(xiàn)的問題在于，無法形成期望的電路。

另外，當(dāng)組合物(2)中存在顆粒時，粒徑比固化層的厚度大的顆粒會具有對納米壓印工藝和/或由此獲得的產(chǎn)物的不利影響。例如，在模具接觸步驟[2]和對準(zhǔn)步驟[3]中，在一些情況下可能對模具造成破損。

另外，當(dāng)組合物(1)或組合物(2)中存在納米氣泡時，組合物(1)或組合物(2)的固化性在一些情況下會劣化。認(rèn)為其原因在于，納米氣泡中的氧等抑制組合物(1)或組合物(2)的聚合反應(yīng)。另外，當(dāng)組合物(1)中存在納米氣泡時，在一些情況下會不利地形成缺少納米氣泡存在的部分的凹凸圖案。

因此，液體材料l中包含的顆粒的粒子數(shù)濃度(個/ml)越低越優(yōu)選。此外，液體材料l中包含的顆粒的粒徑越小越優(yōu)選。

(顆粒的粒子數(shù)濃度)

如上所述，當(dāng)許多具有一定值以上的粒徑的顆粒包含在液體材料l中時，在一些情況下會由此不利地影響納米壓印工藝。特別地，當(dāng)對如下所述的基板上的不同區(qū)域重復(fù)進(jìn)行納米壓印工藝時，如果在該工藝期間對模具造成破損，則每一個隨后的轉(zhuǎn)印圖案均具有缺陷。結(jié)果，產(chǎn)率嚴(yán)重降低。

為了抑制如上所述的產(chǎn)率降低，處理一個基板(晶片)所必需的體積的液體材料l中包含的顆粒數(shù)可以設(shè)定為小于1個。

作為該實(shí)施方案的一個實(shí)例，假設(shè)通過使用具有28-nml/s(線/間距，line/space)圖案的模具(寬度：26mm，長度：33mm)，通過納米壓印工藝形成平均膜厚度為40.1nm的固化產(chǎn)物的情況。

在該情況下，一輪(oneshot)(包括后述步驟[1]～[5]的重復(fù)單元)需要35.1nl的液體材料l。例如，當(dāng)使用尺寸為300mm的晶片時，可以在一個晶片上進(jìn)行92輪。即，一個晶片需要3,229.2nl的液體材料l。因此，可以通過1ml的液體材料l來處理310個尺寸各自為300mm的晶片。

因此，當(dāng)使用尺寸為300mm的晶片進(jìn)行納米壓印工藝時，液體材料l中包含的顆粒的粒子數(shù)濃度(個/ml)優(yōu)選設(shè)定為小于310個/ml。因此，每一個尺寸為300mm的晶片的顆粒數(shù)可以設(shè)定為小于1個，由此，納米壓印工藝的產(chǎn)率可以得到改善。

與上述情況相同，當(dāng)使用尺寸為450mm的晶片進(jìn)行光納米壓印工藝時，液體材料l中包含的顆粒的粒子數(shù)濃度(個/ml)優(yōu)選設(shè)定為小于137個/ml。另外，當(dāng)使用尺寸為450mm的晶片時，由于每一個晶片可以進(jìn)行208輪，因而基于該輪數(shù)進(jìn)行計(jì)算。

(顆粒的尺寸)

當(dāng)形成在模具的表面中的凹凸圖案的凸部的前端之間的距離通過施加至圖案的某種力而增大，并且使前端和與其鄰接的前端接觸時，易于對模具造成破損。下文中，考慮液體材料l中包含的顆粒的影響。

圖2a和2b各自為示出形成在模具的表面中的凹凸圖案的示意性截面圖。圖2a示出具有l(wèi)/s圖案的模具，其中模具的凹部的寬度為s(nm)，和凸部的寬度為l(nm)。

如圖2b所示，當(dāng)形成在模具的表面的凸部之間的距離增大，并且使各凸部和與其鄰接的凸部接觸時，凸部之間的距離由此增大變?yōu)?s(nm)。因此，當(dāng)如圖2b所示顆粒的直徑d(nm)大約大于3s(nm)(d>3s)時，可以推定模具破損。

因此，例如，即使晶片上僅存在一個直徑為0.07μm以上的顆粒，當(dāng)使用具有其中s小于23.3nm的l/s圖案的模具時，在一些情況下模具也會產(chǎn)生破損。

另外，由于模具的變形性實(shí)際上根據(jù)模具的材料、凹凸圖案的形狀和凹凸圖案的縱橫比(h/l)等變化，因而當(dāng)嚴(yán)格滿足d>3s時不總是對模具造成破損，并且d與s的比具有一定的容許范圍。即，即使d與s的比(d/s)為3以下，在一些情況下也會對模具造成破損。因此，在根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l中，粒徑為2.5s(nm)的顆粒的粒子數(shù)濃度優(yōu)選小于310個/ml。

另外，形成在模具的表面中的凹凸圖案的凹部的寬度s(nm)優(yōu)選為4nm至小于30nm，更優(yōu)選10nm至小于23.3nm。此外，特別地，在半導(dǎo)體制造用途的情況下，優(yōu)選使用縱橫比(h/s)為1～10的模具。

根據(jù)上述那些，關(guān)于液體材料l中包含的顆粒的粒子數(shù)濃度(個/ml)，當(dāng)模具的凹凸圖案的凹部的寬度為s(nm)時，粒徑為2.5s(nm)以上的顆粒的粒子數(shù)濃度優(yōu)選小于310個/ml。結(jié)果，納米壓印工藝的產(chǎn)率可以得到改善。

另外，粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度(個/ml)更優(yōu)選小于310個/ml。因此，當(dāng)使用尺寸為300mm的晶片進(jìn)行納米壓印工藝時，納米壓印工藝的產(chǎn)率可以得到改善。此外，關(guān)于液體材料l中包含的顆粒的粒子數(shù)濃度(個/ml)，粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度(個/ml)甚至更優(yōu)選小于137個/ml。因此，當(dāng)使用尺寸為450mm的晶片進(jìn)行納米壓印工藝時，納米壓印工藝的產(chǎn)率可以得到改善。

<金屬雜質(zhì)>

當(dāng)使用根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l制造半導(dǎo)體器件時，如果液體材料l中存在金屬雜質(zhì)，則當(dāng)液體材料l涂布在要處理的基板上時，該基板被金屬雜質(zhì)污染。結(jié)果，在一些情況下會由此不利地影響要獲得的半導(dǎo)體器件的半導(dǎo)體性質(zhì)。即，在一些情況下納米壓印工藝的產(chǎn)率會降低。

因此，優(yōu)選降低液體材料l中金屬雜質(zhì)的濃度。作為液體材料l中包含的金屬雜質(zhì)的濃度，各種元素的含量各自優(yōu)選為100ppb(100ng/g)以下，各自更優(yōu)選設(shè)定為1ppb(1ng/g)以下。上述各種元素表示諸如na、ca、fe、k、zn、al、mg、ni、cr、cu、pb、mn、li、sn、pd、ba、co和sr等金屬元素。當(dāng)液體材料l中這些元素的濃度各自設(shè)定在上述范圍內(nèi)時，液體材料l對半導(dǎo)體器件的半導(dǎo)體性質(zhì)的影響可以降低。即，可以抑制納米壓印工藝的產(chǎn)率降低。

<有機(jī)雜質(zhì)>

當(dāng)使用根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l制造半導(dǎo)體器件時，如果液體材料l中存在有機(jī)雜質(zhì)，則在一些情況下會產(chǎn)生缺陷。例如，當(dāng)組合物(1)中存在有機(jī)雜質(zhì)時，例如，成形后獲得的圖案中會產(chǎn)生缺陷。

[納米壓印液體材料中包含的顆粒的粒子數(shù)濃度的測量]

液體材料l中包含的顆粒的粒子數(shù)濃度(個/ml)及其粒徑分布可以通過使用光散射液體中粒子計(jì)數(shù)器(光散射lpc，lightscatteringliquid-borneparticlecounter)或動態(tài)光散射粒徑分布測量設(shè)備(dls)的方法來測量。如該實(shí)施方案的情況，對于顆粒的粒子數(shù)濃度(個/ml)少的液體材料，即，對于清潔度高的液體材料，光散射lpc優(yōu)選用于顆粒的粒子數(shù)濃度的測量。

當(dāng)通過激光光照射液體時，光散射lpc檢測從液體中包含的顆粒發(fā)出的散射光。在該情況下，該散射光的強(qiáng)度依賴于顆粒的尺寸。通過該關(guān)系的使用，光散射lpc可以測量液體中的顆粒的粒徑和粒子數(shù)濃度。

作為光散射lpc的具體實(shí)例，例如，可以提及液體中顆粒傳感器ks系列(由rionco.,ltd.制造)，和液體中粒子計(jì)數(shù)器ultrachem系列、sls系列和hslis系列(由particlemeasuringsystems制造)。由于可測量液體組合物和可測量最小粒徑根據(jù)要用于測量的液體中粒子計(jì)數(shù)器的種類而變化，因而計(jì)數(shù)器的種類需要根據(jù)要測量的液體來適當(dāng)?shù)剡x擇。例如，在為光固化性組合物等的組合物(1)的情況下，已知的是，由于因分子散射光的背景噪聲大，因而檢測信號的s/n比降低。因此，與水系材料相比，根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l的顆粒的粒子數(shù)濃度和粒徑分布的測量不能容易地進(jìn)行。因此，在該實(shí)施方案中，對于液體材料l的測量，優(yōu)選使用能夠測量具有小粒徑，如0.07μm的顆粒的粒子數(shù)濃度的設(shè)備。

