一種組合式晶舟盒提籃的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種組合式晶舟盒提籃，包括：機(jī)械勾手把手1、支撐桿2、固定用螺母3、活動導(dǎo)軌4、固定卡扣5、上邊框6、固定用螺絲7、活動卡扣8、下邊框9，上、下邊框均與機(jī)械勾手把手1固定，用于承載晶舟盒；所述機(jī)械勾手把手1位于提籃兩側(cè)，用于固定上、下邊框和在晶片清洗時夾持提籃；所述固定卡扣5與下邊框9固定，所述活動卡扣8與上邊框6固定，固定卡扣5和活動卡扣8均用于晶舟盒的定位與固定。本實(shí)用新型的提籃具備承載多層晶舟盒、多規(guī)格藍(lán)寶石晶片的功能，可用于藍(lán)寶石晶片的清洗，能實(shí)現(xiàn)多層晶舟盒、多規(guī)格藍(lán)寶石晶片的同時清洗，大大提高了工作效率和清洗機(jī)的產(chǎn)能，縮短了清洗周期，降低了生產(chǎn)成本。
【專利說明】
一種組合式晶舟盒提籃
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種晶片清洗機(jī)提籃，尤其涉及一種組合式晶舟盒提籃。【背景技術(shù)】
[0002]藍(lán)寶石具有高聲速、耐高溫、抗腐蝕、高硬度、高透光性、熔點(diǎn)高等一系列優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于LED襯底。藍(lán)寶石襯底的制造過程是先將藍(lán)寶石晶棒切割成片狀，然后對切割后的晶片進(jìn)行一系列的研磨和拋光加工工序，最后到達(dá)超光滑無損傷的晶片表面。在不同的加工工序中因加工環(huán)節(jié)和加工方法的不同，會在晶片表面殘留不同的雜質(zhì)和污染物，這些如道工序廣生的晶片表面殘留物往往會對后一道工序廣生不利影響。因此，在監(jiān)寶石晶片的制備過程中，往往需要進(jìn)行多道清洗。
[0003]在藍(lán)寶石晶片傳統(tǒng)的清洗過程中，往往是先將晶片放入晶舟盒中，然后將晶舟盒固定在清洗機(jī)提籃上，再放入清洗機(jī)中清洗。而目前用于晶片清洗的清洗機(jī)提籃一次只能裝夾一層晶舟盒，并且每次裝夾的晶片的規(guī)格必須相同。而在藍(lán)寶石單晶片實(shí)際生產(chǎn)過程中，對清洗的需求量巨大，如果每次提籃只能裝夾一層晶片，會嚴(yán)重影響清洗效能。同時，企業(yè)往往同時會生產(chǎn)不同規(guī)格的晶片，而不同規(guī)格晶片分開清洗不僅浪費(fèi)時間，還要求增加清洗設(shè)備的數(shù)量，增加了生產(chǎn)成本。因此，設(shè)計(jì)一種能實(shí)現(xiàn)藍(lán)寶石晶片多層晶舟盒、多規(guī)格同時清洗的清洗機(jī)提籃對提高清洗效率，降低清洗成本具有重要意義?！緦?shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)之不足，提供一種組合式晶舟盒提籃，可用于藍(lán)寶石晶片的清洗，能實(shí)現(xiàn)藍(lán)寶石晶片多層晶舟盒、多規(guī)格同時清洗，大大提高了工作效率和單臺清洗機(jī)的產(chǎn)能，縮短了清洗周期，降低了生產(chǎn)成本。
[0005]本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:提供一種組合式晶舟盒提籃，用于承載不少于兩層的晶舟盒，晶舟盒用于承載晶片，提籃包括:機(jī)械勾手把手、支撐桿、固定用螺母、條形導(dǎo)軌、固定卡扣、上邊框、固定用螺絲、活動卡扣、下邊框；
