用于工藝腔體陰極的安裝裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提供了一種用于工藝腔體陰極的安裝裝置，包括：夾持機(jī)構(gòu)及支架體，所述支架體上設(shè)置有第一導(dǎo)軌；所述夾持機(jī)構(gòu)包括：夾持主體；校準(zhǔn)裝置，所述校準(zhǔn)裝置與所述夾持主體可拆卸式連接；鉗口夾板；第一底板，所述第一底板的下表面設(shè)置有與所述第一導(dǎo)軌相匹配的所述第一導(dǎo)軌槽。將工藝腔體陰極固定在所述鉗口夾板與所述夾持主體之間；根據(jù)校準(zhǔn)裝置調(diào)整所述夾持主體的位置，將所述工藝腔體陰極插入工藝腔體的安裝孔內(nèi)，并完成安裝作業(yè)。采用所述工藝腔體陰極的安裝裝置可以準(zhǔn)確的完成所述工藝腔體陰極與所述安裝孔的位置的對(duì)準(zhǔn)，提高了安裝的精確性與可靠性，避免了靜電吸附盤(pán)報(bào)廢，降低作業(yè)風(fēng)險(xiǎn)及成本，提高作業(yè)成功率和工作效率。
【專(zhuān)利說(shuō)明】用于工藝腔體陰極的安裝裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及集成電路制造【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其是一種用于工藝腔體陰極的安裝裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]目前集成電路逐漸被應(yīng)用到很多領(lǐng)域中，比如計(jì)算機(jī)、通信、工業(yè)控制和消費(fèi)性電子等。集成電路的制造業(yè)，已經(jīng)成為和鋼鐵一樣的基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)。伴隨著電子產(chǎn)品的快速發(fā)展，集成電路成為人們研究的焦點(diǎn)，于是使得IC設(shè)計(jì)、芯片制造等技術(shù)格局也得到快速發(fā)展。在這種技術(shù)方向的引導(dǎo)下，中國(guó)對(duì)芯片的生產(chǎn)提出很高的要求，進(jìn)一步減弱了對(duì)高科技芯片進(jìn)口的需求，實(shí)際生產(chǎn)中，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，需要使用靜電吸附盤(pán)，所述靜電吸附盤(pán)能達(dá)到940V的靜電。所述靜電吸附盤(pán)用于吸附晶圓使其在工藝過(guò)程中位置不發(fā)生變動(dòng)，并使晶圓在陰極一方，腔體內(nèi)轟擊出的陽(yáng)離子帶有正電就會(huì)向陰極移動(dòng)，在晶圓表面反應(yīng)沉積。
[0003]所述靜電吸附盤(pán)為陶瓷材質(zhì)，安裝在工藝腔體陰極的上表面，將工藝腔體陰極裝入工藝腔體的安裝孔中，工藝腔體陰極與工藝腔體通過(guò)插槽安裝。然而，在現(xiàn)有技術(shù)中，在安裝工藝腔體陰極時(shí)，工藝腔體陰極的安裝過(guò)程完全采用人工手動(dòng)實(shí)現(xiàn)，但是由于工藝腔體陰極本身重達(dá)60斤，手動(dòng)安裝時(shí)工藝腔體陰極容易錯(cuò)位，使得工藝腔體陰極容易被卡住?？ㄗ≈笾荒芮贸鰜?lái)沒(méi)有別的辦法，對(duì)工藝腔體陰極內(nèi)的零件會(huì)產(chǎn)生較強(qiáng)的振動(dòng)，有可能造成工藝腔體陰極本身報(bào)廢。更進(jìn)一步，由于靜電吸附盤(pán)的單價(jià)非常昂貴，高達(dá)10000美金，在安裝失敗過(guò)程中的磕碰中很容易造成靜電吸附盤(pán)的報(bào)廢。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于工藝腔體陰極的安裝裝置，以解決工藝腔體陰極在安裝過(guò)程中極易卡住的問(wèn)題。
[0005]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供了，包括:夾持機(jī)構(gòu)及支架體，所述支架體上設(shè)置有一第一導(dǎo)軌；所述夾持機(jī)構(gòu)包括:
[0006]夾持主體，所述夾持主體包括一立柱、一橫板垂直連接于所述立柱的一端、一定位板垂直連接于所述立柱的另一端；
[0007]校準(zhǔn)裝置，所述校準(zhǔn)裝置可拆卸式連接于所述定位板；
[0008]鉗口夾板，所述鉗口夾板與所述立柱垂直，位于所述橫板與所述定位板之間，所述鉗口夾板的上表面設(shè)置有第一絲杠套，與所述第一絲杠套配套的第一絲杠穿過(guò)所述橫板；
[0009]第一底板，所述第一底板位于所述夾持主體的下方，并與所述定位板所在平面平行，所述第一底板的上表面設(shè)置有第二絲杠套，與所述第二絲杠套配套的第二絲杠與所述立柱連接，所述第一底板的下表面設(shè)置有一與所述第一導(dǎo)軌相匹配的第一導(dǎo)軌槽。
[0010]優(yōu)選的，在上述的用于工藝腔體陰極的安裝裝置中，所述校準(zhǔn)裝置包括支架與校準(zhǔn)板，所述支架的一端可拆卸式連接于所述定位板，所述校準(zhǔn)板垂直固定于所述支架的另一端上。
[0011]優(yōu)選的，在上述的用于工藝腔體陰極的安裝裝置中，所述校準(zhǔn)板上設(shè)置有多個(gè)垂直于所述校準(zhǔn)板所在平面的凸起，所述多個(gè)凸起均勻分布在所述校準(zhǔn)板的四周。
[0012]優(yōu)選的，在上述的用于工藝腔體陰極的安裝裝置中，所述多個(gè)凸起的個(gè)數(shù)為4?8個(gè)。
[0013]優(yōu)選的，在上述的用于工藝腔體陰極的安裝裝置中，所述鉗口夾板面向所述立柱的一面上設(shè)置有第二導(dǎo)軌槽，所述立柱近所述鉗口夾板的一面上設(shè)置有豎直方向的第二導(dǎo)軌，所述第二導(dǎo)軌槽在所述第二導(dǎo)軌上滑動(dòng)。
[0014]優(yōu)選的，在上述的用于工藝腔體陰極的安裝裝置中，所述第一絲杠的一端固定于所述第一絲杠套內(nèi)，所述第一絲杠的另一端上設(shè)置有第一絲杠手柄。
[0015]優(yōu)選的，在上述的用于工藝腔體陰極的安裝裝置中，所述第二絲杠的一端固定于所述第二絲杠套內(nèi)，所述第二絲杠的另一端上設(shè)置有第二絲杠手柄。
[0016]優(yōu)選的，在上述的用于工藝腔體陰極的安裝裝置中，所述支架體還包括:支撐板；支撐架，所述支撐架固定于所述支撐板上表面；轉(zhuǎn)向圓柱，所述轉(zhuǎn)向圓柱的一端連接于所述支撐板，另一端連接于一鐵板；所述鐵板放置于所述支撐架上；第二底板，所述第二底板固定于所述鐵板的上表面，所述第二底板的上表面設(shè)置有所述第一導(dǎo)軌。
[0017]優(yōu)選的，在上述的用于工藝腔體陰極的安裝裝置中，所述轉(zhuǎn)向圓柱中設(shè)置有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)向圓柱連接所述鐵板的一端隨著所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0018]優(yōu)選的，在上述的用于工藝腔體陰極的安裝裝置中，所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的角度在0°?360。之間。
[0019]優(yōu)選的，在上述的用于工藝腔體陰極的安裝裝置中，所述支撐板的底端設(shè)置有車(chē)輪。
[0020]優(yōu)選的，在上述的用于工藝腔體陰極的安裝裝置中，所述立柱的一側(cè)固定有一第三絲杠套，所述第二絲杠穿過(guò)所述第三絲杠套。
[0021]在本實(shí)用新型提供的用于工藝腔體陰極的安裝裝置中，轉(zhuǎn)動(dòng)所述第一絲杠，帶動(dòng)所述鉗口夾板上下移動(dòng)，將工藝腔體陰極固定在所述鉗口夾板與所述定位板之間；校準(zhǔn)裝置可拆卸式連接于所述定位板，轉(zhuǎn)動(dòng)所述第二絲杠使得第一底板在所述支架體上滑動(dòng)，帶動(dòng)與所述第二絲杠連接的所述立柱移動(dòng)，所述校準(zhǔn)裝置通過(guò)所述定位板連接于所述立柱，從而帶動(dòng)所述校準(zhǔn)裝置移動(dòng)，當(dāng)校準(zhǔn)裝置能夠剛好接觸并插入工藝腔體上的安裝孔時(shí)，拆下所述校準(zhǔn)裝置，將所述工藝腔體陰極插入工藝腔體的安裝孔內(nèi)，并完成安裝作業(yè)。