硅片插片的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種硅片插片機(jī)，包括載片裝置及輔助工裝，所述載片裝置設(shè)有多個(gè)可以移動(dòng)的用以放置硅片的托盤，所述輔助工裝設(shè)有與所述托盤相對(duì)設(shè)置的、位置可調(diào)的滑片臺(tái)，所述硅片插片機(jī)還包括工裝板，所述工裝板具有能與所述托盤及滑片臺(tái)相貼合的校準(zhǔn)平面。利用工裝板來實(shí)現(xiàn)校準(zhǔn)對(duì)齊，當(dāng)工裝板同時(shí)與滑動(dòng)臺(tái)及托盤水平貼合時(shí)，即保證滑動(dòng)臺(tái)已經(jīng)與載片裝置對(duì)齊，這種方式較經(jīng)驗(yàn)?zāi)繙y(cè)的校準(zhǔn)對(duì)齊方式，極大提高了校準(zhǔn)對(duì)齊的效率及準(zhǔn)確度。
【專利說明】硅片插片機(jī)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽能電池片的制備領(lǐng)域，特別是涉及一種硅片插片機(jī)。

【背景技術(shù)】
[0002]硅片生產(chǎn)過程中，在硅片清洗環(huán)節(jié)需要使用到硅片插片機(jī)。硅片插片機(jī)在使用時(shí)，工人利用輔助工裝將硅片插入到放置在載片裝置上的硅片盒中。硅片盒設(shè)有多個(gè)容納硅片的插槽。為了保證硅片能夠準(zhǔn)確插入到硅片盒上的插槽中，在插入硅片前，需要將輔助工裝與載片裝置進(jìn)行對(duì)齊校準(zhǔn)。傳統(tǒng)的校準(zhǔn)方法，大多是由工人憑借經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行目測(cè)對(duì)齊，然后調(diào)整輔助工裝及載片裝置，但這種方式調(diào)整工裝時(shí)誤差較大，控制精度低，易形成卡片現(xiàn)象。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]基于此，有必要提供一種能實(shí)現(xiàn)輔助工裝與載片裝置快速準(zhǔn)確對(duì)齊校準(zhǔn)的硅片插片機(jī)。
[0004]一種硅片插片機(jī)，包括載片裝置及輔助工裝，所述載片裝置設(shè)有多個(gè)可以移動(dòng)的用以放置硅片的托盤，所述輔助工裝設(shè)有與所述托盤相對(duì)設(shè)置的、位置可調(diào)的滑片臺(tái)，所述硅片插片機(jī)還包括工裝板，所述工裝板具有能與所述托盤及滑片臺(tái)相貼合的校準(zhǔn)平面。
[0005]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述輔助工裝還包括支撐所述滑片臺(tái)的支撐裝置，所述支撐裝置包括支座、可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在所述支座上的支軸，所述滑片臺(tái)可移動(dòng)地安裝在所述支軸上，所述支撐通過螺絲限制轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0006]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述工裝板包括寬度相對(duì)窄的第一部分和寬度相對(duì)寬的第二部分，所述滑片臺(tái)的表面間隔設(shè)置有一對(duì)擋板，所述一對(duì)擋板之間的間隔與所述第一部分的寬度匹配，所述第二部分的寬度與所述托盤的寬度匹配。
[0007]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述一對(duì)擋板之間的間隔為156.3mm，所述第一部分的寬度為 156.2mm。
[0008]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述工裝板的厚度為10mm。
[0009]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述載片裝置還包括固定架，所述多個(gè)托盤在所述固定架上沿垂直方向依次設(shè)置。
[0010]在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述多個(gè)托盤等間距排列。
