技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
使用基于固態(tài)裝置(SSD)陣列的電子計(jì)數(shù)器的定量二次電子檢測(cè)(QSED)能夠在諸如半導(dǎo)體、納米材料和生物樣品之類的材料中進(jìn)行關(guān)鍵尺寸的計(jì)量學(xué)測(cè)量(圖3)。使用固態(tài)檢測(cè)器陣列實(shí)現(xiàn)二次電子定量檢測(cè)的方法和裝置包括多個(gè)固態(tài)檢測(cè)器。陣列使用多個(gè)固態(tài)檢測(cè)器對(duì)二次電子的數(shù)目進(jìn)行感測(cè)，用計(jì)數(shù)器模式中的時(shí)數(shù)轉(zhuǎn)換器電路來對(duì)二次電子的數(shù)目進(jìn)行計(jì)數(shù)。

技術(shù)研發(fā)人員：喬蒂·喬蒂阿拉瓦克人;薩哈達(dá)史·薩哈達(dá)史納亞克;大衛(wèi)·大衛(wèi)C喬伊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：科學(xué)明天有限責(zé)任公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.10.21
技術(shù)公布日：2017.08.29