采用所述工藝腔體陰極的安裝裝置可以準(zhǔn)確的完成所述工藝腔體陰極與所述安裝孔的位置的對(duì)準(zhǔn)，提高了安裝的精確性與可靠性，避免了靜電吸附盤(pán)報(bào)廢，降低作業(yè)風(fēng)險(xiǎn)及成本，提高作業(yè)成功率和工作效率。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0022]圖1為工藝腔體陰極的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中用于工藝腔體陰極的安裝裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例中夾持機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例中校準(zhǔn)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例中支架體的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖中:101-工藝腔體陰極的后板；102_工藝腔體陰極的外掛附件；103_靜電吸附盤(pán)；
[0028]201-夾持機(jī)構(gòu)；202_支架體；
[0029]301-夾持主體；302_校準(zhǔn)裝置；303_鉗口夾板；304_第一絲杠套；305_第一絲杠；306-第一底板；307_第二絲杠套；308_第二絲杠；309_第一絲杠手柄；310_第二絲杠手柄；311-支架；312_校準(zhǔn)板；313-凸起；314_第一導(dǎo)軌；315_支撐板；316_轉(zhuǎn)向圓柱；317_鐵板；318_第二底板；319_車(chē)輪；320_立柱；321_橫板；322_定位板；323_支撐架；324_第二導(dǎo)軌；325_第三絲杠套。

【具體實(shí)施方式】
[0030]圖1描述的是所述工藝腔體陰極的結(jié)構(gòu)，所述工藝腔體陰極包括工藝腔體陰極的后板101和工藝腔體陰極的外掛附件102，所述工藝腔體陰極的后板101連接于工藝腔體陰極的外掛附件102。靜電吸附盤(pán)103為陶瓷材質(zhì)，安裝在工藝腔體陰極外掛附件102的上表面。
[0031]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)的描述。根據(jù)下列描述并結(jié)合權(quán)利要求書(shū)，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0032]如圖2所示，本實(shí)用新型提供的用于工藝腔體陰極的安裝裝置包括:夾持機(jī)構(gòu)201及支架體202，所述夾持機(jī)構(gòu)201的下表面設(shè)置有第一導(dǎo)軌槽，所述支架體202上設(shè)置有第一導(dǎo)軌314，所述第一導(dǎo)軌314與所述第一導(dǎo)軌槽相匹配，所述第一導(dǎo)軌314在所述第一導(dǎo)軌槽內(nèi)滑動(dòng)，即可帶動(dòng)所述夾持機(jī)構(gòu)201在所述支架體202上滑動(dòng)。
[0033]進(jìn)一步的，如圖3所示，所述夾持機(jī)構(gòu)201包括:夾持主體301，所述夾持主體301包括一立柱320、一橫板321垂直連接于所述立柱320的一端、一定位板322垂直連接于所述立柱320的另一端，所述橫板321與所述定位板322位于所述立柱320的同一側(cè)；校準(zhǔn)裝置302，所述校準(zhǔn)裝置302可拆卸式連接于所述定位板322 ;鉗口夾板303，所述鉗口夾板303與所述立柱320垂直，位于所述橫板321與所述定位板322之間，所述鉗口夾板303的上表面設(shè)置有第一絲杠套304，與所述第一絲杠套304配套的第一絲杠305穿過(guò)橫板321 ；第一底板306,所述第一底板位306于所述夾持主體301的下方,并與所述定位板322所在平面平行，所述第一底板306的上表面設(shè)置有第二絲杠套307，與所述第二絲杠套307配套的第二絲杠308與所述立柱320連接，所述第一導(dǎo)軌槽設(shè)置于所述第一底板306的下表面。
