本實用新型涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種柔性顯示面板。
背景技術(shù):
柔性顯示技術(shù)近幾年飛速發(fā)展,柔性顯示面板從屏幕尺寸到顯示質(zhì)量都取得了很大進(jìn)步。無論是瀕臨消失的陰極射線管(Cathode Ray Tube,CRT),還是現(xiàn)今主流的液晶顯示面板(Liquid Crystal Display,LCD),本質(zhì)上都屬于傳統(tǒng)的剛性顯示面板。與傳統(tǒng)的剛性顯示面板相比,柔性顯示面板具有諸多優(yōu)點,如耐沖擊,抗震能力強,重量輕,體積小,攜帶更加方便等。
柔性顯示面板的基底是柔性基底,而柔性基底易發(fā)生變形,故在柔性顯示面板的制作過程中,柔性基底的定位、搬運、存儲等均比較困難。柔性顯示面板的制作方法,通常要先在玻璃基底上形成柔性基底,之后依次在柔性基底上形成緩沖層和各種顯示結(jié)構(gòu),再用準(zhǔn)分子激光從玻璃基底側(cè)照射柔性基底,使柔性基底與玻璃基底間的附著力降低而與玻璃基底分開(即激光剝離),形成獨立的柔性顯示基板。
同時,柔性陣列基板中包括大量的薄膜晶體管,而低溫多晶硅薄膜晶體管(LTPS-TFT)是薄膜晶體管的一種重要類型,其有源區(qū)由多晶硅構(gòu)成,有源區(qū)的制備方法是先形成非晶硅(α-Si)層,之后用準(zhǔn)分子激光從遠(yuǎn)離玻璃基底的一側(cè)照射非晶硅層,通過激光退火(ELA)方式使非晶硅熔融、成核、長大而轉(zhuǎn)變?yōu)槎嗑Ч?Poly-Si),進(jìn)而形成多晶硅的有源區(qū)。
然而,在激光剝離過程中,可能有部分準(zhǔn)分子激光穿過柔性基底照射到顯示結(jié)構(gòu)上則會對顯示結(jié)構(gòu)的性能造成影響;同樣,激光退火過程中,可能有準(zhǔn)分子激光穿過非晶硅層而照射到柔性基底上而對柔性基底的性能造成破壞如造成柔性基底碳化或與相鄰層分離等。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
鑒于上述狀況,有必要提供一種結(jié)構(gòu)簡單的柔性顯示面板,其可防止激光剝離及激光退火時激光對柔性顯示面板的損壞。
本實用新型提供一種柔性顯示面板,包括柔性基底和設(shè)置于所述柔性基底之上的顯示結(jié)構(gòu),所述柔性顯示面板還包括可吸收激光的激光吸收層,所述激光吸收層設(shè)置于所述柔性基底和所述顯示結(jié)構(gòu)之間。
進(jìn)一步地,所述激光吸收層為非晶硅激光吸收層。
進(jìn)一步地,所述顯示結(jié)構(gòu)包括由下而上依次設(shè)置的薄膜晶體管、陽極、像素層、以及陰極。
進(jìn)一步地,所述顯示結(jié)構(gòu)還包括緩沖層,所述緩沖層設(shè)置所述激光吸收層與所述薄膜晶體管之間。
進(jìn)一步地,所述薄膜晶體管包括柵極、柵絕緣層、有源區(qū)、源極、漏極、層間介質(zhì)層、以及平坦化層,所述有源區(qū)設(shè)置于所述緩沖層的上方,所述柵絕緣層設(shè)置于所述有源區(qū)和無所述有源區(qū)覆蓋的所述緩沖層的上方,所述柵極設(shè)置于所述有源區(qū)所對應(yīng)的所述柵絕緣層的上方,所述層間介質(zhì)層設(shè)置于所述柵極和無所述柵極覆蓋的所述柵絕緣層的上方,所述源極和所述漏極分別嵌設(shè)于所述有源區(qū)上方的所述層間介質(zhì)層和所述平坦化層中,所述陽極設(shè)置于所述平坦化層的上方,所述陽極穿過所述平坦化層與所述漏極電性連接。
進(jìn)一步地,所述像素層包括紅、綠、藍(lán)像素。
本實用新型實施例的技術(shù)方案帶來的有益效果是:上述柔性顯示面板,由于包括激光吸收層,其可在激光剝離和激光退火過程中吸收穿過顯示結(jié)構(gòu)和柔性基底的激光,有效避免激光照射對顯示結(jié)構(gòu)的損害及顯示性能的影響。
附圖說明