根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l的特征在于，粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度小于310個/ml。另外，根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l中包含的粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度(個/ml)可以通過例如，液體中顆粒傳感器ks-41b(具有0.07μm的粒徑的選項(xiàng))(由rionco.,ltd.制造)來測量。另外，在該測量中，還優(yōu)選一起使用控制器ke-40b1(由rionco.,ltd.制造)和注射器采樣器kz-30w1(由rionco.,ltd.制造)。

另外，本說明書中顆粒的粒子數(shù)濃度的每一次測量優(yōu)選在使用具有預(yù)定的粒徑并且分散在純水中的聚苯乙烯乳膠(psl)標(biāo)準(zhǔn)顆粒校準(zhǔn)光散射lpc之后進(jìn)行。另外，緊接在測量后，優(yōu)選使用脈沖高度分析軟件kf-50a(由rionco.,ltd.制造)來確認(rèn)，充分確保粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度的測量值的準(zhǔn)確性。特別地，優(yōu)選確認(rèn)，0.07-μmpsl顆粒水溶液的散射光的光接收元件電壓s與測量液體的散射光的光接收元件電壓n的比(s/n)充分大于1.3。

[納米壓印液體材料的制造方法]

下一步，將描述根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l的制造方法。

根據(jù)該實(shí)施方案的納米壓印液體材料的制造方法包括通過使用過濾器過濾來純化納米壓印液體材料的純化步驟，并且所述精制純化步驟包括：

[a]使用孔徑為50nm以下的過濾器以小于0.03l/min的流率過濾粗制納米壓印液體材料的步驟，和

[b]將通過過濾器的粗制納米壓印液體材料的除了初始流分以外的流分回收在與粒子數(shù)濃度測量系統(tǒng)連接的容器中的步驟。

通過根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l的制造方法獲得的液體材料l適用于光納米壓印工藝，更適用于半導(dǎo)體制造用途的光納米壓印工藝。

如上所述，在根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l中，如顆粒和金屬雜質(zhì)等雜質(zhì)的含量優(yōu)選盡可能地降低。因此，根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l優(yōu)選通過純化步驟來獲得。作為上述純化步驟，例如，可以提及顆粒除去步驟、金屬雜質(zhì)除去步驟和有機(jī)雜質(zhì)除去步驟。在上述這些中，為了抑制模具破損，液體材料l的制造方法優(yōu)選包括顆粒除去步驟。

作為根據(jù)該實(shí)施方案的顆粒除去步驟，例如，使用顆粒過濾器(下文，簡稱為“過濾器”)的過濾是優(yōu)選的。另外，除了通常使用的表示將固體從流體中分離的步驟的“過濾”以外，本說明書中的“過濾”包括“使流體簡單地通過過濾器”的情況。即，例如，過濾還包括即使在流體通過諸如過濾器等膜時，也無法目視確認(rèn)通過膜捕獲的凝膠或固體的情況。

根據(jù)該實(shí)施方案的顆粒除去步驟中使用的過濾器的孔徑優(yōu)選為0.001～5.0μm。另外，為了降低粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度(個/ml)，孔徑為50nm以下的過濾器是更優(yōu)選的，并且孔徑為1～5nm的過濾器是特別優(yōu)選的。另外，當(dāng)使用孔徑小于1nm的過濾器進(jìn)行過濾時，在一些情況下會除去液體材料l中必要的組分，因此，過濾器的孔徑優(yōu)選為1nm以上。另外，該情況下的過濾器的“孔徑”優(yōu)選為過濾器的孔的平均孔徑。

當(dāng)使用過濾器進(jìn)行過濾時，使粗制納米壓印液體材料(下文，稱為“粗制液體材料l”)通過過濾器至少一次。另外，粗制液體材料l表示未通過如過濾等純化步驟處理的液體材料。特別地，當(dāng)液體材料l為組合物(1)時，粗制液體材料l為通過將組分(a)、組分(b)和必要時添加的組分(c)混合獲得的混合液體。另外，當(dāng)液體材料l為組合物(2)時，粗制液體材料l為通過將組分(d)、組分(e)、必要時添加的組分(f)和組分(b)混合獲得的混合液體。

作為用于過濾的過濾器，可以使用由聚乙烯樹脂、聚丙烯樹脂、氟化樹脂或尼龍樹脂等形成的過濾器，但不限于此。作為可用于該實(shí)施方案的過濾器的具體實(shí)例，例如，可以使用“ultipleatp-nylon66”、“ultiporen66”和“penflon”(由nihonpallltd.制造)；“l(fā)ifeassurepsn系列”、“l(fā)ifeassureef系列”、“photoshield”和“electroporeiief”(由sumitomo3mlimited.制造)；和“microguard”、“optimizerd”、“impactmini”和“impact2”(由nihonentegrisk.k.制造)。上述這些過濾器可以單獨(dú)使用，或者其至少兩種可以組合使用。

另外，優(yōu)選的是，使用過濾器的過濾以多階段方式進(jìn)行或者重復(fù)進(jìn)行多次。在該情況下，可以進(jìn)行將通過過濾獲得的液體重復(fù)過濾的循環(huán)過濾。另外，可以使用具有不同孔徑的多個過濾器進(jìn)行過濾。作為使用過濾器的過濾方法，特別地，盡管可以提及常壓過濾、加壓過濾、減壓過濾或循環(huán)過濾等，但不限于此。在上述這些中，為了通過以在預(yù)定范圍內(nèi)的流率過濾液體材料l而降低顆粒的粒子數(shù)濃度(個/ml)，優(yōu)選進(jìn)行加壓過濾，和為了進(jìn)一步充分降低顆粒的粒子數(shù)濃度，更優(yōu)選進(jìn)行循環(huán)過濾。

另外，當(dāng)進(jìn)行加壓過濾時，優(yōu)選不回收作為當(dāng)過濾前的原料(粗制液體材料l)的量降低至預(yù)定體積以下時獲得的流分的最終流分。當(dāng)過濾前的原料的量降低至預(yù)定體積以下時，在液體輸送步驟期間原料可能在引入周圍的空氣的同時輸送，結(jié)果，在一些情況下會引入許多氣泡，如納米氣泡。因此，當(dāng)進(jìn)行加壓過濾來代替循環(huán)過濾時，除了初始流分和最終流分以外的流分優(yōu)選回收在回收容器中。

圖3a和3b為各自示出根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l的純化系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖3a示出通過循環(huán)過濾的純化系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)，和圖3b示出通過加壓過濾的純化系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。

根據(jù)該實(shí)施方案的通過循環(huán)過濾的純化系統(tǒng)包括，如圖3a所示，純化裝置11、粒子數(shù)濃度測量系統(tǒng)12(下文，稱為“測量系統(tǒng)12”)、回收容器13、緩沖容器14和廢液容器15。另外，通過加壓過濾的純化系統(tǒng)包括，如圖3b所示，純化裝置11、測量系統(tǒng)12、回收容器13、容器14、廢液容器15和加壓系統(tǒng)17。

下一步，作為根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l的制造方法的一個實(shí)例，將參照圖4說明使用圖3a所示的純化系統(tǒng)的液體材料l的制造方法。

首先，將作為原料的粗制液體材料l接收在緩沖容器14中，并且驅(qū)動純化裝置11。純化裝置11具有液體輸送單元(未示出)和過濾器(未示出)。另外，在該步驟中，配管l42的流路和配管l3的流路彼此不連通，并且配管l42的流路和配管l2的流路彼此連通。通過驅(qū)動純化裝置11，驅(qū)動液體輸送單元(未示出)，并且通過配管l42將粗制液體材料l輸送至純化裝置11。隨后，使粗制液體材料l通過純化裝置11的過濾器(未示出)。通過過濾器的粗制液體材料l輸送至廢液容器15。

在該步驟中，粗制液體材料l的流率優(yōu)選小于0.03l/min。另外，流率更優(yōu)選為小于0.02l/min，特別優(yōu)選小于0.01l/min。如上所述，當(dāng)將過濾期間粗制液體材料l通過過濾器的流率設(shè)定為小于0.03l/min時，可以抑制當(dāng)使粗制液體材料l通過過濾器時產(chǎn)生氣泡。當(dāng)將過濾期間粗制液體材料l通過過濾器的流率設(shè)定為小于0.01l/min時，粗制液體材料l的閃燃(flashing)的可能性可降低。

另外，該實(shí)施方案中使粗制液體材料l通過其的過濾器的孔徑設(shè)定為50nm以下。因此，粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度(個/ml)可以有效降低。

另外，在根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l的純化系統(tǒng)中，作為與(粗制)液體材料l接觸的構(gòu)件，例如，可以提及回收容器13和緩沖容器14的內(nèi)壁和蓋、配管(管)的內(nèi)壁、連接配管的螺母、泵(液體輸送單元)和過濾器。這些構(gòu)件的材料不特別限定，只要具有耐化學(xué)品性即可。然而，這些構(gòu)件優(yōu)選由具有使得當(dāng)與(粗制)液體材料l接觸時不被如顆粒、金屬雜質(zhì)和有機(jī)雜質(zhì)等雜質(zhì)引起污染的清潔的品質(zhì)和程度的材料形成。

