一種制造復(fù)合薄膜材料的方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種制造復(fù)合薄膜材料的方法，包括：將氧化石墨粉末分散在溶劑中，超聲輔助下獲得氧化石墨烯分散液；在氧化石墨烯分散液中加入硫酸錳粉末和高錳酸鉀水溶液，反應(yīng)生成二氧化錳，獲得混合溶液；將混合溶液涂在基片上并烘干，獲得氧化石墨烯/二氧化錳復(fù)合薄膜；用激光脈沖對(duì)所述氧化石墨烯/二氧化錳復(fù)合薄膜進(jìn)行圖形雕刻和還原處理，獲得還原氧化石墨烯/二氧化錳復(fù)合薄膜。本發(fā)明的實(shí)施例中的方法，工藝簡(jiǎn)單，易于操作和控制，原料廉價(jià)，對(duì)環(huán)境友好，獲得的復(fù)合薄膜具有高的電導(dǎo)率和大的比表面積，適合做電化學(xué)電容器電極，還可用于生物傳感材料、鋰離子電池的電極材料等方面。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種制造復(fù)合薄膜材料的方法
[0001]

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本發(fā)明涉及電子材料【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其是涉及一種制造用于電化學(xué)電容器的復(fù)合薄膜材料的方法。
[0003]

【背景技術(shù)】
[0004]隨著社會(huì)經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，人們對(duì)綠色能源和生態(tài)環(huán)境越來(lái)越關(guān)注。電化學(xué)電容器作為一種高效儲(chǔ)存電能的元件以其較高的能量密度和功率密度、長(zhǎng)的循環(huán)壽命、環(huán)境友好等優(yōu)點(diǎn)，在通訊、電動(dòng)汽車(chē)、航空航天和國(guó)防科技等領(lǐng)域具有重要和廣闊的應(yīng)用前景，并受到越來(lái)越多研究人員的關(guān)注。而電極材料是發(fā)展電化學(xué)電容器的核心。
[0005]石墨烯是一種由碳原子緊密堆積的單層二維蜂窩狀(只包括六角原胞)晶格結(jié)構(gòu)，它是由sp2雜化的碳原子緊密排列而成的單層石墨片，是目前已知世界上最薄的二維材料。作為一種新型的碳材料，其具有高電導(dǎo)率和大的比表面積，并作為電化學(xué)電容器電極材料具有廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域。
[0006]但石墨烯在宏觀聚集過(guò)程中，片層之間互相雜亂疊加，會(huì)使其形成的有效雙電層的面積減少。在石墨烯片層間引入半導(dǎo)體納米粒子，將大大減小石墨烯片層之間的相互作用，同時(shí)石墨烯可作為半導(dǎo)體納米粒子的支撐材料，能夠起到電子傳遞通道的作用，還可以有效提高半導(dǎo)體材料的電學(xué)性能。
[0007]二氧化錳材料具有較高的理論比容量，并且價(jià)格低廉、儲(chǔ)量豐富、電化學(xué)性能良好及環(huán)境友好，是電化學(xué)電容器備選電極材料。但是，其電化學(xué)氧化還原可逆性差及較低的電導(dǎo)率又限制了它的應(yīng)用。
[0008]目前，已有制備Μη02/石墨烯復(fù)合材料做電化學(xué)電容器的報(bào)道，但制備方法大多是采用Hu_ers法制備的氧化石墨為前驅(qū)體，加入含錳化合物制備前驅(qū)復(fù)合物，對(duì)前驅(qū)復(fù)合物進(jìn)行水合肼、氫碘酸等化學(xué)方法進(jìn)行還原或采用電化學(xué)方法在電極表面交替沉積石墨烯和二氧化錳以制備復(fù)合薄膜。這些方法所制備的復(fù)合材料具有高的傳導(dǎo)性和大的比容量，但是工藝復(fù)雜，費(fèi)時(shí)費(fèi)力，浪費(fèi)原料，同時(shí)廢棄物質(zhì)污染環(huán)境。