[0034]首先，將工藝腔體陰極安裝在所述夾持機(jī)構(gòu)201上。具體的，使工藝腔體陰極的后板101處于所述鉗口夾板303與所述定位板322之間，并使工藝腔體陰極的外掛附件102在所述鉗口夾板303之外。所述鉗口夾板303背離所述立柱320的一端開(kāi)有一 U型開(kāi)口，避免安裝所述工藝腔體陰極時(shí)所述鉗口夾板303碰觸到所述靜電吸附盤(pán)103，降低損壞所述靜電吸附盤(pán)103的可能性。既可以固定所述工藝腔體陰極，又不會(huì)壓到所述工藝腔體陰極的外掛附件102，保證所述外掛附件102及所述靜電吸附盤(pán)103的安全。
[0035]優(yōu)選的，所述第一絲杠305的一端固定于所述第一絲杠套304內(nèi)，所述第一絲杠305的另一端上設(shè)置有第一絲杠手柄309。手動(dòng)搖動(dòng)所述第一絲杠手動(dòng)手柄，從而轉(zhuǎn)動(dòng)所述第一絲杠305，帶動(dòng)所述鉗口夾板303上下移動(dòng)，將所述工藝腔體陰極后板101緊緊的固定在所述鉗口夾板303與所述定位板322之間，所述工藝腔體陰極后板101與所述鉗口夾板303垂直。
[0036]進(jìn)一步的，所述鉗口夾板303近所述立柱320的一面上設(shè)置有第二導(dǎo)軌槽324，所述立柱320近所述鉗口夾板303的一面上設(shè)置有豎直方向的第二導(dǎo)軌，所述第二導(dǎo)軌槽在所述第二導(dǎo)軌324上滑動(dòng)。這樣在轉(zhuǎn)動(dòng)所述第一絲桿手柄309帶動(dòng)所述鉗口夾板303上下移動(dòng)時(shí)，所述鉗口夾板303將沿著所述第二導(dǎo)軌324移動(dòng)，不會(huì)偏離方向，更有利于所述工藝腔體陰極的安裝。
[0037]優(yōu)選的，所述第二絲杠308的一端固定于所述第二絲杠套307內(nèi)，所述第二絲杠308的另一端上設(shè)置有第二絲杠手柄310。所述立柱320的一側(cè)固定有一第三絲杠套325，所述第二絲杠308穿過(guò)所述第三絲杠套325。所述第三絲杠套325與所述鉗口夾板303位于所述立柱320不同的側(cè)面，更優(yōu)的，所述第三絲杠套325位于所述立柱320背離所述鉗口夾板303的一側(cè)。
[0038]手動(dòng)搖動(dòng)所述第二絲杠手柄310，從而轉(zhuǎn)動(dòng)所述第二絲杠308，帶動(dòng)與所述第二絲杠308連接的所述立柱320上下移動(dòng)。所述工藝腔體陰極固定于所述鉗口夾板303與所述定位板322之間，所述校準(zhǔn)裝置302連接于所述定位板322，所述定位板322與所述立柱320連接，即所述工藝腔體陰極、所述校準(zhǔn)裝置302及所述鉗口夾板303均與所述立柱320連接成一個(gè)整體，所述立柱320的上下移動(dòng)可以帶動(dòng)所述工藝腔體陰極及所述校準(zhǔn)裝置302上下移動(dòng)，用于調(diào)整所述工藝腔體陰極的高度，使其與所述工藝腔體的安裝孔在同一高度。
[0039]進(jìn)一步的，如圖4所示，所述校準(zhǔn)裝置302包括支架311與校準(zhǔn)板312，所述支架311的一端可拆卸式連接于所述定位板322，所述校準(zhǔn)板312垂直固定于所述支架311的另一端上。所述校準(zhǔn)板312上設(shè)置有多個(gè)垂直于所述校準(zhǔn)板312所在平面的凸起313，所述多個(gè)凸起313均勻分布在所述校準(zhǔn)板312的四周，所述多個(gè)凸起313位于所述校準(zhǔn)板312背離所述夾持主體301的一面上。所述多個(gè)凸起313的個(gè)數(shù)為4?8個(gè)，在本實(shí)用新型實(shí)施例中為6個(gè)，所述6個(gè)凸起313均與所述校準(zhǔn)板312所在的平面垂直，當(dāng)所述6個(gè)凸起313能夠剛好接觸并插入所述工藝腔體的安裝孔內(nèi)，則表示安裝位置正確。
[0040]具體的，手動(dòng)搖動(dòng)所述第二絲杠手柄310，轉(zhuǎn)動(dòng)所述第二絲杠308，帶動(dòng)所述立柱320向上移動(dòng)，將所述校準(zhǔn)裝置302的支架311固定在所述定位板322的下表面上，如圖3所示。然后再次手動(dòng)搖動(dòng)所述第二絲杠手柄310，轉(zhuǎn)動(dòng)所述第二絲杠308，帶動(dòng)所述夾持主體301上下移動(dòng)，使得所述校準(zhǔn)板312與工藝腔體的安裝孔在同一高度。