在上述這些構(gòu)件中，對于通過根據(jù)該實(shí)施方案的純化系統(tǒng)純化的液體材料l回收在其中的回收容器13，特別地，必須使用具有高清潔度的材料。作為回收容器13，例如，可以使用商購可得的100級(class100)聚丙烯瓶。然而，材料不限于此，并且可以使用以在其內(nèi)部用有機(jī)溶劑和/或酸洗滌后，進(jìn)行充分干燥的方式準(zhǔn)備的瓶子，或者也可以使用用要處理的液體材料l洗滌后的上述瓶子。

下一步，作為從粗制液體材料l通過過濾器開始獲得的預(yù)定量的流分的“初始流分”輸送至廢液容器15中。即，在該實(shí)施方案中，初始流分未回收在回收容器13中。當(dāng)使粗制液體材料l通過過濾器時，產(chǎn)生壓力損失。伴隨該現(xiàn)象，在一些情況下在液體材料l會產(chǎn)生氣泡。在從粗制液體材料l通過過濾器開始獲得的初始流分中，氣泡的產(chǎn)生特別顯著。

因此，在該實(shí)施方案中除去該初始流分，并且初始流分以外的流分回收在回收容器13中。因此，可以抑制如氣泡等新的雜質(zhì)混合在液體材料l中。

特別地，在配管l42和純化裝置11的內(nèi)部由粗制液體材料l沖洗后，配管l42的流路和配管l3的流路彼此連通。在該步驟中，配管l41的前端(圖3a中插入容器14中的端部)預(yù)先插入廢液容器15中。因此，經(jīng)由配管l3輸送至回收容器13中的粗制液體材料l通過液體輸送單元(未示出)的驅(qū)動經(jīng)由配管l41進(jìn)一步輸送至廢液容器15中。上述步驟連續(xù)進(jìn)行直到使預(yù)定量的粗制液體材料l通過過濾器，從而可以除去預(yù)定量的初始流分。

隨后，如圖3a所示，將配管l41的前端插入容器14中代替插入廢液容器15中。因此，初始流分以外的流分(目標(biāo)流分)通過循環(huán)過濾來處理并且回收在回收容器13中。

在根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l的純化系統(tǒng)中，回收目標(biāo)流分(純化后的液體材料l)的回收容器13優(yōu)選在線(in-line)配置在純化系統(tǒng)線中。通過如上所述的配置，可以抑制液體材料l中產(chǎn)生如納米氣泡等新的雜質(zhì)。

將循環(huán)過濾進(jìn)行預(yù)定的次數(shù)或進(jìn)行預(yù)定的量，從而獲得通過純化處理的液體材料l。隨后，通過與回收容器13連接的測量系統(tǒng)12的使用，測量顆粒的粒子數(shù)濃度。當(dāng)顆粒的粒子數(shù)濃度滿足預(yù)定值時，停止過濾，和當(dāng)不滿足預(yù)定值時，可以進(jìn)一步繼續(xù)過濾。

如上所述，在根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l的制造方法中，在粗制液體材料l過濾期間或之后，不對回收容器13進(jìn)行連接變化操作。更具體地，在回收容器13和測量系統(tǒng)12彼此連接的同時，進(jìn)行循環(huán)過濾。如上所述，可以抑制伴隨配管的連接變化操作產(chǎn)生的納米氣泡和通過其摩擦/磨耗產(chǎn)生的源自構(gòu)件的雜質(zhì)的產(chǎn)生。因此，顆粒的粒子數(shù)濃度(個/ml)的測量可以更準(zhǔn)確地進(jìn)行。

由于進(jìn)行如上所述的純化步驟(顆粒除去步驟)，因而混合在液體材料l中的如顆粒等雜質(zhì)的數(shù)量可以降低。因此，由顆粒引起的納米壓印工藝的產(chǎn)率的降低可以得到抑制。

另外，當(dāng)根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l用于制造半導(dǎo)體集成電路時，為了不干擾產(chǎn)品的性能，優(yōu)選盡可能抑制包含金屬原子的雜質(zhì)(金屬雜質(zhì))混合在液體材料中。

因此，液體材料l優(yōu)選在制造過程中不與金屬接觸。即，當(dāng)稱量各材料和/或各材料共混在一起接著攪拌時，優(yōu)選不使用金屬制成的重量測量裝置和容器等。另外，在上述純化步驟(顆粒除去步驟)中，可以進(jìn)一步進(jìn)行使用金屬雜質(zhì)除去過濾器的過濾。

作為金屬雜質(zhì)除去過濾器，可以使用由纖維素、硅藻土或離子交換樹脂等制成的過濾器，但不特別限定于此。作為金屬雜質(zhì)除去過濾器，例如，可以使用“zetaplusgngrade”和“electropore”(由sumitomo3mlimited.制造)；“posidyne”、“ioncleanan”和“ioncleansl”(由nihonpallltd.制造)；和“purotego”(由nihonentegrisk.k.制造)。這些金屬雜質(zhì)除去過濾器可以單獨(dú)使用，或者其至少兩種可以組合使用。

這些金屬雜質(zhì)除去過濾器優(yōu)選在清潔后使用。作為清潔方法，優(yōu)選依次進(jìn)行用超純水洗滌，用醇洗滌，和用要處理的固化性組合物洗滌。

作為金屬雜質(zhì)除去過濾器的孔徑，例如，0.001～5.0μm的孔徑是合適的，和0.003～0.01μm的孔徑是優(yōu)選的。當(dāng)孔徑大于5.0μm時，對顆粒和金屬雜質(zhì)的吸附能力低。另外，當(dāng)孔徑小于0.001μm時，由于也捕獲液體材料l的構(gòu)成組分，因而在一些情況下液體材料l的組成會變化，和/或在一些情況下過濾器會堵塞。

在如上所述的情況下，液體材料l中包含的金屬雜質(zhì)的濃度優(yōu)選降低至10ppm以下，更優(yōu)選降低至100ppb以下。

[固化膜]

當(dāng)使根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l固化時，獲得固化產(chǎn)物。在該情況下，固化膜優(yōu)選以在將液體材料l涂布在基材上而形成涂膜后使其進(jìn)行固化的方式來獲得。隨后將描述涂膜的形成方法和固化產(chǎn)物或固化膜的形成方法。

[固化產(chǎn)物圖案的制造方法]

下一步，將說明其中使用作為根據(jù)該實(shí)施方案的組合物(1)的光固化性組合物形成固化產(chǎn)物圖案的固化產(chǎn)物圖案的制造方法。圖1a～1g為示意性示出根據(jù)該實(shí)施方案的固化產(chǎn)物圖案的制造方法的一個實(shí)例的截面圖。

根據(jù)該實(shí)施方案的固化產(chǎn)物圖案的制造方法包括：

[1]第一步驟(配置步驟)：將上述根據(jù)該實(shí)施方案的光固化性組合物配置在基板上；

[2]第二步驟(模具接觸步驟)：使光固化性組合物與模具接觸；

[4]第三步驟(光照射步驟)：用光照射光固化性組合物；和

[5]第四步驟(脫模步驟)：使步驟[4]中獲得的固化產(chǎn)物與模具脫離。

根據(jù)該實(shí)施方案的固化產(chǎn)物圖案的制造方法為利用光納米壓印法的固化產(chǎn)物圖案的制造方法。

通過根據(jù)該實(shí)施方案的固化產(chǎn)物圖案的制造方法獲得的固化膜優(yōu)選為圖案尺寸為1nm～10mm的固化產(chǎn)物圖案。另外，固化膜更優(yōu)選為圖案尺寸為10nm～100μm的固化產(chǎn)物圖案。特別地，在半導(dǎo)體制造用途的情況下，固化膜特別優(yōu)選為圖案尺寸為4nm至小于30nm的固化產(chǎn)物圖案。

下文中，將說明各步驟。

<配置步驟[1]>

在該步驟(配置步驟)中，如圖1a所示，將作為根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l的一種的光固化性組合物101配置(涂布)在基板102上以形成涂膜。

光固化性組合物101配置在其上的基板102為被加工基板，并且通常使用硅晶片。

然而，在該實(shí)施方案中，基板102不限于硅晶片?；?02可以任意地選自由鋁、鈦-鎢合金、鋁-硅合金、鋁-銅-硅合金、氧化硅和氮化硅形成的已知的半導(dǎo)體器件用基板。另外，作為使用的基板102(被加工基板)，可以使用通過如硅烷偶聯(lián)處理、硅氮烷處理或有機(jī)薄膜的成膜等表面處理而具有改善的與光固化性組合物101的粘合性的基板。

在該實(shí)施方案中，作為用于將光固化性組合物101配置在基板102上的方法，例如，可以使用噴墨法、浸涂法、氣刀涂布法、簾式涂布法、線棒涂布法、凹版涂布法、擠出涂布法、旋涂法或狹縫掃描法。在光納米壓印法中，特別地，優(yōu)選使用噴墨法。另外，盡管圖案要轉(zhuǎn)印至其的層(涂膜)的厚度根據(jù)其使用用途而變化，但是例如，厚度為0.01～100.0μm。

