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熱電轉(zhuǎn)換模塊的制作方法

文檔序號(hào):11852080閱讀:291來源:國知局
熱電轉(zhuǎn)換模塊的制作方法與工藝

本發(fā)明涉及一種利用塞貝克效應(yīng)進(jìn)行熱電發(fā)電的熱電轉(zhuǎn)換模塊。



背景技術(shù):

熱電轉(zhuǎn)換模塊是由可利用塞貝克效應(yīng)將熱能轉(zhuǎn)換為電能的熱電轉(zhuǎn)換元件構(gòu)成的模塊。通過利用這種能量的轉(zhuǎn)換性質(zhì),能夠?qū)墓I(yè)、民用工藝或移動(dòng)體排出的熱轉(zhuǎn)換為有效的電力,因此,作為考慮到環(huán)境問題的節(jié)能技術(shù),該熱電轉(zhuǎn)換模塊及構(gòu)成該模塊的熱電轉(zhuǎn)換元件備受關(guān)注。

這種熱電轉(zhuǎn)換模塊通常是將多個(gè)熱電轉(zhuǎn)換元件(p型半導(dǎo)體及n型半導(dǎo)體)用電極接合而構(gòu)成。這種熱電轉(zhuǎn)換模塊例如公開于專利文獻(xiàn)1中。專利文獻(xiàn)1中公開的熱電轉(zhuǎn)換模塊具備:一對基板;一端部與配置于該基板的一方的第一電極電連接,且另一端部與配置于該基板的另一方的第二電極電連接的多個(gè)熱電轉(zhuǎn)換元件;將與該熱電轉(zhuǎn)換元件電連接的第一電極與電連接于相鄰的熱電轉(zhuǎn)換元件的第二電極電連接的連接部。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1:(日本)特開2013-115359號(hào)公報(bào)

發(fā)明所要解決的課題

但是,隨著近年來的熱電轉(zhuǎn)換模塊的使用用途的擴(kuò)大、及所使用的各種設(shè)備的小型化,要求熱電轉(zhuǎn)換模塊的進(jìn)一步的高性能化、小型化、設(shè)置場所的自由度的提高,但在現(xiàn)有構(gòu)造的熱電轉(zhuǎn)換模塊中,難以充分應(yīng)對這些要求。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明是鑒于這樣的課題而創(chuàng)立的,其目的在于,提供一種熱電轉(zhuǎn)換模塊,能夠?qū)崿F(xiàn)高性能化,同時(shí),實(shí)現(xiàn)小型化及設(shè)置場所的自由度的提高。

用于解決課題的方案

為實(shí)現(xiàn)上述的目的,本發(fā)明的熱電轉(zhuǎn)換模塊的特征在于,具有:具備絕緣性的多孔質(zhì)的絕緣膜;形成于所述絕緣膜的第一表面的薄膜狀的熱電轉(zhuǎn)換元件,所述第一表面包含相對于位于所述第一表面的相反側(cè)的第二表面傾斜的面,所述絕緣膜越是在所述第一表面與所述第二表面的距離短的部分,其密度越大。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明的熱電轉(zhuǎn)換模塊,能夠?qū)崿F(xiàn)高性能化,同時(shí),實(shí)現(xiàn)小型化及設(shè)置場所的自由度的提高。

附圖說明

圖1是實(shí)施例的熱電轉(zhuǎn)換模塊的制造工序的剖面圖;

圖2是實(shí)施例的熱電轉(zhuǎn)換模塊的制造工序的剖面圖;

圖3是實(shí)施例的熱電轉(zhuǎn)換模塊的制造工序的剖面圖;

圖4是實(shí)施例的熱電轉(zhuǎn)換模塊的制造工序的剖面圖;

圖5是表示實(shí)施例的熱電轉(zhuǎn)換模塊的使用狀態(tài)的剖面圖;

圖6是變形例的熱電轉(zhuǎn)換模塊的剖面圖;

圖7是變形例的熱電轉(zhuǎn)換模塊的剖面圖;

圖8是變形例的熱電轉(zhuǎn)換模塊的剖面圖;

圖9是變形例的熱電轉(zhuǎn)換模塊的剖面圖;