圖1是本實用新型實施例的柔性顯示面板的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
為更進(jìn)一步闡述本實用新型為達(dá)成預(yù)定實用新型目的所采取的技術(shù)手段及功效,以下結(jié)合附圖及較佳實施例,對本實用新型的具體實施方式、結(jié)構(gòu)、特征及其功效,詳細(xì)說明如后。
圖1是本實用新型實施例的柔性顯示面板的結(jié)構(gòu)示意圖,請參見圖1所示,本實用新型的柔性顯示面板10形成在玻璃基板(未圖示)上,所述柔性顯示面板10包括柔性基底11、激光吸收層12、以及顯示結(jié)構(gòu)13。激光吸收層12設(shè)置于柔性基底11的上方,顯示結(jié)構(gòu)13設(shè)置于激光吸收層12的上方,即激光吸收層12設(shè)置于柔性基底11和顯示結(jié)構(gòu)13之間。
柔性基底11是由柔性材料制成,柔性基底11可由聚酰亞胺或聚對苯二甲酸乙二醇酯制成,但不限于此。
顯示結(jié)構(gòu)13包括緩沖層131、薄膜晶體管132、陽極133、陰極(圖未示)、以及設(shè)置于陽極133和陰極之間的像素層(圖未示),緩沖層131、薄膜晶體管132、陽極133、像素層、及陰極由下而上依次設(shè)置,緩沖層131設(shè)置于激光吸收層12的上方。
薄膜晶體管132包括柵極1321、柵絕緣(GI)層1322、有源區(qū)1323、源極1324、漏極1325、層間介質(zhì)(ILD)層1326、以及平坦化層1327。有源區(qū)1323設(shè)置于緩沖層131的上方,柵絕緣層1322設(shè)置于有源區(qū)1323和無有源區(qū)1323覆蓋的緩沖層131的上方,柵極1321設(shè)置于有源區(qū)1323所對應(yīng)的柵絕緣層1322的上方,層間介質(zhì)層1326設(shè)置于柵極1321和無柵極1321覆蓋的柵絕緣層1322的上方,源極1324和漏極1325分別嵌設(shè)于有源區(qū)1323上方的柵絕緣層1322和層間介質(zhì)層1326中。陽極133設(shè)置于平坦化層1327的上方,陽極133穿過平坦化層1327與漏極1325電性連接。像素層包括紅、綠、藍(lán)像素。
激光吸收層12設(shè)置于柔性基底11和顯示結(jié)構(gòu)13之間。激光吸收層12可為非晶硅(α-Si)激光吸收層制成,但不限于此。非晶硅對308nm準(zhǔn)分子激光有很高的吸收系數(shù),其可將激光剝離和激光退火過程中穿過有源區(qū)134和柔性基底11的激光吸收,避免激光照射對顯示結(jié)構(gòu)13的損害及顯示性能的影響。同時,激光吸收層12具有較好的水、氧隔絕性能,可避免水汽、氧氣等與顯示結(jié)構(gòu)13接觸,起到保護顯示結(jié)構(gòu)13的作用。
本實用新型實施例的技術(shù)方案帶來的有益效果是:上述柔性顯示面板10,由于包括激光吸收層12,其可在激光剝離玻璃基板時候和激光退火過程中吸收穿過顯示結(jié)構(gòu)13和柔性基底11的激光,有效避免激光照射對顯示結(jié)構(gòu)13的損害及顯示性能的影響。
在本實用新型中,術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含,除了包含所列的那些要素,而且還可包含沒有明確列出的其他要素。
在本實用新型中,所涉及的前、后、上、下等方位詞是以附圖中零部件位于圖中以及零部件相互之間的位置來定義的,只是為了表達(dá)技術(shù)方案的清楚及方便。應(yīng)當(dāng)理解,所述方位詞的使用不應(yīng)限制本申請請求保護的范圍。
在不沖突的情況下,本實用新型中上述實施例及實施例中的特征可以相互結(jié)合。
以上所述僅為本實用新型的較佳實施例,并不用以限制本實用新型,凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。