<模具接觸步驟[2]>

下一步，如圖1b所示，使將圖案形狀轉(zhuǎn)印至涂膜的具有原始圖案的模具104與在先前步驟(配置步驟)中由光固化性組合物101形成的涂膜接觸(圖1b的(b-1))。因此，由光固化性組合物101形成的涂膜(的一部分)填充在模具104的表面的微細(xì)圖案的凹部，從而形成填充在模具的微細(xì)圖案中的涂膜106(圖1b的(b-2))。

作為模具104，考慮到以下步驟(光照射步驟)，可以使用由透光材料形成的模具104。作為形成模具104的材料，特別地，例如，可以提及玻璃，石英，如pmma或聚碳酸酯等光學(xué)透明樹脂，透明金屬沉積膜，聚(二甲基硅氧烷)等的柔軟膜，光固化性膜，或金屬膜。然而，當(dāng)光學(xué)透明樹脂用作形成模具104的材料時，必須選擇在光固化性組合物101中包含的組分中不溶解的樹脂。由于具有低的熱膨脹系數(shù)和低的圖案應(yīng)變，因而作為形成模具104的材料，石英是特別優(yōu)選的。

模具104的表面的微細(xì)圖案優(yōu)選具有4～200nm的圖案高度和1～10的縱橫比。

為了改善光固化性組合物101與模具104的表面之間的脫模性，在作為光固化性組合物101與模具104之間的模具接觸步驟的步驟之前，可以對模具104進(jìn)行表面處理。作為進(jìn)行表面處理的方法，例如，可以提及其中將脫模劑涂布在模具104的表面上以形成脫模劑層的方法。在該情況下，作為要涂布在模具104的表面上的脫模劑，例如，可以提及硅酮系脫模劑、氟系脫模劑、烴系脫模劑、聚乙烯系脫模劑、聚丙烯系脫模劑、石蠟系脫模劑、褐煤系脫模劑或巴西棕櫚蠟系脫模劑。例如，可以優(yōu)選使用商購可得的涂布型脫模劑，如由daikinindustries,ltd.制造的optooldsx。另外，脫模劑可以單獨(dú)使用，或者其至少兩種可以組合使用。在上述這些中，氟系和烴系脫模劑是特別優(yōu)選的。

在該步驟(模具接觸步驟)中，如圖1b的(b-1)所示，當(dāng)使模具104與光固化性組合物101接觸時，施加至其的壓力不特別限定。該壓力可以設(shè)定為0～100mpa以下。另外，該壓力優(yōu)選為0～50mpa，更優(yōu)選0～30mpa，進(jìn)一步優(yōu)選0～20mpa。

另外，在該步驟中，使模具104與光固化性組合物101接觸所需的時間不特別限定。該時間可設(shè)定為0.1～600秒。另外，該時間優(yōu)選為0.1～300秒，更優(yōu)選0.1～180秒，特別優(yōu)選0.1～120秒。

在該步驟中，通過粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度小于310個/ml并且為根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l的一種的光固化性組合物的使用，可以抑制由顆粒引起的模具破損。另外，獲得的固化產(chǎn)物圖案的圖案缺陷可以降低。結(jié)果，納米壓印工藝的產(chǎn)率的降低可以得到抑制。

盡管該步驟可以在選自大氣氣氛、減壓氣氛和非活性氣體氣氛的任意條件下進(jìn)行，但是由于可以防止氧和/或水分對固化反應(yīng)的影響，因而減壓氣氛或非活性氣體氣氛是優(yōu)選的。當(dāng)該步驟在非活性氣體氣氛中進(jìn)行時，作為可以使用的非活性氣體的具體實(shí)例，例如，可以提及氮?dú)?、二氧化碳、氦氣、氬氣、各種氟利昂氣體，或者它們的混合氣體。當(dāng)該步驟在包括大氣氣氛的特定的氣體氣氛中進(jìn)行時，優(yōu)選的壓力為0.0001～10個大氣壓。

模具接觸步驟可以在包含冷凝性氣體的氣氛(下文，稱為“冷凝性氣體氣氛”)中進(jìn)行。本說明書中的冷凝性氣體表示利用當(dāng)氣氛中的氣體與涂膜(的一部分)106一起填充在模具104中形成的微細(xì)圖案的凹部中以及模具與基板之間形成的間隙中時產(chǎn)生的毛細(xì)管力，通過凝結(jié)而液化的氣體。另外，在模具接觸步驟中在使光固化性組合物101(圖案轉(zhuǎn)印至其的層)與模具104接觸前(圖1b的(b-1))，冷凝性氣體在氣氛中以氣體的形式存在。

當(dāng)模具接觸步驟在冷凝性氣體氣氛中進(jìn)行時，由于填充在微細(xì)圖案的凹部中的氣體液化使得氣泡消失，因此，填充性優(yōu)異。冷凝性氣體也可以溶解在光固化性組合物101中。

盡管冷凝性氣體的沸點(diǎn)不特別限定，只要在模具接觸步驟的氣氛溫度以下即可，沸點(diǎn)優(yōu)選為-10℃～23℃，進(jìn)一步優(yōu)選10℃～23℃。當(dāng)沸點(diǎn)在該范圍內(nèi)時，填充性可以進(jìn)一步改善。

盡管冷凝性氣體在模具接觸步驟的氣氛溫度下的蒸氣壓不特別限定，只要在模具接觸步驟中施加的成形壓力以下即可，蒸氣壓優(yōu)選為0.1～0.4mpa。當(dāng)蒸氣壓在該范圍內(nèi)時，填充性進(jìn)一步得到改善。當(dāng)氣氛溫度下的蒸氣壓大于0.4mpa時，傾向于不充分地獲得氣泡的消除效果。另一方面，當(dāng)氣氛溫度下的蒸氣壓低于0.1mpa時，壓力必須降低，因此，設(shè)備傾向于復(fù)雜化。

盡管不特別限定，但模具接觸步驟的氣氛溫度優(yōu)選為20℃～25℃。

作為冷凝性氣體，例如，可以提及氟利昂，包括氯氟烴(cfc)類，如三氯氟甲烷；氫氟烴(hfc)類，如氟烴(fc)類，氫氯氟烴(hcfc)類，或1,1,1,3,3-五氟丙烷(chf2ch2cf3，hfc-245fa，pfp)；和氫氟醚(hfe)類，如五氟甲基醚(cf3cf2och3，hfe-245mc)。

在上述那些中，由于在模具接觸步驟的20℃～25℃的氣氛溫度下的填充性優(yōu)異，因而1,1,1,3,3-五氟丙烷(23℃下的蒸氣壓：0.14mpa，沸點(diǎn)：15℃)、三氯氟甲烷(23℃下的蒸氣壓：0.1056mpa，沸點(diǎn)：24℃)和五氟甲基醚是優(yōu)選的。此外，由于安全性優(yōu)異，因而1,1,1,3,3-五氟丙烷是特別優(yōu)選的。

冷凝性氣體可以單獨(dú)使用，或者其至少兩種可以組合使用。另外，這些冷凝性氣體可以各自通過與非冷凝性氣體，如空氣、氮?dú)?、二氧化碳、氦氣或氬氣混合來使用。作為與冷凝性氣體混合的非冷凝性氣體，考慮到填充性，氦氣是優(yōu)選的。氦氣能夠透過模具104。因此，當(dāng)在模具接觸步驟中氣氛中的氣體(冷凝性氣體和氦氣)與涂膜(的一部分)106一起填充在模具104中形成的微細(xì)圖案的凹部時，冷凝性氣體液化，同時，氦氣透過模具。

<對準(zhǔn)步驟[3]>

下一步，必要時，如圖1c所示，調(diào)整模具的位置和/或被加工基板的位置使得模具側(cè)對準(zhǔn)標(biāo)記105和被加工基板的對準(zhǔn)標(biāo)記103彼此一致。

在該步驟中，通過其中粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度(個/ml)小于310個/ml并且為根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l的一種的光固化性組合物的使用，可以抑制由顆粒引起的模具破損。另外，獲得的固化產(chǎn)物圖案的圖案缺陷可以降低。結(jié)果，納米壓印工藝的產(chǎn)率的降低可以得到抑制。

<光照射步驟[4]>

下一步，如圖1d所示，在步驟[3]中進(jìn)行對準(zhǔn)的同時，光固化性組合物101與模具104之間的接觸部分用透過模具104的光照射。更具體地，填充在模具的微細(xì)圖案中的涂膜106用透過模具104的光照射(圖1d的(d-1))。因此，填充在模具104的微細(xì)圖案中的涂膜106由此通過光照射而固化，從而形成固化產(chǎn)物108(圖1d的(d-2))。

在該步驟中，照射在形成填充在模具104的微細(xì)圖案中的涂膜106的光固化性組合物101上的光根據(jù)光固化性組合物101的感光波長來選擇。具體地，例如，可以適當(dāng)?shù)剡x擇波長為150～400nm的紫外線、x射線或電子射線。

在上述那些中，特別地，照射在光固化性組合物101上的光(照射光107)優(yōu)選為紫外線。其原因在于，對紫外線具有感光度的許多化合物作為固化助劑(光聚合引發(fā)劑)在市場上是可得的。在該步驟中，作為發(fā)出紫外線的光源，例如，可以提及高壓汞燈、超高壓汞燈、低壓汞燈、深uv燈、碳弧燈、化學(xué)燈、金屬鹵化物燈、氙燈、krf準(zhǔn)分子激光器、arf準(zhǔn)分子激光器或f2準(zhǔn)分子激光器，并且超高壓汞燈是特別優(yōu)選的。另外，使用的光源的個數(shù)可以為一個或至少兩個。另外，當(dāng)進(jìn)行光照射時，填充在模具的微細(xì)圖案中的涂膜106可以全部或部分用光照射。