圖10是變形例的熱電轉(zhuǎn)換模塊的剖面圖。

具體實(shí)施方式

以下,參照附圖,基于實(shí)施例及變形例詳細(xì)說明本發(fā)明的熱電轉(zhuǎn)換模塊的實(shí)施方式。此外,本發(fā)明不限于以下說明的內(nèi)容,在不變更其宗旨的范圍內(nèi)可以實(shí)施任意的變更。另外,實(shí)施例及變形例的說明所使用的附圖均是示意性地表示本發(fā)明的熱電轉(zhuǎn)換模塊或其構(gòu)成部件,為了加深理解而進(jìn)行部分的強(qiáng)調(diào)、放大、縮小、或者省略等,有時(shí)未正確地表現(xiàn)各構(gòu)成部件的比例尺或形狀等。進(jìn)而,實(shí)施例及變形例中使用的各種數(shù)值均表示一例,根據(jù)需要可以進(jìn)行各種變更。

[實(shí)施例]

(熱電轉(zhuǎn)換模塊的制造方法)

以下,參照圖1及圖4說明本實(shí)施例的熱電轉(zhuǎn)換模塊的制造方法。在此,圖1~4是本實(shí)施例的熱電轉(zhuǎn)換模塊的制造工序的剖面圖。

首先,如圖1所示,準(zhǔn)備具備絕緣性及多孔質(zhì)性的平坦的膜部件(發(fā)泡體)即絕緣膜1。作為絕緣膜1,可以使用例如聚酯、聚苯乙烯、聚碳酸酯、芳族聚酰胺、聚酰亞胺、或聚氨酯等高分子類的膜、或者由陶瓷構(gòu)成的膜。絕緣膜1的膜厚可以從例如約20μm、約50μm、約180μm或其以上中適當(dāng)選擇。

接著,如圖2所示,將圓柱狀的輥2一邊相對于絕緣膜1按壓一邊使其旋轉(zhuǎn)移動(dòng),壓縮絕緣膜1整體。更具體而言,將輥2傾斜地按壓于絕緣膜1的表面,從絕緣膜1的第一端部1a朝向第二端部2b,使壓縮量逐漸減少。

如果經(jīng)過這樣的壓縮行程,則如圖3所示,絕緣膜1的截面成為三角形狀。即,絕緣膜1的第一表面1c相對于位于第一表面1c的相反側(cè)的第二表面1d以一定的角度傾斜。換言之,在壓縮后的絕緣膜1中,隨著從第一端部1a朝向第二端部1b,第一表面1c與第二表面1d的距離逐漸變長。在此,壓縮量越多,密度越大,因此,越是在第一表面1c與第二表面1d的距離短的部分,其密度越大。即,隨著從第二端部1b朝向第一端部1a,密度增大。

接著,如圖4所示,使用通常的鍍敷技術(shù)或真空蒸鍍技術(shù),在絕緣膜1的第一表面形成薄膜狀的熱電轉(zhuǎn)換元件3。雖然圖4中未圖示,但熱電轉(zhuǎn)換元件3是將多個(gè)P型半導(dǎo)體(熱電轉(zhuǎn)換材料)及多個(gè)N型半導(dǎo)體(熱電轉(zhuǎn)換材料)交互并列設(shè)置。另外,P型半導(dǎo)體及N型半導(dǎo)體的一端位于絕緣膜1的第一端部1a側(cè),另一端位于絕緣膜1的第二端部1b側(cè)。進(jìn)而,P型半導(dǎo)體及N型半導(dǎo)體的端部以將P型半導(dǎo)體和N型半導(dǎo)體串聯(lián)或并聯(lián)連接的方式通過電極(未圖示)電連接。

經(jīng)由以上的工序,完成熱電轉(zhuǎn)換模塊10的形成。

(熱電轉(zhuǎn)換模塊的使用方式及效果)

接著,參照圖5說明本實(shí)施例的熱電轉(zhuǎn)換模塊10的使用方式。在此,圖5是表示本實(shí)施例的熱電轉(zhuǎn)換模塊10的使用狀態(tài)的剖面圖。

如圖5所示,熱電轉(zhuǎn)換模塊10以第二表面1d接近熱源11的方式配置。即,熱電轉(zhuǎn)換模塊10從第二表面1d側(cè)供給熱。在此,熱電轉(zhuǎn)換模塊10的絕緣膜1根據(jù)厚度而密度不同,越是密度大的部分,熱傳導(dǎo)率越高。即,在絕緣膜1中,從第一端部1a朝向第二端部1b,熱傳導(dǎo)率逐漸降低。因此,在第一端部1a側(cè),熱源11的熱容易到達(dá)熱電轉(zhuǎn)換元件3,在第二端部1b側(cè),熱源11的熱不易到達(dá)熱電轉(zhuǎn)換元件3。由此,在熱電轉(zhuǎn)換元件3中,位于絕緣膜1的第一端部1a側(cè)的一端部為高溫,位于絕緣膜1的第二端部1b側(cè)的另一端部為低溫,從而產(chǎn)生因這樣的溫度差引起的電動(dòng)勢。