[0041]如圖5所示，所述支架體202包括:支撐板315 ;支撐架323，所述支撐架323固定于所述支撐板315上表面；轉(zhuǎn)向圓柱316,所述轉(zhuǎn)向圓柱316的一端連接于所述支撐板315,另一端連接于一鐵板317 ;所述鐵板317放置于所述支撐架323上；第二底板318，所述第二底板318固定于所述鐵板317的上表面，所述第二底板318的上表面設(shè)置有所述第一導(dǎo)軌314。所述轉(zhuǎn)向圓柱316中設(shè)置有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)向圓柱316連接所述鐵板317的一端隨著所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)所述鐵板317隨著所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0042]進(jìn)一步的，所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的角度在0°?360°之間。使得鐵板317轉(zhuǎn)動(dòng)的角度也在0°?360°之間，使得安裝過(guò)程中所述工藝腔體陰極的位置調(diào)整更加方便。
[0043]具體的，推動(dòng)所述夾持機(jī)構(gòu)201，使得所述機(jī)構(gòu)在所述第一導(dǎo)軌314上移動(dòng)。同時(shí)根據(jù)需要轉(zhuǎn)動(dòng)所述鐵板317，使得所述校準(zhǔn)板312上的6個(gè)凸起313能夠剛好接觸并插入所述工藝腔體的安裝孔內(nèi)，則表示安裝位置正確，拆下所述校準(zhǔn)裝置302，然后推動(dòng)所述夾持機(jī)構(gòu)201使得工藝腔體陰極插入到所述工藝腔體的安裝孔內(nèi)，可完成作業(yè)。若所述工藝腔體陰極無(wú)法插入所述工藝腔體的安裝孔內(nèi)，則根據(jù)需要繼續(xù)調(diào)整位置直到完成插入所述工藝腔體的安裝孔內(nèi)為止，然后旋動(dòng)所述第一絲杠手柄，松開(kāi)所述鉗口夾板303并將本實(shí)用新型提供的裝置移開(kāi)，完成安裝作業(yè)。
[0044]在本實(shí)用新型實(shí)施例中，所述支撐板315的底端設(shè)置有車(chē)輪319。方便所述用于工藝腔體陰極的安裝裝置，可以將所述工藝腔體陰極固定在本實(shí)用新型提供的安裝裝置上后，再向工藝腔體移動(dòng)，降低操作人員的工作強(qiáng)度，提高了功率效率。
[0045]綜上，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的用于工藝腔體陰極的安裝裝置中，轉(zhuǎn)動(dòng)所述第一絲杠，帶動(dòng)所述鉗口夾板上下移動(dòng)，將工藝腔體陰極固定在所述鉗口夾板與所述定位板之間；校準(zhǔn)裝置可拆卸式連接于所述定位板，轉(zhuǎn)動(dòng)所述第二絲杠使得第一底板在所述支架體上滑動(dòng)，帶動(dòng)與所述第二絲杠連接的所述立柱移動(dòng)，所述校準(zhǔn)裝置通過(guò)所述定位板連接于所述立柱，從而帶動(dòng)所述校準(zhǔn)裝置移動(dòng)，當(dāng)校準(zhǔn)裝置能夠剛好接觸并插入工藝腔體上的安裝孔時(shí)，拆下所述校準(zhǔn)裝置，將所述工藝腔體陰極插入工藝腔體的安裝孔內(nèi)，并完成安裝作業(yè)。采用所述工藝腔體陰極的安裝裝置可以準(zhǔn)確的完成所述工藝腔體陰極與所述安裝孔的位置的對(duì)準(zhǔn)，提高了安裝的精確性與可靠性，避免了靜電吸附盤(pán)報(bào)廢，降低作業(yè)風(fēng)險(xiǎn)及成本，提高作業(yè)成功率和工作效率。