另外，光照射可以在基板的整個區(qū)域間歇進(jìn)行多次或者可以在整個區(qū)域連續(xù)進(jìn)行。此外，在第一照射步驟中照射部分區(qū)域a之后，區(qū)域a以外的區(qū)域b于是可以在第二照射步驟中照射。

<脫模步驟[5]>

下一步，使固化膜108與模具104脫離。在該步驟中，具有預(yù)定圖案形狀的固化膜(固化產(chǎn)物圖案109)形成在基板102上。

在該步驟(脫模步驟)中，如圖1e所示，固化膜108與模具104脫離，和在步驟[4](光照射步驟)中，獲得具有作為在模具104中形成的微細(xì)圖案的反轉(zhuǎn)圖案的圖案形狀的固化產(chǎn)物圖案109。

另外，在脫模步驟在冷凝性氣體氣氛中進(jìn)行的情況下，當(dāng)在脫模步驟中使固化膜108與模具104脫離時，冷凝性氣體伴隨固化膜108與模具104接觸的界面處壓力的降低而蒸發(fā)。結(jié)果，傾向于獲得使固化膜108與模具104脫離所需的脫模力的降低效果。

使固化膜108與模具104脫離的方法不特別限定，只要固化膜108在脫離時不物理破損即可，例如，其各種條件也不特別限定。例如，在使基板102(被加工基板)固定的同時，可以通過沿遠(yuǎn)離基板102的方向移動模具104來進(jìn)行剝離?？蛇x擇地，在使模具104固定的同時，可以通過沿遠(yuǎn)離模具的方向移動基板102來進(jìn)行剝離。此外，可以通過沿正好相反的方向拉動基板102和模具104來進(jìn)行剝離。

通過包括上述步驟[1]至步驟[5]的連續(xù)過程(制造工藝)，可以獲得在期望的位置具有期望的凹凸圖案形狀(源自模具104的凹凸形狀的圖案形狀)的固化膜。由此獲得的固化膜可以用作光學(xué)構(gòu)件(包括固化膜用作光學(xué)構(gòu)件的一個部件的情況)，如菲涅耳透鏡或衍射格柵(diffractionlattice)。在如上所述的情況下，可以獲得至少包括基板102和配置在該基板102上的具有圖案形狀的固化產(chǎn)物圖案109的光學(xué)構(gòu)件。

在根據(jù)該實(shí)施方案的具有圖案形狀的膜的制造方法中，包括步驟[1]至步驟[5]的重復(fù)單元(一輪)可以在同一個被加工基板上重復(fù)進(jìn)行多次。通過重復(fù)進(jìn)行包括步驟[1]至步驟[5]的重復(fù)單元(一輪)，可以獲得在被加工基板的期望位置具有多個期望的凹凸圖案形狀(各自源自模具104的凹凸形狀的圖案形狀)的固化膜。

<除去固化膜的一部分的殘留膜除去步驟[6]>

盡管作為步驟[5]的脫模步驟中獲得的固化膜具有特定的圖案形狀，但是在形成圖案形狀的區(qū)域以外的區(qū)域中，在一些情況下固化膜會部分殘留(下文中，如上所述的固化膜的一部分稱為“殘留膜”)。在如上所述的情況下，如圖1f所示，從由此獲得的具有圖案形狀的固化膜中除去在固化膜應(yīng)當(dāng)被除去的區(qū)域中存在的固化膜(殘留膜)。因此，可以獲得具有期望的凹凸圖案形狀(源自模具104的凹凸形狀的圖案形狀)的固化產(chǎn)物圖案110。

在該步驟中，作為用于除去殘留膜的方法，例如，可以提及其中通過蝕刻法等除去作為固化產(chǎn)物圖案109的凹部的固化膜(殘留膜)以露出固化產(chǎn)物圖案109的圖案的凹部處基板102的表面的方法。

當(dāng)通過蝕刻除去固化產(chǎn)物圖案109的凹部處存在的固化膜時，其具體方法不特別限定，并且可以使用已知的相關(guān)方法，如干式蝕刻法。對于干式蝕刻，可以使用相關(guān)已知的干式蝕刻設(shè)備。另外，盡管用于干式蝕刻的源氣體可以根據(jù)固化膜的元素組成來適當(dāng)?shù)剡x擇，但是可以使用如cf4、c2f6、c3f8、ccl2f2、ccl4、cbrf3、bcl3、pcl3、sf6或cl2等鹵素氣體；如o2、co或co2等含氧原子的氣體；如he、n2或ar等非活性氣體；或者如h2或nh3等氣體。另外，這些氣體可以組合使用。

另外，當(dāng)基板102(被加工基板)為通過如硅烷偶聯(lián)處理、硅氮烷處理或有機(jī)薄膜的成膜等表面處理而具有改善的與固化膜108的粘合性的基板時，在將存在于固化產(chǎn)物圖案109的凹部的固化膜(殘留膜)蝕刻掉之后，上述表面處理層也可以通過蝕刻來除去。

通過包括上述步驟[1]至步驟[6]的制造工藝，可以獲得在期望的位置具有期望的凹凸圖案形狀(源自模具104的凹凸形狀的圖案形狀)的固化產(chǎn)物圖案110，并且可以獲得具有固化膜圖案的產(chǎn)品。此外，當(dāng)使用由此獲得的固化產(chǎn)物圖案110加工基板102時，進(jìn)行以下基板加工步驟(步驟[7])。

另外，當(dāng)由此獲得的固化產(chǎn)物圖案110用作如衍射格柵或偏光板等光學(xué)構(gòu)件(包括固化產(chǎn)物圖案110用作光學(xué)構(gòu)件的一個部件的情況)時，也可以獲得光學(xué)組件。在如上所述的情況下，可以獲得至少包括基板102和配置在該基板102上的固化產(chǎn)物圖案110的光學(xué)組件。

<基板加工步驟[7]>

通過根據(jù)該實(shí)施方案的具有圖案形狀的固化膜的制造方法獲得的具有凹凸圖案形狀的固化產(chǎn)物圖案110可以用作包括在如半導(dǎo)體元件等電子元件中的層間絕緣膜。另外，固化產(chǎn)物圖案110也可以用作半導(dǎo)體元件制造時的抗蝕劑膜。作為該情況下的半導(dǎo)體元件，例如，可以提及l(fā)si、系統(tǒng)lsi、dram、sdram、rdram或d-rdram。

當(dāng)固化產(chǎn)物圖案110用作抗蝕劑膜時，例如，對基板的通過作為步驟[6]的蝕刻步驟而露出其表面的部分(圖1f中由附圖標(biāo)記111表示的區(qū)域)進(jìn)行蝕刻或離子注入。另外，在該步驟中，固化產(chǎn)物圖案110起到蝕刻掩模的功能。另外，由于形成電子元件，基于固化產(chǎn)物圖案110的圖案形狀的電路結(jié)構(gòu)112(圖1g)可以形成在基板102上。因此，可以制造用于半導(dǎo)體元件等的電路板。另外，當(dāng)該電路板連接至其電路控制機(jī)構(gòu)時，也可以形成電子設(shè)備，如顯示器、照相機(jī)或醫(yī)療設(shè)備。

另外，如上所述的情況下，通過將固化產(chǎn)物圖案110用作抗蝕劑膜，例如，當(dāng)進(jìn)行蝕刻或離子注入時，也可以獲得光學(xué)組件。

另外，當(dāng)形成設(shè)置有電路的基板或電子元件時，可以最終從加工的基板中除去固化產(chǎn)物圖案110，也可以形成使得固化產(chǎn)物圖案110作為形成元件的部件而殘留的結(jié)構(gòu)。

通過包括步驟[1]至步驟[7]的制造工藝，可以獲得在期望的位置具有期望的凹凸圖案形狀(源自模具104的凹凸形狀的圖案形狀)的電路結(jié)構(gòu)112，并且可以獲得具有電路結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。另外，通過根據(jù)目的任意地使用作為上述根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l的一種的固化層形成用組合物(組合物(2))，可以進(jìn)行以下固化層形成步驟(步驟[α])。

<固化層形成步驟[α]>

通過作為步驟[α]的固化層形成步驟獲得的固化層可以包括粘著層、底層、中間層、面涂層或平滑層，但不限于此。

只要分別設(shè)置這些固化層以形成層壓體，固化層的位置可以通過進(jìn)行該步驟[α]的時機(jī)來任意地選擇。例如，固化層可以形成在配置步驟[1]之前的基板102上或者可以形成在脫模步驟[5]之后的固化產(chǎn)物圖案109上?？蛇x擇地，固化層可以形成在殘留膜除去步驟[6]之后的固化產(chǎn)物圖案110和/或基板的表面露出的基板部分111上，或者可以形成在基板加工步驟[7]之后的電路結(jié)構(gòu)112上。

另外，這些固化層可以單獨(dú)形成，或者其至少兩種可以彼此層壓。

例如，在脫模步驟[5]中，當(dāng)為了使模具-抗蝕劑界面比基板-抗蝕劑界面優(yōu)先脫模而形成固化層時，優(yōu)選形成粘著層作為基板與抗蝕劑之間的固化層。

