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硅片存放管理方法

文檔序號:7053441閱讀:784來源:國知局
硅片存放管理方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種硅片存放管理方法,包括:將RFID標(biāo)簽貼于白卡上,而且將白卡放入塑料袋中,并且將塑料袋貼于晶片逸輸盒的表面;將虛擬標(biāo)識編碼分配給RFID標(biāo)簽,以使得每個RFID標(biāo)簽對應(yīng)于唯一虛擬標(biāo)識編碼;將晶片逸輸盒放置在硅片分揀機的第一硅片傳輸端口處,并且將晶片傳送盒放置在硅片分揀機的第二硅片傳輸端口處,由此借助于硅片分揀機通過讀取RFID標(biāo)簽來獲取相應(yīng)的唯一虛擬標(biāo)識編碼而在硅片分揀機上進行自動硅片傳片。本發(fā)明提供了一種能夠在制造執(zhí)行系統(tǒng)上實現(xiàn)對晶片逸輸盒中的硅片進行在線傳片的硅片存放管理方法。本發(fā)明能夠避免由于人為疏忽而造成的選片錯誤并進而造成事故,而且能夠避免由于人為疏忽而造成的硅片信息不精確。
【專利說明】娃片存放管理方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,更具體地說,本發(fā)明涉及一種硅片存放管理方法。

【背景技術(shù)】
[0002]目前,在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中一般是使用晶片傳送盒(front opening unifiedpod,FOUP)及晶片逸輸盒(front opening shipping box,F0SB)來作為承載、傳送和保護晶片的容器。
[0003]對于晶片傳送盒內(nèi)的硅片,現(xiàn)有的硅片分揀機(sorter)的讀取方式是通過晶片逸輸盒上的射頻識別RFID (Rad1 Frequency Identificat1n)標(biāo)簽進行娃片信息的讀取和確認(rèn)。
[0004]但是,如圖1所示,晶片逸輸盒100上是沒有RFID的,由此硅片分揀機無法辨認(rèn)其中的硅片的信息,所以按照現(xiàn)有技術(shù),對于晶片逸輸盒中的傳片只能是線下(Offline)傳片(即,需要在硅片分揀機上進行手動選擇需要傳送的硅片),無法在制造執(zhí)行系統(tǒng)MES(manufacturing execut1n system)上在線地(Online)執(zhí)行傳片(即,無法執(zhí)行自動傳片)。
[0005]對于晶片逸輸盒100,在硅片分揀機上進行手動選擇需要傳送的硅片,容易由于人為疏忽而造成選片錯誤并進而造成事故。另一方面,容易由于人為疏忽而造成硅片信息的不精確。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是針對現(xiàn)有技術(shù)中存在上述缺陷,提供一種能夠在制造執(zhí)行系統(tǒng)上實現(xiàn)對晶片逸輸盒中的硅片進行在線傳片的硅片存放管理方法。
[0007]為了實現(xiàn)上述技術(shù)目的,根據(jù)本發(fā)明,提供了一種硅片存放管理方法,包括:將RFID標(biāo)簽布置至晶片逸輸盒;將虛擬標(biāo)識編碼分配給RFID標(biāo)簽,以使得每個RFID標(biāo)簽對應(yīng)于唯一虛擬標(biāo)識編碼;將晶片逸輸盒放置在硅片分揀機上,以借助于硅片分揀機通過讀取RFID標(biāo)簽而獲取相應(yīng)的唯一虛擬標(biāo)識編碼,在硅片分揀機上進行自動硅片傳片。
[0008]優(yōu)選地,將晶片逸輸盒放置在硅片分揀機的第一硅片傳輸端口處,并且將晶片傳送盒放置在娃片分揀機的第二娃片傳輸端口處。
[0009]優(yōu)選地,將RFID標(biāo)簽貼于晶片逸輸盒的表面。
[0010]優(yōu)選地,將RFID標(biāo)簽嵌入晶片逸輸盒內(nèi)。
[0011]優(yōu)選地,將RFID標(biāo)簽貼于白卡上,而且將白卡放入塑料袋中,并且將塑料袋貼于晶片逸輸盒的表面。
[0012]本發(fā)明提供了一種能夠在制造執(zhí)行系統(tǒng)上實現(xiàn)對晶片逸輸盒中的硅片進行在線傳片的硅片存放管理方法。本發(fā)明能夠避免由于人為疏忽而造成的選片錯誤并進而造成事故,而且能夠避免由于人為疏忽而造成的硅片信息不精確。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]結(jié)合附圖,并通過參考下面的詳細(xì)描述,將會更容易地對本發(fā)明有更完整的理解并且更容易地理解其伴隨的優(yōu)點和特征,其中:
[0014]圖1示意性地示出了根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的晶片逸輸盒的外觀。
[0015]圖2示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例的晶片逸輸盒的外觀。
[0016]圖3示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例的RFID標(biāo)簽組件。
[0017]圖4示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明另一優(yōu)選實施例的晶片逸輸盒的外觀。
[0018]圖5示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例的布置在硅片分揀機上的硅片存放布置結(jié)構(gòu)。
[0019]需要說明的是,附圖用于說明本發(fā)明,而非限制本發(fā)明。注意,表示結(jié)構(gòu)的附圖可能并非按比例繪制。并且,附圖中,相同或者類似的元件標(biāo)有相同或者類似的標(biāo)號。