[0009]


【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明的目的之一是提供一種工藝簡(jiǎn)單、易于操作可控制、原料成本低、對(duì)環(huán)境友好的制造復(fù)合薄膜材料的方法。
[0011]本發(fā)明公開(kāi)的技術(shù)方案包括:
提供了一種制造復(fù)合薄膜材料的方法，其特征在于，包括:將氧化石墨粉末分散在溶劑中，超聲輔助下獲得氧化石墨烯分散液；在所述氧化石墨烯分散液中加入錳鹽粉末和高錳酸鉀水溶液，使錳鹽與高錳酸鉀發(fā)生反應(yīng)生成二氧化錳，獲得混合溶液；將所述混合溶液涂在基片上并烘干，獲得氧化石墨烯/ 二氧化錳復(fù)合薄膜；用激光脈沖對(duì)所述氧化石墨烯/ 二氧化錳復(fù)合薄膜進(jìn)行圖形雕刻和還原處理，獲得還原氧化石墨烯/ 二氧化錳復(fù)合薄膜。
[0012]本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述將氧化石墨烯粉末分散在溶劑中的步驟包括:將所述氧化石墨粉末加入所述溶劑中，并超聲分散；對(duì)超聲分散后的溶液進(jìn)行離心處理；獲取離心處理后的所述溶液的上層液，所述上層液為所述氧化石墨烯分散液。
[0013]本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，在所述氧化石墨烯分散液中，氧化石墨烯的濃度為1毫克/暈升至3暈克/暈升。
[0014]本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述錳鹽為乙酸錳、硝酸錳或者硫酸錳。
[0015]本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，生成的所述二氧化錳的濃度為0.1毫克/毫升至1毫克
/暈升°
[0016]本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，在所述氧化石墨烯分散液中加入錳鹽粉末和高錳酸鉀水溶液的步驟包括:將錳鹽粉末加入所述氧化石墨烯分散液中并混合均勻；在超聲環(huán)境下，在加入錳鹽粉末后的所述氧化石墨烯分散液中逐滴加入高錳酸鉀水溶液。
[0017]本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述基片為柔性氧化銦錫或者鋁片。
[0018]本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，在60至80攝氏度的溫度下烘干涂在基片上的所述混合溶液。
[0019]本發(fā)明的實(shí)施例中的方法，工藝簡(jiǎn)單，易于操作和控制，原料廉價(jià)，對(duì)環(huán)境友好，獲得的復(fù)合薄膜具有高的電導(dǎo)率和大的比表面積，適合做電化學(xué)電容器電極，還可用于生物傳感材料、鋰離子電池的電極材料等方面。
[0020]

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0021]圖1是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的制造復(fù)合薄膜材料的方法的流程示意圖。
[0022]

【具體實(shí)施方式】
[0023]下面將結(jié)合附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例的制造復(fù)合薄膜材料的方法的具體步驟。
[0024]圖1為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的制造復(fù)合薄膜材料的方法的流程示意圖。如圖1所示，本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，一種制造復(fù)合薄膜材料的方法包括步驟10、步驟12、步驟14和步驟16。下面將結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)這些步驟進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0025]步驟10:制備氧化石墨烯分散液。