在該情況下，在配置步驟[1]之前，通過該步驟[α]，將作為根據(jù)該實(shí)施方案的液體材料l的一種的組合物(2)涂布在基板102上以形成固化層(粘著層)。

光固化性組合物101配置在其上的基板102為被加工基板，通常，使用硅晶片。由于硅烷醇基存在于硅晶片的表面上，因而組合物(2)優(yōu)選為通過熱處理與硅烷醇基形成化學(xué)鍵的組合物，但不限于此。

然而，在該實(shí)施方案中，基板102不限于硅晶片并且可以任意地選自由鋁、鈦-鎢合金、鋁-硅合金、鋁-銅-硅合金、氧化硅和氮化硅形成已知的半導(dǎo)體器件用基板。作為上述基板，還可以使用旋涂玻璃、旋涂碳、有機(jī)物、金屬、氧化物或氮化物等中的至少一種的膜形成在其上的基板。

作為用于將組合物(2)涂布在基板上的方法，例如，可以使用噴墨法、浸涂法、氣刀涂布法、簾式涂布法、線棒涂布法、凹版涂布法、擠出涂布法、旋涂法或狹縫掃描法?？紤]到涂布性，特別地，考慮到膜厚度均一性，旋涂法是特別優(yōu)選的。

在涂布組合物(2)之后，溶劑(e)蒸發(fā)(干燥)，使得形成均一的固化層。特別地，當(dāng)組分(d)為聚合性化合物時，在溶劑(e)蒸發(fā)的同時，可以同時進(jìn)行聚合反應(yīng)以形成均一的固化層。在該步驟中，優(yōu)選進(jìn)行加熱。盡管優(yōu)選的溫度考慮組分(d)的反應(yīng)性和組分(d)與溶劑(e)的沸點(diǎn)來適當(dāng)?shù)剡x擇，但溫度優(yōu)選為70℃～250℃。溫度更優(yōu)選為100℃～220℃，進(jìn)一步優(yōu)選140℃～220℃。另外，溶劑(e)的蒸發(fā)和組分(d)的反應(yīng)可以在不同的溫度下進(jìn)行。

盡管通過將根據(jù)該實(shí)施方案的組合物(2)涂布在基板上形成的固化層的厚度根據(jù)使用用途而變化，但是例如，厚度優(yōu)選為0.1～100nm。厚度更優(yōu)選為0.5～60nm，進(jìn)一步優(yōu)選1～10nm。

另外，當(dāng)通過將根據(jù)該實(shí)施方案的組合物(2)涂布在基板上形成固化層時，可以通過多重涂布技術(shù)來進(jìn)行該形成。另外，形成的固化層優(yōu)選盡可能地平坦。表面的粗糙度優(yōu)選為1nm以下。

[實(shí)施例]

下文中，盡管將參照實(shí)施例來詳細(xì)說明本發(fā)明，但本發(fā)明的技術(shù)范圍不限于以下實(shí)施例。

(比較例1)

(1)固化性組合物(b-1)的制備

首先，將以下組分(a)、組分(b)和添加組分(c)共混在一起，并且在100級聚丙烯瓶中，制備比較例1的固化性組合物(b-1)。

(1-1)組分(a)：總計(jì)94重量份

<a-1>丙烯酸異冰片酯(商品名：ib-xa，由kyoeishachemicalco.,ltd.制造)：9.0重量份

<a-2>丙烯酸芐酯(商品名：v#160，由osakaorganicindustryltd.制造)：38.0重量份

<a-3>新戊二醇二丙烯酸酯(商品名：np-a，由kyoeishachemicalco.,ltd.制造)：47.0重量份

(1-2)組分(b)：總計(jì)3重量份

<b-1>lucirintpo(由basf制造)(式(f))：3重量份

(1-3)除了組分(a)和組分(b)以外的添加組分(c)：總計(jì)2.1重量份

<c-1>sr-730(由aokioilindustrialco.,ltd.制造)(式(i))：1.6重量份

<c-2>4,4'-雙(二乙胺)二苯甲酮(由tokyochemicalindustryco.,ltd.制造)(式(g))：0.5重量份

[化學(xué)式1]

式(f)

[化學(xué)式2]

式(i)

[化學(xué)式3]

式(g)

(2)固化性組合物(b-1)中顆粒的粒子數(shù)濃度的測量

各實(shí)施例和比較例中的固化性組合物中顆粒的粒子數(shù)濃度的測量使用液體中顆粒傳感器ks-41b(具有0.07μm的粒徑的選項(xiàng)，由rionco.,ltd.制造)來進(jìn)行。然而，由于不對該比較例的固化性組合物(b-1)進(jìn)行純化步驟如過濾，因而推測其顆粒的粒子數(shù)濃度顯著高。當(dāng)進(jìn)行如上所述的固化性組合物(b-1)中顆粒的粒子數(shù)濃度的測量時，液體中顆粒傳感器的測量單元和流路可能被顆粒嚴(yán)重污染。因此，不進(jìn)行固化性組合物(b-1)中顆粒的粒子數(shù)濃度的測量。

然而，認(rèn)為固化性組合物(b-1)中粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度顯著超過用于測量的液體中顆粒傳感器的最大額定粒子數(shù)濃度(9,600個/ml)。

(比較例2)

(1)固化性組合物(b-2)的制備

在制備比較例1的固化性組合物(b-1)之后，使用圖3b所示的純化系統(tǒng)進(jìn)行加壓過濾，從而獲得固化性組合物(b-2)。在該步驟中，作為純化裝置11的過濾器，使用孔徑為5nm的過濾器(optimizerd300，由nihonentegrisk.k.制造)。通過借助加壓系統(tǒng)17將壓力施加至加壓槽16的內(nèi)部，容器14中的固化性組合物(b-1)輸送至純化裝置11，從而進(jìn)行加壓過濾。另外，在該情況下，將加壓槽16的調(diào)節(jié)器(未示出)調(diào)整在0.05～0.10mpa的范圍內(nèi)，從而使固化性組合物(b-1)以9ml/min的平均流率通過過濾器。

通過作為回收容器13的100級聚丙烯瓶的使用，包括初始流分的全部流分回收在回收容器13中。如上所述，制備比較例2的固化性組合物(b-2)。

(2)固化性組合物(b-2)中顆粒的粒子數(shù)濃度的測量

由此制備的固化性組合物(b-2)中顆粒的粒子數(shù)濃度的測量使用液體中顆粒傳感器ks-41b(具有0.07μm的粒徑的選項(xiàng)，由rionco.,ltd.制造)來進(jìn)行。另外，還與其一起使用控制器ke-40b1(由rionco.,ltd.制造)和注射器采樣器kz-30w1(由rionco.,ltd.制造)。通過驅(qū)動注射器采樣器，輸送10ml的固化性組合物(b-2)使得以5ml/min的流率通過液體中顆粒傳感器的測量單元。通過上述方法，測量固化性組合物(b-2)中粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度。將上述操作重復(fù)進(jìn)行三次，并且從由此測量的各粒子數(shù)濃度獲得平均值并且看作粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度(平均值)。固化性組合物(b-2)中0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度(平均值)為616個/ml。

另外，本說明書中顆粒的粒子數(shù)濃度的每一次測量均在使用具有已知的粒徑并且分散在純水中的聚苯乙烯乳膠(psl)標(biāo)準(zhǔn)顆粒預(yù)先校準(zhǔn)光散射lpc之后進(jìn)行。另外，緊接在測量后，使用脈沖高度分析軟件kf-50a(由rionco.,ltd.制造)確認(rèn)，充分確保粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度測量值的準(zhǔn)確性。具體地，獲得包含0.07μmpsl顆粒的水溶液的散射光的光接收元件電壓s與測量溶液的散射光的光接收元件電壓n的比(s/n)，并且確認(rèn)該比充分大于1.3。

(比較例3)

(1)固化性組合物(b-3)的制備

在制備比較例1的固化性組合物(b-1)之后，使用圖3b所示的純化系統(tǒng)進(jìn)行加壓過濾，從而獲得固化性組合物(b-3)。在該步驟中，作為純化裝置11的過濾器，使用孔徑為5nm的過濾器(optimizerd300，由nihonentegrisk.k.制造)。通過借助加壓系統(tǒng)17將壓力施加至加壓槽16的內(nèi)部，容器14中的固化性組合物(b-1)輸送至純化裝置11，從而進(jìn)行加壓過濾。另外，在該情況下，將加壓槽16的調(diào)節(jié)器(未示出)調(diào)整在0.05～0.10mpa的范圍內(nèi)，從而使固化性組合物(b-1)以9ml/min的平均流率通過過濾器。

100級聚丙烯瓶用作回收容器13。從固化性組合物(b-1)通過過濾器開始大約200ml的量的流分看作初始流分，并且該初始流分接收在廢液容器15中而不是回收容器13中。隨后，進(jìn)一步繼續(xù)過濾，將通過過濾獲得的液體接收在回收容器13中。另外，通過目視檢查確認(rèn)其中的氣泡的最終流分不接收在回收容器13中而是廢液容器15中。如上所述，制備比較例3的固化性組合物(b-3)。

(2)固化性組合物(b-3)中顆粒的粒子數(shù)濃度的測量

當(dāng)以與比較例2類似的方式測量顆粒的粒子數(shù)濃度時，固化性組合物(b-3)中粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度(平均值)為444個/ml。