[0006]邊框分為上邊框和下邊框，兩種邊框均與機(jī)械勾手把手固定，用于支撐晶舟盒;所述機(jī)械勾手把手位于提籃兩側(cè)，用于上、下邊框的固定和晶片清洗時提籃的夾持;卡扣分為活動卡扣和固定卡扣，所述活動卡扣與上邊框固定，所述固定卡扣與下邊框固定，活動卡扣與固定卡扣均用于晶舟盒的定位與固定。
[0007]優(yōu)選的，所述機(jī)械勾手把手上設(shè)置有條形導(dǎo)軌，用于上邊框位置的調(diào)整與固定，所述條形導(dǎo)軌長度根據(jù)所裝夾晶片尺寸與層數(shù)設(shè)計(jì)確定。
[0008]優(yōu)選的，所述邊框分為上邊框和底層邊框，所述上邊框與機(jī)械勾手把手配合的兩側(cè)面上各有兩螺紋孔和兩支撐桿，所述螺紋孔位置與機(jī)械勾手把手上條形導(dǎo)軌位置對應(yīng)且與鎖緊螺絲配合，用于上邊框在機(jī)械勾手把手上的固定，所述支撐桿與機(jī)械勾手把手上條形導(dǎo)軌配合，可在條形導(dǎo)軌內(nèi)上下滑動，用于上邊框位置的調(diào)整;所述下邊框固定于機(jī)械勾手把手底部，位置不可調(diào)。
[0009]優(yōu)選的，所述卡扣分為活動卡扣和固定卡扣，所述活動卡扣與上邊框固定，所述固定卡扣與底層邊框固定，所述固定方式應(yīng)可為晶舟盒提供可靠的支撐，各卡扣的位置由所夾持晶舟盒的尺寸設(shè)計(jì)確定。
[0010]優(yōu)選的，所述活動卡扣為合頁式設(shè)計(jì)，可旋轉(zhuǎn)撥動，在放置下層晶舟盒時復(fù)位到 180°，方便下層晶舟盒的放置;在放置上層晶舟盒時撥動到90°位置，為晶舟盒提供可靠支撐和定位。
[0011]優(yōu)選的，所述提籃具備不少于一個的上邊框6,通過調(diào)整活動卡扣8方向或所有上邊框6的上下高度，實(shí)現(xiàn)調(diào)整提籃容量的功能，可通過選用固定有不同間距活動卡扣的上邊框和調(diào)整各上邊框的間距，實(shí)現(xiàn)多層晶舟盒、多規(guī)格藍(lán)寶石單晶片的同時清洗。[〇〇12]優(yōu)選的，所述提籃具備承載兩寸晶舟盒或四寸晶舟盒或同時承載兩寸、四寸晶舟盒的功能。
[0013]另一方面，提供了一種組合式晶舟盒提籃的使用方法:包括以下步驟:
[0014]A1、將上邊框調(diào)節(jié)到所需位置后用鎖緊螺絲鎖緊固定；
[0015]A2、將上邊框上的各個活動卡扣復(fù)位到180°然后放入底層晶舟盒，并卡好位置。[〇〇16]A3、將上一層各個活動卡扣撥到90°位置后，再把此層晶舟盒放入并卡好位置；
[0017]A4、重復(fù)步驟A3直至所有晶舟盒裝夾完畢。
[0018]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0019]1、本實(shí)用新型的一種組合式晶舟盒提籃，采用多層同時清洗的方式，使每次清洗的晶片數(shù)量大大增加，提高了清洗效率，節(jié)約了生產(chǎn)成本；[〇〇2〇] 2、同時生產(chǎn)多種尺寸的晶片時，可以利用此提籃同時進(jìn)行清洗作業(yè)，提高了生產(chǎn)效率和單機(jī)產(chǎn)能，同時也大大縮短了晶片的生產(chǎn)周期，提高了清洗機(jī)的產(chǎn)出率；
[0021] 3、各層晶舟盒間的間距可以通過支撐桿和鎖緊螺絲進(jìn)行調(diào)整，以實(shí)現(xiàn)對不同規(guī)格藍(lán)寶石單晶片的裝夾，具有很好的適應(yīng)性；[〇〇22]4、活動卡扣為合頁式設(shè)計(jì)，可旋轉(zhuǎn)撥動，在放置下層晶舟盒時復(fù)位到180°，方便下層晶舟盒的放置，在放置此層晶舟盒時撥動到90°位置，為晶舟盒提供可靠支撐和定位。