如上所述,本實(shí)施例的熱電轉(zhuǎn)換模塊10的熱電轉(zhuǎn)換元件3中的溫度差因絕緣膜1的構(gòu)造而產(chǎn)生,熱電轉(zhuǎn)換元件3中的溫度差不易產(chǎn)生偏差,可以進(jìn)行穩(wěn)定的熱電發(fā)電。即,可以提高熱電轉(zhuǎn)換模塊10的性能,實(shí)現(xiàn)高的可靠性。

另外,由于將熱電轉(zhuǎn)換元件3形成于作為絕緣體的絕緣膜1上,所以在熱電轉(zhuǎn)換模塊10的應(yīng)該絕緣的部分,能夠確保良好的絕緣特性。進(jìn)而,由于主表面不接觸熱電轉(zhuǎn)換元件3的端部而接觸絕緣膜1的第一表面1c,所以熱電轉(zhuǎn)換元件3和絕緣膜1的接合面積增大,能夠確保熱電轉(zhuǎn)換元件3和絕緣膜1的優(yōu)異的接合特性,能夠提高熱電轉(zhuǎn)換模塊10自身的接合強(qiáng)度。換言之,在熱電轉(zhuǎn)換模塊10中,即使構(gòu)成熱電轉(zhuǎn)換元件3的N型半導(dǎo)體及P型半導(dǎo)體產(chǎn)生尺寸偏差,熱電轉(zhuǎn)換元件3與絕緣膜1也不會(huì)產(chǎn)生接合不良,能夠提高熱電轉(zhuǎn)換模塊10的可靠性。

而且,本實(shí)施例的熱電轉(zhuǎn)換模塊10由于具備在絕緣膜1上形成熱電轉(zhuǎn)換元件3這種較簡易的構(gòu)造,所以能夠容易地實(shí)現(xiàn)制造成本及制造時(shí)間的降低。特別是,本實(shí)施例的熱電轉(zhuǎn)換模塊10由于形成為膜狀,所以是柔性且被小型化,因此,能夠容易地設(shè)置在各種場所。

如上所述,本實(shí)施例的熱電轉(zhuǎn)換模塊10能夠在實(shí)現(xiàn)高性能化的同時(shí)實(shí)現(xiàn)小型化及設(shè)置場所的自由度的提高。

[變形例]

在上述的實(shí)施例中,假設(shè)了在位于熱電轉(zhuǎn)換元件3的形成面的相反側(cè)的第二表面1d側(cè)設(shè)置熱源11的結(jié)構(gòu),但也可以將熱源11設(shè)置于第一表面1c側(cè)。這種情況下,也可以在第二表面1d側(cè)配置冷卻裝置,與第一表面1c和第二表面1d的距離長的部分相比,能夠有效地冷卻短的部分,且隨著從第一端部1a朝向第二端部1b,溫度上升。

另外,在上述的實(shí)施例中,以絕緣膜1的截面成為三角形的方式壓縮平坦的膜部件,但壓縮后的形狀不限于三角形。例如,如圖6及圖7所示,也可以使絕緣膜1的第一表面彎曲。更具體而言,如圖6所示,第一表面1c也可以以朝向外側(cè)突出的方式彎曲,如圖7所示,第一表面1c也可以以朝向內(nèi)側(cè)突出的方式彎曲。無論是哪種情況,熱電轉(zhuǎn)換元件3由于形成為薄膜狀,所以均可以沿著第一表面1c的形狀形成。

另外,如圖8所示,也可以以絕緣膜1在第一表面1c側(cè)具備槽狀的凹部15的方式壓縮平坦的膜部件,如圖9所示,也可以以絕緣膜1在第一表面1c側(cè)具備凸部16的方式壓縮平坦的膜部件。在圖8或圖9所示的那種熱電轉(zhuǎn)換模塊10中,需要以第一表面1c和第二表面1d的距離的最短部分成為高溫側(cè),且該距離的最長部分成為低溫側(cè)的方式將N型半導(dǎo)體及P型半導(dǎo)體排列設(shè)置并串聯(lián)連接。此外,也可以是第一表面1c和第二表面1d的距離的最長部分為高溫側(cè),且該距離的最短部分為低溫側(cè)。

在圖6~圖9所示的變形例的任一情況中,也能夠?qū)崿F(xiàn)與上述的實(shí)施例的熱電轉(zhuǎn)換模塊10相同的效果。另外,可以根據(jù)熱電轉(zhuǎn)換模塊10的設(shè)置場所的狀態(tài)變更絕緣膜1的形狀,可以提供最適合該設(shè)置場所的形狀的熱電轉(zhuǎn)換模塊10。