[0026]本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，可以首先將氧化石墨粉末分散在溶劑中，從而在超聲輔助下獲得氧化石墨烯分散液。
[0027]例如，一個(gè)實(shí)施例中，可以將氧化石墨粉末加入溶劑中，在超聲輔助下，使氧化石墨粉末在溶劑中充分分散，并且是氧化石墨變成氧化石墨烯。在這里，所說(shuō)的“超聲輔助”是指用超聲波照射溶液。此時(shí)，在超聲波的照射下，一方面，可以使氧化石墨粉末在溶劑中充分分散；另一方面，經(jīng)過(guò)超聲剝離，多層的氧化石墨得到單層的氧化石墨烯。
[0028]然后對(duì)超聲分散后的溶液進(jìn)行離心處理。對(duì)于離心處理后的溶液，獲取其上層液，該上層液即為所需要的氧化石墨烯分散液。
[0029]本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，這里，使用的溶劑可以是去離子水。
[0030]本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，這里，氧化石墨烯分散液中的氧化石墨烯的濃度可以為1毫克/毫升(mg/ml)至3毫克/毫升(mg/ml)。
[0031]例如，一個(gè)實(shí)施例中，步驟10的具體步驟可以如下:
稱(chēng)取一定量的氧化石墨粉末加入去離子水中，超聲分散4飛小時(shí)；然后，將分散均勻后的溶液在離心機(jī)上以2000轉(zhuǎn)/分鐘(r/min)的轉(zhuǎn)速離心處理1小時(shí)；其后，取離心處理后的溶液的上層液，為氧化石墨烯水分散液。
[0032]步驟12:在氧化石墨烯分散液中加入錳鹽和高錳酸鉀，獲得混合溶液。
[0033]獲得了氧化石墨烯分散液之后，在步驟12中，可以在該氧化石墨烯分散液中加入錳鹽粉末和高錳酸鉀水溶液，這樣，使錳鹽與高錳酸鉀發(fā)生反應(yīng)生成二氧化錳，從而獲得混合溶液。
[0034]本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，這里的錳鹽可以是乙酸錳、硝酸錳或者硫酸錳或者其他適合的錳鹽。
[0035]例如，一個(gè)實(shí)施例中，可以將硫酸錳粉末加入前述的氧化石墨烯分散液中，并混合均勻。然后，在超聲環(huán)境下(本文中，“在超聲環(huán)境下”是指在該過(guò)程中溶液處于超聲波的照射之下)，在加入了硫酸錳粉末后的氧化石墨烯分散液中逐滴加入高錳酸鉀水溶液。此時(shí)，硫酸錳和高錳酸鉀將發(fā)生化學(xué)反應(yīng):
[0036]通過(guò)該化學(xué)反應(yīng)，將溶液中生成二氧化錳，從而獲得混合溶液。
[0037]在該過(guò)程中，由于硫酸錳粉末在氧化石墨烯分散液中充分分散，并且反應(yīng)過(guò)程在超聲環(huán)境下進(jìn)行，因此，生成的二氧化錳顆粒將均勻分散在氧化石墨烯片層中。
[0038]本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，在獲得的混合溶液中，生成的二氧化錳的濃度可以為0.1
暈克/暈升至1暈克/暈升。
[0039]步驟14:將混合溶液涂于基片上并烘干，獲得復(fù)合薄膜。
[0040]在步驟12中獲得了前述的混合溶液之后，在步驟14中，可以用適合的方法將該混合溶液涂在適合的基片上，并烘干。如前文所述，在混合溶液中，生成的二氧化錳顆粒均勻分散在氧化石墨烯片層中。因此，通過(guò)步驟14的這種處理，烘干之后，即可在基片上獲得氧化石墨烯/二氧化錳復(fù)合薄膜。
[0041 ] 本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，這里使用的基片可以是柔性氧化銦錫(ΙΤ0)或者鋁片或者其他適合的材料。