[0023]以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明；但本實(shí)用新型的組合式藍(lán)寶石晶片清洗機(jī)提籃不局限于實(shí)施例。【附圖說明】

[0024]圖1是實(shí)施例的一種組合式晶舟盒提籃的整體示意圖；
[0025]圖2是實(shí)施例承載四寸晶舟盒雙層示意圖；
[0026]圖3是實(shí)施例承載兩寸與四寸晶舟盒示意圖?！揪唧w實(shí)施方式】實(shí)施例
[0027]參見圖1所示，本實(shí)施例的一種組合式晶舟盒提籃，其特征在于，包括:機(jī)械勾手把手1、支撐桿2、固定用螺母3、活動導(dǎo)軌4、固定卡扣5、上邊框6、固定用螺絲7、活動卡扣8、下邊框9。
[0028]所述邊框分為上邊框6和下邊框9,兩種邊框均與機(jī)械勾手把手1固定，用于晶舟盒的放置;所述機(jī)械勾手把手1位于提籃兩側(cè)，用于邊框的固定和晶片清洗時提籃的夾持;所述卡扣分為活動卡扣8和固定卡扣5,所述活動卡扣8與上邊框6固定，所述固定卡扣5與底層邊框9固定，活動卡扣8與固定卡扣5均用于晶舟盒的定位與固定。
[0029]所述機(jī)械勾手把手1上開有條形導(dǎo)軌4,用于上邊框6位置的調(diào)整與固定，所述條形導(dǎo)軌長度根據(jù)所裝夾晶片尺寸與層數(shù)設(shè)計(jì)確定。
[0030]所述邊框1分為上邊框6和底層邊框9,所述上邊框6與機(jī)械勾手把手1配合的兩側(cè)面上各有兩螺紋孔3和兩支撐桿7,所述螺紋孔3位置與機(jī)械勾手把手1上條形導(dǎo)軌4位置對應(yīng)且與鎖緊螺絲7配合，用于上邊框6在機(jī)械勾手把手1上的固定，所述支撐桿7與機(jī)械勾手把手1上條形導(dǎo)軌4配合，可在條形導(dǎo)軌4內(nèi)上下滑動，用于上邊框6位置的調(diào)整;所述下邊框 9固定于機(jī)械勾手把手2底部，位置不可調(diào)。
[0031]所述卡扣分為活動卡扣8和固定卡扣5,所述活動卡扣8與上邊框固6定，所述固定卡扣5與下邊框9固定，所述固定方式應(yīng)可為晶舟盒提供可靠的支撐，各卡扣的位置由所夾持晶舟盒的尺寸設(shè)計(jì)確定。[〇〇32]所述活動卡扣8為合頁式設(shè)計(jì)，可旋轉(zhuǎn)撥動，在放置下層晶舟盒時復(fù)位到180°，方便下層晶舟盒的放置，在放置此層晶舟盒時撥動到90°位置，為晶舟盒提供可靠支撐和定位。
[0033]參見圖2和圖3,本實(shí)施例既可實(shí)現(xiàn)承載雙層四寸晶舟盒，也可實(shí)現(xiàn)同時兼容承載兩寸和四寸的晶舟盒，通過選用固定有不同間距活動卡扣8的上邊框6和調(diào)整各上邊框6的間距，實(shí)現(xiàn)多層晶舟盒、多規(guī)格藍(lán)寶石單晶片的同時清洗。
[0034]本實(shí)施例還提供了一種組合式晶舟盒提籃的使用方法:包括以下步驟:
[0035]A1、將上邊框6調(diào)節(jié)到所需位置后用鎖緊螺絲7鎖緊固定；
[0036]A2、將各上邊框6上的活動卡扣8復(fù)位到180°然后放入底層晶舟盒，并卡好位置。[〇〇37]A3、將上一層活動卡扣8撥到90°位置后，再把此層晶舟盒放入并卡好位置；[〇〇38]A4、重復(fù)步驟A3直至所有晶舟盒裝夾完畢。