【具體實施方式】
[0020]為了使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚和易懂,下面結(jié)合具體實施例和附圖對本發(fā)明的內(nèi)容進行詳細(xì)描述。
[0021]不管晶片傳送盒FOUP (Front Opening Unified Pod)還是晶片逸輸盒 FOSB (FrontOpening Shipping Box),如果希望在線自動地在娃片分揀機上傳片,則需要有RFID標(biāo)簽才能進行在線自動傳片; 但是,現(xiàn)有的晶片逸輸盒上是沒有RFID標(biāo)簽的,由此無法在硅片分揀機上在線自動傳片。由此,本發(fā)明通過對RFID標(biāo)簽的改裝,將編寫好虛擬標(biāo)識編碼(例如,虛擬標(biāo)識符號)的RFID標(biāo)簽貼于晶片逸輸盒上,就可以成功放置到硅片分揀機上進行在線自動傳片。
[0022]下面將結(jié)合附圖具體描述本發(fā)明的優(yōu)選實施例。
[0023]在根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實施例的硅片存放管理方法中,將RFID標(biāo)簽10布置至晶片逸輸盒100 ;例如,可以將RFID標(biāo)簽10貼于晶片逸輸盒100的表面,當(dāng)然也可以將RFID標(biāo)簽10嵌入晶片逸輸盒100內(nèi),如圖2所示。
[0024]而且,在優(yōu)選示例中,例如,可以將RFID標(biāo)簽10貼于白卡20上,而且將白卡20放入塑料袋30中(如圖3所示),并且將塑料袋30貼于晶片逸輸盒100的表面(如圖4所示)O
[0025]在根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實施例的硅片存放管理方法中,需要對RFID標(biāo)簽10進行虛擬標(biāo)識編碼的編寫(即,將虛擬標(biāo)識編碼分配給RFID標(biāo)簽10),以使得每個RFID標(biāo)簽10與對應(yīng)的唯一虛擬標(biāo)識編碼對應(yīng)。這樣,硅片分揀機300可以通過讀取RFID標(biāo)簽10來獲取相應(yīng)的唯一虛擬標(biāo)識編碼。
[0026]而且,將晶片逸輸盒100放置在硅片分揀機300上,由此借助于硅片分揀機300通過讀取RFID標(biāo)簽10來獲取相應(yīng)的唯一虛擬標(biāo)識編碼,在硅片分揀機300上進行自動硅片傳片。由此,能夠在制造執(zhí)行系統(tǒng)上實現(xiàn)對晶片逸輸盒中的硅片的在線傳片。這樣,可以避免由于人為疏忽而造成的選片錯誤并進而造成事故,而且可以避免由于人為疏忽而造成的娃片?目息不精確。
[0027]例如,如圖5所示,可以將晶片逸輸盒100放置在硅片分揀機300的第一硅片傳輸端口 P0RT1處,并且將晶片傳送盒200放置在硅片分揀機300的第二硅片傳輸端口 P0RT2處。由此,能夠在制造執(zhí)行系統(tǒng)上實現(xiàn)對晶片逸輸盒和晶片傳送盒中的硅片的在線傳片。
[0028]此外,需要說明的是,除非特別說明或者指出,否則說明書中的術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”等描述僅僅用于區(qū)分說明書中的各個組件、元素、步驟等,而不是用于表示各個組件、元素、步驟之間的邏輯關(guān)系或者順序關(guān)系等。
[0029]可以理解的是,雖然本發(fā)明已以較佳實施例披露如上,然而上述實施例并非用以限定本發(fā)明。對于任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言,在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下,都可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容對本發(fā)明技術(shù)方案作出許多可能的變動和修飾,或修改為等同變化的等效實施例。因此,凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容,依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾,均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種娃片存放管理方法,其特征在于包括: 將RFID標(biāo)簽布置至晶片逸輸盒; 將虛擬標(biāo)識編碼分配給RFID標(biāo)簽,以使得每個RFID標(biāo)簽對應(yīng)于唯一虛擬標(biāo)識編碼; 將晶片逸輸盒放置在硅片分揀機上,以借助于硅片分揀機通過讀取RFID標(biāo)簽而獲取相應(yīng)的唯一虛擬標(biāo)識編碼,在硅片分揀機上進行自動硅片傳片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片存放管理方法,其特征在于,將晶片逸輸盒放置在硅片分揀機的第一硅片傳輸端口處,并且將晶片傳送盒放置在硅片分揀機的第二硅片傳輸端口處。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片存放管理方法,其特征在于,將RFID標(biāo)簽貼于晶片逸輸盒的表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片存放管理方法,其特征在于,將RFID標(biāo)簽嵌入晶片逸輸盒內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片存放管理方法,其特征在于,將RFID標(biāo)簽貼于白卡上,而且將白卡放入塑料袋中,并且將塑料袋貼于晶片逸輸盒的表面。
【文檔編號】H01L21/677GK104078396SQ201410331756
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2014年7月11日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月11日
【發(fā)明者】鄭小平 申請人:上海華力微電子有限公司
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