[0042]本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，烘干時(shí)，可以在60至80攝氏度的溫度下烘干涂在基片上的混合溶液，從而獲得前述的氧化石墨烯/二氧化錳復(fù)合薄膜。
[0043]步驟16:對(duì)復(fù)合薄膜進(jìn)行光雕和還原處理。
[0044]在步驟14中獲得了氧化石墨烯/ 二氧化錳復(fù)合薄膜之后，在步驟16中，可以用激光脈沖對(duì)該氧化石墨烯/ 二氧化錳復(fù)合薄膜進(jìn)行圖形雕刻和還原處理，使該復(fù)合薄膜上形成預(yù)定的圖形(例如，插指電極等等)并且使復(fù)合薄膜中的氧化石墨烯還原成為還原氧化石墨烯，從而獲得具有預(yù)定圖形的還原氧化石墨烯/二氧化錳復(fù)合薄膜。
[0045]本發(fā)明的實(shí)施例中，激光脈沖對(duì)該氧化石墨烯/ 二氧化錳復(fù)合薄膜的雕刻和還原處理是同一個(gè)處理過(guò)程，在雕刻的同時(shí)也實(shí)現(xiàn)了還原處理，二者同時(shí)進(jìn)行。
[0046]例如，一個(gè)實(shí)施例中，可以將步驟14中獲得的氧化石墨烯/ 二氧化錳復(fù)合薄膜放入光雕機(jī)內(nèi)，計(jì)算機(jī)程序控制，利用其激光探頭發(fā)出的紅外激光脈沖(例如，波長(zhǎng)為633納米)對(duì)該復(fù)合薄膜進(jìn)行圖形雕刻和還原處理，最終得到還原氧化石墨烯/ 二氧化錳復(fù)合薄膜。
[0047]這樣，經(jīng)過(guò)前述步驟，即可制成所需要的復(fù)合薄膜材料。
[0048]下面詳細(xì)描述幾個(gè)具體的實(shí)例。
[0049]實(shí)例1:
首先清洗柔性ΙΤ0，將柔性ΙΤ0裁成光盤(pán)尺寸，依次放入丙酮、乙醇和去離子水中，各超聲20分鐘；再放入異丙醇中超聲5分鐘后，去離子水沖洗干凈，氮?dú)獯蹈蓚溆谩７Q(chēng)取20mg氧化石墨粉末加入5ml去離子水中，并超聲分散4小時(shí)，將氧化石墨水分散液在離心機(jī)上以2000r/min的轉(zhuǎn)速離心處理1小時(shí)，取上層液，為氧化石墨烯水分散液；稱(chēng)取3mg MnS04加入分散好的氧化石墨烯水分散液中混合均勻；再稱(chēng)取1.5mg ΚΜη04溶于5ml去離子水中，并在超聲環(huán)境下逐滴加入氧化石墨烯和MnS04的混合溶液中，經(jīng)過(guò)反應(yīng)生成Μη02。將超聲分散均勻的氧化石墨烯和二氧化錳復(fù)合溶液滴涂在清洗干凈的柔性ΙΤ0上，60°C條件下烘干24小時(shí)，得到氧化石墨烯/二氧化錳薄膜。將此復(fù)合薄膜貼在光雕盤(pán)上放入市售惠普光雕機(jī)內(nèi)，計(jì)算機(jī)程序控制對(duì)薄膜進(jìn)行圖樣雕刻，同時(shí)對(duì)氧化石墨進(jìn)行還原處理，最后得到具有預(yù)先設(shè)置的圖樣的還原氧化石墨烯/二氧化錳復(fù)合薄膜。
[0050]該復(fù)合薄膜厚度在f 2 μ m,四探針測(cè)試其電導(dǎo)率高達(dá)2174S/m。在lmol/L的H2S04溶液中，三電極體系測(cè)試其比容量可達(dá)6.63mF/cm2,1000次循環(huán)后比容量保持94%。
[0051]實(shí)例2:
首先清洗柔性ΙΤ0，將柔性ΙΤ0裁成光盤(pán)尺寸，依次放入丙酮、乙醇和去離子水中，各超聲20分鐘；再放入異丙醇中超聲5分鐘后，去離子水沖洗干凈，氮?dú)獯蹈蓚溆?。稱(chēng)取20mg氧化石墨粉末加入5ml去離子水中，并超聲分散4小時(shí)，將氧化石墨水分散液在離心機(jī)上以2000r/min的轉(zhuǎn)速離心處理1小時(shí)，取上層液，為氧化石墨烯水分散液；稱(chēng)取4.17mg MnS04加入分散好的氧化石墨烯水分散液中混合均勻；再稱(chēng)取2.91mg ΚΜη04溶于5ml去離子水中，并在超聲環(huán)境下逐滴加入氧化石墨烯和MnS04的混合溶液中，經(jīng)過(guò)反應(yīng)生成Μη02。