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一種小型化開槽結構的表面頻率選擇單元結構的制作方法

文檔序號:12715584閱讀:352來源:國知局
一種小型化開槽結構的表面頻率選擇單元結構的制作方法與工藝

本實用新型涉及頻率選擇表面的單元結構,特別是一種小型化開槽結構的表面頻率選擇單元結構。



背景技術:

當光頻電磁波入射到金屬與介質分界面時,金屬表面的自由電子發(fā)生集體振蕩,電磁波與金屬表面自由電子耦合而形成的一種沿著金屬表面?zhèn)鞑サ慕鼒鲭姶挪?,如果電子的振蕩頻率與入射光波的頻率一致就會產(chǎn)生共振,在共振狀態(tài)下電磁場的能量被有效地轉變?yōu)榻饘俦砻孀杂呻娮拥募w振動能,這時就形成的一種特殊的電磁模式:電磁場被局限在金屬表面很小的范圍內(nèi)并發(fā)生增強,這就是表面等離激元現(xiàn)象。

它可被廣泛應用于光學各領域,包括超分辨率納米光刻、高密度數(shù)據(jù)存儲、近場光學等領域。例如,在光刻技術中,由于存在衍射極限,無法用普通的掩模在可見光波段曝光得到微小的結構,而支持表面等離激元(Surface Plasma Polaritons,SPPs)的金屬掩模就可以做到這點。

但是,對于大多數(shù)金屬來說,SPPs的本征頻率在紫外波段。在較低頻段,如太赫茲和微波波段,SPPs就會失去它們的約束特性,從而不再是一個有效的實現(xiàn)亞波長傳輸?shù)姆椒ā?/p>

而人工表面類等離激元結構(Spoof Surface Plasma Polaritons,SSPPs)的引入就解決了在太赫茲波段和微波波段的亞波長傳輸,從而可以實現(xiàn)微波吸收、電磁隱身、高靈敏度傳感等工程應用。SSPPs表面波的色散特性,或者說它的頻率選擇特性是由金屬薄膜結構的幾何參數(shù)決定的。



技術實現(xiàn)要素:

本實用新型的目的在于,提供一種小型化開槽結構的表面頻率選擇單元結構,用以解決在太赫茲波段和微波波段的亞波長傳輸問題。

本實用新型的技術方案:一種小型化開槽結構的表面頻率選擇單元結構,包括有介質基片,介質基片表面上設有金屬微帶線,所述金屬微帶線包括有一個矩形母槽,所述矩形母槽開設有子槽結構。

作為優(yōu)選,所述的矩形母槽長度1~8mm,寬度0.5~5mm,壁厚0.1~8mm;其中的子槽結構長度0.05~7.5mm,寬度0.05~2mm;所述的子槽結構為周期性平行或非平行排列,子槽結構數(shù)為0到40個。

作為優(yōu)選,所述金屬微帶線的厚度為0.01~0.03mm。

本實用新型的有益效果:與現(xiàn)有技術相比,本實用新型設置子母槽結構,通過子槽結構進一步局域化微波電場,而且其表面頻率選擇特性更加顯著。該結構具有尺寸小、頻率選擇效應顯著以及易于與其他微帶電路元件兼容等優(yōu)點,有效地提高了實際工程中對微波、太赫茲波電磁場的調控能力,有較大的實用價值。

附圖說明

附圖1為本實用新型的結構示意圖(圖中子槽為平行排列且數(shù)量為20);

附圖2是不同子槽結構下的SSPPs色散曲線;

附圖標記:3-金屬微帶線,4-矩形母槽,2-子槽結構,1-介質基片。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步的說明,但并不作為對本實用新型限制的依據(jù)。

本實用新型的實施例:一種小型化開槽結構的表面頻率選擇單元結構,如附圖1所示,包括有介質基片1,介質基片1可采用美國Rogess介質基板,介電常數(shù)為10.3,微波頻率下介電損耗為10-5數(shù)量級。介質基片1上設置金屬薄膜結構,其包括一個矩形母槽4和開設在矩形母槽4中的平行排列的子槽結構2。如附圖2為該金屬薄膜結構的頻率選擇特性,可以看出在矩形母槽4尺寸不變的情況下,通過調節(jié)子槽結構2的尺寸和數(shù)目就可以方便的調控其頻率選擇范圍。

所述金屬微帶線3的矩形母槽4的寬度L1=2mm,長度為5mm,壁厚為1mm;子槽結構2寬0.15mm,子槽結構長度0.9mm,子槽結構2平行排列,個數(shù)為0到40個變化。該結構方案作為一個具體實例,其頻率選擇特性曲線如附圖2所示,從附圖2可以看出,該結構可很好的實現(xiàn)類等離子色散特性,充分實現(xiàn)了電磁場頻率選擇特性。該金屬結構單元具有物理尺寸小、頻率選擇特性顯著以及易于與其他微帶電路元件兼容等優(yōu)點,有較大的工程實用價值。

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