(比較例4)

(1)固化性組合物(b-4)的制備

在制備比較例3的固化性組合物(b-3)之后，使用圖5a所示的純化系統(tǒng)進(jìn)行循環(huán)過濾，從而獲得固化性組合物(b-4)。在該步驟中，作為純化裝置的過濾器，使用孔徑為5nm的過濾器(impactmini，由nihonentegrisk.k.制造)。通過圖5a所示的純化裝置的分配裝置(intelligenmini，由nihonentegrisk.k.制造)，容器中接收的固化性組合物(b-3)輸送至純化裝置，從而進(jìn)行循環(huán)過濾。在該步驟中，通過在0.27mpa壓力下的壓縮氮?dú)獾氖褂?，設(shè)定分配裝置從而使固化性組合物(b-3)以4.5ml/min的平均流率通過過濾器。

100級聚丙烯瓶用作回收容器。首先，用大約180ml的固化性組合物(b-3)替換流路內(nèi)的液體。下一步，將從固化性組合物(b-3)通過過濾器開始大約180ml的量的流分看作初始流分，并且將該初始流分接收在廢液容器中，從而不混合在目標(biāo)流分中。隨后，使用分配裝置以將9ml的固化性組合物(b-3)分配280次的方式進(jìn)行循環(huán)過濾。因此，在100級聚丙烯瓶中獲得目標(biāo)流分(固化性組合物(b-4))。如上所述，制備比較例4的固化性組合物(b-4)。

(2)固化性組合物(b-4)中顆粒的粒子數(shù)濃度的測量

當(dāng)以與比較例2類似的方式測量顆粒的粒子數(shù)濃度時，固化性組合物(b-4)中粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度(平均值)為889個/ml。

(實(shí)施例1)

(1)固化性組合物(a-1)的制備

在制備比較例3的固化性組合物(b-3)之后，以與比較例4類似的方式進(jìn)行循環(huán)過濾。在該步驟中，如圖6a所示，在進(jìn)行循環(huán)過濾之前，預(yù)先將顆粒傳感器的液體采樣管的前端放入固化性組合物(b-3)中。如上所述，制備實(shí)施例1的固化性組合物(a-1)。

(2)固化性組合物(a-1)中顆粒的粒子數(shù)濃度的測量

除了在循環(huán)過濾開始之前，預(yù)先將顆粒傳感器的液體采樣管的前端放入要形成為固化性組合物(a-1)的液體中以外，以與比較例2類似的方式測量顆粒的粒子數(shù)濃度。固化性組合物(a-1)中粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度(平均值)為99.9個/ml。

(實(shí)施例2)

(1)固化性組合物(a-2)的制備

除了在制備比較例3的固化性組合物(b-3)之后，將分配次數(shù)設(shè)定為120次以外，以與實(shí)施例1類似的方式進(jìn)行循環(huán)過濾，并且在100級聚丙烯瓶中獲得目標(biāo)流分(固化性組合物(a-2))(圖6a)。如上所述，制備實(shí)施例2的固化性組合物(a-2)。

(2)固化性組合物(a-2)中顆粒的粒子數(shù)濃度的測量

以與實(shí)施例1類似的方式測量顆粒的粒子數(shù)濃度。固化性組合物(a-2)中粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度(平均值)為303個/ml。

(比較例5)

(1)固化性組合物(b-5)的制備

除了在制備比較例3的固化性組合物(b-3)之后，將p-瓶用于循環(huán)過濾以外，以與比較例4類似的方式進(jìn)行循環(huán)過濾，并且在p-瓶中獲得目標(biāo)流分(固化性組合物(b-5))(圖5b)。如上所述，制備比較例5的固化性組合物(b-5)。

作為p-瓶，使用由高純度pfa-制的120-ml柱形構(gòu)成容器(由savillex制造)和柱形構(gòu)成用蓋(管口數(shù)：3，由savillex制造的特殊訂購產(chǎn)品)構(gòu)成的瓶。該瓶在使用前用el級異丙醇(由kantochemicalco.,inc.制造)充分洗滌。p-瓶為可以通過將管連接至蓋的一個端口來改變配管布置的瓶。另外，在該情況下，管的改變通過擰緊或松開端口的螺絲來進(jìn)行。通過上述操作，在p-瓶中，在一些情況下會產(chǎn)生顆粒。

(2)固化性組合物(b-5)中顆粒的粒子數(shù)濃度的測量

除了測量p-瓶中顆粒的粒子數(shù)濃度以外，以與比較例4類似的方式測量顆粒的粒子數(shù)濃度。固化性組合物(b-5)中粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度(平均值)為3,268個/ml。

(實(shí)施例3)

(1)固化性組合物(a-3)的制備

在制備比較例3的固化性組合物(b-3)之后，除了在循環(huán)過濾開始之前，將顆粒傳感器的液體采樣管的前端作為p-瓶的長管連接以外，以與比較例5類似的方式進(jìn)行循環(huán)過濾。因此，在p-瓶中獲得目標(biāo)流分(固化性組合物(a-3))(圖6b)。如上所述，制備實(shí)施例3的固化性組合物(a-3)。

(2)固化性組合物(a-3)中顆粒的粒子數(shù)濃度的測量

除了在循環(huán)過濾開始之前，預(yù)先將顆粒傳感器的液體采樣管的前端放入要形成為固化性組合物(a-3)的液體中以外，以與比較例5類似的方式測量顆粒的粒子數(shù)濃度。固化性組合物(a-3)中粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度(平均值)為56.1個/ml。

(參考例1)

(1)單體液體(c-1)的制備

除了使用丙烯酸異冰片酯(商品名：ib-xa，由kyoeishachemicalco.,ltd.制造)來代替使用固化性組合物(b-1)以外，以與比較例3類似的方式進(jìn)行加壓過濾，并且在100級聚丙烯瓶中獲得目標(biāo)流分(單體液體(c-1))。如上所述，制備參考例1的單體液體(c-1)。

(2)單體液體(c-1)中顆粒的粒子數(shù)濃度的測量

以與比較例2類似的方式測量顆粒的粒子數(shù)濃度。單體液體(c-1)中粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度(平均值)為79.5個/ml。

實(shí)施例、比較例和參考例的結(jié)果共同示于表1和2中。

[表1]

[表2]

首先，由比較例1與比較例2之間的對比，發(fā)現(xiàn)即使通過其中僅進(jìn)行一次加壓過濾的簡單過濾純化步驟，液體材料l中顆粒的粒子數(shù)濃度也能夠顯著降低。

下一步，由比較例2與比較例3之間的對比，發(fā)現(xiàn)當(dāng)在加壓過濾時初始流分和最終流分設(shè)置為不混合在目標(biāo)流分中時，液體材料l中顆粒的粒子數(shù)濃度可以進(jìn)一步降低。然而，比較例3中獲得的固化性組合物(b-3)中顆粒的粒子數(shù)濃度作為納米壓印液體材料是不充分的。

下一步，由比較例3、實(shí)施例1和實(shí)施例2之間的對比，發(fā)現(xiàn)通過循環(huán)過濾步驟的使用，液體材料l中顆粒的粒子數(shù)濃度可以更有效地降低。在實(shí)施例2中，粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度降低至小于310個/ml。另外，在循環(huán)過濾次數(shù)為實(shí)施例2中的大約兩倍的實(shí)施例1中，粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度降低至小于137個/ml。

此外，由比較例4、實(shí)施例1和實(shí)施例2之間的對比，發(fā)現(xiàn)在循環(huán)過濾步驟中，回收容器的連接變化操作優(yōu)選不在粗制液體材料l過濾期間或之后進(jìn)行。即，在比較例4中，在循環(huán)過濾完成之后改變配管的連接，并且連接測量系統(tǒng)(顆粒傳感器)的管放入固化性組合物(b-4)中。另一方面，在實(shí)施例1和實(shí)施例2中，通過預(yù)先連接至回收容器的測量系統(tǒng)的使用，在循環(huán)過濾完成之后不改變配管的連接的情況下，測量顆粒的粒子數(shù)濃度。結(jié)果，實(shí)施例1中顆粒的粒子數(shù)濃度可降低至比較例4的大約九分之一。

另一方面，由比較例4與比較例5之間的對比，發(fā)現(xiàn)即使如上述情況一樣進(jìn)行循環(huán)過濾步驟，當(dāng)使用具有包括管和端口等的復(fù)雜結(jié)構(gòu)的p-瓶來代替使用具有簡單結(jié)構(gòu)的100級瓶時，顆粒的粒子數(shù)濃度的降低不能容易地進(jìn)行。在實(shí)施例3的情況下，即使通過不能容易地降低顆粒的粒子數(shù)濃度的p-瓶的使用，當(dāng)進(jìn)行根據(jù)該實(shí)施方案的顆粒除去步驟時，粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度也能夠顯著降低。