[0039]上述實(shí)施例僅用來進(jìn)一步說明本實(shí)用新型的一種組合式晶舟盒提籃，但本實(shí)用新型并不局限于實(shí)施例，凡是依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均落入本實(shí)用新型技術(shù)方案的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種組合式晶舟盒提籃，用于承載不少于兩層的晶舟盒，所述晶舟盒用于承載晶片， 其特征在于:提籃包括:機(jī)械勾手把手(1)、支撐桿(2)、固定用螺母(3)、條形導(dǎo)軌(4)、固定 卡扣(5)、上邊框(6)、固定用螺絲(7)、活動卡扣(8)、下邊框(9);其中上邊框(6)和下邊框(9)均與機(jī)械勾手把手(1)固定配合，用于支撐晶舟盒，所述機(jī) 械勾手把手(1)位于提籃兩側(cè)，用于固定上邊框(6)、下邊框(9)及在晶片清洗時夾持提籃， 所述固定卡扣(5)與下邊框(9)固定，所述活動卡扣(8)與上邊框(6)固定，固定卡扣(5)與活 動卡扣(8)具備定位、固定晶舟盒的功能。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種組合式晶舟盒提籃，其特征在于:所述機(jī)械勾手把手(1) 上設(shè)置有條形導(dǎo)軌(4)，用于上邊框(6)位置的調(diào)整與固定。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種組合式晶舟盒提籃，其特征在于:所述上邊框(6)與機(jī) 械勾手把手(1)固定配合的兩側(cè)面上各有兩螺紋孔和兩支撐桿(2)，所述螺紋孔位置與機(jī)械 勾手把手(1)上條形導(dǎo)軌(4)位置對應(yīng)，且與一鎖緊螺絲配合，用于將上邊框(6)固定在機(jī)械 勾手把手(1)上，所述支撐桿(2)與機(jī)械勾手把手(1)上的條形導(dǎo)軌(4)配合，具備在條形導(dǎo) 軌(4)內(nèi)上下滑動的功能，用于上邊框(6)位置的調(diào)整，所述下邊框(9)固定于機(jī)械勾手把手 (1)底部。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種組合式晶舟盒提籃，其特征在于:所述固定卡扣(5)和活 動卡扣(8)為晶舟盒提供可靠的支撐，固定卡扣(5)和活動卡扣(8)的位置與所支撐的晶舟 盒尺寸相關(guān)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種組合式晶舟盒提籃，其特征在于:所述活動卡扣(8)為合 頁式設(shè)計(jì)，具備旋轉(zhuǎn)撥動的功能，在提籃放置下層晶舟盒時，活動卡扣復(fù)位到180 °，方便下 層晶舟盒的放置;在放置上層晶舟盒時，活動卡扣(8)撥動到90°位置，為上層晶舟盒提供可 靠支撐和定位。6.根據(jù)權(quán)利要求1或4或5所述的一種組合式晶舟盒提籃，其特征在于:所述提籃具備不 少于一個的上邊框(6)，通過調(diào)整活動卡扣(8)方向或所有上邊框(6)的上下高度，實(shí)現(xiàn)調(diào)整 提籃容量的功能。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種組合式晶舟盒提籃，其特征在于:所述提籃具備承載兩寸 晶舟盒或四寸晶舟盒或同時承載兩寸、四寸晶舟盒的功能。
【文檔編號】H01L21/673GK205723478SQ201620544081
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年6月7日
【發(fā)明人】周鳴明, 胡中偉, 余學(xué)志, 李治標(biāo), 陳帆, 陳一帆, 陳銘欣
【申請人】福建晶安光電有限公司