[0011]上述硅片插片機(jī)，設(shè)置有能同時(shí)與輔助工裝的滑動(dòng)臺(tái)及載片裝置的托盤相貼合的工裝板，因此可以利用工裝板來實(shí)現(xiàn)校準(zhǔn)對(duì)齊，當(dāng)工裝板同時(shí)與滑動(dòng)臺(tái)及托盤水平貼合時(shí)，即保證滑動(dòng)臺(tái)已經(jīng)與載片裝置對(duì)齊，這種方式較經(jīng)驗(yàn)?zāi)繙y(cè)的校準(zhǔn)對(duì)齊方式，極大提高了校準(zhǔn)對(duì)齊的效率及準(zhǔn)確度。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1為載片裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖2為載片裝置的托盤傾斜時(shí)的示意圖；
[0014]圖3為托盤與輔助工裝的相對(duì)位置的示意圖；
[0015]圖4為工裝板的示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0016]為了便于理解本實(shí)用新型，下面將參照相關(guān)附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更全面的描述。附圖中給出了本實(shí)用新型的較佳的實(shí)施例。但是，本實(shí)用新型可以以許多不同的形式來實(shí)現(xiàn)，并不限于本文所描述的實(shí)施例。相反地，提供這些實(shí)施例的目的是使對(duì)本實(shí)用新型的公開內(nèi)容的理解更加透徹全面。
[0017]需要說明的是，當(dāng)元件被稱為“固定于”另一個(gè)元件，它可以直接在另一個(gè)元件上或者也可以存在居中的元件。當(dāng)一個(gè)元件被認(rèn)為是“連接”另一個(gè)元件，它可以是直接連接到另一個(gè)元件或者可能同時(shí)存在居中元件。相反，當(dāng)元件被稱作“直接在”另一元件“上”時(shí)，則不存在中間元件。本文所使用的術(shù)語“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及類似的表述只是為了說明的目的。
[0018]除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語與屬于本實(shí)用新型的【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在本實(shí)用新型的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具體的實(shí)施例的目的，不是旨在于限制本實(shí)用新型。本文所使用的術(shù)語“及/或”包括一個(gè)或多個(gè)相關(guān)的所列項(xiàng)目的任意的和所有的組合。
[0019]下面結(jié)合附圖，說明硅片插片機(jī)的較佳實(shí)施方式。
[0020]請(qǐng)參考圖1至圖4，本實(shí)用新型提供一種硅片插片機(jī)100，用于供操作者使用，以將硅片插入到硅片盒上的插槽中，以進(jìn)行后續(xù)的清洗工序。
[0021]硅片插片機(jī)100包括載片裝置110及輔助工裝120。載片裝置110用以承載硅片盒，其包括固定架112、可移動(dòng)地設(shè)置在固定架112上的多個(gè)托盤114。托盤114可通過升降機(jī)構(gòu)(未圖示)控制升降，用以放置硅片。多個(gè)托盤114在固定架112上沿垂直方向依次設(shè)置，多個(gè)托盤114等間距排列。
[0022]輔助工裝120用以供操作者將硅片插入到放置在托盤114上的硅片盒中。輔助工裝120包括支撐裝置122，及位置可調(diào)地安裝在支撐裝置122上的滑片臺(tái)124。支撐裝置122包括支座1222、可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在支座1222上的支軸1224。支軸1224通過螺絲1226來限制轉(zhuǎn)動(dòng)。滑片臺(tái)124可移動(dòng)地安裝在支軸1224上。這樣，滑片臺(tái)124的左右位置及傾斜角度可以進(jìn)行調(diào)整。
[0023]插片時(shí)，操作者利用滑片臺(tái)124將硅片插入到硅片盒中。因此，需要保證滑片臺(tái)124與硅片插11片機(jī)100有準(zhǔn)確的校準(zhǔn)對(duì)齊，這種校準(zhǔn)對(duì)齊包括垂直上的高度對(duì)齊、水平上的左右對(duì)齊以及角度的校準(zhǔn)對(duì)齊。
[0024]傳統(tǒng)的校準(zhǔn)對(duì)齊方式，主要靠操作者憑經(jīng)驗(yàn)調(diào)整固定架112及滑片臺(tái)124的位置，校準(zhǔn)對(duì)齊的效率比較低。而如果校準(zhǔn)不到位，發(fā)生如圖2所示的傾斜狀況，則會(huì)造成硅片的卡片的現(xiàn)象，將造成較大的生產(chǎn)損失。為此，本實(shí)用新型的輔助工裝還包括工裝板126。操作者可以利用工裝板126來實(shí)現(xiàn)滑片臺(tái)124與托盤114的高效校準(zhǔn)對(duì)齊。