將超聲分散均勻的氧化石墨烯和二氧化錳復(fù)合溶液滴涂在清洗干凈的柔性ΙΤ0上，60°C條件下烘干24小時(shí)，得到氧化石墨烯/ 二氧化錳薄膜。將此復(fù)合薄膜貼在光雕盤(pán)上放入市售惠普光雕機(jī)內(nèi)，計(jì)算機(jī)程序控制對(duì)薄膜進(jìn)行圖樣雕刻，同時(shí)對(duì)氧化石墨進(jìn)行還原處理，最后得到具有預(yù)先設(shè)置的圖樣的還原氧化石墨烯/二氧化錳復(fù)合薄膜。
[0052]該復(fù)合薄膜厚度在f 2 μ m,四探針測(cè)試其電導(dǎo)率高達(dá)2066S/m。在lmol/L的H2S04溶液中，三電極體系測(cè)試其比容量可達(dá)8.17mF/cm2,1000次循環(huán)后比容量保持94%。
[0053]實(shí)例3:
首先清洗柔性ΙΤ0，將柔性ΙΤ0裁成光盤(pán)尺寸，依次放入丙酮、乙醇和去離子水中，各超聲20分鐘；再放入異丙醇中超聲5分鐘后，去離子水沖洗干凈，氮?dú)獯蹈蓚溆?。稱(chēng)取20mg氧化石墨粉末加入5ml去離子水中，并超聲分散4小時(shí)，將氧化石墨水分散液在離心機(jī)上以2000r/min的轉(zhuǎn)速離心處理1小時(shí)，取上層液，為氧化石墨烯水分散液；稱(chēng)取6.25mg MnS04加入分散好的氧化石墨烯水分散液中混合均勻；再稱(chēng)取4.4mg ΚΜη04溶于5ml去離子水中，并在超聲環(huán)境下逐滴加入氧化石墨烯和MnSO4的混合溶液中，經(jīng)過(guò)反應(yīng)生成Μη02。將超聲分散均勻的氧化石墨烯和二氧化錳復(fù)合溶液滴涂在清洗干凈的柔性ITO上，60°C條件下烘干24小時(shí)，得到氧化石墨烯/ 二氧化錳薄膜。將此復(fù)合薄膜貼在光雕盤(pán)上放入市售惠普光雕機(jī)內(nèi)，計(jì)算機(jī)程序控制對(duì)薄膜進(jìn)行圖樣雕刻，同時(shí)對(duì)氧化石墨進(jìn)行還原處理，最后得到具有預(yù)先設(shè)置的圖樣的還原氧化石墨烯/二氧化錳復(fù)合薄膜。
[0054]該復(fù)合薄膜厚度在f 2 μ m,四探針測(cè)試其電導(dǎo)率高達(dá)1933S/m。在lmol/L的H2SO4溶液中，三電極體系測(cè)試其比容量可達(dá)8.63mF/cm2,1000次循環(huán)后比容量保持93%。
[0055]實(shí)例4:
首先清洗柔性ΙΤ0，將柔性ITO裁成光盤(pán)尺寸，依次放入丙酮、乙醇和去離子水中，各超聲20分鐘；再放入異丙醇中超聲5分鐘后，去離子水沖洗干凈，氮?dú)獯蹈蓚溆?。稱(chēng)取20mg氧化石墨粉末加入5ml去離子水中，并超聲分散4小時(shí)，將氧化石墨水分散液在離心機(jī)上以2000r/min的轉(zhuǎn)速離心處理I小時(shí)，取上層液，為氧化石墨烯水分散液；稱(chēng)取8.4mg MnSO4加入分散好的氧化石墨烯水分散液中混合均勻；再稱(chēng)取5.8mg KMnO4溶于5ml去離子水中，并在超聲環(huán)境下逐滴加入氧化石墨烯和MnSO4的混合溶液中，經(jīng)過(guò)反應(yīng)生成Μη02。將超聲分散均勻的氧化石墨烯和二氧化錳復(fù)合溶液滴涂在清洗干凈的柔性ITO上，60°C條件下烘干24小時(shí)，得到氧化石墨烯/ 二氧化錳薄膜。將此復(fù)合薄膜貼在光雕盤(pán)上放入市售惠普光雕機(jī)內(nèi)，計(jì)算機(jī)程序控制對(duì)薄膜進(jìn)行圖樣雕刻，同時(shí)對(duì)氧化石墨進(jìn)行還原處理，最后得到具有預(yù)先設(shè)置的圖樣的還原氧化石墨烯/二氧化錳復(fù)合薄膜。
[0056]該復(fù)合薄膜厚度在f 2 μ m,四探針測(cè)試其電導(dǎo)率高達(dá)1722S/m。在lmol/L的H2SO4溶液中，三電極體系測(cè)試其比容量可達(dá)7.92mF/cm2,1000次循環(huán)后比容量保持94%。