[0046]上述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對(duì)本實(shí)用新型起到任何限制作用。任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對(duì)本實(shí)用新型揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動(dòng)，均屬未脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于工藝腔體陰極的安裝裝置，其特征在于，包括:夾持機(jī)構(gòu)及支架體，所述支架體上設(shè)置有一第一導(dǎo)軌；所述夾持機(jī)構(gòu)包括: 夾持主體，所述夾持主體包括一立柱、一垂直連接于所述立柱的一端的橫板、一垂直連接于所述立柱的另一端的定位板； 校準(zhǔn)裝置，所述校準(zhǔn)裝置可拆卸式連接于所述定位板； 鉗口夾板，所述鉗口夾板與所述立柱相垂直，并位于所述橫板與所述定位板之間，所述鉗口夾板的上表面設(shè)置有第一絲杠套，與所述第一絲杠套配套的第一絲杠穿過(guò)所述橫板； 第一底板，所述第一底板位于所述夾持主體的下方，并與所述定位板所在平面平行，所述第一底板的上表面設(shè)置有第二絲杠套，與所述第二絲杠套配套的第二絲杠與所述立柱連接，所述第一底板的下表面設(shè)置有一與所述第一導(dǎo)軌相匹配的第一導(dǎo)軌槽。
2.如權(quán)利要求1所述的用于工藝腔體陰極的安裝裝置，其特征在于，所述校準(zhǔn)裝置包括一支架與一校準(zhǔn)板，所述支架的一端可拆卸式連接于所述定位板，所述校準(zhǔn)板垂直固定于所述支架的另一端上。
3.如權(quán)利要求2所述的用于工藝腔體陰極的安裝裝置，其特征在于，所述校準(zhǔn)板上設(shè)置有多個(gè)垂直于所述校準(zhǔn)板所在平面的凸起，所述多個(gè)凸起均勻分布在所述校準(zhǔn)板的四周。
4.如權(quán)利要求3所述的用于工藝腔體陰極的安裝裝置，其特征在于，所述多個(gè)凸起的個(gè)數(shù)為4?8個(gè)。
5.如權(quán)利要求1所述的用于工藝腔體陰極的安裝裝置，其特征在于，所述鉗口夾板面向所述立柱的一面上設(shè)置有第二導(dǎo)軌槽，所述立柱近所述鉗口夾板的一面上設(shè)置有豎直方向的第二導(dǎo)軌，所述第二導(dǎo)軌槽在所述第二導(dǎo)軌上滑動(dòng)。
6.如權(quán)利要求1所述的用于工藝腔體陰極的安裝裝置，其特征在于，所述第一絲杠的一端固定于所述第一絲杠套內(nèi)，所述第一絲杠的另一端上設(shè)置有第一絲杠手柄。
7.如權(quán)利要求1所述的用于工藝腔體陰極的安裝裝置，其特征在于，所述第二絲杠的一端固定于所述第二絲杠套內(nèi)，所述第二絲杠的另一端上設(shè)置有第二絲杠手柄。
8.如權(quán)利要求1所述的用于工藝腔體陰極的安裝裝置，其特征在于，所述支架體還包括:支撐板；支撐架，所述支撐架固定于所述支撐板上表面；轉(zhuǎn)向圓柱，所述轉(zhuǎn)向圓柱的一端連接于所述支撐板，另一端連接于一鐵板；所述鐵板放置于所述支撐架上；第二底板，所述第二底板固定于所述鐵板的上表面，所述第二底板的上表面設(shè)置有所述第一導(dǎo)軌。
9.如權(quán)利要求8所述的用于工藝腔體陰極的安裝裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)向圓柱中設(shè)置有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)向圓柱連接所述鐵板的一端隨著所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
10.如權(quán)利要求9所述的用于工藝腔體陰極的安裝裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的角度在0°?360°之間。
11.如權(quán)利要求8所述的用于工藝腔體陰極的安裝裝置，其特征在于，所述支撐板的底端設(shè)置有車(chē)輪。
12.如權(quán)利要求1所述的用于工藝腔體陰極的安裝裝置，其特征在于，所述立柱的一側(cè)固定有一第三絲杠套，所述第二絲杠穿過(guò)所述第三絲杠套。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK204167276SQ201420610246
【公開(kāi)日】2015年2月18日 申請(qǐng)日期:2014年10月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月21日
【發(fā)明者】王曉晨 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司