[0025]滑片臺(tái)124的表面上間隔設(shè)置有一對(duì)擋板1242，能夠引導(dǎo)硅片插入到硅片盒中。工裝板126包括寬度相對(duì)窄的第一部分1262和寬度相對(duì)寬的第二部分1264。第一部分1262的寬度與一對(duì)擋板1242之間的間隔匹配。第二部分1264的寬度與托盤114的寬度匹配。本實(shí)用新型中一對(duì)擋板之間的間隔為156.3mm,以適應(yīng)硅片的插入，而第一部分1262的寬度為156.2mm。工裝板126的厚度一般為10mm，其具有能與托盤114及滑片臺(tái)124同時(shí)相貼合的校準(zhǔn)平面1266，圖4中工裝板126背對(duì)圖面的表面為校準(zhǔn)平面1266。
[0026]請(qǐng)參考圖3及圖4，需要將滑片臺(tái)124與托盤114對(duì)齊時(shí)，將工裝板126的第一部分1262放置在滑片臺(tái)124上或?qū)⒌诙糠?264放置在托盤114上。然后調(diào)整滑片臺(tái)124在水平上的位置及傾斜的角度，及調(diào)整固定架112的位置。當(dāng)校準(zhǔn)平面1266同時(shí)與滑片臺(tái)124的表面及托盤114的表面相貼合時(shí)，即代表對(duì)齊到位，此時(shí)將滑片臺(tái)124及固定架112定位即可。
[0027]本實(shí)用新型的硅片插片機(jī)100，輔助工裝120增設(shè)了可與滑片臺(tái)124及托盤114匹配的工裝板126，能一次性實(shí)現(xiàn)水平、垂直度等的調(diào)整，不需要分步驟進(jìn)行，因此可以實(shí)現(xiàn)滑片臺(tái)124與托盤114的快速對(duì)齊。
[0028]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種硅片插片機(jī)，包括載片裝置及輔助工裝，所述載片裝置設(shè)有多個(gè)可以移動(dòng)的用以放置硅片的托盤，所述輔助工裝設(shè)有與所述托盤相對(duì)設(shè)置的、位置可調(diào)的滑片臺(tái)，其特征在于，所述硅片插片機(jī)還包括工裝板，所述工裝板具有能與所述托盤及滑片臺(tái)相貼合的校準(zhǔn)平面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片插片機(jī)，其特征在于，所述輔助工裝還包括支撐所述滑片臺(tái)的支撐裝置，所述支撐裝置包括支座、可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在所述支座上的支軸，所述滑片臺(tái)可移動(dòng)地安裝在所述支軸上，所述支撐通過螺絲限制轉(zhuǎn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片插片機(jī)，其特征在于，所述工裝板包括寬度相對(duì)窄的第一部分和寬度相對(duì)寬的第二部分，所述滑片臺(tái)的表面間隔設(shè)置有一對(duì)擋板，所述一對(duì)擋板之間的間隔與所述第一部分的寬度匹配，所述第二部分的寬度與所述托盤的寬度匹配。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅片插片機(jī)，其特征在于，所述一對(duì)擋板之間的間隔為156.3mm,所述第一部分的寬度為156.2mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片插片機(jī)，所述工裝板的厚度為10_。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片插片機(jī)，其特征在于，所述載片裝置還包括固定架，所述多個(gè)托盤在所述固定架上沿垂直方向依次設(shè)置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅片插片機(jī)，其特征在于，所述多個(gè)托盤等間距排列。
【文檔編號(hào)】H01L31/18GK203859135SQ201420175095
【公開日】2014年10月1日 申請(qǐng)日期:2014年4月11日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月11日
【發(fā)明者】劉小濤, 周宏震, 胡澤其 申請(qǐng)人:揚(yáng)州協(xié)鑫光伏科技有限公司