本發(fā)明涉及一種高產(chǎn)能抽氣裝置，屬于半導(dǎo)體薄膜設(shè)備的應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體薄膜制備設(shè)備中，負(fù)載模塊需要用真空泵頻繁抽氣至預(yù)定壓力，現(xiàn)有的傳片模塊與真空泵單獨(dú)連通，真空泵只針對傳片模塊使用，導(dǎo)致傳片模塊所配備的真空泵利用率較低，為合理利用設(shè)備資源，需要一種高產(chǎn)能抽氣裝置，可減少抽氣時(shí)間，提高設(shè)備產(chǎn)能。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明以解決上述問題為目的，提供了一種高產(chǎn)能抽氣裝置，該抽氣裝置可將控制傳片模塊的真空泵與控制上負(fù)載模塊及下負(fù)載模塊的真空泵聯(lián)合利用，可減少抽氣時(shí)間，提高設(shè)備產(chǎn)能。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用下述技術(shù)方案：

一種高產(chǎn)能抽氣裝置，該抽氣裝置包括傳片模塊，上負(fù)載模塊，下負(fù)載模塊，角閥A，真空泵A，角閥B，角閥C，真空泵B，角閥D；所述傳片模塊分別與上負(fù)載模塊、下負(fù)載模塊通過螺栓相連接，上負(fù)載模塊置于下負(fù)載模塊上方；傳片模塊與所述角閥D的一端通過管路相連接，角閥D的另一端與角閥C的一端及真空泵B通過管路相連接，上負(fù)載模塊與角閥A的一端通過管路相連接，下負(fù)載模塊3與角閥B的一端通過管路相連接，同時(shí)，角閥A的另一端與角閥B的另一端通 過管路連通后再與所述角閥C的另一端及真空泵A通過管路相連接。

本發(fā)明的有益效果及特點(diǎn)在于：

1、本發(fā)明的抽氣裝置簡單實(shí)用，增加抽氣速率，提高產(chǎn)能；

2、本發(fā)明有效利用現(xiàn)有的設(shè)備，不需要額外增加購置設(shè)備，成本較低。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的高產(chǎn)能抽氣裝置示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合實(shí)施例進(jìn)一步對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明，但發(fā)明保護(hù)內(nèi)容不局限于所述實(shí)施例：

如圖1所示，一種高產(chǎn)能抽氣裝置，該抽氣裝置包括傳片模塊1，上負(fù)載模塊2，下負(fù)載模塊3，角閥A4，真空泵A5，角閥B6，角閥C7，真空泵B8，角閥D9；所述傳片模塊1分別與上負(fù)載模塊2、下負(fù)載模塊3通過螺栓相連接，上負(fù)載模塊2置于下負(fù)載模塊3上方；傳片模塊1與所述角閥D9的一端通過管路相連接，角閥D9的另一端與角閥C7的一端及真空泵B8通過管路相連接，上負(fù)載模塊2與角閥A4的一端通過管路相連接，下負(fù)載模塊3與角閥B6的一端通過管路相連接，同時(shí)，角閥A4的另一端與角閥B6的另一端通過管路連通后再與所述角閥C7的另一端及真空泵A5通過管路相連接。

當(dāng)上負(fù)載模塊2需要抽真空時(shí)，關(guān)閉角閥D9和角閥B6，打開角閥C7和角閥A4，開啟真空泵B8和真空泵A5，與常用結(jié)構(gòu)相比，則該裝置可實(shí)現(xiàn)對上負(fù)載模塊2的快速抽氣；同理，當(dāng)下負(fù)載模塊3需 要抽真空時(shí)，關(guān)閉角閥D9和角閥A4，打開角閥C7和角閥B6，開啟真空泵B8和真空泵A5實(shí)現(xiàn)對下負(fù)載模塊3的快速抽氣。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。