本實用新型涉及集成電路半導(dǎo)體晶圓生成制造領(lǐng)域，尤其涉及一種石英舟及取放石英舟的雙叉。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)過程中，有部分工藝需要在高溫下進(jìn)行。而在高溫反應(yīng)腔室或高溫反應(yīng)爐需要特殊的載具承載晶圓。石英舟是最為常見的一種載具。石英舟為石英玻璃加工而成。具有耐高溫，耐氧化等特性。晶圓在高溫反應(yīng)后經(jīng)常會需要從高溫腔室及時取出。經(jīng)高溫后，石英舟溫度會很高，取出石英舟時存在燙傷的風(fēng)險。手放晶圓到高溫腔室時，同樣有燙傷的風(fēng)險。傳統(tǒng)石英舟在高溫條件下并不能很方便取放。高溫燙傷風(fēng)險較大，取放也不方便。同時，在晶圓生產(chǎn)工藝調(diào)試過程中，經(jīng)常會選擇不同的晶圓放置位置，進(jìn)行測試和驗證。傳統(tǒng)的石英舟只能豎放晶圓，不能解決晶圓平放的問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型實施例通過提供一種石英舟，解決了現(xiàn)有技術(shù)中石英舟由于在高溫條件下使用后取放不方便的技術(shù)問題。

為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型實施例提供了一種石英舟，包括：舟體和底座，舟體包括相對設(shè)置的兩個U型石英架、用于連接兩個U型石英架左右側(cè)壁的兩根開槽石英棒、靠近所述兩個開槽石英棒均設(shè)置石英管、每個U型石英架開口上設(shè)置一根石英管，底座為貫穿在兩個U型石英架底部的兩根開槽石英棒，位于U型石英架開口上石英管兩端的用于對晶圓限位的圓柱石英臺階。

進(jìn)一步地，靠近兩個開槽石英棒設(shè)置的石英管位于所述兩個開槽石英棒的上方或者下方。

進(jìn)一步地，靠近所述兩個開槽石英棒設(shè)置的石英管與每個U型石英架開口上設(shè)置的石英管相互垂直。

另一方面，本實用新型還提供了一種取放石英舟的雙叉，包括把手部和叉子，叉子包括平行的兩個叉腳，把手部包括叉腳調(diào)節(jié)槽和握持端，兩個叉腳卡嵌于叉腳調(diào)節(jié)槽內(nèi)，可調(diào)節(jié)兩個叉腳之間的間距。

采用本實用新型中的一個或者多個技術(shù)方案，具有如下有益效果：

本實用新型提供的石英舟，由于在舟體上設(shè)置兩組石英管，且兩組石英管分別為橫向設(shè)置和縱向設(shè)置，方便在高溫條件下取放，在該石英舟的上方一組石英管兩端上設(shè)置石英臺階，便于晶圓平放時限位和固定。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例中石英舟的側(cè)視圖；

圖2為本實用新型實施例中石英舟豎放晶圓的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型實施例中石英舟橫放晶圓的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實用新型實施例中取放石英舟的雙叉的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

本實用新型實施例通過提供一種石英舟，解決了現(xiàn)有技術(shù)中石英舟由于在高溫條件下使用后取放不方便的技術(shù)問題。

為了解決上述技術(shù)問題，下面將結(jié)合說明書附圖以及具體的實施方式對本實用新型的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)的說明。

本實用新型實施例提供了一種石英舟，如圖1所示，包括舟體和底座，該舟體包括兩個U型石英架2-1,2-2、用于連接兩個U型石英架2-1,2-2左右側(cè)壁的兩根開槽石英棒3-1,3-2，靠近兩個開槽石英棒2-1,2-2均設(shè)置石英管5-1,5-2，每個U型石英架2-1,2-2開口上設(shè)置一根石英管4-1,4-2，從而形成舟體，兩組石英管5-1,5-2以及4-1,4-2主要作用是方便使用叉子取放石英舟，在該舟體下方的底座為貫穿在兩個U型石英架1-1,1-2，用于支撐整個石英舟。位于U型石英架2-1,2-2上石英管4-1,4-2兩端上的用于對晶圓限位的圓柱石英臺階6-1,6-2,6-3,6-4，使得晶圓平放時能夠限位固定晶圓。采用本申請中的石英舟，相較于現(xiàn)有技術(shù)來說，不僅可以實現(xiàn)晶圓的豎放，還可以實現(xiàn)晶圓的平放。

在具體的實施方式中，該靠近兩個開槽石英棒3-1,3-2設(shè)置的石英管5-1,5-2位于該兩個開槽石英棒3-1,3-2的上方或者下方。

靠近兩個開槽石英棒3-1,3-2設(shè)置的石英管5-1,5-2與每個U型石英架2-1,2-2外側(cè)設(shè)置的石英管4-1,4-2相互垂直，這樣，使得在用叉子取放石英舟時，從橫向方向和縱向方向都可以取放。

圖2、圖3分別為豎放晶圓和橫放晶圓的結(jié)構(gòu)示意圖。

另一方面，本實用新型還提供了一種取放石英舟的雙叉，如圖4所示，包括把手部和叉子，叉子包括平行的兩個叉腳301，把手部包括叉腳調(diào)節(jié)槽302和握持端303，兩個叉腳301卡嵌于叉腳調(diào)節(jié)槽302內(nèi)，可調(diào)節(jié)兩個叉腳301之間的間距。使用該雙叉，可以將石英舟方便地取放。

盡管已描述了本實用新型的優(yōu)選實施例，但本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員一旦得知了基本創(chuàng)造性概念，則可對這些實施例作出另外的變更和修改。所以，所附權(quán)利要求意欲解釋為包括優(yōu)選實施例以及落入本實用新型范圍的所有變更和修改。

顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。