此外，在基于實(shí)施例3的固化性組合物(a-3)中顆粒的(累積)粒子數(shù)濃度y與粒徑x(μm)之間的關(guān)系形成近似曲線之后，計(jì)算具有通過顆粒傳感器可測量的最小粒徑(0.07μm)以下的顆粒的粒子數(shù)濃度。當(dāng)由通過表3中所示的x＝0.12、x＝0.1、x＝0.09和x＝0.07表示的四個點(diǎn)形成近似曲線時，獲得y＝8.587×10^-3x^-3.308(r²＝0.9972)。另外，在表3中，差分(differential)表示具有在各粒徑范圍內(nèi)的粒徑的顆粒的粒子數(shù)濃度，和累積(cumulative)表示具有在各粒徑范圍內(nèi)的最小粒徑以上的粒徑的顆粒的累積粒子數(shù)濃度。例如，粒徑x為0.042～0.07的行中的差分列的數(shù)字表示粒徑為0.042μm至小于0.07μm的顆粒的粒子數(shù)濃度。與上述情況相同，同一行中的累積列的數(shù)字表示粒徑為0.042μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度。當(dāng)使用該近似曲線進(jìn)行計(jì)算時，發(fā)現(xiàn)在實(shí)施例3的固化性組合物(a-3)中，粒徑為0.042μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度為307.7個/ml并且小于310個/ml。

[表3]

作為參考，由參考例1與比較例3之間的對比，發(fā)現(xiàn)當(dāng)使用作為液體材料l的一種組分的丙烯酸異冰片酯時，與使用液體材料l自身的情況相比，顆粒的粒子數(shù)濃度可以顯著降低。即，當(dāng)如本實(shí)施例一樣使用通過混合多種組分形成的組合物時，變得難以降低顆粒的粒子數(shù)濃度。然而，在本實(shí)施例中，當(dāng)液體材料l通過包括根據(jù)該實(shí)施方案的純化步驟的制造方法來制造時，顆粒的粒子數(shù)濃度可以顯著降低。

如上所述，認(rèn)為當(dāng)使用粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度小于310個/ml的納米壓印液體材料時，由顆粒引起的模具破損的產(chǎn)生可以得到抑制。另外，還認(rèn)為獲得的固化產(chǎn)物圖案的圖案缺陷可以降低。結(jié)果，認(rèn)為納米壓印工藝的產(chǎn)率的降低可以得到抑制。

此外，如上所述，當(dāng)使用具有l(wèi)/s圖案的模具(模具的凹部的寬度為s(nm))時，認(rèn)為當(dāng)顆粒的粒徑d(nm)大于3s(nm)(d>3s)時，模具會破損。即，在粒徑為0.07μm以上的顆粒的情況下，作為未破損的模具圖案，可以提及間距寬度為粒徑的三分之一以上的圖案，即，間距寬度為23.3nm以上的圖案。即，認(rèn)為在使用具有最小間距寬度為23.3nm以上的圖案的模具的納米壓印工藝中，特別地，根據(jù)該實(shí)施方案的固化性組合物可以抑制產(chǎn)率的降低。

此外，在實(shí)施例3的固化性組合物(a-3)中，粒徑為0.042μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度小于310個/ml。由上述結(jié)果，在實(shí)施例3的固化性組合物(a-3)的情況下，認(rèn)為當(dāng)使用具有間距寬度為14nm以上(其為0.042μm以上的粒徑的三分之一)的圖案的模具時，納米壓印工藝的產(chǎn)率的降低可以得到抑制。

(實(shí)施例4)

(1)固化性組合物(a-4)的制備

除了使用各自與固化性組合物(b-1)中的各自相同或相似的大約92重量％的丙烯酸系單體混合物、大約5重量％的光引發(fā)劑和大約3重量％的表面活性劑以外，以與實(shí)施例1類似的方式制備實(shí)施例4的固化性組合物(a-4)。

(2)固化性組合物(a-4)中顆粒的粒子數(shù)濃度的測量

以與實(shí)施例1類似的方式測量顆粒的粒子數(shù)濃度。固化性組合物(a-4)中粒徑為0.07μm以上的顆粒的粒子數(shù)濃度(平均值)小于100個/ml。

(3)納米壓印圖案的觀察

下一步，通過下述方法，通過納米壓印工藝使用固化性組合物(a-4)形成固化產(chǎn)物圖案。隨后，由此形成的固化產(chǎn)物圖案通過電子顯微鏡(semvisiong5，由appliedmaterials制造)來觀察。

(3-1)配置步驟

在厚度為3nm的粘著層形成在其上的300-mm硅晶片上，通過噴墨法滴加1,440滴固化性組合物(a-4)的液滴(11pl/1滴液滴)。另外，當(dāng)?shù)渭痈饕旱螘r，在硅晶片的寬度為26mm和長度為33mm的區(qū)域內(nèi)進(jìn)行滴加使得在上述區(qū)域中液滴之間的間隔彼此相等。

(3-2)模具接觸步驟、光照射步驟

下一步，使未進(jìn)行表面處理并且其中形成高度為60nm的28-nm線和間距(l/s)圖案的石英模具(寬度：26mm，長度：33mm)與硅晶片上的固化性組合物(a-4)接觸。

下一步，在距石英模具的接觸開始30秒之后，用透過石英模具的紫外光照射硅晶片上的固化性組合物(a-4)。另外，在紫外光照射時，使用具有200-w汞氙燈的紫外光源(execure3000，由hoyacandeooptronicscorporation制造)。另外，在紫外光照射時，選擇性地傳輸波長為313±5nm的光的干涉濾光片(vpf-50c-10-25-31300，由sigmakokico.,ltd.制造)配置在紫外光源與石英模具之間。另外，在石英模具正下方的紫外光的強(qiáng)度在313nm的波長下為40mw/cm²。在上述條件下，進(jìn)行170mj/cm²的紫外光曝光。

(3-3)脫模步驟

下一步，以0.5mm/s的速度拉起石英模具使得與固化產(chǎn)物脫離。當(dāng)石英模具脫離時，硅晶片上形成平均厚度為40.1nm的固化產(chǎn)物圖案。

(3-4)使用電子顯微鏡觀察固化產(chǎn)物圖案

由此形成的固化產(chǎn)物圖案和脫模步驟中脫離的石英模具的掩模圖案使用電子顯微鏡來觀察。對固化產(chǎn)物圖案和掩模圖案各自的6.75-μm方形區(qū)域進(jìn)行觀察。

在制備粒徑為0.046～0.3μm的顆粒存在于其上的具有粘著層的硅晶片之后，對顆粒存在于其中的具有粘著層的硅晶片各自的區(qū)域進(jìn)行納米壓印工藝(3-1至3-3)以形成固化產(chǎn)物圖案。隨后，各自對應(yīng)于顆粒存在于其中的區(qū)域，在掩模圖案的形成固化產(chǎn)物之后的區(qū)域和固化產(chǎn)物圖案的區(qū)域通過電子顯微鏡來觀察。結(jié)果示于表4中。

在粒徑為0.09μm以上(0.09μm、0.1μm和0.3μm)的顆粒存在于其中的情況下，在任何情況下掩模圖案均破損。另一方面，在粒徑為0.08μm以下(0.08μm和0.046μm)的顆粒存在于其中的情況下，未觀察到掩模圖案破損。

另外，在粒徑為0.08μm以上(0.08μm、0.09μm、0.1μm和0.3μm)的顆粒存在于其中的情況下，在任何情況下均觀察到對固化產(chǎn)物圖案造成的破損。另一方面，在粒徑為0.046μm的顆粒存在于其中的情況下，固化產(chǎn)物圖案中未觀察到破損和缺陷。

此外，對顆粒存在于其中的區(qū)域重復(fù)進(jìn)行通過納米壓印工藝(3-1至3-3)的固化產(chǎn)物圖案的形成，并且每次觀察掩模圖案和固化產(chǎn)物圖案。結(jié)果，在粒徑為0.08μm以上的顆粒存在于其中的情況下，在全部情況下在固化產(chǎn)物圖案的同一位置均觀察到具有相同形狀的缺陷。另一方面，在粒徑為0.046μm的顆粒存在于其中的情況下，固化產(chǎn)物圖案中均未觀察到破損和缺陷。

由上述結(jié)果，通過具有上述值的顆粒的存在，認(rèn)為略小于0.08μm的粒徑為在固化產(chǎn)物圖案中是否產(chǎn)生缺陷的閾值。

如上所述，實(shí)際上確認(rèn)，基于以上假設(shè)的理論計(jì)算的結(jié)果是正確的，所述假設(shè)涉及納米壓印工藝液體材料中包含的顆粒的粒徑通過納米壓印工藝形成的固化產(chǎn)物圖案中不產(chǎn)生缺陷的閾值。即，當(dāng)使用粒徑為0.07μm以上的顆粒的數(shù)量小于1/1個晶片的納米壓印工藝液體材料時，由顆粒引起的模具破損的產(chǎn)生可以得到抑制。另外，獲得的固化產(chǎn)物圖案的圖案缺陷可以得到抑制。結(jié)果，納米壓印工藝的產(chǎn)率的降低可以得到抑制。

[表4]

(備注)在表4中，“-”表示破損或缺陷都未觀察到或都不存在。

雖然參考示例性實(shí)施方案已描述了本發(fā)明，但應(yīng)理解本發(fā)明并不局限于公開的示例性實(shí)施方案。權(quán)利要求書的范圍符合最寬泛的解釋以涵蓋所有此類改進(jìn)以及等同的結(jié)構(gòu)和功能。

本申請要求2015年2月27日提交的日本專利申請2015-039399的權(quán)益，和2016年2月19日提交的日本專利申請2016-030332的權(quán)益，通過參考將其整體并入本文中。