[0057]從上述實(shí)例中可看出，隨著二氧化錳量的增加，復(fù)合薄膜的電導(dǎo)率降低，其源于二氧化錳差的電導(dǎo)率；但是復(fù)合薄膜的比容量隨之增加，其源于二氧化錳贗電容性。
[0058]本發(fā)明的實(shí)施例中的方法，工藝簡(jiǎn)單，易于操作和控制，原料廉價(jià)，對(duì)環(huán)境友好，獲得的復(fù)合薄膜具有高的電導(dǎo)率和大的比表面積，適合做電化學(xué)電容器電極，還可用于生物傳感材料、鋰離子電池的電極材料等方面。
[0059]以上通過(guò)具體的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明并不限于這些具體的實(shí)施例。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該明白，還可以對(duì)本發(fā)明做各種修改、等同替換、變化等等，這些變換只要未背離本發(fā)明的精神，都應(yīng)在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。此外，以上多處所述的“一個(gè)實(shí)施例”表示不同的實(shí)施例，當(dāng)然也可以將其全部或部分結(jié)合在一個(gè)實(shí)施例中。
【權(quán)利要求】
1.一種制造復(fù)合薄膜材料的方法，其特征在于，包括: 將氧化石墨粉末分散在溶劑中，在超聲輔助下獲得氧化石墨烯分散液； 在所述氧化石墨烯分散液中加入錳鹽粉末和高錳酸鉀水溶液，使錳鹽與高錳酸鉀發(fā)生反應(yīng)生成二氧化錳，獲得混合溶液； 將所述混合溶液涂在基片上并烘干，獲得氧化石墨烯/ 二氧化錳復(fù)合薄膜； 用激光脈沖對(duì)所述氧化石墨烯/二氧化錳復(fù)合薄膜進(jìn)行圖形雕刻和還原處理，獲得還原氧化石墨烯/二氧化錳復(fù)合薄膜。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述將氧化石墨烯粉末分散在溶劑中的步驟包括: 將所述氧化石墨粉末加入所述溶劑中，并超聲分散； 對(duì)超聲分散后的溶液進(jìn)行離心處理； 獲取離心處理后的所述溶液的上層液，所述上層液為所述氧化石墨烯分散液。
3.如權(quán)利要求1或者2所述的方法，其特征在于:在所述氧化石墨烯分散液中，氧化石墨烯的濃度為I暈克/暈升至3暈克/暈升。
4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于:所述錳鹽為乙酸錳、硝酸錳或者硫酸錳。
5.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于:生成的所述二氧化錳的濃度為0.1毫克/毫升至I暈克/暈升。
6.如權(quán)利要求1至5中任意一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，在所述氧化石墨烯分散液中加入錳鹽粉末和高錳酸鉀水溶液的步驟包括: 將錳鹽粉末加入所述氧化石墨烯分散液中并混合均勻； 在超聲環(huán)境下，在加入錳鹽粉末后的所述氧化石墨烯分散液中逐滴加入高錳酸鉀水溶液。
7.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于:所述基片為柔性氧化銦錫或者鋁片。
8.如權(quán)利要求1或者7所述的方法，其特征在于:在60至80攝氏度的溫度下烘干涂在基片上的所述混合溶液。
【文檔編號(hào)】H01G11/32GK104252974SQ201410474699
【公開(kāi)日】2014年12月31日 申請(qǐng)日期:2014年9月18日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月18日
【發(fā)明者】陳燕, 楊文耀, 夏曼, 趙月濤, 李曉琳, 徐建華, 盧菲, 楊亞杰 申請(qǐng)人:電子科技大學(xué)