進(jìn)而,在上述的實(shí)施例1中,僅在熱電轉(zhuǎn)換元件3的一側(cè)配設(shè)了絕緣膜1,但如圖10所示,也可以利用兩個(gè)絕緣膜1、21夾持熱電轉(zhuǎn)換元件3。具體而言,如圖10所示,熱電轉(zhuǎn)換元件3位于兩個(gè)絕緣膜1、21的第一表面1c、21c彼此之間。在此,絕緣膜21具備與絕緣膜1相同的構(gòu)造及特性。

具備這種構(gòu)造的熱電轉(zhuǎn)換模塊10’中,與上述的實(shí)施例1的熱電轉(zhuǎn)換模塊10相比,能夠確保更加良好的絕緣特性。另外,如果熱源11接近熱電轉(zhuǎn)換模塊10’的絕緣膜1的第二表面1d側(cè),則與上述的實(shí)施例相同,第一端部1a成為高溫側(cè),第二端部1b成為低溫側(cè)。在此,由于以與第一端部1a對置的方式配置絕緣膜21的第二端部21b(第一表面21c和第二表面21d的距離長的端部),所以傳遞到熱電轉(zhuǎn)換元件3的熱不易傳遞到第二表面21d。因此,位于第一端部1a及第二端部21b之間的熱電轉(zhuǎn)換元件3的一端能夠良好地維持高溫狀態(tài)。另一方面,由于以與第二端部1b對置的方式配置絕緣膜21的第一端部21a(第一表面21c和第二表面21d的距離短的端部),所以傳遞到熱電轉(zhuǎn)換元件3的熱容易地傳遞到第二表面21d。因此,位于第二端部1b及第一端部21a之間的熱電轉(zhuǎn)換元件3的另一端能夠良好地維持低溫狀態(tài)。即,在本變形例的熱電轉(zhuǎn)換模塊10’中,由于能夠容易地增大熱電轉(zhuǎn)換元件3的兩端的溫度差,且良好地保持該溫度差,所以可以具備更優(yōu)異的熱電轉(zhuǎn)換效率。

此外,也可以在第二表面21d配置散熱器等冷卻裝置,由此,能夠進(jìn)一步增大熱電轉(zhuǎn)換元件3的兩端的溫度差,且良好地保持該溫度差,能夠更進(jìn)一步提高熱電轉(zhuǎn)換模塊10’的熱電轉(zhuǎn)換效率。

[本發(fā)明的實(shí)施方式]

本發(fā)明第一實(shí)施方式的熱電轉(zhuǎn)換模塊具有:具備絕緣性的多孔質(zhì)的絕緣膜、形成于上述絕緣膜的第一表面的薄膜狀的熱電轉(zhuǎn)換元件,上述第一表面包含相對于位于上述第一表面的相反側(cè)的第二表面傾斜的面,上述絕緣膜越是在上述第一表面和上述第二表面的距離短的部分,其密度越大。

本發(fā)明第二實(shí)施方式的熱電轉(zhuǎn)換模塊在第一實(shí)施方式的熱電轉(zhuǎn)換模塊的基礎(chǔ)上,上述絕緣膜通過壓縮平坦的膜部件而形成。

本發(fā)明第三實(shí)施方式的熱電轉(zhuǎn)換模塊在第一或第二實(shí)施方式的熱電轉(zhuǎn)換模塊的基礎(chǔ)上,上述第一表面相對于上述第二表面以一定的角度傾斜。

本發(fā)明第四實(shí)施方式的熱電轉(zhuǎn)換模塊在第一或第二實(shí)施方式的熱電轉(zhuǎn)換模塊的基礎(chǔ)上,上述第一表面彎曲。

本發(fā)明第五實(shí)施方式的熱電轉(zhuǎn)換模塊在第一或第二實(shí)施方式的熱電轉(zhuǎn)換模塊的基礎(chǔ)上,上述絕緣膜在上述第一表面?zhèn)染邆洳蹱畹陌疾俊?/p>

本發(fā)明第六實(shí)施方式的熱電轉(zhuǎn)換模塊在第一或第二實(shí)施方式的熱電轉(zhuǎn)換模塊的基礎(chǔ)上,上述熱電轉(zhuǎn)換元件由形狀相同的兩個(gè)上述絕緣膜夾持。

符號(hào)說明

1、21 絕緣膜

1a、21a 第一端部

1b、21b 第二端部

1c、21c 第一表面

1d、21d 第二表面

2 輥

3 熱電轉(zhuǎn)換元件

10、10’ 熱電轉(zhuǎn)換模塊

11 熱源

15 凹部

16 凸部

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